JP3195691B2 - 荷電粒子線描画方法 - Google Patents
荷電粒子線描画方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は入力図形の形状に忠実な
図形描画を可能にした図形分割を行う様にした荷電粒子
線描画方法に関する。
図形描画を可能にした図形分割を行う様にした荷電粒子
線描画方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】荷電粒子ビーム描画方法の１つに、荷電
粒子ビーム発生源から発生された荷電粒子ビームの断面
形状及び断面の大きさを描画すべき図形の大きさ及び形
状に応じて適宜変えて図形を描画する事により、高速か
つ高精度描画を可能にした可変整形ビーム型荷電粒子線
描画方法がある。この様な方法において図形を描画する
場合、描画すべきソース図形に、次の様な図形分割処理
が施されている。その概要を図６に沿って説明する。
粒子ビーム発生源から発生された荷電粒子ビームの断面
形状及び断面の大きさを描画すべき図形の大きさ及び形
状に応じて適宜変えて図形を描画する事により、高速か
つ高精度描画を可能にした可変整形ビーム型荷電粒子線
描画方法がある。この様な方法において図形を描画する
場合、描画すべきソース図形に、次の様な図形分割処理
が施されている。その概要を図６に沿って説明する。
【０００３】先ず、ＣＡＤ等で作成された多角形を含む
ソース図形データは、荷電粒子ビーム描画装置システム
に入力される前に多数の矩形、台形から成る入力図形デ
ータに分割される。この分割を矩形・台形分割と称し,
ソース図形データをソフトウエア処理する事によって行
われる。このように矩形・台形分割された入力図形は、
荷電粒子ビーム装置システム内で前記可変整形ビームの
ビームサイズに合わせて更に細かな矩形、台形から成る
図形に分割される。この分割をビーム分割と称す。この
様にビーム分割された図形のうち、矩形、即ち、ビーム
分割矩形は該矩形に対応した整形ビームによりショット
される描画されるが、台形、即ち、ビーム分割台形は更
に１ショット毎の短柵状矩形（この図形を台形ショット
と称す）に分割され（この分割を台形ショット分割と称
す）、この台形ショットの長さをショット毎に変化させ
る事で、前記ビーム分割台形が描画される。尚、ビーム
分割台形は入力図形の台形の斜辺部から生成され、その
形状は上底、又は、下底の長さが０の台形、即ち、三角
形となる。
ソース図形データは、荷電粒子ビーム描画装置システム
に入力される前に多数の矩形、台形から成る入力図形デ
ータに分割される。この分割を矩形・台形分割と称し,
ソース図形データをソフトウエア処理する事によって行
われる。このように矩形・台形分割された入力図形は、
荷電粒子ビーム装置システム内で前記可変整形ビームの
ビームサイズに合わせて更に細かな矩形、台形から成る
図形に分割される。この分割をビーム分割と称す。この
様にビーム分割された図形のうち、矩形、即ち、ビーム
分割矩形は該矩形に対応した整形ビームによりショット
される描画されるが、台形、即ち、ビーム分割台形は更
に１ショット毎の短柵状矩形（この図形を台形ショット
と称す）に分割され（この分割を台形ショット分割と称
す）、この台形ショットの長さをショット毎に変化させ
る事で、前記ビーム分割台形が描画される。尚、ビーム
分割台形は入力図形の台形の斜辺部から生成され、その
形状は上底、又は、下底の長さが０の台形、即ち、三角
形となる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】さて、三角形の形状を
もつビーム分割台形から生成される台形ショットの長さ
は、元の三角形の１頂点で限りなく０に近付く。可変整
形ビーム型荷電粒子ビーム描画装置では、１ショットの
図形の大きさが極端に小さい場合、ビーム照射面上での
単位面積当たりのビーム照射量が低下する。その結果、
図７に示す様に、通常の大きさのショットに比べて、材
料面上のレジストに与えるドーズ量の低下を招き、入力
図形の形状に一致した図形を描画することが困難にな
る。その為に、描画された図形の斜辺には段差を生じる
ことになる。
もつビーム分割台形から生成される台形ショットの長さ
