JP3195656B2 - 光学式変位測定装置 - Google Patents
光学式変位測定装置Info
- Publication number
- JP3195656B2 JP3195656B2 JP20092192A JP20092192A JP3195656B2 JP 3195656 B2 JP3195656 B2 JP 3195656B2 JP 20092192 A JP20092192 A JP 20092192A JP 20092192 A JP20092192 A JP 20092192A JP 3195656 B2 JP3195656 B2 JP 3195656B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- integrator
- light
- output
- time constant
- capacitor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、物体までの距離を三角
測量法を用いて非接触で計測する光学式変位測定装置に
関するものである。
測量法を用いて非接触で計測する光学式変位測定装置に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、ＦＡ（ファクトリーオートメ
ーション）等の分野においてロボットの視覚センサなど
に用いるために、三角測量法に基づいて光学的に距離を
測定する変位測定装置が提供されている。この種の変位
測定装置は、光学的に距離を測定するから物体までの距
離を非接触で測定できるという利点がある。また、図５
に示すように、物体までの距離に関する情報を検出する
センサヘッド１０と、センサヘッド１０で求めた情報に
基づいて物体までの距離を演算したり物体までの距離に
応じた各種判定を行うためのコントローラ２０とは別体
に設けられて接続線を介して接続されている。このよう
にセンサヘッド１０とコントローラ２０とを分離した構
成とすれば、センサヘッド１０が小型化され、ロボット
等に組み込み易くなる。
ーション）等の分野においてロボットの視覚センサなど
に用いるために、三角測量法に基づいて光学的に距離を
測定する変位測定装置が提供されている。この種の変位
測定装置は、光学的に距離を測定するから物体までの距
離を非接触で測定できるという利点がある。また、図５
に示すように、物体までの距離に関する情報を検出する
センサヘッド１０と、センサヘッド１０で求めた情報に
基づいて物体までの距離を演算したり物体までの距離に
応じた各種判定を行うためのコントローラ２０とは別体
に設けられて接続線を介して接続されている。このよう
にセンサヘッド１０とコントローラ２０とを分離した構
成とすれば、センサヘッド１０が小型化され、ロボット
等に組み込み易くなる。
【０００３】センサヘッド１０は、物体に光ビームを照
射して点状の光パターンである投光スポットを物体の表
面に形成する投光手段１と、投光手段１から照射された
光ビームの物体の表面での反射光を検出する受光手段２
とを備える。受光手段２では、入射光を受光光学系１３
（図８参照）に通して収束させることによって、ＰＳＤ
よりなる位置検出素子１４の受光面に投光スポットの像
としての受光スポットを形成し、受光スポットの位置に
対応した一対の位置信号Ｉ1 ，Ｉ2 を出力する。すなわ
ち、位置検出素子１４は、受光スポットの位置に応じて
大きさの比率が決まる電流信号である一対の位置信号Ｉ
1 ，Ｉ2 を発生するのであって、両位置信号Ｉ1 ，Ｉ2
の関係に基づいて受光スポットの位置を検出すれば、物
体までの距離を三角測量法に基づいて求めることができ
るのである。また、両位置信号Ｉ 1 ，Ｉ2 の合計は、位
置検出素子１４で検出している受光光量に対応する。
射して点状の光パターンである投光スポットを物体の表
面に形成する投光手段１と、投光手段１から照射された
光ビームの物体の表面での反射光を検出する受光手段２
とを備える。受光手段２では、入射光を受光光学系１３
（図８参照）に通して収束させることによって、ＰＳＤ
よりなる位置検出素子１４の受光面に投光スポットの像
としての受光スポットを形成し、受光スポットの位置に
対応した一対の位置信号Ｉ1 ，Ｉ2 を出力する。すなわ
ち、位置検出素子１４は、受光スポットの位置に応じて
大きさの比率が決まる電流信号である一対の位置信号Ｉ
1 ，Ｉ2 を発生するのであって、両位置信号Ｉ1 ，Ｉ2
の関係に基づいて受光スポットの位置を検出すれば、物
体までの距離を三角測量法に基づいて求めることができ
るのである。また、両位置信号Ｉ 1 ，Ｉ2 の合計は、位
置検出素子１４で検出している受光光量に対応する。
【０００４】さらに具体的に説明する。投光手段１は、
レーザダイオードよりなる発光素子１１を備え光ビーム
を形成する。発光素子１１はレーザダイオード駆動回路
１２により駆動されるのであって、レーザダイオード駆
動回路１２には、コントローラ２０に設けた原発振器２
１から発生するクロック信号をパルス変調（パルス振幅
変調）する変調器２２の出力が制御信号として入力され
る。変調器２２は、後述する積分器２３から出力される
直流信号の信号レベルに対応して発光素子１１への供給
エネルギが変化するように変調器２２の出力の振幅を変
化させる。このようにして、発光素子１１はクロック信
号に同期して光を間欠的に出力する。
レーザダイオードよりなる発光素子１１を備え光ビーム
を形成する。発光素子１１はレーザダイオード駆動回路
１２により駆動されるのであって、レーザダイオード駆
動回路１２には、コントローラ２０に設けた原発振器２
１から発生するクロック信号をパルス変調（パルス振幅
変調）する変調器２２の出力が制御信号として入力され
る。変調器２２は、後述する積分器２３から出力される
直流信号の信号レベルに対応して発光素子１１への供給
エネルギが変化するように変調器２２の出力の振幅を変
化させる。このようにして、発光素子１１はクロック信
号に同期して光を間欠的に出力する。
【０００５】一方、位置検出素子１４から出力される一
対の位置信号Ｉ1 ，Ｉ2 は、それぞれ増幅器１５ａ，１
５ｂに入力され、位置信号Ｉ1 ，Ｉ2 が電流信号から電
