JP3200316B2 - 振動アクチュエータ - Google Patents
振動アクチュエータInfo
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は定在波により駆動力を得
る振動アクチュエータに関するものである。
る振動アクチュエータに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、超音波振動を利用した超音波モー
タとして、弾性振動体に発生した定在波を用いる定在波
型リニア超音波モータが知られている。これは、弾性振
動体に貼り合わされた振動子に特定周波数の電圧を印加
することで前記弾性振動体に屈曲振動と縦振動を励起さ
せ、弾性振動体に設けた運動抽出部を介して駆動力を得
るものである。
タとして、弾性振動体に発生した定在波を用いる定在波
型リニア超音波モータが知られている。これは、弾性振
動体に貼り合わされた振動子に特定周波数の電圧を印加
することで前記弾性振動体に屈曲振動と縦振動を励起さ
せ、弾性振動体に設けた運動抽出部を介して駆動力を得
るものである。
【０００３】次に図６を用いて定在波型リニア超音波モ
ータの駆動原理について簡単に説明する。
ータの駆動原理について簡単に説明する。
【０００４】図において、５１は移動体、５２は弾性部
材からなる振動体、５２ａ、５２ｂは弾性振動体に一体
的に設けられた運動抽出部、５３は弾性振動体５２に縦
振動と屈曲振動を励起させるための圧電振動子、５２
ａ、５３ｂ、５３ｃは圧電振動子５３に特定周波数の電
圧を印加するための電極膜である。尚、印加回路につい
ては不図示とした。
材からなる振動体、５２ａ、５２ｂは弾性振動体に一体
的に設けられた運動抽出部、５３は弾性振動体５２に縦
振動と屈曲振動を励起させるための圧電振動子、５２
ａ、５３ｂ、５３ｃは圧電振動子５３に特定周波数の電
圧を印加するための電極膜である。尚、印加回路につい
ては不図示とした。
【０００５】前述のような構成において、電極膜５３
ａ、５３ｂに互いに位相の９０°異なる特定周波数の電
圧を印加すると、圧電振動子５３はその周波数で伸縮を
くり返す。この圧電振動子５３の伸縮によって、弾性振
動体５２に縦振動と屈曲振動が励起され、さらには運動
抽出部５２ａ、５２ｂはそれぞれ同方向に回転する楕円
運動を行う。そこで、運動抽出部５２ａ、５２ｂに移動
体５１を加圧接触させれば、移動体５１は例えば矢印方
向に移動する。
ａ、５３ｂに互いに位相の９０°異なる特定周波数の電
圧を印加すると、圧電振動子５３はその周波数で伸縮を
くり返す。この圧電振動子５３の伸縮によって、弾性振
動体５２に縦振動と屈曲振動が励起され、さらには運動
抽出部５２ａ、５２ｂはそれぞれ同方向に回転する楕円
運動を行う。そこで、運動抽出部５２ａ、５２ｂに移動
体５１を加圧接触させれば、移動体５１は例えば矢印方
向に移動する。
【０００６】尚、図５では屈曲振動は４次モード、縦振
動は１次モードとしたが、駆動力を得られればこれに限
るものではない。
動は１次モードとしたが、駆動力を得られればこれに限
るものではない。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
例では、電圧印加用のリード線が圧電振動子の面に直接
半田付け等により取りつけられていたため、圧電振動子
を積層することが半田付け等による接続構造により困難
であり、積層により駆動電圧を下げたり、楕円運動の振
幅を増大させ駆動力を増大させたりすることが難しい。
例では、電圧印加用のリード線が圧電振動子の面に直接
半田付け等により取りつけられていたため、圧電振動子
を積層することが半田付け等による接続構造により困難
であり、積層により駆動電圧を下げたり、楕円運動の振
幅を増大させ駆動力を増大させたりすることが難しい。
【０００８】そこで本発明の目的は、振動子を複数枚重
ねた積層構造にしても、電圧印加用配線が簡易に振動子
に取り付けられるような構造を提供することである。
ねた積層構造にしても、電圧印加用配線が簡易に振動子
に取り付けられるような構造を提供することである。
【０００９】又、本発明の目的は振動子への電圧印加供
給のための接続作業の簡易な構造を提供することであ
る。
給のための接続作業の簡易な構造を提供することであ
