JPS60198723A - 電子ビ−ム露光装置の描画デ−タ作成方法及びその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は電子ビーム露光装置に用いる描画データを作成
する描画データ作成方法およびその装置に関する。

〔発明の技術的背景およびその問題点〕集積回路の集積
度は年々増加しており、それに伴ない集積回路の設計、
製造の各工程において高密度化、大規模化に対処するこ
とが要求されている。集積回路の製造工程において、そ
の微細かつ複雑なノソターンを高速かつ高精度で形成す
るため、近年電子ビーム露光装置が用りられている。

第１図にラスタスキャンタイプの電子ビーム露光装置を
示す（垂井康夫編、「超ＬＳＩ技術」オーム社（昭和島
年）参照〕。汎用コンピュータエは、各種データの入出
力処理および電子ビーム露光装置全体の制御をおこなう
。描画パターンである図形データは磁気テープ装置２に
記憶されている。

この図形データは汎用コンピュータ１で描画に適合する
ようにデータ変換されて磁気ディスク装置３に保存され
る。このようにして保存された描画データは描画時に汎
用コンビ二−タ１により描画装置別に入力される。描画
装置別は、制御インターフェース４と、操作・ぐネル５
と、偏向器６と、試料台８と、試料台駆動用のモータ７
と、電子銃９と、電子レンズ１０と、これら電子銃９と
電子レンズ１０の電子光学銃筒電源１１とを備えている
。

この電子ビーム露光装置による描画方式を第２図に示す
。円形の電子ビーム１２が静電偏向板１３により一定方
向（Ｘ方向）にかつ一定振幅Ｗで試料１４上を繰り返し
走査する。一方、試料台８が電子ビーム１２の走査方向
（Ｘ方向）に直交するＹ方向に一定速度で連続的に移動
し、ピッチＰで順次走査をしていく。それにより試料１
４における一定幅のたんさく領域１５の全体が走査され
る。このたんざく領域１５のことをフレームとＶａ５゜
このようにしてフレーム１５の描画が終了すると試料台
８が走食振＠Ｗだけ電子ビーム１２０走歪方向へステッ
プ移動し、フレーム１５とは逆の方向に試料台８を連続
移動して次のフレーム１６を描画する。このようにして
試料１４の一端から順次１フレームずつ正逆連続移動な
繰り返して試料１４の全体を描画する。

一方、この描画に伴って磁気ディスク装置３に保存され
ている図形データが汎用コンピュータ１により制御イン
ターフェース４に転送さね、このデータは制御インター
フェース４内の関数発生器（図示せず）によりドツトパ
ターンに変換されてドラトノぞターンメモリからドツト
パターンを読み出して電子ビーム１２の輝度を変化させ
る。このようにして試料１４に図形データに従ったパタ
ーンが描画される。

上述の描画動作において磁気テープ装置２に記憶されて
いる図形データは、汎用コンピュータ１により描画に適
合するように単純な基本図形に分割される。従来の固形
分割方法を第３図を用いて説明する（森邦雄他「ラスタ
・スキャン型電子ビ−ム露光装買駆動用データ作成の一
手法」電気通信学会研究会資料ＣＡＳ８０−５４参照）
。第３図（ａ）に示す図形を例として説明する。

■ステップ１：分割する多角層の各頂点のＸ座標値Ｘ□
、Ｎ２．・・・、Ｎ７を重複を除きながら昇順にソート
して第３図（ｂ） に示すように分割座標テーブルと して記憶する′。

■ステップ２：分割する多角形の各線分ベクトルのうち
Ｘ方向が正の線分ベクトル な分割座標テーブルのＸ座標値 Ｘ□、Ｎ２．・・・、Ｎ７で分割し右方向線分テーブル
（第３図（Ｃ））として 記憶する。

■ステップ３：分割する多角形の各線分ベクトルのうち
Ｘ方向が負の線分ベクトル を分割座標テーブルのＸ座標値 Ｘ□、Ｎ２．・・・、Ｎ７で分割し、左方向線分テーブ
ル（第３図（ｄ））とし て記憶する。

■ステップ４：右方向線分テーブルの線分ベクトルを始
点のＸ座標を第１キー、Ｙ 座標を第２キーとしてソートし、 左方向線分テーブルの線分ペクト ルを終点のＸ座標を第１キー、Ｙ 座標な第２キーとしてソートする。

