JP3190691B2 - モジュラー処理システム、装置および方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、ヴァキュームトラン
スファーキャスク、特に詳しくは、ヴァキュームプロセ
スにおけるモジュラー要素をトランスファー（移送）す
るヴァキュームキャスクの改良に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、完全なヴァキュームまたは部分的
なヴァキュームを要求する各種のプロセスには、減圧さ
れたチャンバを使用するシステムが採用されている。ヴ
ァキュームチャンバを必要とする処理システムは、電子
マイクロスコープ、イオン−マイクロアナライザー、オ
イルのようなマテリアルを使用する処理または電子部品
や回路の製造等に採用されている。このようなヴァキュ
ームシステムは、例えば米国特許第3,340,146 号に開示
されている。また、ヴァキュームシステムは、各種の工
業処理や研究目的のために使用されている粒子加速器の
ような装置に関連する場合が多い。

【０００３】ウラニウム分離は、ヴァキュームプロセス
が利用される一分野でもある。米国特許第3,772,519 号
（1973年11月13日特許）に開示されているように、イオ
ン分離において、ウラニウム−２３５をＵ−２３８から
分離するため、長いチャンネル内で、レーザー刺激を行
い、ヴァキュームチャンバ内でＵ−２３５のイオン化が
行われ，ついで、放射状に形成された電極にイオン化さ
れたＵ−２３５を向けるクロスされた磁界と電界による
分離が行われ、Ｕ−２３８がヴァキュームチャンバの上
部に捕集される。

【０００４】商業的に行われているプロセスにおいて
は、捕集したＵ−２３５を回収することのみならず、Ｕ
−２３８を含むもの（残滓）を回収することが重要とな
る。このためには、チャンネルの全長に亘るすべての部
分で、ヴァキュームチャンバの内部から電極受け構造体
と残滓構造の両者を定期的に取り除く必要がある。現在
使用されている装置においては、捕集構造のサイズと重
量とがチャンバ内部へアクセスするポートのサイズに較
べて、大きく、さらに、除去作業は、チャンバのヴァキ
ューム状態を維持しながら行わなくてはならないため、
前記のような定期的な除去作業は、実行できない。ま
た、前記除去作業は、チャンネルの長さにより極めて複
雑なものとなる。

【０００５】さらに、ベーポライザーアッセンブリーを
修理したり、交換したい場合、チャンバのヴァキューム
状態を維持しながら、そのような作業を行わなければな
らない。米国特許第3,489,298 号には、放射性物質のヴ
ァキュームチャンバに使用する移動可能なキャスク（放
射線を遮蔽できる素材からなる箱体）が開示されている
が、このキャスクは、小形で、適合部品がないため，ウ
ラニウムのエンリッチプロセスのベーポライザーアッセ
ンブリーやエクストラクタアッセンブリ−を除去した
り、支持したりする用途には向かない。レーザー同位体
分離に利用されているベーポライザーは、代表的なもの
としては、リニアのベーポライザーであるが、これは、
長過ぎて、ヴァキュームチャンバから取り出したり、交
換したりすることが極めて困難であるといった問題点が
ある。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】この発明は、同位体分
離等の処理ヴァキューム状態で行う装置、例えば、同位
体分離を行うヴァキュームプロセス装置、特に軸方向に
長いチャンバを複数のモジュラーチャンバによる連結で
構成し、従来の技術で問題とされていた内部部品、構成
要素の交換、保守等の作業が簡単に、しかもシステムの
操業を中断することなく行えて、従来技術の課題を解決
するものである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】この発明は、前記のよう
なヴァキュームプロセス装置、特にレーザー同位体分離
システム（ＬＩＳ）のためのベーパライゼーションとプ
ロダクト抽出アッセンブリーとして、モジュイラーチャ
ンバ内に配設したモジュラーコンポーネンツを組み合わ
せ、これによって、前記課題を解決するものである。

【０００８】前記したモジュラーチャンバは、内部を通
過するレーザービームの投射軸方向にそって互いに整列
された構成になっている。各モジュールチャンバは、横
方向に配列されたバルブ付きヴァキュームロックを有す
る。複数のモジュラーチャンバは、それぞれが集まって
軸方向に長い長方のヴァキュームチャンバを構成するの
で、その全長は、個々のモジュラーチャンバの長さの合
計である。ヴァキュームチャンバの個々のモジュール
は、エクストラクタアッセンブリー・トランスファーキ
ャスクとベーポライザーアッセンブリー・トランスファ
ーキャスクとを有し、これらキャスクは、それぞれヴァ
キュームロックと結合し、該ロックを介して数多くのア
タッチメントがチャンバ内に挿入されてレーザー同位体
分離プロセスを行う装置を構成している。

【０００９】このように、ヴァキュームチャンバをモジ
ュラー化し、個々のモジュラーチャンバを集合してヴァ
キュームチャンバを構成させ、個々のモジュラーチャン
バは連結可能で、しかも独立構成とすることで、個々の
モジュラーチャンバの部品類の交換や修理などの手入れ
が他のモジュールチャンと関係なく行え、しかも全体の
プロセスラインにおける操業をヴァキューム状態を維持
しながら継続し、中断の必要があっても極めて短時間で
の中断ですむという作用、効果がある。