は、元の三角形の１頂点で限りなく０に近付く。可変整
形ビーム型荷電粒子ビーム描画装置では、１ショットの
図形の大きさが極端に小さい場合、ビーム照射面上での
単位面積当たりのビーム照射量が低下する。その結果、
図７に示す様に、通常の大きさのショットに比べて、材
料面上のレジストに与えるドーズ量の低下を招き、入力
図形の形状に一致した図形を描画することが困難にな
る。その為に、描画された図形の斜辺には段差を生じる
ことになる。
【０００５】本発明はこのような従来の問題を解決し、
入力図形の形状に一致した図形の描画、即ち、高精度の
描画を行う事を可能にする新規な荷電粒子線描画方法を
提供することを目的としている。
入力図形の形状に一致した図形の描画、即ち、高精度の
描画を行う事を可能にする新規な荷電粒子線描画方法を
提供することを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】その為に本発明は、ソー
ス図形を表している図形データを矩形と台形から成る入
力図形データに分割し、該各入力図形データを整形ビー
ムサイズに応じたビーム分割矩形及びビーム分割台形か
ら成るデータに分割し、前記ビーム分割矩形は該矩形に
対応して整形された矩形ショットにより描画し、前記ビ
ーム分割台形は多数の台形ショットに分割して描画する
荷電粒子線描画方法において、前記ソース図形データを
入力図形データに分割する場合に、ソース図形の各辺の
内、Ｘ軸又はＹ軸に平行でない辺を求め、該辺を斜辺と
し他の２辺はＸ軸及びＹ軸に平行な直角三角形を求め、
前記他の２辺の内の長い方の辺を高さの辺と定義し、該
高さの辺を一辺とし、且つ、前記直角三角形と隣合う矩
形を求め、該矩形と前記直角三角形をつないで台形とし
て、入力台形データを生成し、該入力台形データをビー
ム分割矩形及びビーム分割台形から成るデータに分割す
る場合に、前記入力台形データが表す台形の互いに平行
な２辺に平行な線で所定整形ビームサイズに基づいた幅
に分割し、次いで、該分割された図形を、前記互いに平
行な２辺に垂直な線で斜辺部側の鋭角端部から所定整形
ビームサイズに基づいた幅に分割する様にした。
ス図形を表している図形データを矩形と台形から成る入
力図形データに分割し、該各入力図形データを整形ビー
ムサイズに応じたビーム分割矩形及びビーム分割台形か
ら成るデータに分割し、前記ビーム分割矩形は該矩形に
対応して整形された矩形ショットにより描画し、前記ビ
ーム分割台形は多数の台形ショットに分割して描画する
荷電粒子線描画方法において、前記ソース図形データを
入力図形データに分割する場合に、ソース図形の各辺の
内、Ｘ軸又はＹ軸に平行でない辺を求め、該辺を斜辺と
し他の２辺はＸ軸及びＹ軸に平行な直角三角形を求め、
前記他の２辺の内の長い方の辺を高さの辺と定義し、該
高さの辺を一辺とし、且つ、前記直角三角形と隣合う矩
形を求め、該矩形と前記直角三角形をつないで台形とし
て、入力台形データを生成し、該入力台形データをビー
ム分割矩形及びビーム分割台形から成るデータに分割す
る場合に、前記入力台形データが表す台形の互いに平行
な２辺に平行な線で所定整形ビームサイズに基づいた幅
に分割し、次いで、該分割された図形を、前記互いに平
行な２辺に垂直な線で斜辺部側の鋭角端部から所定整形
ビームサイズに基づいた幅に分割する様にした。
【０００７】
【作用】ソース図形を表わしている図形データを矩形と
台形から成る入力図形データに分割する時に、ソース図
形の各辺の内、Ｘ軸又はＹ軸に平行でない辺を求め、該
辺を斜辺とし他の２辺はＸ軸及びＹ軸に平行な直角三角
形を求め、前記他の２辺の内の長い方の辺を高さの辺と
定義し、該高さの辺を一辺とし、且つ、前記直角三角形
と隣合う矩形を求め、該矩形と前記直角三角形をつない
で台形として、入力台形データを生成し、入力台形デー
タをビーム分割矩形及びビーム分割台形から成るデータ
に分割する場合、前記入力台形データが表す台形の互い
に平行な２辺に平行な線で所定整形ビームサイズに基づ
いた幅に分割し、次いで、該分割された図形を、前記互
いに平行な２辺に垂直な線で斜辺部側の鋭角端部から所
定整形ビームサイズに基づいた幅に分割する様にする。
この様な分割が行われる事により、該各入力図形データ
を整形ビームサイズに応じてビーム分割矩形及びビーム
