JP3208062B2 - パージシステム及びパージ継手 - Google Patents

パージシステム及びパージ継手

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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造ライン
で使用される作用ガス配管系において、内部に残留して
いる使用ガスを不活性ガスに置換するためのパージシス
テムに関し、さらに詳細には、接続機器の交換のための
パージを短時間で効率的に行うことのできるパージシス
テムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来から、半導体製造ラインで使用され
るＣＶＤ装置等において、作用ガスとしてシランガス等
の毒性の強いガスが使われている。これらの装置におい
ては、作用ガスの配管系に接続する接続機器を交換した
り、保全するために取り外す必要が発生した場合に、内
部に滞留する作用ガスを不活性ガスに完全に置換する必
要がある。そのため、それら接続機器には、不活性ガス
によるパージガス配管系が接続されている。図５に従来
のパージシステムの配管系を示す。ＣＶＤ装置等の接続
機器１０１には、作用ガス及びパージガスを供給するた
めの配管が、バルブ１０５と継手１０４を介して接続さ
れている。継手１０４には、バルブ１０３と圧力調整弁
１０２とを介してパージガス供給源１１０が接続してい
る。また、継手１０４には、バルブ１１２を介して作用
ガスの供給源１１３が接続している。一方、接続機器１
０１には、作用ガスを回収するための出口１１１の配管
系が、バルブ１０６と継手１０７を介して接続されてい
る。継手１０７には、バルブ１０９を介して出口１１１
が接続し、置換されたガスを排出するためのベント１１
４がバルブ１０８を介して接続している。
【０００３】次に、上記構成を有するシステムにおいて
接続機器を交換する場合の手順を説明する。バルブ１１
２を閉じて作用ガスを遮断し、また、置換されたガスが
出口１１１に流入しないように、バルブ１０９も閉じ
る。そして、バルブ１０３とバルブ１０８とを開いて、
窒素ガス等のパージガスを接続機器１０１に流入させ、
作用ガスと窒素ガスの混合したガスをベント１１４へ排
出する。ここで、置換されたガスを出口１１１に排出せ
ずに、ベント１１４へ排出するようにしているのは、作
用ガスの供給配管系に窒素ガスの混合したガスを流す
と、水分、酸素等の混入の恐れがあり、後で問題となる
からである。
【０００４】しかし、上記システムには、次のような問
題があった。すなわち、ＣＶＤ装置等で使用される作用
ガスは極めて少量であり、配管系が元々少量のガスを流
す目的で設計されているため、配管系に大量の窒素ガス
を流すことが難しく、作用ガスを窒素ガスで十分置換す
るのに長時間かかってしまい、半導体製造工程の生産効
率を低下させる問題があった。その問題を解決するため
に、特公平４−１９８９９号公報では、配管系の一カ所
に接続することによって、作用ガスの抜き取りと窒素ガ
スの充満を行うことができる可搬型のガス置換装置が提
案されている。
【０００５】すなわち、排気用ポンプ、置換ガス供給
部、圧力計、ガスセンサ、タンク等を台車に搭載し、必
要な配管系の近くに移動させて、接続して置換を行うも
のである。これにより、次のような効果があるとしてい
る。すなわち、処理対象の配管系の排気／充気を速やか
に行うことができる。また、配管系への接続は一カ所だ
けであり、排ガスはタンクに蓄積されるので、全体を可
搬型にまとめることができ、従来の処理方式に較べて作
業性が格段に向上する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特公平
４−１９８９９号公報に記載されている従来のパージシ
ステムには、次のような問題があった。すなわち、パー
ジ装置自体は移動可能であるが、必要な配管に対して接
続する方法は全く開示されておらず、パージを行う毎に
接続を行わなければならないようであって、作業がきわ
めて煩雑である。また、配管を接続する場合金属が擦れ
合うためにパーティクルが発生する恐れがあり問題であ
る。近年半導体の高精度化に伴い、パーティクルの発生