圧信号Ｖ1 ，Ｖ2 に変換されるとともに増幅された後に
コントローラ２０に出力される。コントローラ２０は、
位置信号Ｉ1 ，Ｉ2 に対応した電圧信号Ｖ1 ，Ｖ2 が入
力される信号処理部２４ａ，２４ｂを備えている。信号
処理部２４ａ，２４ｂでは、電圧信号Ｖ1 ，Ｖ2 を増幅
した後に所定周波数以下の雑音成分を除去し、さらに原
発振器２１からのクロック信号に同期して電圧信号
Ｖ1 ，Ｖ2 を検波する。信号処理部２４ａ，２４ｂでの
電圧信号Ｖ1 ，Ｖ2 の増幅率は外部から調節可能になっ
ている。
対の位置信号Ｉ1 ，Ｉ2 は、それぞれ増幅器１５ａ，１
５ｂに入力され、位置信号Ｉ1 ，Ｉ2 が電流信号から電
圧信号Ｖ1 ，Ｖ2 に変換されるとともに増幅された後に
コントローラ２０に出力される。コントローラ２０は、
位置信号Ｉ1 ，Ｉ2 に対応した電圧信号Ｖ1 ，Ｖ2 が入
力される信号処理部２４ａ，２４ｂを備えている。信号
処理部２４ａ，２４ｂでは、電圧信号Ｖ1 ，Ｖ2 を増幅
した後に所定周波数以下の雑音成分を除去し、さらに原
発振器２１からのクロック信号に同期して電圧信号
Ｖ1 ，Ｖ2 を検波する。信号処理部２４ａ，２４ｂでの
電圧信号Ｖ1 ，Ｖ2 の増幅率は外部から調節可能になっ
ている。
【０００６】信号処理部２４ａ，２４ｂからの出力信号
Ｖ11，Ｖ12は、電圧信号Ｖ1 ，Ｖ2に比例し、両出力は
減算手段である減算器２５により減算されて減算値（Ｖ
11−Ｖ12）が求められるとともに、加算器２６により加
算されて加算値（Ｖ11＋Ｖ12）が求められる。減算器２
５の出力は、所定周波数以上の成分を除去するととも
に、後述する傾き（比例定数）、測定距離のオフセット
値を外部から設定し、またリニアリティを補正して測定
値を補正するＤＣ演算部２７を通して変位出力として出
力される。具体的には、傾きの調節には入力レベルに対
する減衰率を調節し、オフセット値の調節には入力レベ
ルに加算するレベルを調節する。また、ＤＣ演算部２７
は、位置検出素子１４で受光した光量が不足したり過剰
であるときに、光量が正常であったときの測定値を保持
するサンプル・ホールドの機能も有している。
Ｖ11，Ｖ12は、電圧信号Ｖ1 ，Ｖ2に比例し、両出力は
減算手段である減算器２５により減算されて減算値（Ｖ
11−Ｖ12）が求められるとともに、加算器２６により加
算されて加算値（Ｖ11＋Ｖ12）が求められる。減算器２
５の出力は、所定周波数以上の成分を除去するととも
に、後述する傾き（比例定数）、測定距離のオフセット
値を外部から設定し、またリニアリティを補正して測定
値を補正するＤＣ演算部２７を通して変位出力として出
力される。具体的には、傾きの調節には入力レベルに対
する減衰率を調節し、オフセット値の調節には入力レベ
ルに加算するレベルを調節する。また、ＤＣ演算部２７
は、位置検出素子１４で受光した光量が不足したり過剰
であるときに、光量が正常であったときの測定値を保持
するサンプル・ホールドの機能も有している。
【０００７】一方、加算器２６の出力は誤差増幅器２９
に入力され、基準値発生部２８より出力される基準値と
の差が求められる。加算器２６からの出力値は基準値か
ら減算され、その差が積分器２３で平均化され、変調器
２２に入力されるのである。したがって、発光素子１１
からの光出力は、位置検出素子１４での受光光量に対応
してフィードバック制御される。フィードバック系が安
定に動作しているときには、加算器２６の出力が基準値
発生部２８で設定した基準値に一致するように発光素子
１１の発光光量が調節され、位置検出素子１４の受光光
量は略一定量に保たれる。したがって、加算器２６から
出力される加算値（Ｖ11＋Ｖ12）は、回路のダイナミッ
クレンジや応答性能を無視した理想系では一定であっ
て、減算器２５から出力される減算値（Ｖ11−Ｖ12）
は、（Ｖ11−Ｖ12）／（Ｖ11＋Ｖ12）に比例することに
なる。このように、加算器２６、基準値発生部２８、誤
差増幅器２９、積分器２３、変調器２２によって、受光
光量を一定に保つようにフィードバック制御を行う光量
制御手段が構成される。
に入力され、基準値発生部２８より出力される基準値と
の差が求められる。加算器２６からの出力値は基準値か
ら減算され、その差が積分器２３で平均化され、変調器
２２に入力されるのである。したがって、発光素子１１
からの光出力は、位置検出素子１４での受光光量に対応
してフィードバック制御される。フィードバック系が安
定に動作しているときには、加算器２６の出力が基準値
発生部２８で設定した基準値に一致するように発光素子
１１の発光光量が調節され、位置検出素子１４の受光光
量は略一定量に保たれる。したがって、加算器２６から
出力される加算値（Ｖ11＋Ｖ12）は、回路のダイナミッ
クレンジや応答性能を無視した理想系では一定であっ
て、減算器２５から出力される減算値（Ｖ11−Ｖ12）
は、（Ｖ11−Ｖ12）／（Ｖ11＋Ｖ12）に比例することに
なる。このように、加算器２６、基準値発生部２８、誤
差増幅器２９、積分器２３、変調器２２によって、受光
光量を一定に保つようにフィードバック制御を行う光量
制御手段が構成される。
【０００８】次に、上記構成における距離測定の原理を
説明する。図８に示すように、受光スポットが位置検出
素子１４の受光面の中央に形成されているときの投光手
段１の光軸方向における受光光学系１３の中心から物体
３までの距離をｒとし、物体３までの距離がΔｒだけ大
きくなったとする。このとき、受光スポットの位置は図
８の左方にΔｘだけ移動する。位置検出素子１４の受光
面の有効長を２Ｌとすれば、位置信号Ｉ1 ，Ｉ2 は次の
関係になる。
説明する。図８に示すように、受光スポットが位置検出
素子１４の受光面の中央に形成されているときの投光手
段１の光軸方向における受光光学系１３の中心から物体
３までの距離をｒとし、物体３までの距離がΔｒだけ大
きくなったとする。このとき、受光スポットの位置は図
８の左方にΔｘだけ移動する。位置検出素子１４の受光
面の有効長を２Ｌとすれば、位置信号Ｉ1 ，Ｉ2 は次の
関係になる。
【０００９】 Ｉ1 ／Ｉ2 ＝（Ｌ−Δｘ）／（Ｌ＋Δｘ） … 式を変形すると、次式が得られる。 （Ｉ1 −Ｉ2 ）／（Ｉ1 ＋Ｉ2 ）＝Δｘ／Ｌ … 位置検出素子１４の受光面の有効長２Ｌは一定であるか
