JPH07298649A

JPH07298649A - 超音波モータ

Info

Publication number: JPH07298649A
Application number: JP6078905A
Authority: JP
Inventors: Michihiro Tobe; 通宏戸部
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 1994-04-18
Filing date: 1994-04-18
Publication date: 1995-11-10

Abstract

(57)【要約】【目的】駆動方向によって駆動特性が異なることをな
くす。【構成】弾性体１１と、弾性体１１に結合され、その
弾性体に縦振動と屈曲振動とを調和的に発生させる圧電
素子１２ａ，１２ｂとを有し、圧電素子の共通電極部１
２ｇは、弾性体１１の長手方向の中心（Ｉ−Ｉ線）に対
して線対称となる位置に配置されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、棒状弾性体に楕円運動
を発生させて駆動力を得る超音波モータに関し、特に、
縦振動モードと屈曲振動モードを２相駆動する超音波モ
ータに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図７は、リニア型超音波モータの従来例
を示す図である。従来のリニア型超音波モータは、棒状
弾性体１０１の一端側に加振用の変成器１０２が配置さ
れ、他端側に制振用の変成器１０３が配置されている。
各変成器１０２，１０３には、振動子１０２ａ，１０３
ａが接合されている。加振用の振動子１０２ａに発振器
１０２ｂから交流電圧を印加して棒状弾性体１０１を振
動させ、この振動が棒状弾性体１０１を伝播することに
より進行波となる。この進行波により、棒状弾性体１０
１に加圧接触された移動体１０４が駆動される。

【０００３】一方、棒状弾性体１０１の振動は、制振用
の変成器１０３を通じて振動子１０３ａに伝えられ、こ
の振動子１０３ａによって振動エネルギーが電気エネル
ギーに変換される。この振動子１０３ａに接続された負
荷１０３ｂにより電気エネルギーを消費することにより
振動を吸収する。この制振用の変成器１０３により、棒
状弾性体１０１の端面の反射を抑制して、棒状弾性体１
０１の固有モードの定在波の発生を防いでいる。

【０００４】図７のリニア型超音波モータは、移動体１
０４の移動範囲だけ、棒状弾性体１０１の長さが必要で
あり、その棒状弾性体１０１の全体を加振しなければな
らず、装置が大型化するとともに、固有モードの定在波
の発生を防止するために、制振用の変成器１０３などが
必要となる、という問題があった。

【０００５】このような問題を解決するために、自走式
の超音波モータが種々提案されており、例えば、「第５
回電磁力関連のダイナミックスシンポジウム講演論文
集」の「２２２光ピックアップ移動を目的とした圧電
リニアモータ」に記載されている「異形縮退縦Ｌ１−屈
曲Ｂ４モード・平板モータ」が知られている。

【０００６】図８は、異形縮退縦Ｌ１−屈曲Ｂ４モード
・平板モータの従来例を示す模式図であって、図８
（Ａ）は正面図、図８（Ｂ）は側面図、図８（Ｃ）は平
面図である。弾性体１は、矩形平板状の基礎部１ａと、
その基礎部１ａの一方の面に形成された突起部１ｂ，１
ｃとから構成されている。圧電素子２ａ，２ｂは、弾性
体１の基礎部１ａの他方の面に貼付され、縦振動Ｌ１モ
ードと屈曲振動Ｂ４モードを発生させる素子である。弾
性体１の突起部１ｂ，１ｃは、基礎部１ａに発生する屈
曲振動Ｂ４モードの腹の位置に設けられており、相対移
動部材（不図示）に押し付けられる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかし、前述した図８
のモータを実際に駆動しようとした場合には、圧電素子
に電圧を印加するための電極は、２相の交流電圧に対し
て１つずつ、さらに、それらの共通のグランド用が１つ
の合計３つの電極が必要となる。また、弾性体に発生す
る振動状態をモニタするための圧電素子を付加する場合
に、必要な電極は合計４つとなる。このようにグランド
用の共通電極や振動モニタ用の圧電素子などを設ける場
合に、各々の圧電素子の電極配置によっては、超音波モ
ータが機械的又は電気的に非対称となってしまい、モー
タの駆動効率が下がるとともに、駆動特性が移動方向に
よって異なるという問題点があった。

