JP3214670B2 - マイクロ波管用電子銃 - Google Patents
マイクロ波管用電子銃Info
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- metal cylinder
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J23/00—Details of transit-time tubes of the types covered by group H01J25/00
- H01J23/02—Electrodes; Magnetic control means; Screens
- H01J23/06—Electron or ion guns
- H01J23/065—Electron or ion guns producing a solid cylindrical beam
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J3/00—Details of electron-optical or ion-optical arrangements or of ion traps common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
- H01J3/02—Electron guns
- H01J3/027—Construction of the gun or parts thereof
Landscapes
- Microwave Tubes (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は熱陰極電子銃に関
し、特に、進行波管やクライストロン等のマイクロ波管
に用いられる熱陰極電子銃に関する。
し、特に、進行波管やクライストロン等のマイクロ波管
に用いられる熱陰極電子銃に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、マイクロ波管は主にマイクロ波衛
星通信の地球局、中継局等においてマイクロ波の増幅器
として利用されている。近年ではマイクロ波衛星通信の
地球局、中継局等の小型、軽量化に伴い、マイクロ波管
についても、小型、軽量化することが要求されている。
特に、マイクロ波管の中でも、人工衛星に搭載される中
継器に使用される進行波管については、小型、軽量化が
重要な要素の一つになっており、そのための電子銃の小
型化が必要である。
星通信の地球局、中継局等においてマイクロ波の増幅器
として利用されている。近年ではマイクロ波衛星通信の
地球局、中継局等の小型、軽量化に伴い、マイクロ波管
についても、小型、軽量化することが要求されている。
特に、マイクロ波管の中でも、人工衛星に搭載される中
継器に使用される進行波管については、小型、軽量化が
重要な要素の一つになっており、そのための電子銃の小
型化が必要である。
【０００３】図４は、特開平９−１１５４５３号公報
（「冷陰極を用いた電子銃」）に記載された従来の熱陰
極電子銃の断面図である。この従来の熱陰極電子銃にお
いては、熱陰極１０２を段付き金属円筒１１８に接合
し、更にこの段付き金属円筒１１８を別の段付き金属円
筒１１７に接合し、更にこの段付き金属円筒１１７を集
束電極円筒１１９に接合している。又、カソード１１
１、アノード１１３、ヒータ電極１２２間を絶縁円筒１
１２、１１２′で絶縁している。ここに、カソード１１
１は集束電極円筒１１９に接続され、アノード１１３
は、金属円筒１１４及びアノード電極板１１５に接続さ
れている。又、ヒータリード線の一方１２０はヒータ電
極１２２に接続され、その他方１２１は段付き金属円筒
１１７に接続されている。このような電子銃が、封止金
属部品１２３で封止され、封入皿１１６で図示しない高
周波回路部に接続されている。ここに、アノード１１３
と図示しない高周波回路部とは絶縁円筒１１２′′で絶
縁されている。
（「冷陰極を用いた電子銃」）に記載された従来の熱陰
極電子銃の断面図である。この従来の熱陰極電子銃にお
いては、熱陰極１０２を段付き金属円筒１１８に接合
し、更にこの段付き金属円筒１１８を別の段付き金属円
筒１１７に接合し、更にこの段付き金属円筒１１７を集