ら、位置信号Ｉ1 ，Ｉ2に対応した増幅器１５ａ，１５
ｂの出力に基づいて、（Ｉ1 −Ｉ2 ）／（Ｉ1 ＋Ｉ2 ）
に相当する値を求めれば、受光スポットの位置を知るこ
とができるのである。すなわち、（Ｖ11−Ｖ12）／（Ｖ
11＋Ｖ12）を求めれば、位置検出素子１４での受光スポ
ットの変位Δｘを求めることができる。ここに、上述の
ように、減算器２５の出力は（Ｖ11−Ｖ12）であるが、
フィードバック制御によって（Ｖ11＋Ｖ12）が一定値に
保たれているから、減算器２５の出力に除算を施さなく
ても減算器２５からは式の左辺に比例した出力が得ら
れていることになる。したがって、ＤＣ演算部２７にお
いて減算器２５の出力に対する比例定数（傾き）を設定
すれば、受光スポットの変位Δｘを求めることができ
る。
ら、位置信号Ｉ1 ，Ｉ2に対応した増幅器１５ａ，１５
ｂの出力に基づいて、（Ｉ1 −Ｉ2 ）／（Ｉ1 ＋Ｉ2 ）
に相当する値を求めれば、受光スポットの位置を知るこ
とができるのである。すなわち、（Ｖ11−Ｖ12）／（Ｖ
11＋Ｖ12）を求めれば、位置検出素子１４での受光スポ
ットの変位Δｘを求めることができる。ここに、上述の
ように、減算器２５の出力は（Ｖ11−Ｖ12）であるが、
フィードバック制御によって（Ｖ11＋Ｖ12）が一定値に
保たれているから、減算器２５の出力に除算を施さなく
ても減算器２５からは式の左辺に比例した出力が得ら
れていることになる。したがって、ＤＣ演算部２７にお
いて減算器２５の出力に対する比例定数（傾き）を設定
すれば、受光スポットの変位Δｘを求めることができ
る。
【００１０】また、受光光学系１３の中心と位置検出素
子１４との距離をｆ、投光手段１の光軸上で距離ｒの位
置の点と位置検出素子１４の中心とを結ぶ直線が投光手
段１の光軸となす角度をθとすれば、次の関係が得られ
る。 （ｒ／cos θ＋Δｒ／cos θ) ：ｆ／cos θ＝（Δｒ／sin θ）：Δｘ ∴ Δｒ＝ｒ・Δｘ／｛（ｆ／sin θ）−Δｘ｝ ＝ｂ・Δｘ／（ａ−Δｘ） … ただし、ａ＝ｆ／sin θ、ｂ＝ｒである。すなわち、
式によれば、Δｘを求めれば変位した距離Δｒを求める
ことができるのであって、式と式とに基づいて変位
した距離Δｒを求めることができることがわかる。ただ
し、ＤＣ演算部２７では、式に対応する演算を行って
変位Δｘを求め、式による距離Δｒの演算はＤＣ演算
部２７よりも後段で演算される。
子１４との距離をｆ、投光手段１の光軸上で距離ｒの位
置の点と位置検出素子１４の中心とを結ぶ直線が投光手
段１の光軸となす角度をθとすれば、次の関係が得られ
る。 （ｒ／cos θ＋Δｒ／cos θ) ：ｆ／cos θ＝（Δｒ／sin θ）：Δｘ ∴ Δｒ＝ｒ・Δｘ／｛（ｆ／sin θ）−Δｘ｝ ＝ｂ・Δｘ／（ａ−Δｘ） … ただし、ａ＝ｆ／sin θ、ｂ＝ｒである。すなわち、
式によれば、Δｘを求めれば変位した距離Δｒを求める
ことができるのであって、式と式とに基づいて変位
した距離Δｒを求めることができることがわかる。ただ
し、ＤＣ演算部２７では、式に対応する演算を行って
変位Δｘを求め、式による距離Δｒの演算はＤＣ演算
部２７よりも後段で演算される。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記構成に
おける積分器２３は、図６に示すように、演算増幅器Ｏ
Ｐに、積分時定数を決定するコンデンサＣT および抵抗
ＲT を付加して構成されている。また、誤差増幅器２９
の出力を反転して積分しているから、誤差増幅器２９の
出力Ｖａが低下すれば積分器２３の出力Ｖｂは増加す
る。
おける積分器２３は、図６に示すように、演算増幅器Ｏ
Ｐに、積分時定数を決定するコンデンサＣT および抵抗
ＲT を付加して構成されている。また、誤差増幅器２９
の出力を反転して積分しているから、誤差増幅器２９の
出力Ｖａが低下すれば積分器２３の出力Ｖｂは増加す
る。
【００１２】フィードバック系が安定して動作している
ときには、積分器２３の出力は物体の反射率に対応した
直流電圧になる。すなわち、図７（ａ）に示すように、
物体の反射率が比較的高い場合には、受光光量が多いか
ら発光光量を低減させるように積分器２３の出力Ｖｂが
低減して（図７（ｃ））、変調器２２の出力Ｖｃを低減
させ（図７（ｂ））、物体の反射率が比較的低い場合に
は、受光光量が少ないから発光光量を増加させるように
積分器２３の出力Ｖｂが増加して変調器２２の出力Ｖｂ
を増加させる。
ときには、積分器２３の出力は物体の反射率に対応した
直流電圧になる。すなわち、図７（ａ）に示すように、
物体の反射率が比較的高い場合には、受光光量が多いか
ら発光光量を低減させるように積分器２３の出力Ｖｂが
低減して（図７（ｃ））、変調器２２の出力Ｖｃを低減
させ（図７（ｂ））、物体の反射率が比較的低い場合に
は、受光光量が少ないから発光光量を増加させるように
積分器２３の出力Ｖｂが増加して変調器２２の出力Ｖｂ
を増加させる。
【００１３】ここで、積分器２３の積分時定数は、フィ
ードバック系に発振などの不安定動作が生じないよう
に、反射率がもっとも高い物体（たとえば白色の物体）
を想定して設定しているのが現状である。すなわち、積
分時定数を十分に大きく設定することによって、積分器
２３の出力の変動を抑制しているのである。このように
積分時定数を大きくすると、積分器２３の応答時間が長
くなるからフィードバック系の動作は安定する反面、図
７に示すように、高反射率の物体から低反射率の物体に
変化したときに、積分器２３の出力が安定するまでの応
答時間Ｔが長くなり、変調器２２の出力Ｖｂが物体の反
射率に対応して安定するまでに時間がかかるという問題
が生じる。上述したように、減算器２５の出力は、フィ
ードバック系が安定動作しているときに、受光光量で除
算して正規化されているとみなすことができるのであっ
て、安定状態でなければ正しい測定値が得られないか
ら、積分器２３の応答時間Ｔが長くなると、反射率の異
なる物体について変位を測定する際に、正しい測定値が
得られるようになるまでの待ち時間が長くなるという問
題が発生する。