防止が厳しく要求されおり、この問題は重要である。
【０００７】そこで、本発明は、上記問題点を解決すべ
く、パーティクルの発生がなくパージ時間が短くて済む
効率的なパージシステムを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明のパージシステム
は、次のような構成を有している。 （１）作用ガス配管系に接続されている接続機器を取り
外すために、該作用ガスを不活性ガスに置換するパージ
ガス配管系を有するパージシステムであって、継手ボデ
ィと雄ナット部材とを備え、前記継手ボディと前記雄ナ
ット部材とを螺合させることにより前記継手ボディに挿
通されたパイプと前記雄ナット部材に挿通されたパイプ
との間に配設したガスケットを押圧して弾性変形させた
状態で２本のパイプを接続する継手であり、前記２本の
パイプの接続する位置に、外部と連通する開口部を備え
るパージ用継手を有することを特徴とする。 （２）（１）に記載するパージシステムにおいて、前記
パージ用継手により２本のパイプの接続を解除する時、
または２本のパイプを接続する時に、前記不活性ガスに
よるパージを行うことを特徴とする。
【０００９】（３）（１）または（２）に記載するパー
ジシステムにおいて、前記パージ用継手の前記開口部に
接続され、２連弁とエゼクタとから構成されて、前記２
連弁を交互に作動させることにより、前記不活性ガスに
よるパージと、前記エゼクタによる真空排気とを交互に
行うことを特徴とする。 （４）（３）に記載するパージシステムにおいて、記２
連弁が、前記不活性ガスを作動ガスとするエアタイマー
を含むパージコントローラにより制御されることを特徴
とする。 （５）（１）に記載するパージシステムにおいて、前記
パージ用継手の前記開口部に接続するパージ用バルブを
有することを特徴とする。
【００１０】また、本発明のパージ用継手は、作用ガス
配管系に接続されている接続機器を取り外すために、該
作用ガスを不活性ガスに置換するための２本のパイプを
接続する継手であって、一方のパイプが挿通される継手
ボディと、他方のパイプが挿通される雄ナット部材を備
え、継手ボディと雄ナット部材とを螺合させることによ
り継手ボディに挿通されたパイプと雄ナット部材に挿通
されたパイプとの間に配設されたガスケットを押圧して
弾性変形させた状態で２本のパイプの接続する位置に、
外部と連通する開口部を有している。
【００１１】次に、上記構成を有するパージシステム及
びパージ用継手の作用を説明する。接続機器であるＣＶ
Ｄ装置を取り外すことは、継手を外すことにより行われ
る。継手は、ネジ込みにより密閉空間を作る方式が一般
的に使用されており、継手を外すときには、ネジ込まれ
ているネジを弛める。これにより、接続されている２本
のパイプ間に隙間が発生する。そして、その隙間から内
部に残存している作用ガスが漏れ出ようとする。このと
き、２本のパイプの接続する位置に開口部があり、その
開口部が、２連弁とエゼクタとに接続されているので、
始めに、数秒間エゼクタにより、残存する作用ガスが吸
引される。吸引された作用ガスは、ベントへ排出され
る。
【００１２】次に、パージコントローラにより、２連弁
が切り替えられる。パージコントローラは、エア駆動の
タイマーであるエアタイマーにより所定の時間経過によ
り、２連弁を切り替え制御している。パージコントロー
ラは、エアにより駆動され、電気を使用していないの
で、作用ガスが爆発性の場合でも、特別の防爆対策を行
わなくても安全に使用することができる。ここで、エア
タイマー等のパージコントローラを不活性ガスである窒
素ガスにより駆動しても良い。窒素ガスは、パージシス
テムに常に供給されているため、特別の配管を必要とせ
ず、便利である。
【００１３】２連弁の切替により、開口部は、エゼクタ
との連通が遮断され、パージ用窒素ガスの供給源と連通
される。これにより、窒素ガスが２本のパイプの隙間か
ら内部に流入して、壁面等に付着して残存している作用
ガスと混合する。数秒後に、再びパージコントローラが
２連弁を切り替えて、開口部との接続を窒素ガス供給源
からエゼクタに切り替える。これにより、内部にあっ
て、残存する作用ガスと混合した窒素ガスを吸引する。
【００１４】エアタイマーの動作により、エゼクタによ