分割台形から成るデータに分割する場合に、分割により
生成されたビーム分割台形の形状が四辺形となる。該分
割により生成されたビーム分割矩形は、該矩形に対応し
て整形された矩形ショットで描画し、該分割により生成
されたビーム分割台形は多数の台形ショットに分割して
描画する。その結果、従来において発生していたドーズ
量の低下は抑制される為、ビーム分割台形全体にほぼ均
一なドーズ量が得られ、描画された入力図形の斜辺に段
差が生ぜずに、入力図形の形状に一致する描画が可能と
なる。
台形から成る入力図形データに分割する時に、ソース図
形の各辺の内、Ｘ軸又はＹ軸に平行でない辺を求め、該
辺を斜辺とし他の２辺はＸ軸及びＹ軸に平行な直角三角
形を求め、前記他の２辺の内の長い方の辺を高さの辺と
定義し、該高さの辺を一辺とし、且つ、前記直角三角形
と隣合う矩形を求め、該矩形と前記直角三角形をつない
で台形として、入力台形データを生成し、入力台形デー
タをビーム分割矩形及びビーム分割台形から成るデータ
に分割する場合、前記入力台形データが表す台形の互い
に平行な２辺に平行な線で所定整形ビームサイズに基づ
いた幅に分割し、次いで、該分割された図形を、前記互
いに平行な２辺に垂直な線で斜辺部側の鋭角端部から所
定整形ビームサイズに基づいた幅に分割する様にする。
この様な分割が行われる事により、該各入力図形データ
を整形ビームサイズに応じてビーム分割矩形及びビーム
分割台形から成るデータに分割する場合に、分割により
生成されたビーム分割台形の形状が四辺形となる。該分
割により生成されたビーム分割矩形は、該矩形に対応し
て整形された矩形ショットで描画し、該分割により生成
されたビーム分割台形は多数の台形ショットに分割して
描画する。その結果、従来において発生していたドーズ
量の低下は抑制される為、ビーム分割台形全体にほぼ均
一なドーズ量が得られ、描画された入力図形の斜辺に段
差が生ぜずに、入力図形の形状に一致する描画が可能と
なる。
【０００８】
【実施例】以下、図面に沿って本発明の一実施例を説明
する。
する。
【０００９】図１は本発明を実施するのに必要なシステ
ム構成の一例を示している。図中１は可変整形ビーム型
電子線描画装置本体で、電子銃２，ビーム整形用偏向器
３，ビーム整形用スリット４ａ．４ｂ，位置決め用偏向
器５，ステージ６，ステージ駆動機構７を含んでいる。
尚、図示していないが、電子銃２からの電子ビーム８を
ステージ６上に載置された材料９上に集束させる為の集
束レンズ等も含まれている。図中１０はデータ転送シス
テムで、ビーム分割回路１１とビームショット分割回路
１２から成る。このデータ転送システム１０と前記可変
整形ビーム型電子ビーム描画装置本体１とで可変整形ビ
ーム型電子ビーム描画装置システム１３を成している。
図中１４は多数の矩形、台形から成る入力図形データを
前記電子ビーム描画装置システム１３の前記データ転送
システム１０に送る入力図形発生システムで、ソース図
形貯蔵ディスク１５，入力図形貯蔵ディスク１６及びＣ
ＰＵシステム１７から成る。
ム構成の一例を示している。図中１は可変整形ビーム型
電子線描画装置本体で、電子銃２，ビーム整形用偏向器
３，ビーム整形用スリット４ａ．４ｂ，位置決め用偏向
器５，ステージ６，ステージ駆動機構７を含んでいる。
尚、図示していないが、電子銃２からの電子ビーム８を
ステージ６上に載置された材料９上に集束させる為の集
束レンズ等も含まれている。図中１０はデータ転送シス
テムで、ビーム分割回路１１とビームショット分割回路
１２から成る。このデータ転送システム１０と前記可変
整形ビーム型電子ビーム描画装置本体１とで可変整形ビ
ーム型電子ビーム描画装置システム１３を成している。
図中１４は多数の矩形、台形から成る入力図形データを
前記電子ビーム描画装置システム１３の前記データ転送
システム１０に送る入力図形発生システムで、ソース図
形貯蔵ディスク１５，入力図形貯蔵ディスク１６及びＣ
ＰＵシステム１７から成る。
【００１０】この様なシステムにおいて、ソース図形貯
蔵ディスク１５から呼出されたソース図形データはＣＰ
Ｕシステム１７において、ソフトウエア手法により矩形
及び台形から成る入力図形データに分割され、一旦入力
図形貯蔵ディスク１６に貯蔵される。該入力図形データ
