JP3194034U - セルフテスト機能を備えるテープ挟持装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ウエハテープ貼付機上に応用するセルフテスト機能を備えるテープ挟持装置を提供する。【解決手段】テープ挟持装置５は、ガイドレール５０、２組の挟持ヘッドアセンブリ５１、ロッキング機構５２を備える。２組の挟持ヘッドアセンブリ５１はガイドレール５０のスライドブロック５０１上にそれぞれ固定して設置し、ガイドレール５０のスライドブロック５０１に従い移動する。ロッキング機構５２はガイドレール５０上に設置され、挟持ヘッドアセンブリ５１をロックする。さらに少なくとも一対の接触式センサー５３ａ、５３ｂを備え、各対の接触式センサー５３ａ、５３ｂはガイドレール５０の中心に沿って対称に設置され、固定部品５４を経て、ガイドレール５０のレール５０２上に固定され、しかも接触式センサー５３ａ、５３ｂの感知頭部は、挟持ヘッドアセンブリ５１に向かい、接触式センサー５３ａ、５３ｂはコントローラーに電気的に連接する。【選択図】図１

Description

本考案は、テープ貼付機に関し、ＩＣ（集積回路）のテスト分野に属するテープ貼付機上に用いるセルフテスト機能を備えるテープ挟持装置に関する。

現在実際の製造工程では、ウエハのカッティング、或いは研磨作業の前に、ウエハにテープを接着する工程を行う。
すなわち、ウエハ（Ｗａｆｅｒ）の片面にブルーテープ（ｂｌｕｅ ｔａｐｅ）などのテープを接着する。
これにより、カットされたダイス、或いは研磨で出る屑は、テープ上に付着する。

上記した製造工程において用いられる従来のウエハテープ接着設備は、機械本体、ウエハキャリア台、ローリング機構、テープ挟持装置、カッターセットを備える。
上記の内、後の４者は、機械本体に設置される。
テープ挟持装置は、テープを挟持し、その下方に位置するウエハキャリア台上へと移動し、ウエハの片面をテープで覆う。
次に、ウエハキャリア台に向かい設置されるカッターセットを利用し、テープを切断する。
続いて、ローリング機構を利用し、テープを圧迫し、テープをウエハ上に堅固に密着させる。

上記したテープ貼付機のテープ挟持装置は、ウエハのサイズに応じて、さまざまなサイズのテープを接着することができる。
例えば、テープ貼付機のテープ挟持装置は、８インチ或いは１２インチの２種の大きさに調整し、ウエハのサイズに適応させることができる。
テープ挟持装置は、機械本体上に固定して設置するガイドレール、及びガイドレールのスライドブロック上にそれぞれ設置する２組の挟持ヘッド部品を備える。
スライドブロックにより、２組の挟持ヘッド部品をそれぞれ移動させることができ、挟持ヘッド部品の間の距離を調整し、テープのサイズに適応させることができる。

しかし、テープ挟持装置の定位点は、実際の作業過程では、通常は以下の原因によりエラーや誤差が出現する。
1.設備は作業過程に於いて、頻繁に震動を発生し、力を受ける過程で、挟持ヘッド部品は偏移し、これによりテープ挟持装置の定位点に誤差が生まれてしまう。
2.別のサイズに調整し、テープをウエハに接着させる時には、挟持ヘッド部品間の距離を調整する必要がある。
3.上記状況において、作業人員が挟持ヘッド部品を正確な一点へと調整しなかったなら、調整の不適当、或いは不正確により、挟持ヘッド部品間の距離に誤差が生じてしまう。

しかし、上述した考案は使用上に欠点があり、改善する必要がある。その原因は下記の通りである。

従来のテープ挟持装置では、定位誤差或いはエラーが生じ、機械の衝突及びテープの破損現象が起き易い。

本考案の目的は、テープ挟持ヘッドの所在位置を自動的に探知することで、挟持ヘッドの定位におけるエラー或いは誤差の出現を回避し、テープ接着作業のスムーズな進行を保証することができるセルフテスト機能を備えるテープ挟持装置を提供することにある。

本考案によるセルフテスト機能を備えるテープ挟持装置は、ウエハテープ貼付機上に応用するセルフテスト機能を備えるテープ挟持装置であって、ウエハテープ貼付機は、機械本体、及び機械本体上にそれぞれ設置する加工品キャリア台、ローリング機構、カッターセット、テープ挟持装置を備える。
テープ挟持装置は、ガイドレール、２組の挟持ヘッドアセンブリ、ロッキング機構を備える。
２組の挟持ヘッドアセンブリは、ガイドレールのスライドブロック上にそれぞれ固定して設置し、ガイドレールのスライドブロックに従い移動する。
ロッキング機構は、ガイドレール上に設置され、挟持ヘッドアセンブリをロックする。
テープ挟持装置はさらに、少なくとも一対の接触式センサーを備え、各対の接触式センサーは、ガイドレールの中心に沿って対称に設置され、固定部品を経て、ガイドレールのレール上に固定され、しかも接触式センサーの感知頭部は、挟持ヘッドアセンブリに向かい、接触式センサーは、コントローラーに電気的に連接する。