束電極円筒１１９に接合している。又、カソード１１
１、アノード１１３、ヒータ電極１２２間を絶縁円筒１
１２、１１２′で絶縁している。ここに、カソード１１
１は集束電極円筒１１９に接続され、アノード１１３
は、金属円筒１１４及びアノード電極板１１５に接続さ
れている。又、ヒータリード線の一方１２０はヒータ電
極１２２に接続され、その他方１２１は段付き金属円筒
１１７に接続されている。このような電子銃が、封止金
属部品１２３で封止され、封入皿１１６で図示しない高
周波回路部に接続されている。ここに、アノード１１３
と図示しない高周波回路部とは絶縁円筒１１２′′で絶
縁されている。
【０００４】又、図５は、同じく、特開平９−１１５４
５３号公報（「冷陰極を用いた電子銃」）に記載された
従来の冷陰極電子銃の断面図である。この従来の冷陰極
電子銃においては、冷陰極１を、皿部２１ａ付き金属体
２に接合している。そして、金属体２は絶縁円筒３を挿
通し、この絶縁円筒３は段付き金属円筒９に接合され、
この段付き金属円筒９に集束電極８が搭載されている。
ここに、導線１０は、冷陰極１の図示しないゲートと段
付き金属円筒９とを接続している。更に、絶縁円筒３
は、絶縁円筒４に接合されている。そして、この絶縁円
筒４の内部にはゲート用金属円筒７が収められている。
ここに、図示しないゲートは、導線１０で段付き金属円
筒９に接続されメタライズ層３１ｃでゲート用金属円筒
７に電気的に接続されている。尚、メタライズ層３１
ａ，３１ｂは、各接合部において電気接続を得るための
ものである。このような電子銃が金属円筒５に収められ
ている。そして、この金属円筒５と絶縁円筒４とは、段
付き金属円筒６に接合されている。
５３号公報（「冷陰極を用いた電子銃」）に記載された
従来の冷陰極電子銃の断面図である。この従来の冷陰極
電子銃においては、冷陰極１を、皿部２１ａ付き金属体
２に接合している。そして、金属体２は絶縁円筒３を挿
通し、この絶縁円筒３は段付き金属円筒９に接合され、
この段付き金属円筒９に集束電極８が搭載されている。
ここに、導線１０は、冷陰極１の図示しないゲートと段
付き金属円筒９とを接続している。更に、絶縁円筒３
は、絶縁円筒４に接合されている。そして、この絶縁円
筒４の内部にはゲート用金属円筒７が収められている。
ここに、図示しないゲートは、導線１０で段付き金属円
筒９に接続されメタライズ層３１ｃでゲート用金属円筒
７に電気的に接続されている。尚、メタライズ層３１
ａ，３１ｂは、各接合部において電気接続を得るための
ものである。このような電子銃が金属円筒５に収められ
ている。そして、この金属円筒５と絶縁円筒４とは、段
付き金属円筒６に接合されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述した従来
の熱陰極電子銃では、各電極を絶縁するための絶縁円筒
がスタックされており、電子銃の外周部に直接高電圧が
印加されることになる。従って、その電子銃の外周部に
は、更に絶縁を施す必要があり、通常、電子銃の外周部
より一回り外径の大きい絶縁材固定用治具を用いて絶縁
材を充填なければならない。
の熱陰極電子銃では、各電極を絶縁するための絶縁円筒
がスタックされており、電子銃の外周部に直接高電圧が
印加されることになる。従って、その電子銃の外周部に
は、更に絶縁を施す必要があり、通常、電子銃の外周部
より一回り外径の大きい絶縁材固定用治具を用いて絶縁
材を充填なければならない。
【０００６】一方、上述した従来の冷陰極電子銃におい
ては、各電極を電子銃の軸方向に取り出すとともに、電
子銃の外周部を接地電位としているので、外周部を絶縁
するための絶縁材を充填する必要はない。しかし、真空
外囲器を接地電位の金属円筒で形成しており、電子銃の
外周部に新たに金属円筒を設けていることで外径が大き
くなってしまうという点で、電子銃の小型化、軽量化が
できない。
ては、各電極を電子銃の軸方向に取り出すとともに、電
子銃の外周部を接地電位としているので、外周部を絶縁
するための絶縁材を充填する必要はない。しかし、真空
外囲器を接地電位の金属円筒で形成しており、電子銃の
外周部に新たに金属円筒を設けていることで外径が大き
くなってしまうという点で、電子銃の小型化、軽量化が
できない。
【０００７】又、上述した従来の熱陰極電子銃も冷陰極