【０００８】本発明の目的は、前述の課題を解決し、駆
動方向によって駆動特性が異なることのない超音波モー
タを提供することである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明による超音波モータの第１の解決手段は、弾
性体（１１）と、前記弾性体に結合され、その弾性体に
縦振動と屈曲振動とを調和的に発生させる電気機械変換
素子（１２ａ，１２ｂ）とを有する超音波モータにおい
て、前記電気機械変換素子の共通電極部（１２ｇ）は、
前記弾性体の長手方向の中心に対して線対称となる位置
に配置されていることを特徴とする。

【００１０】第２の解決手段は、第１の解決手段の超音
波モータにおいて、前記電気機械変換素子の共通電極部
（１２ｇ）は、前記縦振動と前記屈曲振動の節の位置に
設けられていることを特徴としている。

【００１１】第３の解決手段は、第１の解決手段の超音
波モータにおいて、前記電気機械変換素子の共通電極部
（１２ｇ）は、前記弾性体の長手方向の中心部に設けら
れていることを特徴としている。

【００１２】第４の解決手段は、第１〜第３のいずれか
１つの解決手段の超音波モータにおいて、前記電気機械
変換素子の共通電極部（１２ｇ）は、前記弾性体（１
１）の前記電気機械変換素子が配置されている面の反対
側の面に設けられていることを特徴とする。

【００１３】第５の解決手段は、第１の解決手段の超音
波モータにおいて、前記弾性体の振動状態を検出して、
電気信号に変換する検出用の電気機械変換素子（１２
ｐ，１２ｐ’）を備え、前記検出用の電気機械変換素子
（１２ｐ，１２ｐ’）は、前記弾性体の長手方向の中心
に対して線対称となる位置に配置されていることを特徴
としている。

【００１４】第６の解決手段は、第１〜第５のいずれか
１つの解決手段の超音波モータにおいて、前記各電気機
械変換素子は、表面に複数の電極（１４ａ，１４ｂ，１
４ｇ，１４ｐ，１４ｐ’）が形成された一体型の電気機
械変換材料（１２）を用いたことを特徴としている。

【００１５】

【作用】第１の解決手段によれば、電気機械変換素子の
共通電極部（グランド部）は、弾性体の長手方向の中心
に対して線対称となる位置に配置されているので、移動
方向に対して、駆動特性がそろったものとなる。

【００１６】第２の解決手段によれば、電気機械変換素
子の共通電極部は、縦振動と屈曲振動の節の位置に設け
られているので、両振動を減衰させることがなく、駆動
効率が向上する。

【００１７】第３の解決手段によれば、電気機械変換素
子の共通電極部は、弾性体の長手方向の中心部に設けら
れているので、移動方向に対して、駆動特性がそろった
ものとなる。

【００１８】第４の解決手段によれば、駆動用の電気機
械変換素子の共通電極部は、弾性体の電気機械変換素子
が配置されている面の反対側の面に設けられているの
で、駆動用の電気機械変換素子を小さくすることがな
く、駆動効率が向上する。

【００１９】第５の解決手段によれば、検出用の電気機
械変換素子は、弾性体の長手方向の中心に対して線対称
となる位置に配置されているので、検出精度がよくなる
とともに、左右の駆動特性のそろったモータとなる。

【００２０】第６の解決手段によれば、各電気機械変換
素子は、表面に複数の電極が形成された一体型の電気機
械変換材料を用いたので、位置決め・接着作業などが容
易に行える。

【００２１】

【実施例】

（第１実施例）以下、図面等を参照して、実施例につ
き、さらに詳細に説明する。図１は、本発明による超音
波モータの第１実施例を示した模式図であって、図１
（Ａ）は正面図、図１（Ｂ）はその平面図である。第１
実施例の超音波モータは、基礎部１１ａ及び２つの突起
部１１ｂ，１１ｃを有する弾性体１１と、この弾性体１
１に接合された５つの圧電素子１２ａ，１２ｂ，１２
ｇ，１２ｐ，１２ｐ’などとから構成されている。各圧
電素子１２ａ，１２ｂ，１２ｇ，１２ｐ，１２ｐ’は、
ＰＺＴなどの圧電材料の両面に、銀電極が焼き付けられ
ており、銀電極の片面（弾性体１１の接着面と反対側の
面）をモータの電極として利用している。

【００２２】圧電素子１２ａ，１２ｂは、弾性体１１に
縦振動Ｌ１モードと屈曲振動Ｂ４モードとを発生させる
ための駆動用の圧電素子であり、この圧電素子１２ａ，
１２ｂは、図１（Ｂ）のように分極されており、後述す
る図２（Ａ）のような２相の入力電圧Ａ，Ｂが印加され
る。