固定部品上には、腰型孔を設置し、接触式センサーは、腰型孔により、その、ガイドレールのレール上での位置を微調整され、腰型孔内に挿入して設置するネジにより、ガイドレールのレール上に固定される。

挟持ヘッドアセンブリは、気圧シリンダー一を備える。
気圧シリンダー一の片側には、第一挟持片を固定して設置する。
気圧シリンダーの伸縮棒上には、第二挟持片を固定して設置する。
第一挟持片と第二挟持片とは、上下にテープを挟む。

挟持ヘッドアセンブリはさらに、気圧シリンダー二、気圧シリンダー三を備える。
気圧シリンダー一は、第一固定ブロックにより、気圧シリンダー二の片側に固定され、気圧シリンダー二は気圧シリンダー一を連動し上下に運動させる。
気圧シリンダー二は、第二固定ブロックを経て、気圧シリンダー三上に固定される。
気圧シリンダー三は、気圧シリンダー二の水平運動を連動し、しかも気圧シリンダー三は、ガイドレールのスライドブロック上に固定される。

ロッキング機構は、調節ネジを備え、調節ネジは、ガイドレールのスライドブロック上に通して設置し、そのネジヤマ部は、ロック時には、ガイドレールのレールを押さえる。

本考案が提供するセルフテスト機能を備えるテープ挟持装置は接触式センサーにより、テープ挟持装置の所在定位点が正確であるか否かを自動的に探知し、フィードバックを行い、調整が必要かどうかを知らせることができ、これによりテープ挟持装置が正確な位置にあるよう保証し、機械が衝突したり、テープが破損したりという現象は出現しない。

本考案の一実施形態によるセルフテスト機能を備えるテープ挟持装置の構造模式図である。 本考案の一実施形態によるテープ挟持装置の局部構造模式図である。 本考案の一実施形態によるテープ貼付機の作動状態を示す左視模式図である。 本考案の一実施形態によるセルフテスト機能を備えるテープ挟持装置の挟持ヘッドアセンブリを、第二接触式センサーへと調整する様子を示す構造模式図である。 本考案の一実施形態によるセルフテスト機能を備えるテープ挟持装置にコントローラーを連接する様子を示す模式図である。

本考案の一実施形態によるセルフテスト機能を備えるテープ挟持装置を図面に基づいて説明する。
図１〜３に示すように、セルフテスト機能を備えるテープ挟持装置５は、ウエハテープ貼付機上に応用するセルフテスト機能を備えるテープ挟持装置５である。

ウエハテープ貼付機は、機械本体１、機械本体１上にそれぞれ設置する加工品キャリア台２、ローリング機構３、カッターセット４、テープ挟持装置５を備える。
テープ挟持装置５は、テープ８の挟持に用い、その下方に位置する上は搭載に用いる加工品キャリア台２上へと移動し、テープ８でウエハの片面上を覆う。
次に、加工品キャリア台２に向って設置するカッターセット４を利用し、テープ８を切断する。
さらに、ローリング機構３を利用し、テープ８を圧迫し、ウエハ上に堅固に密着させる。

テープ挟持装置５は、ガイドレール５０、２組の挟持ヘッドアセンブリ５１、ロッキング機構５２を備える。
２組の挟持ヘッドアセンブリ５１は、ガイドレール５０のスライドブロック５０１上にそれぞれ固定して設置し、ガイドレール５０のスライドブロック５０１に従い移動する。
ロッキング機構５２は、ガイドレール５０上に設置され、挟持ヘッドアセンブリ５１をロックする。
ロッキング機構５２は、調節ネジを備え、当該調節ネジは、ガイドレール５０のスライドブロック５０１上に通して設置し、ロック時には、ガイドレール５０のレール５０２を押さえる。
これにより、スライドブロック５０１のレール５０２に沿ったスライド移動を禁止する。
これにより、挟持ヘッドアセンブリ５１を、レール５０２のある位置に固定する。

本実施形態では、ロッキング機構５２は、他の任意の係合機構とすることができる。
テープ挟持装置５はさらに、一対の第一接触式センサー５３ａ、第二接触式センサー５３ｂを備える。

図１、２に示すように、一対の第一接触式センサー５３ａ及び第二接触式センサー５３ｂは、ガイドレール５０の中心にそれぞれ沿って対称に設置され、固定部品５４を経て、ガイドレール５０のレール５０２上に固定される。
第一接触式センサー５３ａと第二接触式センサー５３ｂの感知頭部５３１は、挟持ヘッドアセンブリ５１に向かい、同時に、第一接触式センサー５３ａと第二接触式センサー５３ｂとは、コントローラー６にそれぞれ電気的に連接する（図５参照）。

固定部品５４上には、腰型孔５４ａを設置する。
接触式センサー５３は、腰型孔５４ａにより、そのガイドレール５０のレール５０２上での位置を微調整することができる。
並びに、腰型孔５４ａ内に挿入して設置するネジにより、レール５０２上に固定する。

挟持ヘッドアセンブリ５１は、気圧シリンダー一５１１を備える。
気圧シリンダー一５１１の片側には、第一挟持片５１２、第二挟持片５１３を固定して設置する。
第一挟持片５１２と第二挟持片５１３とは、上下にテープを挟む。
挟持ヘッドアセンブリ５１はさらに、気圧シリンダー二５１４、気圧シリンダー三５１５を備える。
気圧シリンダー一５１１は、Ｌ型を呈する第一固定ブロック５１６により、気圧シリンダー二５１４の片側に固定され、気圧シリンダー二５１４は気圧シリンダー一５１１を連動し上下に運動させる。
気圧シリンダー二５１４は、第二固定ブロック５１７を経て、気圧シリンダー三５１５上に固定される。
気圧シリンダー三５１５は、気圧シリンダー二５１４の水平運動を連動し、しかも気圧シリンダー三５１５は、ガイドレール５０のスライドブロック５０１上に固定される。

テープ貼付機が作業を行う前には、テープ挟持装置５を必ず正確な位置へと調整し、衝突やテープ破損の現象を回避なければならない。
図１に示すように、もしガイドレール５０のスライドブロック５０１と第一接触式センサー５３ａが接触するなら、ガイドレール５０上に固定して設置する挟持ヘッドアセンブリ５１は正確な位置にあり、８インチ（ｉｎｃｈ）のテープの挟持にちょうど適応できることを示している。

図４に示すように、ガイドレール５０のスライドブロック５０１が、第二接触式センサー５３ｂ位置へと移動し、しかもスライドブロック５０１は第二接触式センサー５３ｂに接触するなら、ガイドレール５０上に固定して設置する挟持ヘッドアセンブリ５１は１２インチ（ｉｎｃｈ）のテープの挟持にちょうど適応できることを示している。

図５に示すように、ガイドレール５０のスライドブロック５０１が、対称的に設置する第一接触式センサー５３ａ、或いは第二接触式センサー５３ｂに未接触なら、セルフテスト機能を備えるテープ挟持装置５は、正確な位置に調整されていないことを示している。
第一接触式センサー５３ａ、或いは第二接触式センサー５３ｂはフィードバック信号を、コントローラー６に発信する。
コントローラー６はフィードバック信号を受信後、信号を発信して警報器７に通知する。
警報器７は、警報を発し、機械が以上状態にあることを作業人員に通知する。
さらに、第一接触式センサー５３ａ、或いは第二接触式センサー５３ｂは、一時停止信号をコントローラー６へと発し、コントローラー６は、指令を発し、ウエハテープ貼付機が作動を停止するようコントロールし、ウエハが損傷しないよう回避することができる。

当然、上記した接触式センサーは、ガイドレールのスライドブロックだけを感知するように設定する必要はなく、挟持装置の他の構造を感知することもでき、機械のサイズ、及び操作要求などに基づき、接触式センサーが感知する位置を、具体的に設計することができる。
実際の作業の必要に基づき、機械が多種のサイズの作業を行う必要がある場合には、接触式センサーを増やし、挟持ヘッドアセンブリの具体的な作業サイズにおける作動位置を調整することができる。

本考案の具体的な作動過程は以下の通りである。
１．図１に示すテープ挟持装置５を正確な位置（すなわち、ガイドレール５０のスライドブロック５０１の一端が第一接触式センサー５３ａ、或いは第二接触式センサー５３ｂに接触する位置）に位置させる。この時、機械は正常に作動し、気圧シリンダー一５１１の伸縮棒は下方へと伸び、第二挟持片５１３を連動して下方へと移動させ、第一挟持片５１２と離れさせる。
２．気圧シリンダー三５１５は気圧シリンダー二５１４を連動し、水平方向に沿って、外側へとわずかに移動させる。これにより気圧シリンダー一５１１及び挟持片を連動し、外側へと移動させる。これにより、２組の挟持片の間の空間は大きくなり、テープを入れ易くなる。
３．テープを第一挟持片５１２と第二挟持片５１３との間に入れる。設置が完了後、気圧シリンダー三５１５は、気圧シリンダー二５１４により、気圧シリンダー一５１１及び挟持片を連動し、水平方向に沿って、内側へとわずかに移動させる。この時、２組の挟持片の間の距離は、テープのサイズにちょうど適応する。続いて、気圧シリンダー一５１１の伸縮棒は上方へと移動し、第一挟持片５１２と第二挟持片５１３は、テープ８を挟持する。
４．気圧シリンダー二５１４は、気圧シリンダー一５１１を連動し下方へと運動させる。これにより、挟持片を連動し、加工品キャリア台２の上方へと移動させ、テープ８を加工品キャリア台２上に位置する製品（ウエハ）上に貼り付けさせる。

テープ挟持装置５が以上全ての作動を完成した後、加工品キャリア台２のカッターセット４に向ってテープの一端からテープの別の一端まで移動してテープを切断し、ローリング機構３が加工品キャリア台２上へと移動してテープを圧迫し、全てのテープ接着作業を完成する。

上述の実施形態の説明を総合すると、本考案の操作、使用、及び本考案が生じる効果を充分理解することができる。しかし、以上に述べた実施形態は単に本考案の好ましい実施形態であり、これによって本考案の実用新案登録請求の範囲を限定することではない。即ち本考案の実用新案登録請求の範囲及び説明書の内容に基づいて、同等効果を有する簡単な変化及び修飾は、全て、本考案の範囲内に属するものとする。

１機械本体
２加工品キャリア台
３ローリング機構
４カッターセット
５テープ挟持装置
５０ガイドレール
５０１スライドブロック
５０２レール
５１挟持ヘッドアセンブリ
５１１気圧シリンダー一
５１２第一挟持片
５１３第二挟持片
５１４気圧シリンダー二
５１５気圧シリンダー三
５１６第一固定ブロック
５１７第二固定ブロック
５２ロッキング機構
５３ａ第一接触式センサー
５３ｂ第二接触式センサー
５３１感知頭部
５４固定部品
５４ａ腰型孔
６コントローラー
７警報器
８テープ

Claims (5)

1. セルフテスト機能を備えるテープ挟持装置は、ウエハテープ貼付機上に応用するセルフテスト機能を備えるテープ挟持装置であって、
   前記ウエハテープ貼付機は、機械本体、及び前記機械本体上にそれぞれ設置する加工品キャリア台、ローリング機構、カッターセット、テープ挟持装置を備え、
   前記テープ挟持装置は、ガイドレール、２組の挟持ヘッドアセンブリ、ロッキング機構を備え、前記２組の挟持ヘッドアセンブリは、前記ガイドレールのスライドブロック上にそれぞれ固定して設置し、前記ガイドレールのスライドブロックに従い移動し、前記ロッキング機構は、前記ガイドレール上に設置され、前記挟持ヘッドアセンブリをロックし、 前記テープ挟持装置はさらに、少なくとも一対の接触式センサーを備え、前記各対の接触式センサーは、前記ガイドレールの中心に沿って対称に設置され、固定部品を経て、前記ガイドレールのレール上に固定され、しかも前記接触式センサーの感知頭部は、前記挟持ヘッドアセンブリに向かい、前記接触式センサーは、コントローラーに電気的に連接することを特徴とするセルフテスト機能を備えるテープ挟持装置。
2. 前記固定部品上には、腰型孔を設置し、
   前記接触式センサーは、前記腰型孔により、その、ガイドレールのレール上での位置を微調整され、前記腰型孔内に挿入して設置するネジにより、前記ガイドレールのレール上に固定されることを特徴とする請求項１に記載のセルフテスト機能を備えるテープ挟持装置。
3. 前記挟持ヘッドアセンブリは、気圧シリンダー一を備え、
   前記気圧シリンダー一の片側には、第一挟持片を固定して設置し、
   前記気圧シリンダーの伸縮棒上には、第二挟持片を固定して設置し、
   前記第一挟持片と前記第二挟持片とは、上下にテープを挟むことを特徴とする請求項１に記載のセルフテスト機能を備えるテープ挟持装置。
4. 前記挟持ヘッドアセンブリはさらに、気圧シリンダー二、気圧シリンダー三を備え、
   前記気圧シリンダー一は、第一固定ブロックにより、前記気圧シリンダー二の片側に固定され、前記気圧シリンダー二は前記気圧シリンダー一を連動し上下に運動させ、
   前記気圧シリンダー二は、第二固定ブロックを経て、前記気圧シリンダー三上に固定され、
   前記気圧シリンダー三は、前記気圧シリンダー二の水平運動を連動し、しかも前記気圧シリンダー三は、前記ガイドレールのスライドブロック上に固定されることを特徴とする請求項３に記載のセルフテスト機能を備えるテープ挟持装置。
5. 前記ロッキング機構は、調節ネジを備え、
   前記調節ネジは、前記ガイドレールのスライドブロック上に通して設置し、
   そのネジヤマ部は、ロック時には、前記ガイドレールのレールを押さえることを特徴とする請求項１に記載のセルフテスト機能を備えるテープ挟持装置。

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