ードバック系に発振などの不安定動作が生じないよう
に、反射率がもっとも高い物体（たとえば白色の物体）
を想定して設定しているのが現状である。すなわち、積
分時定数を十分に大きく設定することによって、積分器
２３の出力の変動を抑制しているのである。このように
積分時定数を大きくすると、積分器２３の応答時間が長
くなるからフィードバック系の動作は安定する反面、図
７に示すように、高反射率の物体から低反射率の物体に
変化したときに、積分器２３の出力が安定するまでの応
答時間Ｔが長くなり、変調器２２の出力Ｖｂが物体の反
射率に対応して安定するまでに時間がかかるという問題
が生じる。上述したように、減算器２５の出力は、フィ
ードバック系が安定動作しているときに、受光光量で除
算して正規化されているとみなすことができるのであっ
て、安定状態でなければ正しい測定値が得られないか
ら、積分器２３の応答時間Ｔが長くなると、反射率の異
なる物体について変位を測定する際に、正しい測定値が
得られるようになるまでの待ち時間が長くなるという問
題が発生する。
【００１４】本発明は上記問題点の解決を目的とするも
のであり、物体の反射率が変化しても安定に動作し、か
つ変化時点から安定状態に移行するまでの応答時間が短
い光学式変位測定装置を提供することにある。
のであり、物体の反射率が変化しても安定に動作し、か
つ変化時点から安定状態に移行するまでの応答時間が短
い光学式変位測定装置を提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、上記
目的を達成するために、点状の光パターンである投光ス
ポットを物体の表面に照射する投光手段と、投光手段か
ら照射された光の物体表面での反射光を受光光学系に通
して収束させ投光スポットの像として形成された受光ス
ポットの位置に対応して出力レベルの比率が決まる一対
の位置信号を出力する受光手段と、各位置信号の出力レ
ベルの差を演算する減算手段と、受光手段での受光光量
と既定の基準値との差を求める誤差増幅器および誤差増
幅器の出力を平均化する積分器を備えていて積分器の出
力値に基づいて受光光量が略一定に保たれるように投光
手段の発光光量をフィードバック制御する光量制御手段
と、積分器の出力のレベルを複数段階に既定された閾値
と比較し積分器の出力のレベルが高いほど積分器の積分
時定数を短くするように切り換える時定数切換手段とを
具備している。
目的を達成するために、点状の光パターンである投光ス
ポットを物体の表面に照射する投光手段と、投光手段か
ら照射された光の物体表面での反射光を受光光学系に通
して収束させ投光スポットの像として形成された受光ス
ポットの位置に対応して出力レベルの比率が決まる一対
の位置信号を出力する受光手段と、各位置信号の出力レ
ベルの差を演算する減算手段と、受光手段での受光光量
と既定の基準値との差を求める誤差増幅器および誤差増
幅器の出力を平均化する積分器を備えていて積分器の出
力値に基づいて受光光量が略一定に保たれるように投光
手段の発光光量をフィードバック制御する光量制御手段
と、積分器の出力のレベルを複数段階に既定された閾値
と比較し積分器の出力のレベルが高いほど積分器の積分
時定数を短くするように切り換える時定数切換手段とを
具備している。
【００１６】請求項２の発明では、投光手段はレーザダ
イオードよりなる発光素子を備え、積分器の出力値に基
づいてパルス変調された制御信号によって発光光量が制
御される。請求項３の発明では、積分器は、演算増幅器
の出力端と反転入力端との間に接続された第１のコンデ
ンサと、第１のコンデンサに直列接続されて入力信号が
通過する抵抗とを備え、時定数切換手段は、第２のコン
デンサとアナログスイッチとを直列接続した複数個の直
列回路を互いに並列接続した時定数切換部と、積分器の
出力のレベルを複数段階に設定された既定の閾値と比較
して対応するアナログスイッチをオンにする比較器とを
備え、時定数切換部が第１のコンデンサに並列接続され
ている。
イオードよりなる発光素子を備え、積分器の出力値に基
づいてパルス変調された制御信号によって発光光量が制
御される。請求項３の発明では、積分器は、演算増幅器
の出力端と反転入力端との間に接続された第１のコンデ
ンサと、第１のコンデンサに直列接続されて入力信号が
通過する抵抗とを備え、時定数切換手段は、第２のコン
デンサとアナログスイッチとを直列接続した複数個の直
列回路を互いに並列接続した時定数切換部と、積分器の
出力のレベルを複数段階に設定された既定の閾値と比較
して対応するアナログスイッチをオンにする比較器とを
備え、時定数切換部が第１のコンデンサに並列接続され
ている。
【００１７】請求項４の発明では、積分器は、演算増幅
器の出力端と反転入力端との間に接続されたコンデンサ
と、コンデンサに直列接続されて入力信号が通過する第
１の抵抗とを備え、時定数切換手段は、第２の抵抗とア
ナログスイッチとを直列接続した複数個の直列回路を互
いに並列接続した時定数切換部と、積分器の出力のレベ
ルを複数段階に設定された既定の閾値と比較して対応す
るアナログスイッチをオンにする比較器とを備え、時定
数切換部が第１の抵抗に並列接続されているのである。
器の出力端と反転入力端との間に接続されたコンデンサ
と、コンデンサに直列接続されて入力信号が通過する第
１の抵抗とを備え、時定数切換手段は、第２の抵抗とア
ナログスイッチとを直列接続した複数個の直列回路を互
いに並列接続した時定数切換部と、積分器の出力のレベ
ルを複数段階に設定された既定の閾値と比較して対応す
るアナログスイッチをオンにする比較器とを備え、時定
数切換部が第１の抵抗に並列接続されているのである。
【００１８】
【作用】上記構成によれば、積分器の出力のレベルを複
数段階に既定された閾値と比較し積分器の出力のレベル
が高いほど積分器の積分時定数を短くするように切り換
えるので、積分器の出力のレベルが低く動作が不安定に
なりがちな領域では、積分時定数を大きくとって積分器
の出力の変動を抑制することによってフィードバック系
の動作を安定させることができる。また、積分器の出力
のレベルが高くなると積分時定数が段階的に短縮される
から、積分器の出力のレベルが高くなってフィードバッ