【００２３】圧電素子１２ｇは、共通電極用の圧電素子
であり、導電性塗料１３等により弾性体１１と電気的に
短絡されており、グランド電位に接続されている。導電
性塗料１３を用いる理由は、弾性体１１の基礎部１１ａ
に配線を直接半田付けすることが困難なためである。圧
電素子１２ｐ，１２ｐ’は、弾性体１１に発生する振動
の状態をモニタするための振動モニタ用の圧電素子であ
り、後述する図３に示す制御回路２０に接続されてい
る。

【００２４】グランド用の圧電素子１２ｇは、駆動用の
圧電素子１２ａ，１２ｂの間に配置されており、振動モ
ニタ用の圧電素子１２ｐ，１２ｐ’は、駆動用の圧電素
子１２ａ，１２ｂの両側に配置されている。したがっ
て、これらの５つの圧電素子１２ａ，１２ｂ，１２ｇ，
１２ｐ，１２ｐ’は、弾性体１１の長手方向の中心（Ｉ
−Ｉ線）に関して、線対称の位置に配置されていること
になる。また、グランド用の圧電素子１２ｇは、弾性体
１１の長手方向の中心であって、縦振動と屈曲振動の節
の位置に配置されている。

【００２５】第１実施例の超音波モータは、図１に示す
ように、２つの圧電素子１２ａ，１２ｂに高周波電圧
Ａ，Ｂを印加することによって、屈曲振動と縦振動との
複合振動を起こし、これにより突起部１１ｂ，１１ｃと
の先端に楕円運動を発生させ、駆動力を発生させる構成
になっている。また、２つの圧電素子１２ａ，１２ｂ
は、互いに極性が同一方向になるように分極され、高周
波電圧Ａ，Ｂは、π／２の時間的位相差を有している。
なお、２つの圧電素子１２ａ，１２ｂの分極は互いに逆
方向であってもよい。

【００２６】図２（Ａ）は、超音波モータに入力される
２相の高周波電圧Ａ，Ｂの時間的変化をｔ１〜ｔ９で示
している。図２（Ａ）の横軸は、高周波電圧の実効値を
示している。図２（Ｂ）は、超音波モータの断面の変形
の様子を示し、超音波モータに発生する屈曲振動の時間
的変化（ｔ１〜ｔ９）を示している。図２（Ｃ）は、超
音波モータの断面の変形の様子を示し、超音波モータに
発生する縦振動の時間的変化（ｔ１〜ｔ９）を示してい
る。図２（Ｄ）は、超音波モータの突起部１１ｂ，１１
ｃとに発生する楕円運動の時間的変化（ｔ１〜ｔ９）を
示している。

【００２７】次に、第１実施例の超音波モータの動作
を、時間的変化（ｔ１〜ｔ９）ごとに説明する。時間ｔ
１において、図２（Ａ）に示すように、高周波電圧Ａは
正の電圧を発生し、同様に高周波電圧Ｂは同一の正の電
圧を発生する。図２（Ｂ）に示すように、高周波電圧
Ａ，Ｂによる屈曲運動は互いに打ち消し合い、質点Ｙ１
とＺ１とが振幅零となる。また、図２（Ｃ）に示すよう
に、高周波電圧Ａ，Ｂによる縦振動は伸張する方向に発
生する。質点Ｙ２とＺ２とは矢印で示されるように、節
Ｘを中心にして最大の伸長を示す。その結果、図２
（Ｄ）に示すように、上記両振動が複合され、質点Ｙ１
とＹ２との運動の合成が質点Ｙの運動となり、また、質
点Ｚ１とＺ２との運動の合成が質点Ｚの運動となる。

【００２８】時間ｔ２において、図２（Ａ）に示すよう
に、高周波電圧Ｂは零となり、高周波電圧Ａは正の電圧
を発生する。図２（Ｂ）に示すように、高周波電圧Ａに
よる屈曲運動が発生し、質点Ｙ１が正方向に振幅し、質
点Ｚ１が負方向に振幅する。また、図２（Ｃ）に示すよ
うに、高周波電圧Ａによる縦振動が発生し、質点Ｙ２と
質点Ｚ２とが時間ｔ１のときよりも縮む。その結果、図
２（Ｄ）に示すように、上記両振動が複合され、質点Ｙ
とＺとが時間ｔ１のときよりも右回りに移動する。