【００１０】個々のモジュラーユニットには、二つのト
ランスファーキャスクが付設され、その一つは、ベーポ
ライザーアッセンブリー用のもので、他の一つは、エク
ストラクタアッセンブリー用のものである。これらのト
ランスファーキャスクにより該モジュール内のヴァキュ
ームをロスさせることなく、ヴァキュームロックを介し
てベーポライザーアッセンブリーとエクストラクタアッ
センブリーとの除去が行える。

【００１１】エクストラクタを搬送するエクストラクタ
・トランスファーキャスクにおいては、該トランスファ
ーキャスクからバルブ付きヴァキュームロックを経てモ
ジュラーチャンバへ達する伸縮自由のアーム（プロー
ブ）の端部に各エクストラクタアッセンブリーがマウン
トされている。

【００１２】これらのアームは、前記アッセンブリーを
支持すると共に該アッセンブリーをキャスク内に移すこ
とができる。エクストラクタアッセンブリーの望ましい
寸法は、前記トランスファーキャスクのヴァキュームロ
ックの幅よりも大きな幅のものであるから、前記エクス
トラクタアッセンブリーを前記キャスクへそのままでは
移すことができない。フルサイズのエクストラクタアッ
センブリーを前記キャスクへ移すには、このエクストラ
クタアッセンブリーを二分割し、それぞれを前記アーム
により支持させる。同位体分離操作の間、前記した二分
割のエクストラクタアッセンブリー個々をサイドバイサ
イドの状態に整列させる。そしてエクストラクタアッセ
ンブリーをそれぞれのキャスクヘ移したいときは、エク
ストラクタアッセンブリーの半体の一方を持ち上げ、他
方の半体の上方に重ねるようにし二つの半体を支持した
アーム二本を後退させてキャスク内へ移動する。

【００１３】前記したエクストラクタアッセンブリー
は、モジュラーチャンバそれ自体とは別個のトランスフ
ァーキャスクと電気的接続、機械的接続関係ならびに液
体供給関係を保ちながら、ヴァキュームロック部分を介
して、モジュラーチャンバへの出入を行う。前記電気的
接続、機械的接続、液体供給接続関係は、すべて伸縮自
由のアーム（プローブ）を介してトランスファーキャス
クから行われる。他のキャスクから新しいエクストタク
タアッセンブリーが所定の位置へ運ばれると、このアッ
センブリーは、ヴァキュームチャンバへ移される迄の最
初の間は、重ねられた状態にある。そして、該アッセン
ブリーがヴァキュームチャンバ内へ移されるや、上位の
アッセンブリーは、下位のアッセンブリーに近接する位
置になるまで横方向へ動かされ、ついで各チャンバモジ
ュール内の位置整合レールヘ下降される。

【００１４】個々のコンプリートなベーポライザーユニ
ットは、伸縮自由のアームの端部に吊り下げられ、該ア
ームは、ベーポライザーキャスクから伸びている。この
アームは、ベーポライザーアッセンブリーをヴァキュー
ムチャンバ内の操作位置からベーポライザートランスフ
ァーキャスク内の後退位置へ移動させるもので、回転運
動してベーポライザーユニットを傾け、このベーポライ
ザーユニットの所定の長さよりも幅が狭いトランスファ
ーキャスクへ移すことができるようにする。また、ベー
ポライザートランスファーキャスクは、必要に応じ、ベ
ーポライザーユニットの交換が行え、さらには、操作開
始に先立ち、各ベーポライザーユニットのフル調整とコ
ンディショニングとを行うことができ、これによって、
全ての電気的、機械的要素が満足に作動するかをチェッ
クすることができる。電子ビームのパワーや冷却媒体の
供給、動作用圧力油などの供給源も前記トランスファー
キャスク内に設けてあるか、また、これを経由するもの
で、これらのリード線や導管などもベーポライザーアッ
センブリーの延長、後退の間、パワートラック支持体に
よりキャリーされる。

【００１５】

【実施例】第１図と第２図に示す実施例において、レー
ザー・アイソトープ・セパレーション・プロセス（レー
ザー同位体分離法）のヴァキュームチャンバシステムを
示すものであり、該チャンバは、ほぼ長い長方形のヴァ
キュームチューブ１０を有し、このチューブは、複数の
モジュール１２を備えている。このレーザー同位体分離
（以下、ＬＩＳと略記する）の方法は、長いチューブ１
０内で行われ、同様な操作については、米国特許第3,93
9,354 号、同第3,940,615 号、同特許出願第078,598 号
（1979年9 月19日出願）に開示されている。