は前記ＣＰＵシステム１７により呼出され、データ転送
バス１８を介して電子ビーム描画装置システム１３のデ
ータ転送システム１０に転送される。転送されてきた入
力図形データはデータ転送システム１０内のビーム分割
回路１１に入力される。ここでビーム分割が実施され、
ビーム分割図形データが出力される。該ビーム分割図形
データはショット分割回路１２に入力され、ここで台形
ショット分割される。電子ビーム描画システム１では、
電子銃２から放射された電子ビーム８がアンプ１９ａを
介した前記ショット分割回路１２からの図形寸法データ
によって制御されているビーム整形用偏向器３、及びビ
ーム整形用スリット４ａ，４ｂを通過することにより目
的とするショットサイズと成る。該電子ビームは、アン
プ１９ｂを介した前記ショット分割回路１２からの図形
位置データによって制御されている位置決め用偏向器５
によっ偏向されて材料９上の所定の位置に照射される。
尚、前記位置決め用偏向器５で制御しきれない材料上の
箇所にビームがショットされて、そこに図形が描画され
る様に、前記データ転送バス１８からの信号に基づいて
ステージ駆動機構７は、ステージ６の移動を制御する。
蔵ディスク１５から呼出されたソース図形データはＣＰ
Ｕシステム１７において、ソフトウエア手法により矩形
及び台形から成る入力図形データに分割され、一旦入力
図形貯蔵ディスク１６に貯蔵される。該入力図形データ
は前記ＣＰＵシステム１７により呼出され、データ転送
バス１８を介して電子ビーム描画装置システム１３のデ
ータ転送システム１０に転送される。転送されてきた入
力図形データはデータ転送システム１０内のビーム分割
回路１１に入力される。ここでビーム分割が実施され、
ビーム分割図形データが出力される。該ビーム分割図形
データはショット分割回路１２に入力され、ここで台形
ショット分割される。電子ビーム描画システム１では、
電子銃２から放射された電子ビーム８がアンプ１９ａを
介した前記ショット分割回路１２からの図形寸法データ
によって制御されているビーム整形用偏向器３、及びビ
ーム整形用スリット４ａ，４ｂを通過することにより目
的とするショットサイズと成る。該電子ビームは、アン
プ１９ｂを介した前記ショット分割回路１２からの図形
位置データによって制御されている位置決め用偏向器５
によっ偏向されて材料９上の所定の位置に照射される。
尚、前記位置決め用偏向器５で制御しきれない材料上の
箇所にビームがショットされて、そこに図形が描画され
る様に、前記データ転送バス１８からの信号に基づいて
ステージ駆動機構７は、ステージ６の移動を制御する。
【００１１】先ず、（ａ）に示す様に、ソース図形の各
辺の内、Ｘ軸又はＹ軸に平行でない辺を求める（ステッ
プ１）。次に（ｂ）に示す様に、上記ステップ１で求め
た辺を斜辺とし、Ｘ軸、Ｙ軸に夫々平行な２辺を有する
直角三角形を前記ソース図形から分割する（ステップ
２）。次に（ｃ）に示す様に、ステップ２で直角三角形
を分割する事により残された図形をその各頂点からＸ軸
及びＹ軸に平行な直線で矩形に分割する（ステップ
３）。次に（ｄ）に示す様に、ステップ２で分割した各
直角三角形においてＸ軸及びＹ軸夫々に平行な辺の長さ
を比較し、短い方の辺を「底辺」、長い方の辺を「高
さ」と定義する。その結果、各三角形は、底辺に垂直な
直線と斜辺とで構成される角度の絶対値が４５°を越え
ない直角三角形となる（ステップ４）。次に、ステップ
５は（ｅ）に示す様に、上記ステップ２及びステップ３
で分割したソース図形全体を検索して、前記定義された
「高さ」に一致する矩形がステップ３で分割した矩形に
存在する場合には、その直角三角形と矩形を接合し、１
つの台形とする。この様にして生成された台形は、「高
さ」が元の直角三角形に平行な辺と一致し、「上底」及
び「下底」が元の直角三角形の「底辺」に平行となる。
このステップは直角三角形を台形化したことに対応して
いる。
辺の内、Ｘ軸又はＹ軸に平行でない辺を求める（ステッ
プ１）。次に（ｂ）に示す様に、上記ステップ１で求め
た辺を斜辺とし、Ｘ軸、Ｙ軸に夫々平行な２辺を有する
直角三角形を前記ソース図形から分割する（ステップ
２）。次に（ｃ）に示す様に、ステップ２で直角三角形
を分割する事により残された図形をその各頂点からＸ軸