【００２９】時間ｔ３において、図２（Ａ）に示すよう
に、高周波電圧Ａは正の電圧を発生し、同様に高周波電
圧Ｂは同一の負の電圧を発生する。図２（Ｂ）に示すよ
うに、高周波電圧Ａ及びＢによる屈曲運動が合成されて
増幅され、質点Ｙ１が時間ｔ２のときよりも正方向に増
幅され、最大の正の振幅値を示す。質点Ｚ１が時間ｔ２
のときよりも負方向に増幅され、最大の負の振幅値を示
す。また、図２（Ｃ）に示すように、高周波電圧Ａ及び
Ｂによる縦振動が互いに打ち消しあい、質点Ｙ２とＺ２
とが元の位置に戻る。その結果、図２（Ｄ）に示すよう
に、上記両振動が複合され、質点ＹとＺとが時間ｔ２の
ときよりも右回りに移動する。

【００３０】時間ｔ４において、図２（Ａ）に示すよう
に、高周波電圧Ａは零となり、高周波電圧Ｂは負の電圧
を発生する。図２（Ｂ）に示すように、高周波電圧Ｂに
よる屈曲運動が発生し、質点Ｙ１は時間ｔ３のときより
も振幅が低下し、質点Ｚ１時間ｔ３のときよりも振幅が
低下する。また、図２（Ｃ）に示すように、高周波電圧
Ｂによる縦振動が発生し、質点Ｙ２とＺ２が収縮する。
その結果、図２（Ｄ）に示すように、上記両振動が複合
され、質点ＹとＺとが時間ｔ３のときよりも右回りに移
動する。

【００３１】時間ｔ５において、図２（Ａ）に示すよう
に、高周波電圧Ａは負の電圧を発生し、同様に高周波電
圧Ｂは同一の負の電圧を発生する。図２（Ｂ）に示すよ
うに、高周波電圧Ａ，Ｂによる屈曲運動は互いに打ち消
し合い、質点Ｙ１とＺ１とが振幅零となる。また、図２
（Ｃ）に示すように、高周波電圧Ａ，Ｂによる縦振動は
収縮する方向に発生する。質点Ｙ２とＺ２とは矢印で示
されるように、節Ｘを中心にして最大の収縮を示す。そ
の結果、図２（Ｄ）に示すように、上記両振動が複合さ
れ、質点ＹとＺとが時間ｔ４のときよりも右回りに移動
する。

【００３２】時間ｔ６〜ｔ９に変化するにしたがって、
上述の原理と同様に屈曲振動及び縦振動が発生し、その
結果、図２（Ｄ）に示すように、質点Ｙ及び質点Ｚが右
回りに移動し、楕円運動をする。以上の原理により、こ
の超音波モータは、突起部１１ａ，１１ｂとの先端に楕
円運動を発生させ、駆動力を発生させる構成となってい
る。従って、突起部１１ｂ，１１ｃの先端を相対運動部
材（不図示）に加圧すると、弾性体１１は、その相対運
動部材に対して自走する。

【００３３】図３は、第１実施例による超音波モータの
駆動回路を示すブロック図である。発振器２１は、弾性
体１１と圧電素子１２から構成される振動体の１次の縦
振動モードと４次の屈曲振動モードに相当する周波数の
信号を発振するためのものである。発振器２１の出力は
分岐して、一方の出力は、増幅器２３によって増幅され
た後に、Ａ相電圧として、圧電素子１２ａの電極に入力
される。また、分岐した他方の出力は、移相器２２に接
続されており、この移相器２２によって、Ａ相電圧とは
π／２だけ位相をずらしてＢ相電圧とした後に、増幅器
２４を介して、圧電素子１２ｂの電極に入力される。

【００３４】制御回路２５は、圧電素子１２ｐ，１２
ｐ’の出力電圧が入力されており、予め設定されていた
基準電圧と比較して、ｐ，ｐ’端子の出力の方が小さい
ときには、周波数を低く、また、ｐ，ｐ’端子の出力の
方が大きいときには、周波数を高くするように、発振器
２１を制御する。これにより、超音波モータの振動振幅
が所定の大きさに保持される。