【００１６】本発明においては、各モジュール１２は、
その内部１８がヴァキューム構成になっており、モジュ
ール１２の内部１８が集まってチューブ１０を形成す
る。レーザー放射線（レーザー光線）は、チューブ１０
の曲面１５に沿ってチャンバ内部１８を通過する。好適
な実施例においては、モジュール１２は、軸の長さが約
１ｍで、各モジュールは、接合部で互いに接続してい
る。

【００１７】各モジュール１２は、第２図に示すよう
に、剛性のある隔離された基礎構造体４８に支持され、
この基礎構造によって、チューブ１０の軸１５にそうレ
ーザービームの精密な位置を保つための高度の位置安定
性を有する。各モジュール１２は、チャンバ内にベーポ
ライザーアッセンブリー３０を内蔵する。このアッセン
ブリーは、モジュール１２の側部にあるヴァキュームロ
ック１７を介して、モジュール１２のチャンバ内部１８
のヴァキュームをロスさせることなくトランスファーキ
ャスク１９へ吸引することによって代用される。

【００１８】操作の間、ベーポライザーアッセンブリー
３０と抽出アッセンブリー４０は、両者共にモジュール
１２の各種チャンバ１８に配置されている。各ベーポラ
イザーアッセンブリー３０は、坩堝２２、リニアの電子
ビームガン２４とベーパならびに熱シールド２６を有す
る。複数のフィーダーチューブ３４がモジュール１２の
壁の開口を通りヴァキュームチャンバ１８に達してい
る。フィーダーチューブ３４は、ウラニウムの固体ロッ
ドを電子ビームのパスに沿いながら溶解させるため坩堝
２２へ送り、さらに消費される固体ウラニウムを補充す
るもので、これについては、米国特許第4,262,160 号に
開示されている。フィーダーチューブの端部には、他の
ベーパー並びに熱シールド３２が設けてある。

【００１９】第２図に示すように、各チャンバ１８のベ
ーポライザーアッセンブリーの直上には、抽出アッセン
ブリー４０が配置してある。抽出アッセンブリー４０
は、坩堝２２を囲むように配置され、Ｕ−２３８のイオ
ンを集める電極構造体４２を含む。円弧状で一部がシリ
ンドリカルな構造体４３が電極構造体４２の直上に配置
され、非イオン化Ｕ−２３８粒子を捕集する。アッセン
ブリー４０は、高精度のレール支持体４４に配設され、
この支持体４４は、各モジュール４４の互いに対向する
横側に沿って配置されている。レール４４は、代表的な
例としては、モジュール１２の壁４９にそうフランジ５
０により支持されている水冷ビームからなる。壁４９
は、基礎構造体４８により支持されている。Ｖブロック
５２レール支持体４４にマウントされていて、Ｖブロッ
ク５２に着座するピン５３（第３図）を介してアッセン
ブリー４０の位置決め精度を図る。Ｖブロック５２は、
外部から調節でき、これによってアッセンブリー４０の
三次元アライメントを行う。前記ブロックは、セラミッ
クのような非金属マテリアルからなり、アッセンブリー
４０をモジュール１２とベーポライザーアッセンブリー
３０とから電気的に隔離する。

【００２０】装置１４、そして、特にモジュラーユニッ
ト１２に分割されているチューブ１０と同様に、抽出ア
ッセンブリー４０とベーポライザーアッセンブリー３０
もモジュラー化されており、チューブ１０おける他のユ
ニット１２に関係なく、各モジュール１２から取り出し
たり、サービスのため点検したりすることができる。

【００２１】ヴァキュームトランスファーキャスクは、
各ユニット１２の各ベーポライザーアッセンブリー３０
または抽出アッセンブリーの点検、保守、交換のために
設けられている。各ベーポライザーアッセンブリー３０
は、それぞれのヴァキュームトランスファーキャスク６
０と関連し、各抽出アッセンブリーも各自のヴァキュー
ムトランスファーキャスク１３０に関連している。キャ
スク６０，１３０は、それぞれのヴァキュームゲートバ
ルブ７２，７４，１２６，１２８により各モジュール１
２の側面に一時的に接続されており、各チャンバ１８の
ヴァキュームは操作の間、ならびに、抽出アッセンブリ
ーとベーポライザーアッセンブリーの取り出しの間、維
持される。

【００２２】チューブ１０内に、モジュール１２と内部
チャンバ１８を介して、最適な連続した内部処理パスを
得るためには、抽出器（エクストラクター）とベーポラ
イザーとをチューブ１０の端から端まで延在させること
が重要である。さらに、抽出器アッセンブリー４０とベ
ーポライザーアッセンブリー３０とを、それらが通過す
るヴァキュームロックと同じ軸長さにすることが重要で
ある。