ク系の動作が安定するほど積分時定数を小さくして応答
時間を短縮することができるのである。すなわち、フィ
ードバック系を安定的に動作させながらも積分器の応答
時間を短縮することができるのであって、物体の反射率
が変化した時点から正しい測定値が得られるようになる
までの時間が短くなるのである。
数段階に既定された閾値と比較し積分器の出力のレベル
が高いほど積分器の積分時定数を短くするように切り換
えるので、積分器の出力のレベルが低く動作が不安定に
なりがちな領域では、積分時定数を大きくとって積分器
の出力の変動を抑制することによってフィードバック系
の動作を安定させることができる。また、積分器の出力
のレベルが高くなると積分時定数が段階的に短縮される
から、積分器の出力のレベルが高くなってフィードバッ
ク系の動作が安定するほど積分時定数を小さくして応答
時間を短縮することができるのである。すなわち、フィ
ードバック系を安定的に動作させながらも積分器の応答
時間を短縮することができるのであって、物体の反射率
が変化した時点から正しい測定値が得られるようになる
までの時間が短くなるのである。
【００１９】
（実施例１）本実施例は、図１および図２に示すよう
に、図５および図６に示した従来構成と基本的な構成は
同様であって、積分器２３の出力を複数段階に設定され
た既定の閾値と比較して積分器２３の積分時定数を切り
換えるようにした点で相違している。すなわち、複数段
階の閾値を発生する閾値発生部３１と、各閾値３１と積
分器２３の出力のレベルとを比較する比較器３２と、比
較器３２に応じて積分器２３の積分時定数を切り換える
時定数切換部３３とからなる時定数切換手段を備えてい
るのである。積分器２３の積分時定数は、積分器２３の
出力が低レベルであるほど大きくなるように設定され、
積分器２３の出力が高レベルになると積分時定数を段階
的に小さくすることによって、安定状態に達するまでの
応答時間を短縮できるようにしているのである。しか
も、積分器２３の出力が低レベルになれば積分時定数が
大きくなるから、高反射率の物体に対してフィードバッ
ク系を安定動作させることができる。従来構成と同じ符
号を付した他の構成は従来構成と同様である。
に、図５および図６に示した従来構成と基本的な構成は
同様であって、積分器２３の出力を複数段階に設定され
た既定の閾値と比較して積分器２３の積分時定数を切り
換えるようにした点で相違している。すなわち、複数段
階の閾値を発生する閾値発生部３１と、各閾値３１と積
分器２３の出力のレベルとを比較する比較器３２と、比
較器３２に応じて積分器２３の積分時定数を切り換える
時定数切換部３３とからなる時定数切換手段を備えてい
るのである。積分器２３の積分時定数は、積分器２３の
出力が低レベルであるほど大きくなるように設定され、
積分器２３の出力が高レベルになると積分時定数を段階
的に小さくすることによって、安定状態に達するまでの
応答時間を短縮できるようにしているのである。しか
も、積分器２３の出力が低レベルになれば積分時定数が
大きくなるから、高反射率の物体に対してフィードバッ
ク系を安定動作させることができる。従来構成と同じ符
号を付した他の構成は従来構成と同様である。
【００２０】具体的には、図２に示すように、積分器２
３のコンデンサＣT と並列にアナログスイッチＡＳ1 〜
ＡＳ4 とコンデンサＣ1 〜Ｃ4 との直列回路を４個接続
して時定数切換部３３を構成し、それぞれ比較器３２を
構成する４個のコンパレータＣＰ1 〜ＣＰ4 によって各
アナログスイッチＡＳ1 〜ＡＳ4 を制御する。各コンパ
レータＣＰ1 〜ＣＰ4 には、それぞれ抵抗Ｒj1，Ｒ
j2（ｊ＝１，２，３，４）よりなる閾値発生部３１が接
続され、各コンパレータＣＰ1 〜ＣＰ4 は抵抗Ｒj1，Ｒ
j2により電源電圧を分圧して得た閾値に対して積分器２
３の出力が低くなると出力をＨレベルにして対応する各
アナログスイッチＡＳ1 〜ＡＳ4 をオンにする。ここ
に、積分器２３の出力は抵抗ＲS とコンデンサＣS とか
らなる時定数の比較的小さい積分回路を通して各コンパ
レータＣＰ1 〜ＣＰ4 に入力される。
３のコンデンサＣT と並列にアナログスイッチＡＳ1 〜
ＡＳ4 とコンデンサＣ1 〜Ｃ4 との直列回路を４個接続
して時定数切換部３３を構成し、それぞれ比較器３２を
構成する４個のコンパレータＣＰ1 〜ＣＰ4 によって各
アナログスイッチＡＳ1 〜ＡＳ4 を制御する。各コンパ
レータＣＰ1 〜ＣＰ4 には、それぞれ抵抗Ｒj1，Ｒ
j2（ｊ＝１，２，３，４）よりなる閾値発生部３１が接
続され、各コンパレータＣＰ1 〜ＣＰ4 は抵抗Ｒj1，Ｒ
j2により電源電圧を分圧して得た閾値に対して積分器２
３の出力が低くなると出力をＨレベルにして対応する各
アナログスイッチＡＳ1 〜ＡＳ4 をオンにする。ここ
に、積分器２３の出力は抵抗ＲS とコンデンサＣS とか
らなる時定数の比較的小さい積分回路を通して各コンパ
レータＣＰ1 〜ＣＰ4 に入力される。
【００２１】各コンパレータＣＰ1 〜ＣＰ4 に対して設
定された閾値をＶ1 〜Ｖ4 とするとき、Ｖ1 ＜Ｖ2 ＜Ｖ
3 ＜Ｖ4 となるように閾値発生部３１を構成する抵抗Ｒ
j1，Ｒj2の抵抗値が決定される。したがって、コンパレ
ータＣＰ1 の出力がＨレベルになるときには（Ｖｂ＜Ｖ
1 ）、他のコンパレータＣＰ2 〜ＣＰ4 の出力もＨレベ
ルになるのであって、この状態ではコンデンサＣT に対
してすべてのコンデンサＣ1 〜Ｃ4 が並列に接続される
ことになり、積分時定数が最大になる。積分器２３の出
力ＶｂがＶ1 ＜Ｖｂ＜Ｖ2 であれば、コンデンサＣ1 が
外されてコンデンサＣ2 〜Ｃ4 がコンデンサＣT に並列
接続されることになる。また、Ｖ4 ＜Ｖｂのときには、
どのコンデンサＣ1 〜Ｃ4 もコンデンサＣT には接続さ
れない。ここに、各コンデンサＣ1 〜Ｃ4 により設定さ
れる時定数はたとえば次のような関係に決定される。す
なわち、Ｖｂ＜Ｖ1 のときの時定数をｔ0 とすると、Ｖ
1＜Ｖｂ＜Ｖ2 では０．５・ｔ0 、Ｖ2 ＜Ｖｂ＜Ｖ3 で
０．２・ｔ0 、Ｖ3 ＜Ｖｂ＜Ｖ4 で０．１・ｔ0 、Ｖ4
＜Ｖｂで０．０５・ｔ0 とする。コンデンサＣT とコン