る吸引と窒素ガスによるパージとを交互に行って、十数
秒間で内部の作用ガスを窒素ガスに全て置換することが
できる。従って、継手を外すという必要な作業と平行し
て、パージが行われるので、きわめて効率的に接続機器
を取り外すことができる。また、接続機器を取り付ける
場合にも、取付作業中にエゼクタによる吸引と窒素ガス
によるパージとが平行して行われるため、内部の空気を
全て窒素ガスに置換することを効率的に行うことができ
る。
【００１５】
【発明の実施の形態】次に、本発明のパージシステム及
びパージ用継手の一実施の形態を図面に基づいて詳細に
説明する。図１にパージシステムの全体構成を示し、図
２にパージ継手の構造を示す。また、図３にパージ継手
の分解図を示す。また、図４にパージシステムの配管系
を示す。始めに、図２及び図３に基づいてパージ継手１
１の構造を説明する。パージ継手１１は、２本のパイプ
１２Ａ，１２Ｂを接続するための継手である。図２
（ｂ）は、パージ継手１１の断面図であり、図２（ａ）
は図２（ｂ）の右側面図である。図３（ａ）は、パイプ
１２Ｂ、雄ナット部材１３等を示し、図３（ｂ）は、パ
イプ１２Ｂ、継手ボディ１４等を示している。
【００１６】継手ボディ１４の右端面には、６つのスパ
ナ掛け孔１４ｄが形成されている。右側のパイプ１２Ａ
は、継手ボディ１４の右端面中央に形成された孔から継
手ボディ１４内部に挿入されている。継手ボディ１４に
は、内部空間１４ｂが形成されており、パイプ１２Ａ
は、内部空間１４ｂの途中まで挿入されている。パイプ
１２Ａの外周には、パイプ溝が形成されており、断面が
くさび形状のインナーフェルール１６Ａが、パイプ溝に
嵌合されている。インナーフェルール１６Ａは、周囲に
複数の溝が形成され、広げられてパイプ溝に装着され
る。インナーフェルール１６Ａは、溝と嵌合しており、
インナーフェルール１６Ａとパイプ１２Ａとはパイプの
軸線方向について一体的に動く。インナーフェルール１
６Ａの右側には、アウターフェルール１５Ａが、インナ
ーフェルール１６Ａのくさびと組み合わされてセットさ
れている。アウターフェルール１５Ａの右端面にはスラ
スト軸受が組み込まれており、継手ボディ１４を回転さ
せてもパイプ１２Ａが回転しない構造となっている。
【００１７】一方、内部空間１４ｂは、継手ボディ１４
の左端面まで貫通しており、また、左端面近くは段差が
付いて大径になっており、その大径部内周には雌ねじ１
４ａが形成されている。雌ねじ１４ａには、ナット部材
１３の外側に形成された雄ねじ１３ａがねじ込まれてい
る。ナット部材１３の中心には孔が形成され、その孔か
ら左側のパイプ１２Ｂが内部空間１４ｂ内に挿入されて
いる。また、ナット部材１３の左端面には、６つのスパ
ナ掛け孔１３ｂが形成されている。パイプ１２Ｂの外周
には、パイプ溝が形成されており、断面がくさび形状の
インナーフェルール１６Ｂがパイプ溝に嵌合されてい
る。インナーフェルール１６Ｂは、パイプの軸線方向に
ついてパイプ１２Ｂと一体的に動く。インナーフェルー
ル１６Ｂは、周囲に複数の溝が形成され、広げられてパ
イプ溝に装着される。
【００１８】インナーフェルール１６Ｂの左側に、アウ
ターフェルール１５Ｂが組み合わされてセットされてい
る。アウターフェルール１５Ｂの左端面には、スラスト
軸受が組み込まれており、ナット部材１３を回転しても
パイプ１２Ｂが回転しない構造となっている。また、ア
ウターフェルール１５Ｂの左端面は、ナット部材１３の
右端面に当接している。また、パイプ１２Ｂの先端に
は、中央部に孔が形成されたガスケット１９が装着され
ている。ガスケット１９は、軟金属製でありパイプ１２
Ａとパイプ１２Ｂとで挟まれて、押圧されつぶされてガ
ス漏れを防止するシールの役割を果たす。
【００１９】また、パイプ１２Ａとパイプ１２Ｂとの接
続する位置、すなわち両者の隙間の位置に、外部開口１
４ｃが形成されている。図２（ａ）に示すように、外部
開口は、外部継手１８の中央に形成された外部開口１８
ａに接続している。外部継手１８の外周には、雄ねじが
形成されている。図３が、パイプ１２Ａとパイプ１２Ｂ
とが分離された状態であり、図３の状態から、パイプ１
２Ａとパイプ１２Ｂとをガスケット１９を挟んで当接さ
せ、継手ボディ１４に対してナット部材１３をねじ込ん
でゆく。このとき、スパナ掛け孔１３ｂ及びスパナ掛け