■ステップ５：右方向線分テーブルと左方向線分テーブ
ルの中からソートされた順 にひとつずつとり出し台形図形テ ープル（第３図（ｅ））に記憶する。

以上の各ステップ実行後、第３図（ａ）に示した多角形
図形は、１０個の台形図形に分割される。

この従来の図形分割方法の処理時間は処理すべき図形数
と図形の複雑さにより長くなる。処理すべき多角形図形
数をＮ１平均頂点数をｉとすれば、最短の場合ステップ
１．４はソート処理なのでオーダリングがＯ（Ｎｎｌｏ
ｇｎ）であり、ステップ２゜３．５のオーダリングは０
（Ｎｎ）である。最悪の場合は、分割・座標値の数もｎ
個でかつ各線分ベクトルの全てが分割座標値により分割
される場合であり、各多角形図形右方向線分テーブルお
よび左方向線分テーブルの線分ベクトル数は、各々、線
分ベクトル数（ｎ／２）Ｘ分割座標数（ｎ）＝ｎ２／２
個となるので、ステップ１，４のオーダリングは０（Ｎ
ｎ　ｌｏｇｎ）であり、ステップ２，３．５のオーダリ
ングは０（ＮｎＪである。したがって平均では処理時間
はＯ（Ｎｎｌｏｇｎ）から０（Ｎ−ｎ２１ｏｇｎ）の間
であると考えられる。実際にプログラムを作成し、汎用
コンピューターで動作させた所、この図形分割方法の処
理時間は分割すべき図形の平均頂点数６の約１．４乗に
比例している。

他の図形分割方法によっても、分割すべき図形の頂点数
Ｎの約１．２〜１．５乗に比例した処理時間が必要であ
る（樹下行三編「論理装置のＣＡＤＪ情報処理学会（昭
和あ年）ｐ５５参照）。したがって描画／ｅターンが微
細かつ複雑になると処理時間が加速度的に増大するとい
う問題があった。例えばＮが１００万以上になると図形
分割処理に数時間を要する。一方電子ビーム露光装置に
よる描画時間は描画パターンの複雑さとは関係なく描画
すべき面積により一定であるため、図形分割処理時間の
増大は、集積回路の製造工程に要する時間の増大に直結
することになり、描画パターンの微細化、複雑化に伴な
い図形分割処理時間の短縮が強く望まれて＾る。

また図形分割処理は従来汎用コンピュータ１によりおこ
なっているため低速であり、この汎用コンピュータ１は
描画動作制御や描画データの転送制御をも実行している
ため、さらに図形分割処理に長時間を必要とするという
問題があった。

さらに前述の図形分割方法では、第３図（ａ）に示すよ
うに不必要な分割がおこなわれるため、分割後の台形図
形数が非常圧多くなるという問題があった。台形図形数
が多くなると描画データも不必要に増え、その転送処理
に時間がより多く必要となる。

また前述の図形処理方法は線分ベクトルのソーティング
処理が必要なためハードウェア化するのが困難であり、
さらに各テーブルも最大多角形頂きるだけの大きな記憶
容量が必要であるという問題があった。

〔発明の目的〕

本発明は上記事情を考慮してなされたもので、多角形図
形を基本台形図形に高速に分割することができ、分割さ
れた描画データとしての台形図形数が必要最小限である
、電子ビーム露光装置の描画データ作成方法および装置
を提供することな目的とする。

［発明の概要］ この目的を達成するために本発明による描画データ作成
方法は、描画パターンである多角形図形を予め定めた方
法で２分割し、分割後の図形が分割不要な基本図形にな
るまで上記２分割を繰り返し、これら基本図形を前記多
角形図形の描画データとして出力するものである。

また本発明による描画データ作成装置は、描画パターン
である多角形図形を記憶する多角形図形記憶装置と、こ
の多角形図形を分割後の図形が分割不要な基本図形にな
るまで繰り返し２．分割する図形分割装置と、この固形
分割装置により分割された基本図形を、前記多角形図形
の描画データとして記憶する基本図形記憶装置とを備え
ている。

〔発明の実施例〕

以下本発明を図示の一実施例に基づいて説明する。第４
図に本実施例による電子ビーム露光装置の描画データ作
成装置を示す。描画パターンである多角形図形は多角形
図形記憶装置間に記憶されている。多角形図形記憶装置
間は、例えば磁気テープ装置により構成される。多角形
図形は第５図（ｂ）に示すような点列データ形式で格納
さねている。