【００２３】ベーポライザーアッセンブリーの場合、長
さ一杯のベーポライザーを得るにはベーポライザーアッ
センブリーを回転しキャスク６０へ引くことにより達成
できこのプロセスと装置は、第２，７，８，９図を参照
しながら説明する。ベーポライザートランスファーキャ
スク６０は、好ましくは可動で、レール６２に沿って動
く車６１付きのものである。キャスク６０は、モジュー
ル１２の外部に配置され、トランスファーキャスクゲー
トバルブ７２の手段によってヴァキュームポート７１に
おいて連結されている。前記バルブ７２は、モジュール
１２の他のゲートバルブ７４と連結し、これによって、
キャスク６０の内部とモジュール１２の内部１８とがヴ
ァキュームシールされる。ポンプ７５と導管によりゲー
トバルブ７４，７２の間のポンプ作用が行われる。テレ
スコピックなアーム２８がポート７１を通りチャンバ１
８の内部に延びている。ベーポライザーアッセンブリー
３０は、アーム２８から下方へ延びているアーム７６を
介して垂下し、アーム２８の外方端部６４は、キャスク
６０の外方端面６６に固定されている。支持バー７０が
キャスク６０の内部のトラック６８に摺動自由に取り付
けられていて、チャンバ１８内へ延びていることで、ア
ーム２８の摺動支持体となる。ハイドロリック作動の傾
斜機構７８がアーム２８からベーポライザーアッセンブ
リー３０へ延びている。他のハイドロリック作動の傾斜
機構８４もガンン２４にわたりベーパーシールド２６を
るつぼ２２へピボットさせる。シールド２６のピボット
運動でポート７１を介してアッセンブリー３０が後退す
るもので、これについては、後記する。

【００２４】パワーサプライ８０は、この例では、電子
ビームガン２４の部材と共にキャスク６０の下部に配置
されている。パワーサプライ８０は、キャスク６０のパ
ワーサプライ８０からポート７１を通る導管８１に沿っ
て延びるフレキシブルなリード線により前記ガン２４に
接続している。パワーサプライ８０は、キャスク６０の
外部に配置してもよく、これは、パワーサプライよりも
ベーポライザーアッセンブリーの方が交換頻度が高く、
補充が要求されるからである。ハイドロリックアクチュ
エータホース８２がキャスク６０からチャンバ１２へ延
び、傾斜機構のハイドロリックシリンダを作動させる。
さらに、水の供給、戻しホース８８がキャスク６０から
ポート７１を経てチャンバ１８内へ入り、坩堝２２を冷
却する。

【００２５】チャンバ１２のキャスク６０と反対の側面
には、可動のアッセンブリー９０が配置され、これは、
坩堝２２へウラニウムを補充するために使用される。ア
ッセンブリー９０は、フィーダーチューブ３４を有する
ウラニウムフィーダーを備え、前記チューブは、るつぼ
２２の軸長さにそってバルブ付きヴァキュームロック９
３を通りチャンバ１８内へ延びる。複数のフィーダーラ
ム１０２が各フィーダーチューブ３４に設けてある。フ
ィーダーマガジンシステム１００により、ウラニウムフ
ィードロッドがチューブ３４に供給される。各モジュー
ル１２に、一つのチャンバ９０が関連し、これは移動可
能で、レール６２に沿って走行する車９５を有する。

【００２６】第７図から第９図には、チャンバ１８内で
ベーポライザーアッセンブリー３０を交換する方法が図
示されている。ベーポライザーアッセンブリー３０は、
電子ビームガン２４と他の部品のクリーニングと交換の
ために次から次へと取り除かれなければならない。モジ
ュール１２からアッセンブリー３０を除去する間、当該
モジュールのみをシャットダウンし、残りのモジュール
１２は、これと関係なく、動作を継続する。さらに、ト
ランスファーキャスク６０の内部は、又ヴァキュー状態
に維持されているから、チャンバ１９内のヴァキューム
をロスすることなく、また、モジュール全部をシャット
ダウンすることなく、ベーポライザーアッセンブリー３
０の交換が簡単に行える。さらに、除去作業は、エクス
トラクタアッセンブリー４０の下のレーザーパス１５を
干渉しない。キャスク６０からのベーパライゼーション
ファンクションを与えることで、選択したモジュールに
おけるオンラインスタートアップに先立ち、コンディシ
ョニングステーションにおいての各ベーポライザーアッ
センブリー３０のテストと調整外のラインのテストを行
うことができる。これによって、すべての電気的機能、
ハイドロリック機能機械的機能が万全であることが判明
し、問題のあるベーポライザーアッセンブリーに対し、
不必要なシャットダウンを行わずにすむ。

【００２７】ベーポライザーアッセンブリーの坩堝２２
は、各モジュールにおいて約１ｍの軸長を有する。ポー
ト７１の幅は、数ｃｍ以下である。より短いポート７１
から長い坩堝２２を引き抜く場合の問題を無くすには、
坩堝２２を傾ければよいが、これは、ポート７１から引
き抜く前に、坩堝を水平位置または操作位置から４５度
を僅かに越える程度に傾斜させる。坩堝２２の内部のウ
ラニウムは、電子ビームエバポレータをシャットダウン
させれば直ちに硬化するから、坩堝を傾斜させたり、回
転させてもエバポラントは零れない。