孔１４ｄによりスパナでねじ込みが行われる。次に、上
記パージ継手１１の作用を説明する。ただし、外部開口
１４ｃの作用については、後でパージシステムとして詳
細に説明する。
【００２０】ナット部材１３が継手ボディ１４にねじ込
まれることにより、アウターフェルール１５Ｂが右方向
に押圧される。そして、アウターフェルール１５Ｂがく
さびによりインナーフェルール１６Ｂを右方向に押圧
し、インナーフェルール１６Ｂがパイプ溝を介してパイ
プ１２Ｂを右方向に押圧する。パイプ１２Ｂは、ガスケ
ット１９を介してパイプ１２Ａと当接され、さらに押圧
される。ここで、ナット部材１３がアウターフェルール
１５Ｂを押圧していくときに、スラスト軸受があるの
で、パイプ１２Ｂは回転しないで移動できる。
【００２１】一方、パイプ１２Ａは、パイプ溝を介して
インナーフェルール１６Ａを右方向に押圧する。インナ
ーフェルール１６Ａの押圧力は、アウターフェルール１
５Ａを介して継手ボディ１４により受けられる。ここ
で、アウターフェルール１５Ａが継手ボディ１４を押圧
するときに、スラスト軸受があるので、パイプ１２Ａは
回転しないで移動できる。従って、ナット部材１３を継
手ボディ１４にねじ込むことにより、パイプ１２Ｂとパ
イプ１２Ａとで、両側からガスケット１９を挟んで押圧
でき、ガスケット１９を押しつぶしてシールすることが
できる。このとき、パイプ１２Ａとパイプ１２Ｂとが当
接する位置、すなわちガスケット１９の位置は、常に所
定の位置となり、その位置に対応して、外部開口１４ｃ
が形成されている。
【００２２】次に、パージシステム全体の構成を図１及
び図４に基づいて説明する。図４にパージシステムの全
体構成を示す。従来と同じ構成要素については、図５と
同じ符号を付している。ＣＶＤ装置等の接続機器１０１
には、作用ガス及びパージガスを供給するための配管
が、バルブ１０５とパージ継手１１を介して接続されて
いる。パージ継手１１のパイプ１２Ａには、バルブ１０
３と圧力調整弁１０２とを介してパージガス供給源１１
０が接続している。同じく、パージ継手１１のパイプ１
２Ａには、バルブ１１２を介して作用ガスの供給源１１
３が接続している。一方、接続機器１０１には、作用ガ
スを回収するための出口１１１の配管系が、バルブ１０
６と継手１０７を介して接続されている。継手１０７に
は、バルブ１０９を介して出口１１１が接続している。
【００２３】また、パージ継手１１の外部継手１８に
は、パージユニット２１が接続している。パージユニッ
ト２１は、図１に示すように、排気バルブ２３、パージ
ガスバルブ２４、エゼクタ２５から構成されている。排
気バルブ２３は、エゼクタ２５を介して排気ベント２６
に接続し、また、パージ継手１１の外部継手１８に接続
し、また、パージガスバルブ２４に接続している。パー
ジガスバルブ２４は、エゼクタ２５を介して排気ベント
２６に接続し、また、パージガス源３１に接続してい
る。また、排気バルブ２３及びパージガスバルブ２４の
制御部は、パージコントローラ２２のマスターバルブ２
７、手動弁３２に接続している。パージコントローラ２
２は、マスターバルブ２７、第一エアタイマ２８、第二
エアタイマ２９、手動弁３２から構成されている。マス
ターバルブ２７の制御部は、第一エアタイマ２８及び第
二エアタイマ２９に接続している。また、マスターバル
ブ２７は、駆動圧源３０に接続している。本実施の形態
では、駆動圧源３０としてパージガスである窒素ガスを
兼用している。パージガスの配管が近くにあって、特別
な配管を必要とせず便利だからである。
【００２４】次に、上記構成を有するシステムにおいて
接続機器１０１を交換する場合の手順を説明する。始め
に、パージ継手１１を外す場合を説明する。バルブ１１
２を閉じて作用ガスを遮断し、また、置換されたガスが
出口１１１に流入しないように、バルブ１０９を閉じ
る。一方、準備段階として、エゼクタ２５にパージガス
を供給してエゼクタ２５を稼働状態としておく。次に、
駆動圧を供給すると、排気バルブ２３が動作して、パー
ジ継手１１の排気が開始する。そして、パージ継手１１
において、継手ボディ１４に対してナット部材１３のね
じ込みを弛める。
【００２５】同時に、手動弁３２をオンすることによ
り、第一エアタイマ２８にエアの充填が始まる。その