電子銃他も構造が複雑であるため、製造が困難である。
電子銃他も構造が複雑であるため、製造が困難である。
【０００８】そこで、本発明は、電子銃の電極を電子銃
の軸方向に取り出すことが出来、構造が簡単な電子銃を
提供することを課題としている。
の軸方向に取り出すことが出来、構造が簡単な電子銃を
提供することを課題としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めの本発明は、陰極を接合する段付きの第１金属円筒
（２０１）と、前記第１金属円筒（２０１）を接合する
第２金属円筒（２０２）と、前記第２金属円筒（２０
２）を接合する金属板（２２１）と、前記金属板（２２
１）を接合する絶縁円柱（２２０）と、前記絶縁円柱
（２２０）の外周に接合する第３金属円筒（２６０）
と、前記第３金属円筒（２６０）に接合する段付きの第
４金属円筒（２１０）と、前記第４金属円筒（２１０）
に接合する段付きの絶縁円筒（２５０）と、前記絶縁円
筒（２５０）に接合する第５金属円筒（２７０）とを備
え、高周波部に接続するマイクロ波管用電子銃であっ
て、前記第５金属円筒を（２７０）接地し、前記絶縁円
柱（２２０）から電子銃のカソードリード線、ゲートリ
ード線及びアノードリード線を取り出すようにしてい
る。
めの本発明は、陰極を接合する段付きの第１金属円筒
（２０１）と、前記第１金属円筒（２０１）を接合する
第２金属円筒（２０２）と、前記第２金属円筒（２０
２）を接合する金属板（２２１）と、前記金属板（２２
１）を接合する絶縁円柱（２２０）と、前記絶縁円柱
（２２０）の外周に接合する第３金属円筒（２６０）
と、前記第３金属円筒（２６０）に接合する段付きの第
４金属円筒（２１０）と、前記第４金属円筒（２１０）
に接合する段付きの絶縁円筒（２５０）と、前記絶縁円
筒（２５０）に接合する第５金属円筒（２７０）とを備
え、高周波部に接続するマイクロ波管用電子銃であっ
て、前記第５金属円筒を（２７０）接地し、前記絶縁円
柱（２２０）から電子銃のカソードリード線、ゲートリ
ード線及びアノードリード線を取り出すようにしてい
る。
【００１０】又、本発明においては、冷陰極を用いて、
前記絶縁円柱から電子銃のカソードリード線、ゲートリ
ード線及びアノードリード線を取り出してもよい。
前記絶縁円柱から電子銃のカソードリード線、ゲートリ
ード線及びアノードリード線を取り出してもよい。
【００１１】すなわち、本発明においては、絶縁円筒を
電子銃の真空外囲器として、電子銃の電極を、電子銃の
軸方向に取り出している。
電子銃の真空外囲器として、電子銃の電極を、電子銃の
軸方向に取り出している。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、本発明の
実施の形態について説明する。
実施の形態について説明する。
【００１３】図１は本発明の熱陰極電子銃の断面図であ
る。図１に示すように、本発明の熱陰極電子銃は、カソ
ード２００を接合する段付きの第１金属円筒２０１と、
前記第１金属円筒２０１を接合する第２金属円筒２０２
と、前記第２金属円筒２０２を接合する金属板２２１
と、前記金属板２２１を接合する絶縁円柱２２０と、前
記絶縁円柱２２０の外周に接合する第３金属円筒２６０
と、前記第３金属円筒２６０に接合する段付きの第４金
属円筒２１０と、前記第４金属円筒２１０に接合する段
付きの絶縁円筒２５０と、前記絶縁円筒２５０に接合す
る第５金属円筒２７０とを備え、高周波部に接続するマ
イクロ波管用電子銃である。
る。図１に示すように、本発明の熱陰極電子銃は、カソ
ード２００を接合する段付きの第１金属円筒２０１と、
前記第１金属円筒２０１を接合する第２金属円筒２０２
と、前記第２金属円筒２０２を接合する金属板２２１
と、前記金属板２２１を接合する絶縁円柱２２０と、前
記絶縁円柱２２０の外周に接合する第３金属円筒２６０
と、前記第３金属円筒２６０に接合する段付きの第４金
属円筒２１０と、前記第４金属円筒２１０に接合する段
付きの絶縁円筒２５０と、前記絶縁円筒２５０に接合す
る第５金属円筒２７０とを備え、高周波部に接続するマ
イクロ波管用電子銃である。
【００１４】すなわち、本発明のマイクロ波管用電子銃
は、カソード２００としては熱陰極を用いており、カソ
ード２００は段付きの第１金属円筒２０１に接合し、第