デンサＣ1 〜Ｃ4 との容量の関係で示すと、Ｃ1 ：
Ｃ2 ：Ｃ3 ：Ｃ4 ：ＣT＝１０：６：２：１：１にな
る。このように設定すれば、従来構成においてフィード
バック系の安定性を同じ程度にした場合の積分器２３の
応答時間に対して１０分の１程度の応答時間に短縮する
ことが可能になる。
定された閾値をＶ1 〜Ｖ4 とするとき、Ｖ1 ＜Ｖ2 ＜Ｖ
3 ＜Ｖ4 となるように閾値発生部３１を構成する抵抗Ｒ
j1，Ｒj2の抵抗値が決定される。したがって、コンパレ
ータＣＰ1 の出力がＨレベルになるときには（Ｖｂ＜Ｖ
1 ）、他のコンパレータＣＰ2 〜ＣＰ4 の出力もＨレベ
ルになるのであって、この状態ではコンデンサＣT に対
してすべてのコンデンサＣ1 〜Ｃ4 が並列に接続される
ことになり、積分時定数が最大になる。積分器２３の出
力ＶｂがＶ1 ＜Ｖｂ＜Ｖ2 であれば、コンデンサＣ1 が
外されてコンデンサＣ2 〜Ｃ4 がコンデンサＣT に並列
接続されることになる。また、Ｖ4 ＜Ｖｂのときには、
どのコンデンサＣ1 〜Ｃ4 もコンデンサＣT には接続さ
れない。ここに、各コンデンサＣ1 〜Ｃ4 により設定さ
れる時定数はたとえば次のような関係に決定される。す
なわち、Ｖｂ＜Ｖ1 のときの時定数をｔ0 とすると、Ｖ
1＜Ｖｂ＜Ｖ2 では０．５・ｔ0 、Ｖ2 ＜Ｖｂ＜Ｖ3 で
０．２・ｔ0 、Ｖ3 ＜Ｖｂ＜Ｖ4 で０．１・ｔ0 、Ｖ4
＜Ｖｂで０．０５・ｔ0 とする。コンデンサＣT とコン
デンサＣ1 〜Ｃ4 との容量の関係で示すと、Ｃ1 ：
Ｃ2 ：Ｃ3 ：Ｃ4 ：ＣT＝１０：６：２：１：１にな
る。このように設定すれば、従来構成においてフィード
バック系の安定性を同じ程度にした場合の積分器２３の
応答時間に対して１０分の１程度の応答時間に短縮する
ことが可能になる。
【００２２】上記構成についての動作例を説明する。図
３（ａ）に示すように物体の反射率が低い状態から高い
状態に変化したときには、図３（ｃ）のように積分器２
３の出力Ｖｂは急速に低下して、図３（ｂ）のように変
調器２２の出力Ｖｃを低レベルに設定して発光光量を小
さくする。この場合の応答時間は従来構成でも短時間で
あったから従来構成との差はあまり生じない。一方、物
体の反射率が高い状態から低い状態に変化したときに
は、図３（ｃ）のように積分器２３の出力Ｖｂは上昇し
ようとする。ここで、積分器２３の出力Ｖｂのレベルが
低くＶｂ＜Ｖ1 である期間にはすべてのコンデンサＣ1
〜Ｃ4 がコンデンサＣT に並列接続されているから、積
分時定数が大きく立ち上がりは比較的緩やかであるが、
積分器２３の出力Ｖｂが閾値Ｖ1 を越えるとコンデンサ
Ｃ1 が切り離されて積分時定数が短縮されて立ち上がり
が速くなる。このようにして、積分器２３の出力Ｖｂが
上昇するにつれて積分時定数が段階的に短縮されるか
ら、結果的に比較的短い応答時間Ｔで安定状態に到達す
ることになる。しかも、反射率が高くフィードバック系
が不安定になりがちであるときには、積分時定数が比較
的大きくなるから、フィードバック系を安定的に動作さ
せることができるのである。
３（ａ）に示すように物体の反射率が低い状態から高い
状態に変化したときには、図３（ｃ）のように積分器２
３の出力Ｖｂは急速に低下して、図３（ｂ）のように変
調器２２の出力Ｖｃを低レベルに設定して発光光量を小
さくする。この場合の応答時間は従来構成でも短時間で
あったから従来構成との差はあまり生じない。一方、物
体の反射率が高い状態から低い状態に変化したときに
は、図３（ｃ）のように積分器２３の出力Ｖｂは上昇し
ようとする。ここで、積分器２３の出力Ｖｂのレベルが
低くＶｂ＜Ｖ1 である期間にはすべてのコンデンサＣ1
〜Ｃ4 がコンデンサＣT に並列接続されているから、積
分時定数が大きく立ち上がりは比較的緩やかであるが、
積分器２３の出力Ｖｂが閾値Ｖ1 を越えるとコンデンサ
Ｃ1 が切り離されて積分時定数が短縮されて立ち上がり
が速くなる。このようにして、積分器２３の出力Ｖｂが
上昇するにつれて積分時定数が段階的に短縮されるか
ら、結果的に比較的短い応答時間Ｔで安定状態に到達す
ることになる。しかも、反射率が高くフィードバック系
が不安定になりがちであるときには、積分時定数が比較
的大きくなるから、フィードバック系を安定的に動作さ
せることができるのである。
【００２３】（実施例２）本実施例は、図４に示すよう
に、積分器２３の抵抗ＲT に対して、アナログスイッチ
ＡＳ11〜ＡＳ14と抵抗Ｒ1 〜Ｒ4 との４個の直列回路を
並列に接続しているのである。アナログスイッチＡＳ11
〜ＡＳ14は、実施例１と同様の構成を有したコンパレー
タＣＰ1 〜ＣＰ4 の出力を否定回路ＮＴ1 〜ＮＴ4 でそ
れぞれ反転させて制御される。閾値発生回路３１は実施
例１と同様に構成される。したがって、実施例１とは逆
に、積分器２３の出力のレベルが高いほどオンになるア
ナログスイッチＡＳ11〜ＡＳ14の個数が多くなる。要す
るに、積分器２３の出力のレベルが高くなるほど抵抗Ｒ
T に並列に接続される抵抗Ｒ1 〜Ｒ4 の個数を多くする
ことによって、実施例１と同様に積分時定数を短縮する
ように構成されているのである。すなわち、積分器２３
の出力ＶｂがＶｂ＜Ｖ1 であれば抵抗ＲT にはどの抵抗
Ｒ1 〜Ｒ4 も並列接続されず、Ｖ1 ＜Ｖｂ＜Ｖ2 になる
と抵抗Ｒ1 が並列接続され、Ｖ2 ＜Ｖｂ＜Ｖ3 になると
抵抗Ｒ1 ，Ｒ2 が並列接続され、Ｖ3 ＜Ｖｂ＜Ｖ4 にな
ると抵抗Ｒ1 ，Ｒ2 ，Ｒ3 が並列接続され、Ｖ4 ＜Ｖｂ
になるとすべての抵抗Ｒ1 〜Ｒ4 が並列接続されるので
ある。積分器２３の出力Ｖｂと積分時定数との関係を実
施例１と同様に設定する場合には、抵抗ＲT と抵抗Ｒ1
粗Ｒ4 の関係は次のようになる。すなわち、ＲT ：
Ｒ1 ：Ｒ2 ：Ｒ3 ：Ｒ4 ＝３０：３０：１０：６：３に
なる。他の構成および動作は実施例１と同様である。
に、積分器２３の抵抗ＲT に対して、アナログスイッチ
ＡＳ11〜ＡＳ14と抵抗Ｒ1 〜Ｒ4 との４個の直列回路を
並列に接続しているのである。アナログスイッチＡＳ11
〜ＡＳ14は、実施例１と同様の構成を有したコンパレー
タＣＰ1 〜ＣＰ4 の出力を否定回路ＮＴ1 〜ＮＴ4 でそ