間、駆動圧は、排気バルブ２３をオンして、エゼクタ２
５により継手ボディ１４内の残留ガスを排気する。一
方、第二エアタイマ２９は、駆動圧の供給がないので停
止していて、パージガスバルブ２４はオフしている。第
一エアタイマ２８への駆動圧の充填が完了すると、第一
エアタイマ２８が切り換わって、マスターバルブ２７を
切り換える。マスターバルブ２７が切り換わると、第一
エアタイマ２８への駆動圧充填は停止し、充填圧はマス
ターバルブ２７経由で排気される。排気バルブ２３は同
時にオフ状態となる。
【００２６】一方、マスターバルブ２７が切り換わる
と、第二エアタイマ２９への駆動圧充填を開始し、ま
た、駆動圧はパージガスバルブ２４をオンして、パージ
ガス源３１と外部継手１８とが連通され、パージ継手１
１内にパージガスを封入する。第二エアタイマ２９への
駆動圧の充填が完了すると、第二エアタイマ２９が切り
換わってマスターバルブ２７を切り換える。マスターバ
ルブ２７が切り換わると、第二エアタイマ２９への駆動
圧の充填は停止し、充填圧はマスターバルブ２７経由で
排気される。この第一エアタイマ２８及び第二エアタイ
マ２９が交互にタイムアップすることにより、パージと
吸引とが交互に行われる。本実施の形態では、第一エア
タイマ２８と第二エアタイマ２９のタイムアップ時間を
１秒にセットしてあるので、１秒毎にパージと吸引とを
繰り返す。そして、繰り返し回数は、１０回程度で十分
なので、２０秒程度でパージシステムを停止させる。
【００２７】パージシステムを停止する場合は、手動弁
３２をオフする。最初の排気状態にあるときは、第一エ
アタイマ２８への駆動圧充填が停止する。排気バルブ２
３はオンで、エゼクタ２５により排気する状態を維持す
る。続いて、駆動圧の供給を停止すると、排気バルブ２
３がオフして、外部開口１４ｃは排気状態を維持する。
パージガスの供給を停止すると、エゼクタ２５が停止す
る。一方、パージガスを封入しているときは、パージガ
スバルブ２４がオン状態で第二エアタイマ２９への駆動
圧の充填が完了すると、第二エアタイマ２９が切り換わ
って、マスターバルブ２７が切り換わる。しかし、手動
弁３２がオフされているので、第一エアタイマ２８への
駆動圧の充填がされない状態で、駆動圧は、排気バルブ
２３をオンして、エゼクタ２５でパージ継手１１を排気
状態で維持する。パージガスの供給を停止するとエゼク
タ２５が停止する。これにより、パージ継手１１を外し
ても、内部の作用ガスは、窒素ガスに置換されているた
め、安全である。パージ継手１１を組み込む場合は、取
り外す場合の逆の動作を行えばよいので、詳細な説明を
省略する。
【００２８】以上詳細に説明したように、本実施の形態
のパージシステムによれば、作用ガス配管系に接続され
ている接続機器１０１を取り外すために、該作用ガスを
不活性ガスに置換するパージガス配管系を有するパージ
システムにであって、継手ボディ１４と雄ナット部材１
３とを備え、継手ボディ１４と雄ナット部材１３とを螺
合させることにより継手ボディ１４に挿通されたパイプ
１２Ａと雄ナット部材１３に挿通されたパイプ１２Ｂと
の間に配設したガスケット１９を押圧して弾性変形させ
た状態でパイプ１２Ａとパイプ１２Ｂとを接続する継手
であり、パイプ１２Ａとパイプ１２Ｂとを接続する位置
に、外部と連通する開口部１４ｃを備えているので、通
常配管状態でパージを行うことができるため、迅速かつ
簡便に接続機器１０１を取り外すことができる。また、
パージ継手１１によりパイプ１２Ａとパイプ１２Ｂとの
接続を解除する時、またはパイプ１２Ａとパイプ１２Ｂ
とを接続する時に、不活性ガスによるパージを行ってい
るので、パージのための余分な時間を大幅に節約するこ
とができる。
【００２９】また、パージ継手１１の外部開口１４ｃに
接続され、排気バルブ２３、パージガスバルブ２４、エ
ゼクタ２５から構成されて、排気バルブ２３とパージガ
スバルブ２４とを交互に作動させることにより、不活性
ガスによるパージと、エゼクタ２５による真空排気とを
交互に行っているので、通常配管状態でパージを行うこ
とができるため、迅速かつ簡便に接続機器１０１を取り
外すことができる。また、排気バルブ２３とパージガス
バルブ２４とが、不活性ガスを作動ガスとする第一エア
タイマ２８と第二エアタイマ２９とを含むパージコント