すなわち多角形図形の各頂点のＸ座標値とＸ座標値を、
線分で結ぶ順番に並べたもので、オペレータがディジタ
イザ等により入力して作成する。第５図（ａｌに示す図
形は第５図（ｂｌに示すデータ形式で表現される。多角
形図形記憶装置力に記憶された多角形図形データはデー
タ入力部４１に入力され第ルジスタ４２に一旦格納され
る。この第ルジスタ４２と第２レジスタ４９は、後述す
る分割処理において作業レジスタとして機能する。分割
終了判定部必は入力した多角形図形の基本台形図形への
分割が終了したか否かを判定し、分割終了により分割終
了信号を発生する。分割終了信号は、前記データ入力部
４１へ発信し、次の多角形図形の入力を促す。Ｎカウン
タ４３は第２レジスタ４９に記憶されている多角形図形
の数を示すもので、分割終了判定部４４がこのＮカウン
タ４３の値を参照することにより判定する。

分割判定部４５はデータ入力部４１から多角形固形を入
力して分割可能か否か調べる。分割可能である場合には
、分割線分決定部４６により分割線分を決定し、多角形
図形を２分割する。２分割された多角形図形は、分割図
形出力部４７により第ルジスタ４２と第２レジスタ４９
に分離して格納される。

交点演算部４８は分割線分決定部４６で決定された分割
線分が父差する相手線分との交点を演算する。

分割判定部４５により分割不可能である、すなわち基本
台形図形であると判断されると、この図形は台形図形出
力部Ｉにより台形図形表現形式に変換して出力される。

ここで基本台形図形とは、最終的に分割終了した後の図
形で、１組の辺が互に平行であってかつＹ軸に平行な平
行四辺形である。

この基本台形図形には三角形も、矩形も含まれるものと
する。この基本台形図形は第６図（ｂ）に示すデータ形
式で表現される。ｊなわち、左側下側の頂点のＸ座標値
（３）、Ｘ座標値（Ｙ）と、互いに平行な辺のうち左側
の辺の長さくΔＹ２）と、これら平行な辺間の距離（Δ
Ｘ２）と、上記頂点のＹ座標（Ｙｌに対して右側の線分
が上、下に伸びている長さくΔＹ３　、ΔＹ４）とで表
現される。第６図（ａ）に示した台形図形は、第６図（
ｂｌのように表現される。

台形図形出力郷関から出力された基本台形図形は、台形
図形記憶装置間に記憶される。台形図形記憶装置ωは、
例えば磁気ディスク装置に１．半り構成される。

次に第７図乃至第９図により動作を説明する。

第７図は描画データ作成処理の全体を示す概略フローチ
ャートである。まずステップＡで多角形図形記憶装置間
から描画すべき多角形図形のデータを図形分解装置４０
に入力する。入力した多角形図形は図形分解装買旬によ
り基本台形図形に分割し台形図形記憶装置ωに格納する
。（・テラ？Ｂ）その後描画セルが決定すると、台形図
形記憶装置ωから台形図形をとりだし、描画セルの境界
線がこれら台形図形にかかるか否か判断する。これら台
形図形がセル境界線にかかる時は、このセル境界線で強
制的に分割する（ステップＣ）。セルとはフレームを構
成する描画単位であり、セル毎に描画がおこなわれる。

次にこれらの分割により得られた基本台形図形をステッ
プＤで１／！ドツト縮少しビーム中心座標系で表現し直
す。これはこのまま描画すると、電子ビームのビーム径
の半分だけ描画図形が大きくなるためである。次忙分割
した各台形図形を各セル毎に振りわける（ステップＥ）
。次に各セルについて必要ならばステップＦ゛でデータ
圧縮処理をおこない、ステップＧで最終的に描画に必要
なファイル形式で磁気ディスク等の台形図形記憶装置ω
に格納するか、描画のため描画装置部に直接出力される
。第４図はステップＢを実行する装置だけを特に詳しく
示したものである。