【００３５】（比較例）次に、第１実施例の超音波モー
タと図６に示す超音波モータを比較しながら、さらに説
明する。図６は、超音波モータの比較例を示す図であ
る。従来の技術で説明した図８の超音波モータでは、グ
ランド用や振動モニタ用の圧電素子を付加しようとした
場合に、図６に示すように、２枚の駆動用の圧電素子２
ａ，２ｂは、その境界線が弾性体１の中心（ＶＩ−Ｖ
Ｉ’線）に一致するように配置し、その外側に、グラン
ド用の圧電素子２ｇ及び振動モニタ用の圧電素子２ｐを
設けることが一般的に考えられる。

【００３６】この場合には、グランド用の圧電素子２ｇ
の電極は、導電性塗料３などによって、弾性体１に導通
し、グランド電位に接続されることになる。しかし、図
６の電極配置では、圧電素子２ｇの両面の電極は短絡し
ており、圧電素子２ｐの両面の電極は短絡していない。
一般的に、圧電素子は、振動の機械的エネルギーを電気
エネルギーに変換する働きがあるので、電源とみなすこ
とができる。また、圧電素子２ｇには、小さなインピー
ダンス（ほぼ０に近い）が接続され、圧電素子２ｐに
は、大きなインピーダンス（制御回路の入力インピーダ
ンスは一般的に大きい）が接続されていると考えること
ができる。このことは、圧電素子２ｇ，２ｐの振動特性
が異なる原因となる。

【００３７】図６のように、縦振動１次モードと屈曲振
動４次モードを調和的に発生させるモータでは、弾性体
１の長手方向の中心（ＶＩ−ＶＩ’線）が２つの振動モ
ードの共通の節となり、この軸に対して、対称的な振動
が発生することが望ましいが、圧電素子２ｇ，２ｐの振
動特性が異なるために、弾性体１の振動モードの形状が
非対称になる。このために、モータの駆動特性が駆動方
向によって異なることとなる。

【００３８】これに対して、第１実施例では、５つの圧
電素子１２ａ，１２ｂ，１２ｇ，１２ｐ，１２ｐ’は、
弾性体１１の長手方向の中心に対して、線対称の位置に
配置してあるので、弾性体１１に発生する振動モードの
形状を対称にし、駆動方向による特性の差がなくなる。

【００３９】（第２実施例）図４は、本発明による超音
波モータの第２実施例を示した斜視図である。なお、以
下に説明する各実施例では、第１実施例と同様な機能を
果たす部分には、同一の符号を付して、重複する説明は
適宜省略する。第２実施例の超音波モータでは、グラン
ド用の圧電素子１２ｇは、弾性体１１の他の圧電素子１
２ａ，１２ｂ，１２ｐ，１２ｐ’が設けられている面と
は反対側の面に接合されている。

【００４０】第１実施例では、駆動用の圧電素子１２
ａ，１２ｂの幅は、図６に示した比較例と比べて、グラ
ンド用の圧電素子１２ｇの幅の分だけ小さくしなければ
ならなかった。しかし、駆動用の圧電素子１２ａ，１２
ｂは、大きい方が発生する駆動力が大きい。そこで、第
２実施例では、グランド用の圧電素子１２ｇは、駆動用
の圧電素子１２ａ，１２ｂの反対の面に配置することに
より、駆動用の圧電素子１２ａ，１２ｂの幅を十分に大
きくとることができ、モータの駆動力を大きくすること
ができる。

【００４１】（第３実施例）図５は、本発明による超音
波モータの第３実施例を示した斜視図である。第３実施
例の超音波モータは、第１実施例と同様な構造を持って
いるが、駆動用，グランド用，振動モニタ用を１つの圧
電材料１２で構成し、その表面の電極（１４ａ，１４
ｂ，１４ｇ，１４ｐ，１４ｐ’）だけが分離しているこ
とを特徴としている。第２実施例では、圧電材料１２が
１枚であるので、弾性体１１との接着作業が簡単になる
という利点がある。

【００４２】以上説明した実施例に限定されず、種々の
変形や変更が可能であって、それらも本発明に含まれ
る。例えば、圧電素子の表面に形成した銀電極を導電性
塗料などによって、弾性体と短絡させることによりグラ
ンド部を形成したが、圧電素子の代わりに、金属箔など
を用いて形成してもよい。また、電気機械変換素子とし
て、圧電素子の例で説明したが、電歪素子であってもよ
い。