ローラ２２により制御されているので、電気系統を使用
していないため、防爆性が高く、作用ガスとして爆発性
のガスを使用しても問題がない。
【００３０】以上本発明について説明したが、本発明
は、上記実施の形態に限定されることなく、色々な応用
が可能である。例えば、本実施の形態では、手動弁でパ
ージシステムを稼働させているが、パージ継手１１を外
すのを検出して自動的にパージシステムを稼働させても
良い。また、本実施の形態では吸引をエゼクタ２５によ
り行っているが、真空ポンプと接続して行っても良い。
【００３１】
【発明の効果】本発明のパージシステムによれば、作用
ガス配管系に接続されている接続機器を取り外すため
に、該作用ガスを不活性ガスに置換するパージガス配管
系を有するパージシステムであって、継手ボディと雄ナ
ット部材とを備え、継手ボディと雄ナット部材とを螺合
させることにより継手ボディに挿通されたパイプと雄ナ
ット部材に挿通されたパイプとの間に配設したガスケッ
トを押圧して弾性変形させた状態で２つのパイプを接続
する継手であり、２つのパイプの接続する位置に、外部
と連通する開口部を備えているので、通常配管状態でパ
ージを行うことができるため、迅速かつ簡便に接続機器
を取り外すことができる。また、パージ継手により２つ
のパイプの接続を解除する時、または２つのパイプを接
続する時に、不活性ガスによるパージを行っているの
で、パージのための余分な時間を大幅に節約することが
できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のパージシステムの配管系を示す配管図
である。
【図２】パージ継手１１の構成を示す断面図である。
【図３】パージ継手１１の分解断面図である。
【図４】本発明のパージシステムの全体構成を示すシス
テム図である。
【図５】従来のパージシステムの全体構成を示すシステ
ム図である。
【符号の説明】
１１ パージ継手 １２ パイプ １３ ナット部材 １４ 継手ボディ １４ｃ 外部開口 １５ アウターフェルール １６ インナーフェルール １８ 外部継手 ２１ パージユニット ２２ パージコントローラ ２３ 排気バルブ ２４ パージガスバルブ ２５ エゼクタ ２７ マスターバルブ ２８ 第一エアタイマ ２９ 第二エアタイマ ３２ 手動弁
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B01J 4/00 - 4/04 F17D 1/00 - 5/08

Claims (6)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 作用ガス配管系に接続されている接続機
    器を取り外すために、該作用ガスを不活性ガスに置換す
    るパージガス配管系を有するパージシステムにおいて、継手ボディと雄ナット部材とを備え、前記継手ボディと
    前記雄ナット部材とを螺合させることにより前記継手ボ
    ディに挿通されたパイプと前記雄ナット部材に挿通され
    たパイプとの間に配設したガスケットを押圧して弾性変
    形させた状態で ２本のパイプを接続する継手であり、前
    記２本のパイプの接続する位置に、外部と連通する開口
    部を備えるパージ用継手を有することを特徴とするパー
    ジシステム。
  2. 【請求項２】 請求項１に記載するパージシステムにお
    いて、 前記パージ用継手により２本のパイプの接続を解除する
    時、または２本のパイプを接続する時に、前記不活性ガ
    スによるパージを行うことを特徴とするパージシステ
    ム。
  3. 【請求項３】 請求項１または請求項２に記載するパー
    ジシステムにおいて、 前記パージ用継手の前記開口部に接続され、２連弁とエ
    ゼクタとから構成されて、前記２連弁を交互に作動させ
    ることにより、前記不活性ガスによるパージと、前記エ
    ゼクタによる真空排気とを交互に行うことを特徴とする
    パージシステム。
  4. 【請求項４】 請求項３に記載するパージシステムにお
    いて、 前記２連弁が、前記不活性ガスを作動ガスとするエアタ
    イマーを含むパージコントローラにより制御されること
    を特徴とするパージシステム。