る。
【００１０】
【課題を解決するための手段および作用】本発明は振動
子によって振動体に屈曲振動及び縦振動を励振させ、定
在波によって駆動力を得るものであって、振動体に発生
する屈曲振動又は縦振動の節に対応する位置に振動子へ
の電圧印加用突起部を弾性振動体及び振動子に設けた振
動アクチュエータを特徴とする。
子によって振動体に屈曲振動及び縦振動を励振させ、定
在波によって駆動力を得るものであって、振動体に発生
する屈曲振動又は縦振動の節に対応する位置に振動子へ
の電圧印加用突起部を弾性振動体及び振動子に設けた振
動アクチュエータを特徴とする。
【００１１】本発明は前記振動体を積層配置し、前記突
起部を側面位置に形成した振動アクチュエータを特徴と
する。
起部を側面位置に形成した振動アクチュエータを特徴と
する。
【００１２】本発明は前記振動子の両面に電極膜を設け
た振動アクチュエータを特徴とする。
た振動アクチュエータを特徴とする。
【００１３】本発明は前記振動子に設けた前記突起部
と、前記振動体に設けた前記突起部とは重なる位置に設
定したことを特徴とする振動アクチュエータを特徴とす
る。
と、前記振動体に設けた前記突起部とは重なる位置に設
定したことを特徴とする振動アクチュエータを特徴とす
る。
【００１４】本発明は複数の前記振動子に設けた複数の
前記突起部を重なる位置に設定したことを特徴とする振
動アクチュエータを特徴とする。
前記突起部を重なる位置に設定したことを特徴とする振
動アクチュエータを特徴とする。
【００１５】
（第１の実施例）第一の実施例を図を用いて説明する。
【００１６】図１は第一の実施例の特徴を最もよく表す
図であり、同図において１１は移動体、１２は弾性部材
からなる振動体、１２ａ、１２ｂは振動体１２に一体
的、あるいはエポキシ接着剤等により一体化された突出
した伝達部としての運動抽出部である。また、１３は振
動体１２に取り付けられ縦振動と屈曲振動を励起させる
ための振動子としての圧電振動子。１３ａ、１３ｂは圧
電振動子１３の表面に設けられ、特定周波数の電圧を印
加するための電極膜である。尚、前述した特定周波数と
は弾性振動体の共振周波数の略近傍の周波数、又は同一
の周波数とする。
図であり、同図において１１は移動体、１２は弾性部材
からなる振動体、１２ａ、１２ｂは振動体１２に一体
的、あるいはエポキシ接着剤等により一体化された突出
した伝達部としての運動抽出部である。また、１３は振
動体１２に取り付けられ縦振動と屈曲振動を励起させる
ための振動子としての圧電振動子。１３ａ、１３ｂは圧
電振動子１３の表面に設けられ、特定周波数の電圧を印
加するための電極膜である。尚、前述した特定周波数と
は弾性振動体の共振周波数の略近傍の周波数、又は同一
の周波数とする。
【００１７】さらに、振動体１２には縦振動及び屈曲振
動の節であるその長手方向中心位置に突起部１２ｄが、
また圧電振動子１３には振動体１２の長手方向中心位置
に発生する縦振動及び屈曲振動の節に対応する位置にＴ
字型をした突起部１３ｄが設けてある。
動の節であるその長手方向中心位置に突起部１２ｄが、
また圧電振動子１３には振動体１２の長手方向中心位置
に発生する縦振動及び屈曲振動の節に対応する位置にＴ
字型をした突起部１３ｄが設けてある。
【００１８】また、図からわかるように突起部１２ｄは
突起部１３ｄより若干凸量が多くなっている。
突起部１３ｄより若干凸量が多くなっている。
【００１９】図２は、図１で示した圧電振動子を２枚重
ねて積層構造にした場合の図である。尚、同じ構成部品
については同じ符号を付した。同図において、１５は１
３と同じ圧電振動子であり、また、１５ａ、１５ｂ、１
５ｃは圧電振動子１５の表面に設けられた、１３ａ、１
３ｂ、１３ｃと同様に特定周波数の電圧を印加するため
の電極膜である。さらに、弾性振動体１２の長手方向中
心位置に突起部１５ｄを設けてあり、その一方の面には
前述した電極膜１５ｃがその先端まで設けてある。
ねて積層構造にした場合の図である。尚、同じ構成部品
については同じ符号を付した。同図において、１５は１
３と同じ圧電振動子であり、また、１５ａ、１５ｂ、１
５ｃは圧電振動子１５の表面に設けられた、１３ａ、１
３ｂ、１３ｃと同様に特定周波数の電圧を印加するため
の電極膜である。さらに、弾性振動体１２の長手方向中