及びＹ軸に平行な直線で矩形に分割する（ステップ
３）。次に（ｄ）に示す様に、ステップ２で分割した各
直角三角形においてＸ軸及びＹ軸夫々に平行な辺の長さ
を比較し、短い方の辺を「底辺」、長い方の辺を「高
さ」と定義する。その結果、各三角形は、底辺に垂直な
直線と斜辺とで構成される角度の絶対値が４５°を越え
ない直角三角形となる（ステップ４）。次に、ステップ
５は（ｅ）に示す様に、上記ステップ２及びステップ３
で分割したソース図形全体を検索して、前記定義された
「高さ」に一致する矩形がステップ３で分割した矩形に
存在する場合には、その直角三角形と矩形を接合し、１
つの台形とする。この様にして生成された台形は、「高
さ」が元の直角三角形に平行な辺と一致し、「上底」及
び「下底」が元の直角三角形の「底辺」に平行となる。
このステップは直角三角形を台形化したことに対応して
いる。
【００１２】先ず、（ａ）に示す様に、ソース図形の各
辺の内、Ｘ軸又はＹ軸に平行でない辺を求める（ステッ
プ１）。次に（ｂ）に示す様に、上記ステップ１で求め
た辺を斜辺とし、Ｘ軸、Ｙ軸に夫々平行な２辺を有する
直角三角形を前記ソース図形から分割する（ステップ
２）。次に（ｃ）に示す様に、ステップ２で直角三角形
を分割しする事により残された図形をその各頂点からＸ
軸及びＹ軸に平行な直線で矩形に分割する（ステップ
３）。次に（ｄ）に示す様に、ステップ２で分割した各
直角三角形においてＸ軸及びＹ軸夫々に平行な辺の長さ
を比較し、短い方の辺を「底辺」、長い方の辺を「高
さ」と定義する。その結果、各三角形は、底辺に垂直な
直線と斜辺とで構成される角度の絶対値が４５°を越え
ない直角三角形となる（ステップ４）。次に、（ｅ）に
示す様に、上記ステップ２及びステップ３で分割したソ
ース図形全体を検索して、前記定義された「高さ」に一
致する矩形がステップ３で分割した矩形に存在する場合
には、その直角三角形と矩形を接合し、１つの台形とす
る。この様にして生成された台形は、「高さ」が元の直
角三角形に平行な辺と一致し、「上底」及び「下底」が
元の直角三角形の「底辺」に平行となる。このステップ
は直角三角形を台形化したことに対応している。
辺の内、Ｘ軸又はＹ軸に平行でない辺を求める（ステッ
プ１）。次に（ｂ）に示す様に、上記ステップ１で求め
た辺を斜辺とし、Ｘ軸、Ｙ軸に夫々平行な２辺を有する
直角三角形を前記ソース図形から分割する（ステップ
２）。次に（ｃ）に示す様に、ステップ２で直角三角形
を分割しする事により残された図形をその各頂点からＸ
軸及びＹ軸に平行な直線で矩形に分割する（ステップ
３）。次に（ｄ）に示す様に、ステップ２で分割した各
直角三角形においてＸ軸及びＹ軸夫々に平行な辺の長さ
を比較し、短い方の辺を「底辺」、長い方の辺を「高
さ」と定義する。その結果、各三角形は、底辺に垂直な
直線と斜辺とで構成される角度の絶対値が４５°を越え
ない直角三角形となる（ステップ４）。次に、（ｅ）に
示す様に、上記ステップ２及びステップ３で分割したソ
ース図形全体を検索して、前記定義された「高さ」に一
致する矩形がステップ３で分割した矩形に存在する場合
には、その直角三角形と矩形を接合し、１つの台形とす
る。この様にして生成された台形は、「高さ」が元の直
角三角形に平行な辺と一致し、「上底」及び「下底」が
元の直角三角形の「底辺」に平行となる。このステップ
は直角三角形を台形化したことに対応している。
【００１３】尚、上記ステップ５で一つの矩形が複数の
直角三角形の「高さ」に一致する辺を有している場合、
以下の優先順序に従い接合する三角形を決定する。
直角三角形の「高さ」に一致する辺を有している場合、
以下の優先順序に従い接合する三角形を決定する。
【００１４】複数の直角三角形の内、底辺に垂直な直
線と斜辺とで構成される角度が最も小さいもの１つ。
線と斜辺とで構成される角度が最も小さいもの１つ。
【００１５】上記で１つに決定出来ない場合は、
の条件を満たし、且つ「高さ」の最も小さいもの１つ。
の条件を満たし、且つ「高さ」の最も小さいもの１つ。
【００１６】上記で１つに決定出来ない場合は、
の条件を満たす直角三角形の内、任意のもの１つ。
の条件を満たす直角三角形の内、任意のもの１つ。
【００１７】又、上記ステップ５で、「高さ」が一致す
る直角三角形が存在する場合は、その直角三角形同志を