【００２８】第７図に示すように、第１ステップとして
は、先ずエバポレータアッセンブリー３０を未だチャン
バ１８内である第１の位置へ後退させる。この後退は、
ハイドロリック作動の伸縮自在アーム２８により行わ
れ、さらに、これと同じ段階で、ハイドロリック機構８
４の作動によって、ガン２４をカバーする水平位置へベ
ーパーと熱のシールド２６をピボット回動させる（第７
図）。次のステップでは第８図に示すように、傾斜ハイ
ドロリックシリンダ７８によりアーム７９を動作してベ
ーポライザーアッセンブリー３０をセンターポイントま
わりにピボット回動させる。第８図に示すように、ベー
パーと熱のシールド２６は、第７図に示す位置に留ま
り、坩堝２２のエッジに着座し、電子ビームガン２４を
カバーする。傾斜シリンダ７８によりベーパライザーア
ッセンブリは所定の角度に達するまで回動される。この
角度は、機械的ストッパにより定められる。ベーポライ
ザーアッセンブリー３０は、ついでベーポライザートラ
ンスファーキャスク６０内へ完全に後退させられるよう
になる。第９図に示すように、アーム２８は、再びハイ
ドロリック作動され、ベーポライザーアッセンブリー３
０を完全にキャスク６０内へ後退させる。

【００２９】第９図に示すように、ホース８８，８２
は，フレキシブルであるから、ベーポライザーアッセン
ブリー３０がキャスク内へ後退するとき、キャスク６０
の底部に這う。

【００３０】エクストラクタアセンブリー４０を引くに
は、回転以外の手段が必要となる。これは、エクストラ
クタアッセンブリー４０のサイズのためで、円弧部１５
の回転における輻射への干渉が発生する。代表的な例で
は、エクストラクタアッセンブリー４０は、二つの分離
できるアッセンブリー４０Ａ，４０Ｂに分けられ（第１
図から第５図）、それぞれ半体になっていて、組み合わ
せられてアッセンブリー４０となる。エクストラクタト
ランスファーキャスク１３０は、移動可能で、レール１
３３に沿って走行する車１３１が付いている。アッセン
ブリー４０Ａは伸縮可能なテレスコピックなアーム１２
０の内側端に配置され、アッセンブリー４０は、伸縮可
能なテレスコピックなアーム１２２の内側端に配置され
ている。アーム１２０，１２２の両者は、ポート１２４
を通り、このポートを介してのアクセスは、モジュール
１２のゲートバルブ１２６とキャスク１３０のゲートバ
ルブ１２８によりコントロールされる。バルブ１２６が
各モジュール１２のそれぞれの横面に配置され、トラン
スファーキャスク１３０の対面する面に配置のトランス
ファーキャスクゲートバルブ１２８に連結し、キャスク
１３０とチャンバ内部１８との間のヴァキュームシール
を維持し、また、分離したときのチャンバ内部１８とキ
ャスク１３０のヴァキュームを維持する。

【００３１】ポンプ手段７５’と導管とが設けてあり、
バルブ１２６，１２８の間の開放前のポンプ作用を行
う。キャスク１３０には、アーム１２０がビームピボッ
ト１３２に、キャスク１３２には、アーム１２２がビー
ムピボット１３４に接続されている。ビームピボット１
３２は、キャスク１３０の上壁１３６に回転自由に取り
付けられ、ビームピボット１３４は、キャスク１３０の
下壁１４０に回転自由に取り付けられた支持体１３８に
装着されている。アーム１２０，１２２は、第２図に示
すように、ピボット１３２，１３４まわりをそれぞれが
水平方向ならびに垂直方向へ回転できるようになってい
る。その水平回転は、ビーム回転ハイドロリックシリン
ダ１４２，１４４により行われ、これらシリンダは，そ
れぞれアーム１２０，１２２をアーム１４６，１４８を
介して駆動し、ピボット１３２，１３４まわりを水平回
転させる。アーム１２０，１２２の垂直方向への動き
は、ハイドロリックシリンダ１５０，１５２により制御
される。シリンダ１５２は、Ｃ形アーム１５３（第４
図）を有し、このアームで第３図に示すように、アッセ
ンブリー４０Ａ，４０Ｂがキャスク１３０内に完全に納
められたとき、アーム１５３とアッセンブリー４０Ａの
間で干渉されずに、アーム１２０の下の位置へアーム１
２２を回転させる。

【００３２】クーラント、ハイドロリック、エクストラ
クションパワーラインと器具へのフレキシブルなリード
線は、トランスファーキャスク１３０内のルートを通
り、アーム１２０，１２２２の伸縮運動の間は、パワー
トラック支持体に支承されている。