心位置に突起部１５ｄを設けてあり、その一方の面には
前述した電極膜１５ｃがその先端まで設けてある。
【００２０】図１又は図２に示した電極膜に互いに９０
°位相の異なる電圧、例えばｓｉｎｗｔ、ｃｏｓ ｗｔ
で示される電圧を印加すると、圧電振動子１３、１５は
伸縮をくり返す。これによって弾性振動体１２に縦振動
及び屈曲振動が励起され、さらには運動抽出部１２ａ、
１２ｂそれぞれ同方向に回転する楕円運動を行い移動体
１１を矢印方向へ駆動する。
°位相の異なる電圧、例えばｓｉｎｗｔ、ｃｏｓ ｗｔ
で示される電圧を印加すると、圧電振動子１３、１５は
伸縮をくり返す。これによって弾性振動体１２に縦振動
及び屈曲振動が励起され、さらには運動抽出部１２ａ、
１２ｂそれぞれ同方向に回転する楕円運動を行い移動体
１１を矢印方向へ駆動する。
【００２１】図３は、弾性振動体には突起部を設けず
に、電極膜１３ｃを突起部１３ｄの先端まで設けた場合
の実施例である。このように構成してももちろん実施で
きる。
に、電極膜１３ｃを突起部１３ｄの先端まで設けた場合
の実施例である。このように構成してももちろん実施で
きる。
【００２２】（第２の実施例）次に第２の実施例を図を
用いて説明する。
用いて説明する。
【００２３】図４は第２の実施例の特徴を最もよく表す
図であり、同図において、前述した構成部品については
同じ符号を付し、その説明を省略する。
図であり、同図において、前述した構成部品については
同じ符号を付し、その説明を省略する。
【００２４】図４は、圧電振動子を３枚積層した場合の
構成を示す。３３、３５、３７はそれぞれ両面に電極層
を有した圧電振動子である。それぞれの圧電振動子には
弾性振動体１２に発生する屈曲振動の節に対応した位置
に、電圧印加用の突起部が設けてある。具体的に述べる
と圧電振動子３３には、弾性振動体１２の長手方向軸中
心の左右対称な位置に発生する屈曲振動の節に対応した
位置に設けた２つの突起部３３ｅ、３３ｆがある。そし
て、この突起部３３ｅ、３３ｆには互いに９０°位相の
異なる特定周波数の電圧を印加する。また、圧電振動子
３５には弾性振動体１２の長手方向軸中心に発生する屈
曲振動の節に対応した位置に１つの突起部３５ｄがあ
る。この突起部３５ｄには基準電圧、例えばグランド電
位が印加される。
構成を示す。３３、３５、３７はそれぞれ両面に電極層
を有した圧電振動子である。それぞれの圧電振動子には
弾性振動体１２に発生する屈曲振動の節に対応した位置
に、電圧印加用の突起部が設けてある。具体的に述べる
と圧電振動子３３には、弾性振動体１２の長手方向軸中
心の左右対称な位置に発生する屈曲振動の節に対応した
位置に設けた２つの突起部３３ｅ、３３ｆがある。そし
て、この突起部３３ｅ、３３ｆには互いに９０°位相の
異なる特定周波数の電圧を印加する。また、圧電振動子
３５には弾性振動体１２の長手方向軸中心に発生する屈
曲振動の節に対応した位置に１つの突起部３５ｄがあ
る。この突起部３５ｄには基準電圧、例えばグランド電
位が印加される。
【００２５】さらに、圧電振動子３７には、圧電振動子
３３と同様に振動体１２の長手方向軸中心の左右対称な
位置に発生する屈曲振動の節に対応した位置に２つの突
起部３７ｅ、３７ｆが形成されている。そして、この突
起部３７ｅ、３７ｆには前述したように互いに９０°位
相の異なる特定周波数の電圧を印加する。
３３と同様に振動体１２の長手方向軸中心の左右対称な
位置に発生する屈曲振動の節に対応した位置に２つの突
起部３７ｅ、３７ｆが形成されている。そして、この突
起部３７ｅ、３７ｆには前述したように互いに９０°位
相の異なる特定周波数の電圧を印加する。
【００２６】図５は、第２の実施例において、リード線
による電圧印加をフレキシブルプリント基板４１で行っ
た場合の構成例を示してある。フレキシブルプリント基
板４１には各突起部１２ｄ、３３ｅ、３３ｆ、３５ｄ、
３７ｅ、３７ｆが挿入される穴４１ａ〜４１ｅが形成さ
れ、各穴の周縁には接続用のランドが形成されている。
による電圧印加をフレキシブルプリント基板４１で行っ
た場合の構成例を示してある。フレキシブルプリント基
板４１には各突起部１２ｄ、３３ｅ、３３ｆ、３５ｄ、
３７ｅ、３７ｆが挿入される穴４１ａ〜４１ｅが形成さ
れ、各穴の周縁には接続用のランドが形成されている。