ステップＢの動作を第８図のフローチャートに、よりさ
らに詳しく説明する。まずステップＢ１で第ルジスタ４
２に多角形図形データを格納する。

次に第２レジスタ４９の格納図形数を示すＮカラ／り４
３をゼロにクリアする。次に分割判定部柘で第ルジスタ
４２に格納されている図形が分割可能か否か調べる（ス
テップＢ３）。具体的にはこの図形が３頂点；でＹ軸に
平行な線分がある場合または４頂点でＹ軸に平行な線分
が２つある場合は分割不可能とされる。この図形が分割
可能な場合、すなわち基本台形図形になっていない場合
には、ステップＢ４でこの図形を２分割する。そして２
分割した図形のうち頂点数の多い図形を２分割する。

そして２分割した図形のうち頂点数の多い図形を第２レ
ジスタ４９に格納し、かつＮカウンタ４３を１カウント
アツプし、頂点数の少い図形を第ルジスタ４２へ格納し
、ステップＢ３に戻る。ステップＢ３では今、分割され
頂点数が少いということで第ルジスタ４２に格納された
図形がさらに分割可能か否か調べる。

ステップＢ３で、第ルジスタ４２に格納されている図形
が分割判定部４５により分割不可能である、すなわち基
本台形図形であると判断されると、台形図形出力部Ｉは
この図形を第６図（ｂ）に示すようなデータ形式に変換
して台形図形記憶装置ωへ出力する。算ルジスタ４２に
格納されていた基本台形図形が出力されると、第２レジ
スタ４９から第ルジスタ４２へ転送する多角形図形があ
るか否か判断する（ステップＢ６）。すなわち分割終了
判定部材は第２レジスタ４９の図形数を示すＮカウンタ
４３の値がゼロであるか否か判断する。Ｎカウンタ４３
の値がゼロであれば、分割すべき図形がなくなったこと
を意味するので、分割終了判定部材は分割終了信号を出
力する。分割終了信号は、データ入力部４１へ発信し、
次の多角形図形の入力を促す。

Ｎカウンタ４３の値がゼロでない場合には、第２レジス
タ４９に格納されている多角形図形のうち１個を第ルジ
スタ４２に転送する。同時にＮカウンタ４３を１カウン
トダウンしくステップＢ７）、ステップＢ３に戻り以上
の処理を繰り返す。

ステップＢ４の分割処理動作を第９図、第１θ図を用い
てより詳細に説明する。まずステップＢ４１で第５図（
ｂ）に示すような第ルジスタ４２の多角形図形データを
所定のルールの下に並べかえる。本実施例では左下にあ
る点を始点ＢＧとして右まわりに頂点が並ぶように変更
する。すなわち、Ｘ座標値が最小の点のうちでＹ座標値
を最ｌ」のものを始点ＢＧとして並べかえる。これは入
力しやすさを考慮してオペレータがディジタイザ等で図
形入力する場合、始点ＢＧをどこにあるかというルール
までは通常定めないためである。第１０図に示す多角形
図形では、頂点Ｐ１を始点ｐｓとし、頂点Ｐ２　、　Ｐ
３　、　Ｐ４　、　Ｐ５　、　Ｐ６　、　Ｐ７　、　Ｐ
８　、　Ｐ９　、　ＰＩＯ。

ｐＨの順に並べかえる。次に分割線分決定部４６により
頂点列データの中から分割始１ｐｓを決定する（ステッ
プＢ４２）。この決定方法には種々の方法が考えられる
が、本実施例では頂点列データの２番目から検索し、Ｘ
座標値が変化した点を分割始点ｐｓとする。第１θ図で
は頂点Ｐ３が分割始点ＰＳとなる。次にステップＢ４３
で多角形図形を構成する線分の中から相手線分ＰＬをめ
る。分割始点ｐｓより多角形図形内部に向かってＹ軸に
平行に分割線分ＤＬを延ばし最初に交差する線分を相手
線分ＰＬとする第１０図の場合は線分Ｐ１０．Ｐ１１が
相手線分ＰＬとなる。なお、分割始点ＰＳよりＹ軸に平
行な線分が図形内部に延ばせない場合は、次の点を分割
始点ＰＳとして設定し直す。次にステップＢ４４で相手
線分ＰＬと分割線分ＤＬとの交点を叉点演算部４８によ
りめ、分割終点ＰＥとする。次にステップＢ４５で、多
些形図形を分割線分ＤＬにより２分割する。すなわち多
角形図形のデータを分割線分ＤＬ’を中心に左右に分離
し、２つの図形のデータを作成する。第１０図の場合に
は、一方の図形データは頂点ｐｉ　、　ｐ２　、　ｐ３
（ｐｓ）　、　ＰＥ。