１金属円筒２０１は第２金属円筒２０２及びウェネルト
２０３に接合する。第２金属円筒２０２には、カソード
２００に内蔵されたヒータ２０４のリード線のうち第１
ヒータリード２０５が接続される。
は、カソード２００としては熱陰極を用いており、カソ
ード２００は段付きの第１金属円筒２０１に接合し、第
１金属円筒２０１は第２金属円筒２０２及びウェネルト
２０３に接合する。第２金属円筒２０２には、カソード
２００に内蔵されたヒータ２０４のリード線のうち第１
ヒータリード２０５が接続される。
【００１５】更に、絶縁円筒２２０の平面部には金属板
２２１を接合する。そして、金属板２２１にカソードリ
ード線２２２を接続する。
２２１を接合する。そして、金属板２２１にカソードリ
ード線２２２を接続する。
【００１６】また、カソード２００に内蔵されたヒータ
２０４のリード線のうち第２ヒータリード２０６は、ヒ
ータリード線２３１に接続する。そのため、金属板２２
１には貫通穴を設けて、金属板２２１とヒータリード線
２３１との接触を回避している。
２０４のリード線のうち第２ヒータリード２０６は、ヒ
ータリード線２３１に接続する。そのため、金属板２２
１には貫通穴を設けて、金属板２２１とヒータリード線
２３１との接触を回避している。
【００１７】アノード２４０は、第４金属円筒２１０に
接合し、この第４金属円筒２１０は、絶縁円筒２５０の
突き出し部内側に気密接合する。更に、第４段金属円筒
２１０は、絶縁円柱２２０の側面部で接合された第３金
属円筒２６０に気密接合し、アノードリード線２６１に
接続する。
接合し、この第４金属円筒２１０は、絶縁円筒２５０の
突き出し部内側に気密接合する。更に、第４段金属円筒
２１０は、絶縁円柱２２０の側面部で接合された第３金
属円筒２６０に気密接合し、アノードリード線２６１に
接続する。
【００１８】また、絶縁円筒２５０は、図示しない高周
波回路部と接合するための封入皿である第５金属円筒２
７０が取り付けられている。この図示しない高周波回路
部との接合部は、接地電位とするため、封入皿である第
５金属円筒２７０も接地電位となる。絶縁円筒２５０は
アノード−高周波回路部間の絶縁を保っており、外周部
は接地電位となる。
波回路部と接合するための封入皿である第５金属円筒２
７０が取り付けられている。この図示しない高周波回路
部との接合部は、接地電位とするため、封入皿である第
５金属円筒２７０も接地電位となる。絶縁円筒２５０は
アノード−高周波回路部間の絶縁を保っており、外周部
は接地電位となる。
【００１９】このように、本発明の熱陰極電子銃は、各
電極を電子銃の軸方向に取り出している。
電極を電子銃の軸方向に取り出している。
【００２０】又、電子銃の外周部は接地電位となり、そ
の電子銃の外周部には、更に絶縁を施す必要がなくな
る。
の電子銃の外周部には、更に絶縁を施す必要がなくな
る。
【００２１】また、高圧リード線導出部は、高圧部が露
出しているため、絶縁材を充填し、絶縁を保つ必要があ
る。そのため、本発明では、絶縁円柱２２０の端面を、
絶縁円筒２０５の内部に位置させている。そして、前記
絶縁円筒２５０の内部であって、前記絶縁円筒２５０
と、前記絶縁円柱２２０と、前記第３金属円筒２１０と
が作る空間に、絶縁材を充填するようにしている。これ
により、絶縁円筒２５０が、高圧リード線導出部に絶縁
材を充填する時の治具の機能を果す。
出しているため、絶縁材を充填し、絶縁を保つ必要があ
る。そのため、本発明では、絶縁円柱２２０の端面を、
絶縁円筒２０５の内部に位置させている。そして、前記
絶縁円筒２５０の内部であって、前記絶縁円筒２５０
と、前記絶縁円柱２２０と、前記第３金属円筒２１０と
が作る空間に、絶縁材を充填するようにしている。これ
により、絶縁円筒２５０が、高圧リード線導出部に絶縁
材を充填する時の治具の機能を果す。
【００２２】以上、本発明の熱陰極電子銃の実施形態に
ついて説明したが、これに限ることなく、本発明を冷陰
極電子銃に適用することもできる。
ついて説明したが、これに限ることなく、本発明を冷陰
極電子銃に適用することもできる。
【００２３】図２は、本発明の冷陰極電子銃の断面図で
ある。図２に示すように、この冷陰極電子銃において
は、カソード２００に設けられたフィラメント３００か
らゲートに向かって電子が電界放出される。このカソー