接合し、１つの三角形とする。この過程はいわば直角三
角形の三角形化を行ったことになる。
る直角三角形が存在する場合は、その直角三角形同志を
接合し、１つの三角形とする。この過程はいわば直角三
角形の三角形化を行ったことになる。
【００１８】又、上記ステップ５で生成した台形につい
て、「高さ」が一致する矩形又は直角三角形、又は台形
が存在する場合は、その台形と矩形、台形と三角形、又
は台形同志を接合して１つの台形とする。
て、「高さ」が一致する矩形又は直角三角形、又は台形
が存在する場合は、その台形と矩形、台形と三角形、又
は台形同志を接合して１つの台形とする。
【００１９】次に、上記ステップ５の場合と同様に、前
記定義した「高さ」を共有し、内包する辺を持つ矩形や
同「高さ」を有する台形や直角三角形が存在する場合
は、（ｆ）示す様に、その図形を「高さ」で分割し、
（ｇ）に示す様に、分割した図形と直角三角形を接合
し、１つの台形とする。この過程はいわば直角三角形の
台形化を行ったことになる。
記定義した「高さ」を共有し、内包する辺を持つ矩形や
同「高さ」を有する台形や直角三角形が存在する場合
は、（ｆ）示す様に、その図形を「高さ」で分割し、
（ｇ）に示す様に、分割した図形と直角三角形を接合
し、１つの台形とする。この過程はいわば直角三角形の
台形化を行ったことになる。
【００２０】次に、（ｈ）に示す様に、上記までのステ
ップにより分割／接合された状態のソース図形を見渡し
て任意の辺が一致する矩形同志を接合し、一つの矩形と
する。
ップにより分割／接合された状態のソース図形を見渡し
て任意の辺が一致する矩形同志を接合し、一つの矩形と
する。
【００２１】この結果、分割生成された入力台形の斜辺
の角度の絶対値が４５°より小さく成る。
の角度の絶対値が４５°より小さく成る。
【００２２】図３はビーム分割処理の概略を示したもの
である。台形の形状を有する入力図形（以下入力台形と
称す）を、先ず、Ｘ軸又はＹ軸に平行な辺に平行に、予
め設定されている最大整形ビームサイズＳの間隔に従っ
て分割する（このような分割を平行ビーム分割と称
す）。次に分割された各図形（ｃ−１〜ｃ−４）の斜辺
部を含む両端をＸ軸又はＹ軸に平行な辺に垂直に、最大
整形ビームサイズＳの間隔に従って分割する（このよう
な分割を垂直ビーム分割と称す）。前記ステップ１で斜
辺の角度を制限してある為、この様なビーム分割処理に
より、斜辺の角度の絶対値が４５°の場合を除き、生成
されるビーム分割台形（ｄ−１〜ｄ−１５）は四辺形
（台形）の形状となる。
である。台形の形状を有する入力図形（以下入力台形と
称す）を、先ず、Ｘ軸又はＹ軸に平行な辺に平行に、予
め設定されている最大整形ビームサイズＳの間隔に従っ
て分割する（このような分割を平行ビーム分割と称
す）。次に分割された各図形（ｃ−１〜ｃ−４）の斜辺
部を含む両端をＸ軸又はＹ軸に平行な辺に垂直に、最大
整形ビームサイズＳの間隔に従って分割する（このよう
な分割を垂直ビーム分割と称す）。前記ステップ１で斜
辺の角度を制限してある為、この様なビーム分割処理に
より、斜辺の角度の絶対値が４５°の場合を除き、生成
されるビーム分割台形（ｄ−１〜ｄ−１５）は四辺形
（台形）の形状となる。
【００２３】図４はビーム分割台形を描画する為の台形
ショット分割の概略を示したものである。台形ショット
の長さＬがビーム分割台形の上底及び下底の長さに依存
して限りなく０に近付くことはない。従って従来におい
て発生していたドーズ量の低下は抑制される為、ビーム
分割台形全体にほぼ均一なドーズ量が得られ、描画され
た入力図形（図４では入力台形）の斜辺に段差が生ぜ
ず、その結果、入力図形の形状に一致する描画が可能と
なる。
ショット分割の概略を示したものである。台形ショット
の長さＬがビーム分割台形の上底及び下底の長さに依存
して限りなく０に近付くことはない。従って従来におい
て発生していたドーズ量の低下は抑制される為、ビーム
分割台形全体にほぼ均一なドーズ量が得られ、描画され
た入力図形（図４では入力台形）の斜辺に段差が生ぜ
ず、その結果、入力図形の形状に一致する描画が可能と
なる。
【００２４】図５に示した例は、ソース図形を矩形台形
分割した時に入力台形の形状が三角形のものをビーム分