【００２７】尚、実施例を示した図１〜図５では突起部
を弾性振動体又は圧電振動子の一方の側面に設けたが、
電極膜のパターンによっては、両方の側面に設けても良
い。
を弾性振動体又は圧電振動子の一方の側面に設けたが、
電極膜のパターンによっては、両方の側面に設けても良
い。
【００２８】また、第１の実施例で示した図３と同様
に、第２の実施例においても、弾性振動体１２に突起部
を設けるのではなく、圧電振動子３３に設けた突起部３
３ｅ、３３ｆの先端まで電極膜３３ｃを伸ばして電圧を
印加してももちろん実施できるものである。
に、第２の実施例においても、弾性振動体１２に突起部
を設けるのではなく、圧電振動子３３に設けた突起部３
３ｅ、３３ｆの先端まで電極膜３３ｃを伸ばして電圧を
印加してももちろん実施できるものである。
【００２９】さらに、本実施例では屈曲振動を２次モー
ドとしたが、駆動力を得られれば、この次数に限るもの
ではない。
ドとしたが、駆動力を得られれば、この次数に限るもの
ではない。
【００３０】また、実施例では突起部を弾性振動体や圧
電振動子に設けた場合について述べたが、圧電振動子に
一体化した電極板に設けてもよい。これは実質的には圧
電振動子に突起部を形成したのと同じである。
電振動子に設けた場合について述べたが、圧電振動子に
一体化した電極板に設けてもよい。これは実質的には圧
電振動子に突起部を形成したのと同じである。
【００３１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
振動子への電圧印加用突起部を振動体及び振動子での屈
曲振動又は／及び縦振動の節に対応する位置に設けたの
で、振動モードに悪影響を与えることなく、接続箇所が
明確となることによる作業性の向上を果たすことができ
る。
振動子への電圧印加用突起部を振動体及び振動子での屈
曲振動又は／及び縦振動の節に対応する位置に設けたの
で、振動モードに悪影響を与えることなく、接続箇所が
明確となることによる作業性の向上を果たすことができ
る。
【００３２】
【００３３】又、本発明によれば、上述の構成に加え
て、振動子を複数枚積層配置し、上記突起部を側面位置
に形成したことにより、更に駆動電圧を上げることなく
振幅を大きくし駆動力を増大させることができる。
て、振動子を複数枚積層配置し、上記突起部を側面位置
に形成したことにより、更に駆動電圧を上げることなく
振幅を大きくし駆動力を増大させることができる。
【００３４】又、本発明によれば、複数の上記突起部を
重なる位置に形成したので、接続作業性の向上を果たす
ことができる。
重なる位置に形成したので、接続作業性の向上を果たす
ことができる。
【図１】第１の実施例を示す図。
【図２】第１の実施例において、圧電振動子を積層構造
にした場合の図。
にした場合の図。
【図３】第１の実施例において、電圧印加用突起部を圧
電気振動子にのみ設けた場合の図。
電気振動子にのみ設けた場合の図。
【図４】第２の実施例を示す図。
【図５】第２の実施例において、フレキシブルプリント
基板を用いた場合の図。
基板を用いた場合の図。
【図６】従来例を説明する図。
１１ 移動体 １２ 弾性振動体 １２ａ、１２ｂ 運動抽出部 １３、１５、３３、３５、３７ 圧電振動子 １３ｄ、１５ｄ、３３ｅ、３３ｆ、３５ｄ、３７ｅ、３
７ｆ 電圧印加用突起部
７ｆ 電圧印加用突起部
Claims (9)
- 【請求項１】 振動子によって振動体に屈曲振動及び縦
振動を励振させ、定在波によって駆動力を得る振動アク
チュエータにおいて、 前記振動体に発生する振動のうち少なくとも屈曲振動の
節に対応する位置に前記振動子への電圧印加用突起部を
前記振動子及び弾性振動体に設けたことを特徴とする振
動アクチュエータ。 - 【請求項２】 前記振動子の両面に電極膜を設けたこと
を特徴とする請求項１に記載の振動アクチュエータ。 - 【請求項３】 前記振動子は複数が積層配置され、前記
突起部は側面位置に形成したことを特徴とする請求項１
又は２に記載の振動アクチュエータ。 - 【請求項４】 前記振動子に設けた前記突起部と、前記
振動体に設けた前記突起部とは重なる位置に設定したこ
とを特徴とする請求項１、２又は３に記載の振動アクチ
ュエータ。 - 【請求項５】 前記複数の振動子には各々前記突起部が