Ｆｉｌとなり、他方の図形データは頂真Ｐ３（ＰＳ）　
。

Ｐ４　、　ＰＳ　、　Ｐ６　、　Ｐ７　、　ＰＳ　、　
Ｐ９　、　ＰＩＯ、ＰＥとなる。

分離されたこれらの図形データのうち、頂点数が少ない
方の図形データを第２レジスタ４２に格納し、頂点数が
多い方の図形データが第２レジスタ４９に格納する（ス
テップＢ４６）。このとき第２レジスタ４９の格納図形
数を表すＮカウンタ４３を１カウントアツプする。

以上の２分割を繰り返すと第１１図（ａｌに示す多角形
図形は、第１１図（ｂ）〜（ｇ）に示すように順次２分
割されて最終的には７個の基本台形図形が出力される。

次に本実施例によれば最小の台形図形数に分割されるこ
とについて説明する。最小台形図形数Ｍは次のよう−に
してまる。頂点がＰＩ　、　Ｐ２　、・・・。

ｐｎであるとき、こわらの頂点のＸ座標値を昇順に並べ
て同一値でないものがＸ□、Ｘ２．・・・、ＸＮとＮ個
あったものとする。すると最小図形数Ｍは次式の如くな
る。

Ｍ＝Ｎ−１ これは、例えば第１２図（ａｌに示す多角形図形が与え
られた場合に、上側の遅効なＬＵとし、下側の遅効なＬ
Ｄとし、ＬＵ（Ｘｉ）でＸｉにおける上側の遅効ＬＵの
Ｙ座標をあられし、ＬＤ　（ＸりでＸｉにおける下側の
遅効ＬＤのＹ座標をあられしたとすれば、分割された台
形図形は第１２図（ｂ）に示すように頂点Ｐ（ＸＩ、　
ＬＤ（ＸＩ））　、　Ｐ（Ｘ、　、　ｒ＝Ｕｃｘｉ））
　、　Ｐ（ＸＩ＋□。

ＬＵ（Ｘ’ｉ＋ρ）　、　Ｐ（Ｘｉ＋□、ＬＤ（Ｘｉや
□月を有する台形図形に分割されるのが最小であること
から明らかである。本実施例における分割処理は結局Ｘ
座標値の異なる点で分割されることになり、上述の最小
の台形図形数に多角形図形を分割することになる。

また本実施例によれば高速処理が可能である。

本実施例では多角形図形の頂点数に比例して２分割処理
を繰り返すため、処理時間は頂点数に比例する。したが
って多角形図形数をＮ、平均頂点数をｉとすれば処理時
間のオーダリングは０（Ｎ−１１１）となる。従来の処
理時間のオーダリングｏ（Ｎ−ｎ”°４）に比べて短く
、その効果は図形数、頂点数が増大するに従いきわめて
大きくなる。

また本実施例では２分割を繰り返す方法で処理がなされ
るため、アルゴリズムがシンプルであり、ハードウェア
化が容易である。したがって汎用コンピュータで実施し
てもよいが専用ハードウェアを容易に実現することがで
き、さらに高速処理が可能となる。

さらに第１および第２レジスタの容量も、頂点数に比例
した容量を有すればよく、少なくてすむという利点があ
る。

なお上述の実施例においては分割線り１）ＬはＹ軸に平
行な線分としたが、Ｙ軸に半行な線分で分割するように
してもよい。また始点ＢＧ、分割始点ＰＳ１分割線分Ｄ
Ｌ、相手線分ＰＬの決め方について上述の実施例と異な
る方法で決定してもよい。

多角形図形、台形図形のデータ形式についても、第５図
、第６図のものに限定されるわけではない。

例えば各線分をベクトル表現したデータ形式でもよい。

また本発明は、ラスクスキャンタイプの電子ビーム露光
装置、ベクタ不キャンタイプの電子ビーム露光装置その
他あらゆるタイプの電子ビーム露光装置に適用すること
ができる。特に１図形ごとに順次描画するペクタスキャ
ンタイプの電子ビーム露光装置の場合、本実施例によれ
ば分割された台形図形数が最小になる５め、描画時間も
短縮されることになる。