れぞれ反転させて制御される。閾値発生回路３１は実施
例１と同様に構成される。したがって、実施例１とは逆
に、積分器２３の出力のレベルが高いほどオンになるア
ナログスイッチＡＳ11〜ＡＳ14の個数が多くなる。要す
るに、積分器２３の出力のレベルが高くなるほど抵抗Ｒ
T に並列に接続される抵抗Ｒ1 〜Ｒ4 の個数を多くする
ことによって、実施例１と同様に積分時定数を短縮する
ように構成されているのである。すなわち、積分器２３
の出力ＶｂがＶｂ＜Ｖ1 であれば抵抗ＲT にはどの抵抗
Ｒ1 〜Ｒ4 も並列接続されず、Ｖ1 ＜Ｖｂ＜Ｖ2 になる
と抵抗Ｒ1 が並列接続され、Ｖ2 ＜Ｖｂ＜Ｖ3 になると
抵抗Ｒ1 ，Ｒ2 が並列接続され、Ｖ3 ＜Ｖｂ＜Ｖ4 にな
ると抵抗Ｒ1 ，Ｒ2 ，Ｒ3 が並列接続され、Ｖ4 ＜Ｖｂ
になるとすべての抵抗Ｒ1 〜Ｒ4 が並列接続されるので
ある。積分器２３の出力Ｖｂと積分時定数との関係を実
施例１と同様に設定する場合には、抵抗ＲT と抵抗Ｒ1
粗Ｒ4 の関係は次のようになる。すなわち、ＲT ：
Ｒ1 ：Ｒ2 ：Ｒ3 ：Ｒ4 ＝３０：３０：１０：６：３に
なる。他の構成および動作は実施例１と同様である。
【００２４】
【発明の効果】本発明は上述のように、積分器の出力の
レベルを複数段階に既定された閾値と比較し積分器の出
力のレベルが高いほど積分器の積分時定数を短くするよ
うに切り換えるので、積分器の出力のレベルが低く動作
が不安定になりがちな領域では、積分時定数を大きくと
って積分器の出力の変動を抑制することによってフィー
ドバック系の動作を安定させることができるという効果
がある。また、積分器の出力のレベルが高くなると積分
時定数が段階的に短縮されるから、積分器の出力のレベ
ルが高くなってフィードバック系の動作が安定するほど
積分時定数を小さくして応答時間を短縮することができ
るという利点がある。その結果、フィードバック系を安
定的に動作させながらも積分器の応答時間を短縮するこ
とができ、物体の反射率が変化した時点から正しい測定
値が得られるようになるまでの時間が短くなるという利
点がある。
レベルを複数段階に既定された閾値と比較し積分器の出
力のレベルが高いほど積分器の積分時定数を短くするよ
うに切り換えるので、積分器の出力のレベルが低く動作
が不安定になりがちな領域では、積分時定数を大きくと
って積分器の出力の変動を抑制することによってフィー
ドバック系の動作を安定させることができるという効果
がある。また、積分器の出力のレベルが高くなると積分
時定数が段階的に短縮されるから、積分器の出力のレベ
ルが高くなってフィードバック系の動作が安定するほど
積分時定数を小さくして応答時間を短縮することができ
るという利点がある。その結果、フィードバック系を安
定的に動作させながらも積分器の応答時間を短縮するこ
とができ、物体の反射率が変化した時点から正しい測定
値が得られるようになるまでの時間が短くなるという利
点がある。
【図１】実施例１を示すブロック回路図である。
【図２】実施例１を示す要部の回路図である。
【図３】実施例１の動作説明図である。
【図４】実施例２を示す要部の回路図である。
【図５】従来例を示すブロック回路図である。
【図６】従来例を示す要部の回路図である。
【図７】従来例の動作説明図である。
【図８】本発明に係る光学式変位測定装置の動作原理を
示す説明図である。
示す説明図である。
１ 投光手段 ２ 受光手段 １１ 投光素子 １３ 受光光学系 １４ 位置検出素子 ２２ 変調器 ２３ 積分器 ２５ 減算器 ２６ 加算器 ２８ 基準値発生部 ２９ 誤差増幅器 ３１ 閾値発生部 ３２ 比較器 ３３ 時定数切換部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−226607（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−13412（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−215913（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−272413（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−263811（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−149883（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−171608（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−74713（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01C 3/06 G01B 11/00
Claims (4)
- 【請求項１】 点状の光パターンである投光スポットを
物体の表面に照射する投光手段と、投光手段から照射さ
れた光の物体表面での反射光を受光光学系に通して収束
させ投光スポットの像として形成された受光スポットの
位置に対応して出力レベルの比率が決まる一対の位置信
号を出力する受光手段と、各位置信号の出力レベルの差
を演算する減算手段と、受光手段での受光光量と既定の
基準値との差を求める誤差増幅器および誤差増幅器の出
力を平均化する積分器を備えていて積分器の出力値に基
づいて受光光量が略一定に保たれるように投光手段の発
光光量をフィードバック制御する光量制御手段と、積分
器の出力のレベルを複数段階に既定された閾値と比較し
積分器の出力のレベルが高いほど積分器の積分時定数を
短くするように切り換える時定数切換手段とを具備する
ことを特徴とする光学式変位測定装置。 - 【請求項２】 投光手段はレーザダイオードよりなる発
光素子を備え、積分器の出力値に基づいてパルス変調さ
れた制御信号によって発光光量が制御されることを特徴
とする請求項１記載の光学式変位測定装置。 - 【請求項３】 積分器は、演算増幅器の出力端と反転入
力端との間に接続された第１のコンデンサと、第１のコ
ンデンサに直列接続されて入力信号が通過する抵抗とを