ド２００はカソードリード３０２を経てカソードリード
線２２２に接続されている。又、上記アノードはアノー
ドリード線２６１に接続されている。又、ゲートは、ゲ
ートリード３０３を経てゲートリード線３０１に接続さ
れている。尚、冷陰極部、すなわち電界放出部は、上述
のフィラメントに限らず半導体プロセスで形成されるも
のであってもよい。
ある。図２に示すように、この冷陰極電子銃において
は、カソード２００に設けられたフィラメント３００か
らゲートに向かって電子が電界放出される。このカソー
ド２００はカソードリード３０２を経てカソードリード
線２２２に接続されている。又、上記アノードはアノー
ドリード線２６１に接続されている。又、ゲートは、ゲ
ートリード３０３を経てゲートリード線３０１に接続さ
れている。尚、冷陰極部、すなわち電界放出部は、上述
のフィラメントに限らず半導体プロセスで形成されるも
のであってもよい。
【００２４】図３は、シリコン基板上に形成された電界
放出部の概念図である。図３に示すように、この電界放
出部においては、シリコン基板５１上に、電子放出を行
う金属５４、及び絶縁層５２上にゲート電極５３を形成
している。そして、シリコン基板５１とゲート電極５２
に電圧を印加して金属５３から電子を電界放出させる。
放出部の概念図である。図３に示すように、この電界放
出部においては、シリコン基板５１上に、電子放出を行
う金属５４、及び絶縁層５２上にゲート電極５３を形成
している。そして、シリコン基板５１とゲート電極５２
に電圧を印加して金属５３から電子を電界放出させる。
【００２５】
【発明の効果】以上説明した本発明によれば、電子銃の
電極を電子銃の軸方向に取り出すとともに、絶縁円筒を
真空外囲器として形成しているので、電子銃の外周部に
新たに金属円筒を設ける必要がない。従って、電子銃の
小型化、軽量化が可能となる。
電極を電子銃の軸方向に取り出すとともに、絶縁円筒を
真空外囲器として形成しているので、電子銃の外周部に
新たに金属円筒を設ける必要がない。従って、電子銃の
小型化、軽量化が可能となる。
【００２６】又、本発明によれば、絶縁円柱の端面を、
絶縁円筒の内部に位置させている。これにより、絶縁円
筒２５０が、高圧リード線導出部に絶縁材を充填する時
の治具の役目も果たしており、従来の電子銃で行ってい
る様に、別に設けた絶縁材固定用治具を取り付ける必要
がなくなり、製造工程が簡略化される。
絶縁円筒の内部に位置させている。これにより、絶縁円
筒２５０が、高圧リード線導出部に絶縁材を充填する時
の治具の役目も果たしており、従来の電子銃で行ってい
る様に、別に設けた絶縁材固定用治具を取り付ける必要
がなくなり、製造工程が簡略化される。
【図１】本発明の熱陰極電子銃の断面図。
【図２】本発明の冷陰極電子銃の断面図。
【図３】シリコン基板上に形成した冷陰極素子。
【図４】従来の熱陰極電子銃の断面図。
【図５】従来の冷陰極電子銃の断面図。
【符号の説明】 ２００ カソード ２０１ カソードを接合する段付きの第１金属円筒 ２０２ 第１金属円筒を接合する第２金属円筒 ２０３ ウエネルト ２０４ ヒータ ２０５ 第１ヒータリード ２０６ 第２ヒータリード ２１０ 第４金属円筒 ２２０ 絶縁円柱 ２２１ 金属板 ２２２ カソードリード線 ２３１ ヒータリード線 ２４０ アノード ２５０ 絶縁円筒 ２６０ 第３金属円筒 ２６１ アノードリード線 ２７０ 第５金属円筒 ３００ 冷陰極 ３０１ ゲートリード線 ３０２ カソードリード ３０３ ゲートリード
Claims (4)
- 【請求項１】 陰極を接合する段付きの第１金属円筒
（２０１）と、前記第１金属円筒（２０１）をウエネル
トを介して接合する第２金属円筒（２０２）と、前記第
２金属円筒（２０２）を接合する金属板（２２１）と、
前記金属板（２２１）を接合する絶縁円柱（２２０）
と、前記絶縁円柱（２２０）の外周に接合する第３金属
円筒（２６０）と、前記第３金属円筒（２６０）に接合
する段付きの第４金属円筒（２１０）と、前記第４金属
円筒（２１０）に接合する段付きの絶縁円筒（２５０）
と、前記絶縁円筒（２５０）に接合する第５金属円筒
（２７０）とを備え、高周波部に接続するマイクロ波管
用電子銃であって、 前記第５金属円筒（２７０）を接地し、 カソードリード線は、前記絶縁円柱（２２０）を貫通さ