さらに描画データとしての基本図形をどのような形状に
するかは電子ビーム露光装置により定まるものであり、
先の実施例に即ける台形図形以外の図形を基本図形とし
てもよい。

〔発明の効果〕

以上の通り本発明は多角形図形を予め定めた２分割処理
を繰２．り返すことＫより基本図形に分割することとし
【いるため、■専用ハードウェア化が容易である、■分
割結果の台形数が最小である、■メモリの記憶容量が少
なくてすむ、■処理速度がはやく、入力多角形が増え複
雑化してもその複雑さに比例して増加するだけである、
と−う効果がある。％に従来、処理時間がＩさに対して
加速度的に増大していたのに対し、本発明によれば比例
して増加するだけであり、近年の集積回路の集積度の比
躍的増大に対しても十分対応することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は２スタスキヤンタイプの電子ビーム露光装置、 ｗ、２図は同装置の描画動作の説明図、第３図（ａ）、
（ｂ）、（Ｃ）、（ｄ）、（ｅ）は従来の図形分割方法
の説明図、 第４図は本発明の一実施例による電子ビーム露光装置の
描画データ作成装置のブロック図、第５図（ａ）、（ｂ
）は多角形図形のデータ形式の説明図、 第６図（ａ）、　（ｂ）は基本台形図形のデータ形式の
説明図、 第７図、第８図、第９図は同描画データ作成装置の動作
を示す７Ｃ１−チャート、 第１０図、第１１図は同描画データ作成装置の動作の説
明図、 第１２図（ａ）、（ｂ）は多角形図形が最小数の台形図
形に分割される状態を示す図である。 ｌ・・・汎用コンピュータ、２・・・磁気テープ装置、
３・・・磁気ディスク装置、４・τ・制御インタフェー
ス、５・・・操作パネル、６・・・偏光器、７・・・モ
ータ、８・・・試料ステージ、９・・・電子銃、１０・
・・電子レンズ、１１・・・電子光学銃筒電源、工２・
・・電子ビーム、１３・・・静電偏向板、１４・・・試
料、　１５　、１６・・・フレーム、加・・・描画装置
、（資）・・・多角形図形記憶装置、（社）・・・図形
分割装置、４１・・・データ入力部、４２・・・第２レ
ジスタ、侶・・・Ｎカウンタ、必・・・分割終了判定部
、都・・・分割判定部、４６・・・分割結分決定部、４
７・・・分割図形出力部、４８・・・交点演算部、４９
・・・第２レジスタ、圓・・・台形図形出力部、ω・・
・台形図形記憶装置。 出願人代理人　猪　股　清 第３図 ｃｄ） 第５図 （（Ｌ’）　（ｂ） 第６図 （α）（ｂ） ｉζ 第７図 第８図 第９図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、描画ノミターンである多角形図形を予め定めた方法
   で２分割し、 分割後の図形が分割不要な基本図形になるまで上記２分
   割を繰り返し、 こ名ら基本図形を前記多角形図形の描画データとして出
   力する、電子ビーム露光装置の描画データ作成方法。 ２、描画ノミターンである多角形図形を第１のメモリに
   格納する第１のステップと、 第１のメモリに格納されている図形が分割不要な基本図
   形であるか否かを判断する第２のステップと、 第１のメモリに格納されている図形が基本図形でない場
   合には、この図形を予め定めた方法で２分割する第３の
   ステップと、 ２分割された２つの図形のうち角数の少ない図形を第１
   のメモリに格納し、角数の多い図形を第２のメモリに格
   納する第４のステップと、第１のメモリに格納された図
   形が基本図形になるまで前記第３及び第４のステップを
   繰り返す第５のステップと、 第１のメモリに格納された図形が基本図形である場合に
   は、この基本図形を描画データとして出力し、第２のメ
   モリに格納されている図形を取り出して第１のメモリに
   格納する第６のステップと、 第２のメモリに格納された図形がなくなるまで前記第２
   乃至第６のステップを繰り返す第７のステップと を有する、電子ビーム露光装置の描画データ作成方法。 ３、描画−々ターンである多角形図形をその各頂点を座
   標値で示した点列データとして第１のメモリに格納する
   第１のステップと 第１のメモリに格納された図形の点列データが基本台形
   図形をあられすか否か判断する第２のステップと。 第１のメモリに格納された図形の点列データが基本台形