割処理する概略を示したものである。ビーム分割処理に
おいて平行ビーム分割によって生成される図形の向かい
合う平行な２辺のどれか長い方の辺（三角形の場合は平
行ビーム分割によって生成された辺）の長さが最大ビー
ムサイズＳ以下の分割図形（図形ｃ−１１）は垂直ビー
ム分割されずにそのままビーム分割図形（ｄ−１１）と
なる。一方、同辺の長さが最大ビームサイズＳの２倍未
満の分割図形（図形ｃ−２１とｃ−３１）は、その分割
図形が三角形なら同辺に向かい合う頂点から同辺に向け
て降ろした垂線、矩形及び台形なら向い合う平行な２辺
の中点を結んだ直線によって垂直ビーム分割を行う。
分割した時に入力台形の形状が三角形のものをビーム分
割処理する概略を示したものである。ビーム分割処理に
おいて平行ビーム分割によって生成される図形の向かい
合う平行な２辺のどれか長い方の辺（三角形の場合は平
行ビーム分割によって生成された辺）の長さが最大ビー
ムサイズＳ以下の分割図形（図形ｃ−１１）は垂直ビー
ム分割されずにそのままビーム分割図形（ｄ−１１）と
なる。一方、同辺の長さが最大ビームサイズＳの２倍未
満の分割図形（図形ｃ−２１とｃ−３１）は、その分割
図形が三角形なら同辺に向かい合う頂点から同辺に向け
て降ろした垂線、矩形及び台形なら向い合う平行な２辺
の中点を結んだ直線によって垂直ビーム分割を行う。
【００２５】尚、前記実施例は、電子ビームを使用した
描画方法についてであったが、本発明はイオンビームを
使用した描画方法にも実施出来る事は当然の事である。
描画方法についてであったが、本発明はイオンビームを
使用した描画方法にも実施出来る事は当然の事である。
【００２６】
【発明の効果】本発明は、ソース図形データを入力図形
データに分割する場合に、ソース図形の各辺の内、Ｘ軸
又はＹ軸に平行でない辺を求め、該辺を斜辺とし他の２
辺はＸ軸及びＹ軸に平行な直角三角形を求め、前記他の
２辺の内の長い方の辺を高さの辺と定義し、該高さの辺
を一辺とし、且つ、前記直角三角形と隣合う矩形を求
め、該矩形と前記直角三角形をつないで台形として、入
力台形データを生成し、該入力台形データをビーム分割
矩形及びビーム分割台形から成るデータに分割する場合
に、前記入力台形データが表す台形の互いに平行な２辺
に平行な線で所定整形ビームサイズに基づいた幅に分割
し、次いで、該分割された図形を、前記互いに平行な２
辺に垂直な線で斜辺部側の鋭角端部から所定整形ビーム
サイズに基づいた幅に分割する様にしたので、ビーム分
割処理において分割生成されるビーム分割台形の形状が
四辺形となり、その結果、入力図形の形状に一致した図
形描画が可能となった。
データに分割する場合に、ソース図形の各辺の内、Ｘ軸
又はＹ軸に平行でない辺を求め、該辺を斜辺とし他の２
辺はＸ軸及びＹ軸に平行な直角三角形を求め、前記他の
２辺の内の長い方の辺を高さの辺と定義し、該高さの辺
を一辺とし、且つ、前記直角三角形と隣合う矩形を求
め、該矩形と前記直角三角形をつないで台形として、入
力台形データを生成し、該入力台形データをビーム分割
矩形及びビーム分割台形から成るデータに分割する場合
に、前記入力台形データが表す台形の互いに平行な２辺
に平行な線で所定整形ビームサイズに基づいた幅に分割
し、次いで、該分割された図形を、前記互いに平行な２
辺に垂直な線で斜辺部側の鋭角端部から所定整形ビーム
サイズに基づいた幅に分割する様にしたので、ビーム分
割処理において分割生成されるビーム分割台形の形状が
四辺形となり、その結果、入力図形の形状に一致した図
形描画が可能となった。
【図１】 本発明を実施するのに必要なシステム構成の
一例である。
一例である。
【図２】 本発明の矩形台形分割処理の一概略を示した
ものである。
ものである。
【図３】 本発明のビーム分割処理の一概略を示したも
のである。
のである。
【図４】 本発明の台形ショット分割処理の一概略を示
したものである。
したものである。
【図５】 入力図形が三角形の場合のビーム分割処理の
一概略を示したものである。
一概略を示したものである。
【図６】 従来の各分割処理の概略を示したものであ
る。
る。
【図７】 従来の台形ショット分割処理と問題点を示し
たものである。
たものである。