  5. 【請求項５】 請求項１に記載するパージシステムにお
    いて、 前記パージ用継手の前記開口部に接続するパージ用バル
    ブを有することを特徴とするパージシステム。
  6. 【請求項６】 作用ガス配管系に接続されている接続機
    器を取り外すために、該作用ガスを不活性ガスに置換す
    るための２本のパイプを接続する継手において、一方のパイプが挿通される継手ボディと、他方のパイプ
    が挿通される雄ナット部材を備え、前記継手ボディと前
    記雄ナット部材とを螺合させることにより前記継手ボデ
    ィに挿通されたパイプと前記雄ナット部材に挿通された
    パイプとの間に配設されたガスケットを押圧して弾性変
    形させた状態で 前記２本のパイプの接続する位置に、外
    部と連通する開口部を有することを特徴とするパージ用
    継手。
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Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3208062B2 (ja) * 1996-07-15 2001-09-10 シーケーディ株式会社 パージシステム及びパージ継手
FR2791809B1 (fr) * 1999-04-01 2001-06-15 Air Liquide Procede et dispositif de traitement d'articles stockes dans des conteneurs et appareil de stockage dote d'un tel dispositif
JP2002064104A (ja) * 2000-08-16 2002-02-28 Tokyo Electron Ltd ガス処理装置
US7264013B2 (en) * 2005-05-13 2007-09-04 Air Products And Chemicals, Inc. Enhanced purge effect in gas conduit
CN102853252B (zh) * 2012-08-31 2015-08-12 成都爱德工程有限公司 用于高纯安全特气的钢瓶更换方法
CN213409682U (zh) * 2020-07-02 2021-06-11 上海龙阳精密复合铜管有限公司 一种铜管在线自动吹扫装置
CN113390556A (zh) * 2021-06-18 2021-09-14 湖南苍树航天科技有限公司 一种集成式单向吹扫的压力测量仪
CN113663992A (zh) * 2021-07-30 2021-11-19 上海宝冶集团有限公司 多级压缩空气管路快速吹扫法

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3151887A (en) * 1963-01-08 1964-10-06 James R Barry Pressure flush radiator cap
US3425717A (en) * 1966-02-14 1969-02-04 Production Control Units Inc Tube coupling assembly
PL73732B1 (ja) * 1970-10-31 1974-10-30
JPH0419899A (ja) * 1990-05-11 1992-01-23 Mitsubishi Electric Corp 半導体記憶装置のためのテスト装置
US5137047A (en) * 1990-08-24 1992-08-11 Mark George Delivery of reactive gas from gas pad to process tool
US5749389A (en) * 1993-12-22 1998-05-12 Liquid Air Corporation Purgeable connection for gas supply cabinet
JP3208062B2 (ja) * 1996-07-15 2001-09-10 シーケーディ株式会社 パージシステム及びパージ継手

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