【００３３】第６図にアーム１２０，１２２の代表的な
構造が示されている。各アーム１２０，１２２は、一端
にビームピボットが取り付けられる主ビーム１５６、中
間ビーム１５４、延長ビーム１５６の三つのセクション
からなる。これらビーム１５１，１５４，１５６は、断
面形状が好ましくは正方形または長方形であって、実質
的に同心の入り子構造になっている。これらビームは、
ローラーベアリング１５８により互いに軸方向に摺動す
るテレスコピック構造になっている。ビーム１５４，１
５６には、それぞれ長溝１６０が全長に渡り形成され、
この溝にハイドロリックシリンダ１５０，１５２に接続
のアーム１６２が位置する。アーム１６２の端部には、
ボール１６４が位置し、主ビーム１５１に形成された凹
溝１６６にボール１６４が着座する。ボール１６４は、
溝１６６と主ビーム１５１との間に介在し、溝１６０に
形成された肩部１６８で抑止されている。アーム１２
０．１２２は、テレスコピックなハイドロリックシリン
ダ１７０により駆動され、このシリンダは、ピボット１
３２，１３４と延長ビーム１５６の先端との間に介在す
る。第３図に示すように、シリンダ１７０は，アーム１
２０，１２２が後退したとき、主ビーム１５１内にある
ように配置されていることが好ましい。実際の操作にお
いて、アーム１２０，１２２を後退させるとき、ハイド
ロリックシリンダ１７０が後退し、延長ビーム１５６を
中間ビーム１５４へ引き、さらに、中間ビーム１５４と
延長ビーム１５６とを主ビーム１５１内へ後退させる。
このような状態になると、ビーム１５１のボール１６４
は、スロット１６０を介して凹溝１６６にある。アーム
１２０，１２２を伸ばすときには、ハイドロリックシリ
ンダ１７０が伸び、ビーム１５６を第２図右側へ移動
し、上記した手順と逆な手順でアームは、伸ばされる。

【００３４】エクストラクタアッセンブリー４０Ａ，４
０Ｂは、アーム１２０，１２２の延長ビーム１５６から
垂下している。アッセンブリー４０Ａ，４０Ｂは、それ
ぞれアーチ状の支持構造体４５（第２図）を含み、この
支持構造体からシリンドリカルなプレート４３と電極プ
レート４２が垂下している。ピボットヒンジ１８０が延
長ビーム１５６から構造体４５の外端へ伸びている。ヒ
ンジ１８０は、延長ビーム１５６と構造体４５とにピボ
ット接続している。ピボットされたハイドロリックシリ
ンダ１８２は、それぞれの延長ビーム１５６にマウント
され、構造体４５の内端部に取り付けられている。シリ
ンダ１８２は、ハイドロリック駆動によって、アッセン
ブリー４０Ａ，４０Ｂを延長ビーム１５６に対しピボッ
トし、アーム１２０，１２２が上昇されたとき、アッセ
ンブリー４０Ａ又は４０Ｂを水平状態に保つ。

【００３５】チャンバ１８からエクストラクタアッセン
ブリー４０を取り除きたいときは、シリンダ１５０を駆
動し、アッセンブリー４０Ａの全てがアーム１２２の上
に来るまで、アーム１２０を上昇する。次いで、シリン
ダ１５２を駆動し、アッセンブリー４０Ｂがレール４４
から持ち上げられ、領域１１５のブロックを防ぐに十分
な程度になるまで、アーム１２２を上昇させる。アッセ
ンブリー４０Ａ，４０Ｂ両者の姿勢は、シリンダ１８２
により調節され、各アッセンブリーの構造体は、水平に
なる。ついでアーム１２０をピボット１３２まわりにビ
ーム回転シリンダ１４２により水平方向へ回転させ、ア
ッセンブリー４０Ａをバルブ１２６，１２８の間の開口
のセンターに位置させる。また回転シリンダ１４４を駆
動して、アーム１２２をピボット１３４まわりに水平方
向へ回転させ、これまた、アッセンブリー４０Ｂをも同
様にセンタリングさせる。最後に、テレスコピックなハ
イドロリックシリンダ１７０を駆動し、アーム１２０，
１２２の延長ビーム１５６と中間ビーム１５４とを後退
させ、主ビーム１５３へ納める。アッセンブリー４０
Ａ，４０Ｂがトランスファーキャスク１３０内に完全に
入るまで，そして、延長ビーム１５６が第３図、第５図
に示すように、主ビーム１５３に重なり合うまで、アー
ム１２０，１２２は、後退させられる。

【００３６】トランスファーキャスク１３０が一つの位
置から他の位置へ移動する間、そしてトランスファーキ
ャスク１３０がトランスファーキャスクゲートバルブ１
２８とモジュールゲートバルブ１２６とによりモジュー
ル１２と結合する間、アッセンブリー４０Ａ，４０Ｂ
は、第３，４，５図に示すように、互いに重なり合う。
ビームピボット１３２，１３４は、第２図に示すよう
に、キャスク１３０の中心にあり、ピボット１３２は、
ピボット１３４の直上にある。レール４４上にあるとき
は、アッセンブリー４０Ａ，４０Ｂは、互いに完全に平
行に整合していなければならないから、ビーム１５６
は、それぞれのアッセンブリー４０Ａ，４０Ｂに対し角
度をもって配置され、第５図に示すように、鋭角をな
す。このように、アッセンブリー４０Ａ，４０Ｂが重な
り、ビーム１５６が平行であると、アッセンブリー４０
Ａは、アッセンブリー４０Ｂに対し鋭角をなす。