１ 可変整形ビーム型電子ビーム描画装置本体 ２ 電子銃 ３ ビーム整形用偏向器 ４ａ，４ｂ ビーム整形用スリット ５ 位置決め用偏向器 ６ ステージ ７ ステージ駆動機構 ８ 電子ビーム ９ 材料 １０ データ転送システム １１ ビーム分割回路 １２ ビームショット分割回路 １３ 可変整形ビーム型電子ビーム描画装置システム １４ 入力図形発生システム １５ ソース図形貯蔵ディスク １６ 入力図形貯蔵ディスク １７ ＣＰＵシステム １８ データ転送バス
Claims (1)
- 【請求項１】 ソース図形を表している図形データを矩
形と台形から成る入力図形データに分割し、該各入力図
形データを整形ビームサイズに応じたビーム分割矩形及
びビーム分割台形から成るデータに分割し、前記ビーム
分割矩形は該矩形に対応して整形された矩形ショットに
より描画し、前記ビーム分割台形は多数の台形ショット
に分割して描画する荷電粒子線描画方法において、 前記ソース図形データを入力図形データに分割する場合
に、ソース図形の各辺の内、Ｘ軸又はＹ軸に平行でない辺を
求め、該辺を斜辺とし他の２辺はＸ軸及びＹ軸に平行な
直角三角形を求め、前記他の２辺の内の長い方の辺を高
さの辺と定義し、該高さの辺を一辺とし、且つ、前記直
角三角形と隣合う矩形を求め、該矩形と前記直角三角形
をつないで台形として、入力台形データを生成し 、該 入力台形データをビーム分割矩形及びビーム分割台形
から成るデータに分割する場合に、前記入力台形データが表す台形の互いに平行な２辺に平
行な線で所定整形ビームサイズに基づいた幅に分割し、
次いで、該分割された図形を、前記互いに平行な２辺に
垂直な線で斜辺部側の鋭角端部から所定整形ビームサイ
ズに基づいた幅に分割する 様にした荷電粒子線描画方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16857893A JP3195691B2 (ja) | 1993-06-15 | 1993-06-15 | 荷電粒子線描画方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16857893A JP3195691B2 (ja) | 1993-06-15 | 1993-06-15 | 荷電粒子線描画方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07130594A JPH07130594A (ja) | 1995-05-19 |
| JP3195691B2 true JP3195691B2 (ja) | 2001-08-06 |
Family
ID=15870653
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16857893A Expired - Fee Related JP3195691B2 (ja) | 1993-06-15 | 1993-06-15 | 荷電粒子線描画方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3195691B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008076922A (ja) * | 2006-09-25 | 2008-04-03 | Toppan Printing Co Ltd | 可変成形描画装置の図形データ分割方法及び可変成形描画装置 |
| JP2012253316A (ja) * | 2011-05-12 | 2012-12-20 | Nuflare Technology Inc | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 |
| JP5782401B2 (ja) * | 2012-03-29 | 2015-09-24 | 株式会社沖データ | 画像形成装置 |
-
1993
- 1993-06-15 JP JP16857893A patent/JP3195691B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07130594A (ja) | 1995-05-19 |
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