形成され、該突起部は該複数の振動子を積層した際に重
なる位置に設けられたことを特徴とする請求項３に記載
の振動アクチュエータ。 - 【請求項６】 振動子によって振動体に屈曲振動及び縦
振動を励振させ、定在波によって駆動力を得る振動アク
チュエータにおいて、 前記振動体に発生する屈曲振動及び縦振動の節に対応す
る位置に前記振動子への電圧印加用突起部を前記振動体
に設けたことを特徴とする振動アクチュエータ。 - 【請求項７】 振動子によって振動体に屈曲振動及び縦
振動を励振させ、定在波によって駆動力を得る振動アク
チュエータにおいて、 前記振動体に発生する屈曲振動及び縦振動の節に対応す
る位置に前記振動子への電圧印加用突起部を前記振動子
及び振動体にそれぞれ設けたことを特徴とする振動アク
チュエータ。 - 【請求項８】 振動子によって振動体に屈曲振動及び縦
振動を励振させ、定在波によって駆動力を得る振動アク
チュエータにおいて、 前記振動体に発生する屈曲振動は複数の節を持ち、前記
屈曲振動の複数の節の中の一つに対応する位置に前記振
動子への電圧印加用突起部を前記振動体に設け、前記振
動体とは異なる屈曲振動の節の位置に前記振動子への電
圧印加用突起部を前記振動子に設けたことを特徴とする
振動アクチュエータ。 - 【請求項９】 前記振動子の両面には電極膜が設けられ
ていることを特徴とする請求項３、５、６、７又は８に
記載の振動アクチュエータ。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32241894A JP3200316B2 (ja) | 1994-12-26 | 1994-12-26 | 振動アクチュエータ |
| US08/577,473 US5665918A (en) | 1994-12-26 | 1995-12-22 | Linear vibration actuator utilizing combined bending and longitudinal vibration modes |
| US08/845,215 US5936328A (en) | 1994-12-26 | 1997-04-21 | Linear vibration actuator utilizing combined bending and longitudinal vibration modes |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32241894A JP3200316B2 (ja) | 1994-12-26 | 1994-12-26 | 振動アクチュエータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08182355A JPH08182355A (ja) | 1996-07-12 |
| JP3200316B2 true JP3200316B2 (ja) | 2001-08-20 |
Family
ID=18143447
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32241894A Expired - Fee Related JP3200316B2 (ja) | 1994-12-26 | 1994-12-26 | 振動アクチュエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3200316B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103746597B (zh) * | 2014-01-27 | 2017-03-01 | 哈尔滨工业大学 | 贴片式t型双足直线压电超声电机振子 |
-
1994
- 1994-12-26 JP JP32241894A patent/JP3200316B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08182355A (ja) | 1996-07-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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