   図形をあられさない場合には、これら点列データから所
   定の始点を決定し、前記始点を基準にして予め定めた方
   法で分割始点を決定し、 この分割始点から開始する一定方向の線分であって、所
   定の相手線分との叉点を終点とする分割線分を決定し、 この分割線分により前記点列データを２分割することに
   より、 第１のメモリに格納されている図形を２分割する第３の
   ステップと、 ２分割された２つの図形のうち頂点数の少ない方の点列
   データを第１のメモリに格納し、頂点数の多い方の点列
   データを第２のメモリに格納するｗ、４のステップと、 第１のメモリに格納された図形の点列データが基本台形
   図形をあられすようになるまで、前記第３及び第４のス
   テップを繰り返す第５のステップと、 躯１のメモリに格納された図形の点列データが基本台形
   図形をあられす場合には、この点列データを描画データ
   として出力し、第２のメモリに格納された図形の点列デ
   ータを第１のメモリに格納する第６のステップと、 第２のメモリに格納さｈた図形の点列データがなくなる
   まで前記第２乃至第６のステップを繰り返す第７のステ
   ップと を有する、電子ビーム露光装置の描画データ作成方法。 ４、描画ノソターンである多角形図形を記憶する多角形
   図形記憶装置と、 この多角形図形を分割後の図形が分割不要な基本図形に
   なるまで繰り返し２分割する図形分割装置と、 この図形分割装置により分割された基本図形を、前記多
   角形図形の描画データとして記憶する基本図形記憶装置
   と を備えた、電子ビーム露光装置の描画データ作成装置。 ５、描画ＩＲターンである多角形図形を記憶する多角形
   図形記憶装置と、 多角形図形を一時的に記憶する第１および第２のメモリ
   と、 前記多角形図形記憶装置から多角形図形を入力し、前記
   第１のメモリに格納する図形入力手段と、 前記第１のメモリに記憶された図形が分割不要な基本図
   形であるか否か判断する判断手段と、この判断手段によ
   り基本図形でないと判断された場合に、前記第１のメモ
   リに記憶された図形を予め定めた方法で２分割し、分割
   された２つの図形のうち角数の少ない図形を前記第１の
   メモリに出力し、角数の多い図形を前記第２のメモリに
   出力する分割手段と、 前記判断手段により基本図形であると判断された場合に
   、前記第１のメモリ記憶された図形を描画データとして
   出力する図形出力手段と、前記第２のメモリに格納され
   ている図形を前記第１のメモリに転送する転送手段と、
   前記第２のメモリに格納されている図形数を監視し、図
   形数がゼロになると分割終了信号を発生する分割終了判
   定手段と を備えた、電子ビーム露光装置の描画データ作成装置。 ６、描画パターンである多角形図形をその各頂点を座標
   値で示した点列データとして記憶する多角形図形記憶装
   置と、 多角形図形を一時的に記憶する第１および第２のメモリ
   と、 前記多角形図形記憶装置から多角形図形を入力し前記第
   １のメモリに格納する図形入力手段と、 前記ｆｉＸ１のメモリに記憶された図形が分割不要な基
   本台形図形であるか否か判断する判断手段と、 この判断手段により基本台形図形でないと判断された場
   合に、前記第１のメモリに格納された図世の点列データ
   の始点を基準にして決定された分割始点を始点とし、こ
   の始点から開始する一定方向の線分であって所定の相手
   線分との交点を終点とする分割線分を決定する分割線分
   決定手段と、 この分割線分により前記点列データを２分割し、頂点数
   の少ない方の点列データを前記第１のメモリに格納し、
   頂点数の多い方の点列データを前記第２０メそりに格納
   する分割図形格納手段と、 前記判断手段により基本台形図形であると判断された場
   合に、前記第１のメモリに記憶された点列データを描画
   データとして出力する図形出力手段と、 前記第２のメモリに格納されている点列データを前記第
   １のメモリに転送する転送手段と、前記第２のメモリに
   格納されている図形数を監視し、図形数がゼロになると
   分割終了信号を前記図形入力手段へ発信し、次の多角形
   図形へ入力を促す分割終了判定手段と を備えた、電子ビーム露光装置の描画データ作成装置。