【００３７】モジュール１２のチャンバ１８に新しいエ
クストラクタアッセンブリー４０を配設したい場合は、
前記の手順を逆行すればよい。トランスファーキャスク
１３０がモジュール１２に近接しておかれ、キャスクゲ
ートバルブ１２８とモジュールゲートバルブ１２６との
間がシールされれば、バルブ１２６とバルブ１２８との
間の領域がポンプ７５’の作用で排気され、前記両ゲー
トは、開放され、アーム１２０，１２２は、重なり合っ
た状態のアッセンブリー４０Ａ，４０Ｂとともにチャン
バ１８に向け、所定の距離分延びる。つぎに、アーム１
２０，１２２はピボット１３２，１３４まわりを水平回
動し、アーム１２０は、アッセンブリー４０Ａ，４０Ｂ
が互いに近接してレール４４の上に位置するまで、下げ
られる。ついで、アーム１２０，１２２は、アッセンブ
リー４０Ａ，４０Ｂがレール４４に着座するまで、共に
下げられる。ついで、Ｖブロック５２を外部から操作
し、レール４上のアッセンブリー４０Ａ，４０Ｂを精度
よく整合させる。このＶブロック５２により、アーム１
２０，１２２の位置決めに要求される精度が高まる。こ
れは、アーム１２０，１２２が単にアッセンブリー４０
Ａ，４０Ｂをレール４４に着座させるだけであるが、Ｖ
ブロック５２は、キャスク１３０とアーム１２０，１２
２との位置を精度よく決める作用をなす。このような一
連の操作により、エクストラクタ４０の下側のレーザー
光線領域のパスには、一切の障害物が存在せず、連続操
作が可能となる。

【００３８】このような操作を自動化するには、ハイド
ロリックコントローラ１３５によりシリンダ１４２，１
４４，１５０，１５２をコントロールし、さらに、イオ
ン抽出のため、アッセンブリー４０Ａ，４０Ｂの電気パ
ワー・エクストラクタープレートにエクズキューション
・ソース１３７を設ける。

【００３９】ベーポライザーアッセンブリーにおいて
は、エクストラクタアッセンブリーはクリーニングの目
的と、デポジットされたウラニウムを回収するために、
順次交換しなければならない。また、エクストラクタア
ッセンブリーの交換は、個々のモジュールにおいて、プ
ロセス全体を停止せず、また、そのモジュールのヴァキ
ュームのロスなしに行える。このようなエクストラクタ
アッセンブリーの交換の手順は、第１０図から第１６図
に示されている。エクストラクタアッセンブリー４０
は、レール４４に着座し、右側のキャスク１３０からポ
ート１２４を通り伸びているアーム１２０，１２２から
ルーズに吊り支されている。ベーポライザートランスフ
ァーキャスク６０は、エクストラクタアッセンブリート
ランスファーキャスク１３０の直下にあり、移動可能の
アッセンブリー９０は、キャスク６０と対向している。
他のエクストラクターアッセンブリーキャスク１３０
は、重なったエクストラクタアッセンブリー４０Ａ’，
４０Ｂ’の空のセットを有し、左側に位置して、モジュ
ール１２のチャンバ１８内へインサートされる態勢にな
っている。キャスク１３０の内部は、ヴァキューム状態
で、そのトランスファーキャスクゲート１２８とモジュ
ールゲートバルブ１２６の両者は、クローズドの状態に
あり、これによって、ゲートバルブプレート１２７，１
２９を介してのキャスク１３０の内部は、有効にシール
される。

【００４０】第１１図は、モジュール１２におけるエク
トラクタアッセンブリーの交換状態を示し、閉止状態に
ある。エクストラクタアッセンブリー４０Ａは、チャン
バ１８内でエクストラクタアッセンブリー４０Ｂの上に
重なり、両者共にキャスク１３０から伸びているアーム
１２０，１２２により支持されている。この時点では左
右のキャスク１３０のトランスファーキャスクバルブ１
２８とモジュールゲートバルブ１２６は、両者共にオー
プンの状態である。かくして、左右のトランスファーキ
ャスク１３０の内部は、ヴァキューム状態であって、チ
ャンバ１８の内部と連通している。第１１図から第１３
図におけるベーパー化が中断されている間、ベーポライ
ザートランスファーキャスク６０のチャンバゲートバル
ブ７４とトランスファーキャスクバルブ７２およびチャ
ンバ１８とは、それぞれオープン状態にある。

【００４１】第１２図において、アッセンブリー４０
Ａ，４０Ｂは、重ねられた状態で右手のトランスファー
キャスク１３０ヘ後退される。両キャスク１３０におけ
るトランスファーキャスクゲートバルブ１２８とモジュ
ーゲートバルブ１２６とは、オープン位置に留まる。つ
ぎのステップでは、第１３図に示すように、左手のキャ
スク１３０のアーム１２０，１２２が伸び、その結果エ
クストラクタアッセンブリー４０Ａ，４０Ｂは、重なり
合った状態でチャンバ１８内にある。すべてのモジュー
ルゲートバルブ１２６とトランスファーキャスクゲート
バルブ１２８とはオープンの状態に留まるが、重なり合
ったアッセンブリー４０Ａ，４０Ｂをもつ右手のキャス
ク１３０は、モジュール１２に連結したままである。