【００４３】さらに、異なる振動モードとして、Ｌ１−
Ｂ４モードの振動を例に説明したが、Ｌ１−Ｂ２，Ｌ１
−Ｂ６，Ｌ２−Ｂ４などの他のモードを使用するように
してもよい。なお、自走式の例で説明したが、弾性体側
を固定して、長尺ものの相対運動部材を移動させるよう
にしてもよい。

【００４４】

【発明の効果】以上詳しく説明したように、請求項１に
よれば、電気機械変換素子の共通電極部（グランド部）
は、弾性体の長手方向の中心に対して線対称となる位置
に配置されているので、移動方向に対して、駆動特性が
そろったものとなる。

【００４５】請求項２によれば、電気機械変換素子の共
通電極部は、縦振動と屈曲振動の節の位置に設けられて
いるので、両振動を減衰させることがなく、駆動効率が
向上する。

【００４６】請求項３によれば、電気機械変換素子の共
通電極部は、弾性体の長手方向の中心部に設けられてい
るので、移動方向に対して、駆動特性がそろったものと
なる。

【００４７】請求項４によれば、駆動用の電気機械変換
素子の共通電極部は、弾性体の電気機械変換素子が配置
されている面の反対側の面に設けられているので、駆動
用の電気機械変換素子を小さくすることがなく、駆動効
率が向上する。

【００４８】請求項５によれば、検出用の電気機械変換
素子は、弾性体の長手方向の中心に対して線対称となる
位置に配置されているので、検出精度がよくなるととも
に、左右の駆動特性のそろったモータとなる。

【００４９】請求項６によれば、各電気機械変換素子
は、表面に複数の電極が形成された一体型の電気機械変
換材料を用いたので、位置決め・接着作業などが容易に
行える、等々の効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による超音波モータの第１実施例を示し
た模式図である。

【図２】第１実施例の超音波モータの駆動動作を説明す
る図である。

【図３】第１実施例の超音波モータの駆動回路を示すブ
ロック図である。

【図４】本発明による超音波モータの第２実施例を示し
た斜視図である。

【図５】本発明による超音波モータの第３実施例を示し
た斜視図である。

【図６】超音波モータの比較例を示した模式図である。

【図７】リニア型超音波モータの従来例を示す図であ
る。

【図８】異形縮退縦Ｌ１−屈曲Ｂ４モード・平板モータ
の一例を示す模式図である。

【符号の説明】

１１弾性体１１ａ基礎部１１ｂ，１１ｃ突起部１２ａ，１２ｂ圧電素子（駆動用）１２ｇ圧電素子（グランド用）１２ｐ，１２ｐ’ 圧電素子（振動モニタ用）１３導電性塗料１４ａ，１４ｂ電極（駆動用）１４ｇ電極（グランド用）１４ｐ，１４ｐ’ 電極（振動モニタ用）

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】弾性体と、前記弾性体に結合され、その弾性体に縦振動と屈曲振動
とを調和的に発生させる電気機械変換素子とを有する超
音波モータにおいて、前記電気機械変換素子の共通電極部は、前記弾性体の長
手方向の中心に対して線対称となる位置に配置されてい
ることを特徴とする超音波モータ。
【請求項２】請求項１に記載の超音波モータにおい
て、前記電気機械変換素子の共通電極部は、前記縦振動と前
記屈曲振動の節の位置に設けられていることを特徴とす
る超音波モータ。
【請求項３】請求項１に記載の超音波モータにおい
て、前記電気機械変換素子の共通電極部は、前記弾性体の長
手方向の中心部に設けられていることを特徴とする超音
波モータ。
【請求項４】請求項１〜請求項３のいずれか１項に記
載の超音波モータにおいて、前記電気機械変換素子の共通電極部は、前記弾性体の前
記電気機械変換素子が配置されている面の反対側の面に
設けられていることを特徴とする超音波モータ。
【請求項５】請求項１に記載の超音波モータにおい
て、前記弾性体の振動状態を検出して、電気信号に変換する
検出用の電気機械変換素子を備え、前記検出用の電気機械変換素子は、前記弾性体の長手方
向の中心に対して線対称となる位置に配置されているこ
とを特徴とする超音波モータ。
【請求項６】請求項１〜請求項５のいずれか１項に記
載の超音波モータにおいて、前記各電気機械変換素子は、表面に複数の電極が形成さ
れた一体型の電気機械変換材料を用いたことを特徴とす
る超音波モータ。