備え、時定数切換手段は、第２のコンデンサとアナログ
スイッチとを直列接続した複数個の直列回路を互いに並
列接続した時定数切換部と、積分器の出力のレベルを複
数段階に設定された既定の閾値と比較して対応するアナ
ログスイッチをオンにする比較器とを備え、時定数切換
部が第１のコンデンサに並列接続されていることを特徴
とする請求項１記載の光学式変位測定装置。 - 【請求項４】 積分器は、演算増幅器の出力端と反転入
力端との間に接続されたコンデンサと、コンデンサに直
列接続されて入力信号が通過する第１の抵抗とを備え、
時定数切換手段は、第２の抵抗とアナログスイッチとを
直列接続した複数個の直列回路を互いに並列接続した時
定数切換部と、積分器の出力のレベルを複数段階に設定
された既定の閾値と比較して対応するアナログスイッチ
をオンにする比較器とを備え、時定数切換部が第１の抵
抗に並列接続されていることを特徴とする請求項１記載
の光学式変位測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20092192A JP3195656B2 (ja) | 1992-07-28 | 1992-07-28 | 光学式変位測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20092192A JP3195656B2 (ja) | 1992-07-28 | 1992-07-28 | 光学式変位測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0642959A JPH0642959A (ja) | 1994-02-18 |
| JP3195656B2 true JP3195656B2 (ja) | 2001-08-06 |
Family
ID=16432494
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20092192A Expired - Fee Related JP3195656B2 (ja) | 1992-07-28 | 1992-07-28 | 光学式変位測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3195656B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2814542B1 (fr) * | 2000-09-22 | 2003-01-03 | Schneider Electric Ind Sa | Detecteur optique a emission regulee |
| JP2005201672A (ja) * | 2004-01-13 | 2005-07-28 | Nikon Corp | 面位置検出装置、露光装置及び露光方法 |
-
1992
- 1992-07-28 JP JP20092192A patent/JP3195656B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0642959A (ja) | 1994-02-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5082363A (en) | Optical distance measuring apparatus and method using light projection pulses | |
| JPS5842411B2 (ja) | 距離測定装置 | |
| US5905576A (en) | Optical displacement measurement device and optical displacement measurement system | |
| JP3195656B2 (ja) | 光学式変位測定装置 | |
| JP3227212B2 (ja) | 光学式変位測定装置 | |
| JP3974670B2 (ja) | 光学式変位測定装置 | |
| JPH0642958A (ja) | 光学式変位測定装置 | |
| US6549058B1 (en) | Signal processing circuits for multiplication or division of analog signals and optical triangulation distance measurement system and method incorporating same | |
| JP3271797B2 (ja) | 光学式変位測定装置 | |
| JPH0562883U (ja) | 距離測定装置 | |
| JP3661278B2 (ja) | 光学式変位測定装置 | |
| EP0328136B1 (en) | Distance measuring apparatus | |
| JPH0642957A (ja) | 光学式変位測定装置 | |
| JPH06221848A (ja) | レーザダイオードを光源に用いた光電式測距装置 | |
| JPS59202731A (ja) | 光電スイツチ | |
| JP3269320B2 (ja) | 光学式変位センサ | |
| JP2814389B2 (ja) | 距離測定装置 | |
| JPH0648190B2 (ja) | 光学式変位測定装置 | |
| JPH0412804B2 (ja) | ||
| JPH0648191B2 (ja) | 光学式変位測定装置 | |
| JP2655659B2 (ja) | 距離センサ | |
| JPH0346820A (ja) | 光電スイッチ | |
| JP2909565B2 (ja) | レ−ザ変位計 | |
| JP3659260B2 (ja) | 光学式変位測定装置 | |
| JP3661279B2 (ja) | 光学式変位測定装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20010522 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |