TWM497159U - 具有自檢功能的膠帶夾取裝置 - Google Patents

Description

具有自檢功能的膠帶夾取裝置

本創作涉及一種貼膠機，尤其涉及一種用於貼膠機上的具有自檢功能的膠帶夾取裝置，屬於IC(積體電路)測試領域。

在目前實務作法中，在晶圓切割或研磨工作之前會進行晶圓貼片的步驟，亦即在晶圓(Wafer)的其中一面上貼附上一膠帶，例如藍膜(blue tape)，由此使切割出的晶粒或研磨碎屑黏附在膠帶上。

在上述製程基礎下所用的現有晶圓貼膠設備主要包括有機台主體、晶圓載台、滾壓機構、膠帶夾取裝置以及切刀組，後四者皆架設在機台主體上。膠帶夾取裝置用於夾取膠帶，並運動至位於其下方的晶圓載臺上，將膠帶覆蓋在晶圓的一面上，接著利用朝向該晶圓載台設置的切刀組切斷膠帶，再利用滾壓機構滾壓膠帶使其牢固地平貼於晶圓上。

上述貼膠機的膠帶夾取裝置可以根據晶圓的尺寸不同，貼附不同尺寸的膠帶，例如，貼膠機的膠帶夾取裝置可以調整8吋或12吋兩種作業吋別，以適應不同晶圓的尺寸。該膠帶夾取裝置主要包括固設於機台主體上的滑軌以及分別設於所述滑軌的滑塊上的兩組夾頭組件，藉由滑塊可以分別移動兩組夾頭組件，並調整夾頭組件之間的距離以適應膠帶的吋別。然而，膠帶夾取裝置的定位點在實際工作過程中通常會由於以下原因 而出現錯誤或誤差：1.由於設備在工作過程中會頻繁地發生震動，在受力的過程中夾頭組件會發生偏移，從而導致膠帶夾取裝置的定位點產生誤差；2.當調整為另一種吋別的膠帶貼附晶圓時，需調整夾頭組件之間的距離，然而工作人員未將夾頭組件調整到準確的位置點上；3.由於人工調整的不當或不精細而導致夾頭組件之間的距離存在誤差。

膠帶夾取裝置出現定位誤差或錯誤容易導致機台撞機及破片現象，所以亟待解決這一技術問題。

為了解決上述技術問題，本創作的目的在於提供一種具有自檢功能的膠帶夾取裝置，其能夠自動偵測膠帶夾頭所在的位置，避免夾頭定位出現錯誤或誤差，保證了貼膠作業的順利進行。

為了實現上述目的，本創作的技術方案如下：一種具有自檢功能的膠帶夾取裝置，其應用於晶圓貼膠機上，所述晶圓貼膠機包括機台主體以及分別架設於所述機台主體上的工件承載台、滾壓機構、切刀組以及該膠帶夾取裝置，該膠帶夾取裝置包括一滑軌、兩組夾頭組件以及鎖緊機構，兩組所述夾頭組件分別固設於所述滑軌的滑塊上，並依附所述滑軌的滑塊移動，所述鎖緊機構設於所述滑軌上並用於鎖止所述夾頭組件，該膠帶夾取裝置還包括至少一對接觸式感測器，每對所述接觸式感測器沿滑軌的中心對稱設置，經一固定件固定於所述滑軌上，且所述接觸式感測器的感應頭部朝向所述夾頭組件，所述接觸式感測器電性連接於一控制器。

作為本創作的較佳方案之一，所述固定件上設置有腰型孔，所述接觸式感測器藉由所述腰型孔可微調其在所述滑軌上位置，並藉由插設於腰型孔內的螺絲固定於所述滑軌上。

作為本創作的較佳方案之一，所述夾頭組件包括氣缸一，所述氣缸一的一側固設第一夾片，所述氣缸一的伸縮桿上固設第二夾片，所述第一夾片和第二夾片上下夾合膠帶。

作為本創作的較佳方案之一，所述夾頭組件還包括氣缸二和氣缸三，所述氣缸一經第一固定塊固定於所述氣缸二的一側，所述氣缸二帶動所述氣缸一上下運動，所述氣缸二經第二固定塊固定於所述氣缸三上，所述氣缸三帶動所述氣缸二水平運動，且所述氣缸三固定於所述滑軌的滑塊上。

作為本創作的較佳方案之一，所述鎖緊機構包括一調節螺絲，所述調節螺絲穿設於所述滑軌的滑塊上，其螺紋部於鎖止時抵住所述滑軌。

藉由以上技術方案，本創作提供的具有自檢功能的膠帶夾取裝置，藉由接觸式感測器能夠自動檢測膠帶夾取裝置的所在定位點是否正確，並作出回饋提醒是否需要進行調整，從而保證膠帶夾取裝置位於正確位置，進而保證機台不會出現撞機以及破片的現象。

1‧‧‧機台主體

2‧‧‧工件承載台

3‧‧‧滾壓機構

4‧‧‧切刀組

5‧‧‧膠帶夾取裝置

50‧‧‧滑軌

501‧‧‧滑塊

51‧‧‧夾頭組件

511‧‧‧氣缸一

512‧‧‧第一夾片

513‧‧‧第二夾片

514‧‧‧氣缸二

515‧‧‧氣缸三

516‧‧‧第一固定塊

517‧‧‧第二固定塊

52‧‧‧鎖緊機構

53a‧‧‧第一接觸式感測器

53b‧‧‧第二接觸式感測器

531‧‧‧感應頭部

54‧‧‧固定件

54a‧‧‧腰型孔

6‧‧‧控制器

7‧‧‧警報器

8‧‧‧膠帶

為了更清楚地說明本創作結構特徵和技術要點，下面結合附圖和具體實施方式對本創作進行詳細說明。圖1為本創作實施例所揭露的具有自檢功能的膠帶夾取裝置的結構示意圖； 圖2為本創作實施例所揭露的膠帶夾取裝置的局部結構示意圖；圖3為本創作實施例所揭露的貼膠機工作狀態的左視示意圖；圖4為本創作實施例所揭露的具有自檢功能的膠帶夾取裝置的夾頭組件調整至第二接觸式感測器的結構示意圖；圖5為本創作實施例所揭露的具有自檢功能的膠帶夾取裝置連接控制器的示意圖。

下面將結合本實施例中的附圖，對實施例中的技術方案進行具體、清楚、完整地描述。

參見圖1-3所示，一種具有自檢功能的膠帶夾取裝置5，其應用於晶圓貼膠機上，該晶圓貼膠機包括機台主體1以及分別架設於機台主體1上的工件承載台2、滾壓機構3、切刀組4以及該膠帶夾取裝置5，膠帶夾取裝置5用於夾取膠帶8，並運動至位於其下方的用於承載晶圓的工件承載台2上，將膠帶8覆蓋在晶圓的一面上，接著利用朝向該工件承載台2設置的切刀組4切斷膠帶8，再利用滾壓機構3滾壓膠帶8使其牢固地平貼於晶圓上。

該膠帶夾取裝置5包括一滑軌50、兩組夾頭組件51以及鎖緊機構52，兩組夾頭組件51分別固設於滑軌50的滑塊501上，並依附滑軌50的滑塊501移動，鎖緊機構52設於滑軌50上並用於鎖止夾頭組件51，該鎖緊機構52可為一調節螺絲，該調節螺絲穿設於滑軌50的滑塊501上並於鎖止時抵住滑軌50，以禁止滑塊501再隨滑軌50滑動，進而將夾頭組件51固定於滑軌50的某一位置上，於本實施例中，鎖緊機構52還可以為 其他任意扣卡機構。該膠帶夾取裝置5還包括一對第一接觸式感測器53a及第二接觸式感測器53b。如圖1-2所示，一對第一接觸式感測器53a及第二接觸式感測器53b分別沿滑軌50的中心對稱設置，並經固定件54固定於滑軌50上，第一接觸式感測器53a與第二接觸式感測器53b的感應頭部531朝向夾頭組件51，同時，第一接觸式感測器53a與第二接觸式感測器53b分別電性連接於一控制器6(參閱圖5)。

其中，固定件54上設置有腰型孔54a，接觸式感測器53藉由腰型孔54a可微調其在滑軌50上位置，並藉由插設於腰型孔54a內的螺絲固定於滑軌50上。夾頭組件51包括氣缸一511，氣缸一511的一側固設第一夾片512及第二夾片513，第一夾片512和第二夾片513上下夾合膠帶。夾頭組件51還包括氣缸二514和氣缸三515，氣缸一511經呈L型的第一固定塊516固定於氣缸二514的一側，氣缸二514帶動氣缸一511上下運動，氣缸二514經第二固定塊517固定於氣缸三515上，氣缸三515帶動氣缸二514水平運動，且氣缸三515固定於滑軌50的滑塊501上。

在貼膠機進行作業之前，必須將膠帶夾取裝置5調整在正確的位置，以防止撞機及破片的現象。如圖1所示的，若滑軌50的滑塊501與第一接觸式感測器53a接觸時，則表明固設於滑軌50上的夾頭組件51位於正確的位置，能夠正好適應8吋(inch)的膠帶的夾取。如圖4所示的，若滑軌50的滑塊501移動至第二接觸式感測器53b處，並且滑塊501抵觸第二接觸式感測器53b，則表明固設於滑軌50上的夾頭組件51能夠適應12吋(inch)的膠帶的夾取。

如圖5所示，若滑軌50的滑塊501未抵觸對稱設置的第一 接觸式感測器53a或第二接觸式感測器53b，表明膠帶夾取裝置5未調整在正確的位置，第一接觸式感測器53a或第二接觸式感測器53b發出回饋信號至控制器6，控制器6接收回饋信號後，可輸出信號通知警報器7，警報器7再發出警報通知工作人員機台處於異常狀態，再者，第一接觸式感測器53a與第二接觸式感測器53b可發出暫停信號至控制器6，控制器6發出指令控制晶圓貼膠機停止動作，進一步地避免晶圓遭到損害。

當然，以上所述的接觸式感測器未必只能夠設定感應滑軌的滑塊，也可以感應夾取裝置的其他結構，可根據機台的尺寸以及操作要求等等，具體設計接觸式感測器所感應的位置。根據實際作業需求，機台需進行多種作業吋別時，可藉由增加接觸式感測器，調整夾頭組件在具體作業吋別下的工作位置。

本創作的具體工作過程如下：1.如圖1所示的膠帶夾取裝置5處於正確的位置(即滑軌50的滑塊501的一端接觸第一接觸式感測器53a或第二接觸式感測器53b)，此時機台正常運作，氣缸一511的伸縮桿向下伸出帶動第二夾片513向下移動，並與第一夾片512分開；2.氣缸三515帶動氣缸二514沿水平方向向外側稍作移動，進而帶動氣缸一511以及夾片向外側運動，以此，在兩組夾片之間可以多出一定的空間以方便放置膠帶；3.將膠帶放置於第一夾片512與第二夾片513之間，放置完畢後，氣缸三515藉由氣缸二514帶動氣缸一511及夾片沿水平方向向內側稍作移動，此時兩組夾片之間的距離正好適應膠帶的尺寸，接著氣缸一511的伸 縮桿帶動第二夾片513向上移動，第一夾片512和第二夾片513夾合住膠帶8；4.氣缸二514帶動氣缸一511向下運動，進而帶動夾片運動至工件承載台2的上方，並將膠帶8貼附於位於工件承載台2上的產品(晶圓)上；當膠帶夾取裝置5完成以上所有的動作之後，朝向工件承載台2的切刀組4由膠帶的一端移動到膠帶的另一端將膠帶切斷，以及滾壓機構3運動至工件承載台2的上方滾壓膠帶，以完成所有貼膠工作。

綜上所述，本創作藉由接觸式感測器能夠自動檢測膠帶夾取裝置的所在定位點是否正確，並作出回饋提醒是否需要進行調整，從而保證膠帶夾取裝置位於正確位置，進而保證機台不會出現撞機以及破片的現象。

上述具體實施方式，僅為說明本創作的技術構思和結構特徵，目的在於讓熟悉此項技術的相關人士能夠據以實施，但以上所述內容並不限制本創作的保護範圍，凡是依據本創作的精神實質所作的任何等效變化或修飾，均應落入本創作的保護範圍之內。

1‧‧‧機台主體

2‧‧‧工件承載台

3‧‧‧滾壓機構

5‧‧‧膠帶夾取裝置

50‧‧‧滑軌

501‧‧‧滑塊

51‧‧‧夾頭組件

511‧‧‧氣缸一

512‧‧‧第一夾片

514‧‧‧氣缸二

515‧‧‧氣缸三

516‧‧‧第一固定塊

517‧‧‧第二固定塊

52‧‧‧鎖緊機構

53a‧‧‧第一接觸式感測器

53b‧‧‧第二接觸式感測器

531‧‧‧感應頭部

54‧‧‧固定件

54a‧‧‧腰型孔

8‧‧‧膠帶

Claims (5)

1. 一種具有自檢功能的膠帶夾取裝置，其應用於晶圓貼膠機上，所述晶圓貼膠機包括機台主體以及分別架設於所述機台主體上的工件承載台、滾壓機構、切刀組以及該膠帶夾取裝置，該膠帶夾取裝置包括一滑軌、兩組夾頭組件以及鎖緊機構，兩組所述夾頭組件分別固設於所述滑軌的滑塊上，並依附所述滑軌的滑塊移動，所述鎖緊機構設於所述滑軌上並用於鎖止所述夾頭組件，其特徵在於：該膠帶夾取裝置還包括至少一對接觸式感測器，每對所述接觸式感測器沿滑軌的中心對稱設置，經一固定件固定於所述滑軌上，且所述接觸式感測器的感應頭部朝向所述夾頭組件，所述接觸式感測器電性連接於一控制器。
2. 根據申請專利範圍第1項所述的具有自檢功能的膠帶夾取裝置，其中，所述固定件上設置有腰型孔，所述接觸式感測器藉由所述腰型孔可微調其在所述滑軌上的位置，並藉由插設於腰型孔內的螺絲固定於所述滑軌上。
3. 根據申請專利範圍第1項所述的具有自檢功能的膠帶夾取裝置，其中，所述夾頭組件包括氣缸一，所述氣缸一的一側固設第一夾片，所述氣缸一的伸縮桿上固設第二夾片，所述第一夾片和第二夾片上下夾合膠帶。
4. 根據申請專利範圍第3項所述的具有自檢功能的膠帶夾取裝置，其中，所述夾頭組件還包括氣缸二和氣缸三，所述氣缸一經第一固定塊固定於所述氣缸二的一側，所述氣缸二帶動所述氣缸一上下運動，所述氣缸二經第二固定塊固定於所述氣缸三上，所述氣缸三帶動所述氣缸二水平運 動，且所述氣缸三固定於所述滑軌的滑塊上。
5. 根據申請專利範圍第1項所述的具有自檢功能的膠帶夾取裝置，其中，所述鎖緊機構包括一調節螺絲，所述調節螺絲穿設於所述滑軌的滑塊上，其螺紋部於鎖止時抵住所述滑軌。