せて前記第２金属円筒（２０２）に接合された前記金属
板（２２１）から取り出し、 アノードリード線は、前記第４金属円筒（２１０）に接
合された前記第３金属円筒（２６０）から取り出し、 ヒータリード線は、前記絶縁円柱（２２０）を貫通させ
更に前記金属板（２２１）を貫通させて第２ヒータリー
ド（２０６）から取り出し、 前記絶縁円柱（２２０）及び前記第４金属円筒（２１
０）及び前記第３金属円筒（２６０）の端面を、前記絶
縁円筒（２５０）の内部の大気側空間に位置させること
を特徴とするマイクロ波管用電子銃。 - 【請求項２】 前記絶縁円筒（２５０）の内部の大気側
空間に絶縁材を充填し、前記カソードリード線、前記ア
ノードリード線及びヒータリード線を互いに絶縁するこ
とを特徴とする請求項１記載のマイクロ波管用電子銃。 - 【請求項３】 陰極を接合する段付きの第１金属円筒
（２０１）と、前記第１金属円筒（２０１）をウエネル
トを介して接合する第２金属円筒（２０２）と、前記第
２金属円筒（２０２）を接合する金属板（２２１）と、
前記金属板（２２１）を接合する絶縁円柱（２２０）
と、前記絶縁円柱（２２０）の外周に接合する第３金属
円筒（２６０）と、前記第３金属円筒（２６０）に接合
する段付きの第４金属円筒（２１０）と、前記第４金属
円筒（２１０）に接合する段付きの絶縁円筒（２５０）
と、前記絶縁円筒（２５０）に接合する第５金属円筒
（２７０）とを備え、高周波部に接続するマイクロ波管
用電子銃であって、 前記第５金属円筒（２７０）を接地し、 カソードリード線は、前記絶縁円柱（２２０）を貫通さ
せて前記第２金属円筒（２０２）に接合された前記金属
板（２２１）から取り出し、 アノードリード線は、前記第４金属円筒（２１０）に接
合された前記第３金属円筒（２６０）から取り出し、 ゲートリード線は、前記円柱（２２０）を貫通させ更に
前記金属板（２２１）を貫通させてゲートリード（３０
３）から取り出し、 前記絶縁円柱（２２０）及び前記第４金属円筒（２１
０）及び前記第３金属円筒（２６０）の端面を、前記絶
縁円筒（２５０）の内部の大気側空間に位置させること
を特徴とするマイクロ波管用電子銃。 - 【請求項４】 前記絶縁円筒（２５０）の内部の大気側
空間に絶縁材を充填し、前記カソードリード線、前記ア
ノードリード線及び前記ゲートリード線を互いに絶縁す
ることを特徴とする請求項１記載のマイクロ波管用電子
銃。
Priority Applications (3)
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|---|---|---|---|
| JP20966098A JP3214670B2 (ja) | 1998-07-24 | 1998-07-24 | マイクロ波管用電子銃 |
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| EP99114549A EP0974999A1 (en) | 1998-07-24 | 1999-07-23 | Microwave electron gun |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20966098A JP3214670B2 (ja) | 1998-07-24 | 1998-07-24 | マイクロ波管用電子銃 |
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| JP2000048731A JP2000048731A (ja) | 2000-02-18 |
| JP3214670B2 true JP3214670B2 (ja) | 2001-10-02 |
Family
ID=16576500
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20966098A Expired - Lifetime JP3214670B2 (ja) | 1998-07-24 | 1998-07-24 | マイクロ波管用電子銃 |
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-
1999
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