【００４２】次のステップでは、第１４図に示すよう
に、左手のキャスク１３０のエクストラクタアッセンブ
リー４０Ａ，４０Ｂは、重ならず、互いにレール４４上
にあるが、右手のモジュールゲートバルブ１２６とトラ
ンスファーキャスクゲート１２８は、閉止されている。
右手のトランスファーキャスク１３０は、モジュール１
２にある。

【００４３】ベーポライザーアッセンブリー３０は、モ
ジュール１２のフル操作のために準備段階にある。次の
ステップでは、第１５図に示すように、右手のトランス
ファーキャスク１３０がモジュール１２から右手のオー
バーヘッドコンヤーシステム２２０ヘ移動される。つい
でモジュール１２は、完全な操作状態に置かれ、このよ
うな状態は、数時間継続する。一方、オーバーヘッドコ
ンベヤシステム２２０は、処理物を有するエクストラク
タアッセンブリー４０と共に右手のトランファーキャス
ク１３０を分解ステーションヘ移す。その後、空のエク
ストラクタアッセンブリー４０を持つ別のトランスファ
ーキャスク１３０がトラック１３３に乗せられてモジュ
ール１２の右側に案内され、モジュール１２と共にヴァ
キュームロックされ（第１６図）、左側のキャスク１３
０への移行に備える。

【００４４】モジュールがシャットダウン（閉止）され
ている間、何時でも必要に応じ補修または交換のためベ
ーポライザーアッセンブリー３０または交換アッセンブ
リー９０を右側遠くへ取り除くことができる。この点
は、前記した通りである。

【００４５】前記実施例は、アイソトープの分離技術
に、この発明を実施した例について説明したが、この発
明は、ヴァキューム状態での処理に適用できる。前記実
施例は、この発明を限定するものではない。

【００４６】

【発明の効果】この発明は、前記のように、特定の雰囲
気、例えば、ヴァキューム状態での操作処理が必要なプ
ロセスを実行するに当り、処理チャンバにマテリアルを
供給したり、部品の交換、修理等を行う場合、該プロセ
スの操作を中断したり、特定の雰囲気を損なわずに、そ
のような作業、操作が行えるものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明における一連のモジュラーチャンバと
関連したエクストラクタアッセンブリーの一部切断平面
図である。

【図２】この発明におけるレーザー照射軸にそった一つ
のモジュラーユニットの内部説明図である。

【図３】レーザー軸にそったエクストラクタアッセンブ
リーのヴァキュームトランスファーキャスクの一部切断
側面図で、後退位置におけるエクストラクタアッセンブ
リーを点線で示したもの。

【図４】第３図４−４線にそう内部の断面図である。

【図５】内部を示す第３図のキャスクの平面図である。

【図６】第３図４−４線にそった引き込み状態にある伸
縮自由のアームの断面図である。

【図７】アームが部分的に引き込んだ状態における第２
図のベーポライザーアッセンブリーの内部の説明図であ
る。

【図８】後退過程にあって、回転した状態にある第２図
のベーポライザーの状態を示す説明図である。

【図９】完全に後退し、回転した状態にある第２図のベ
ーポライザーの状態を示す説明図である。

【図１０】操作状況下にある、モジュラーキャスクとチ
ャンバシステムの動作を示す説明図である。

【図１１】重ねたエクストラクタアッセンブリーを引き
込ませた状態を示す部分的にシャットダウンの状態にあ
るモジュラーキャスクとチャンバシステムの説明図であ
る。

【図１２】後退位置にあるエクストラクタアッセンブリ
ーを示すモジュラーキャスクとチャンバシステムの説明
図である。

【図１３】重ねた状態でユニットへインサートされた新
しいエクストラクタアッセンブリーを示すモジュラーキ
ャスクとチャンバシステムの説明図である。

【図１４】新しいエクストラクタアッセンブリーによっ
て操作開始の状態にあるモジュラーキャスクとチャンバ
システムの説明図である。

【図１５】つぎの処理のために取り除いた使用したばか
りのエクストタクタアッセンブリーをもつ完全な操作状
態下にあるモジュラーキャスクとチャンバシステムの動
作説明図である。

【図１６】前記ユニットが操作の段階にある間、挿入の
準備段階にある空の別のエクストラクタアッセンブリー
を示すモジュラーキャスクとチャンバシステムの動作説
明図である。

【符号の説明】

１０ チューブ １２ モジュール １５ チューブの軸 １８ モジュールの内部 １７ ヴァキュームロック １９ トランスファーキャスク ３０ ベーポライザーアッセンブリー

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B01D 59/34 B01J 3/00 B01J 3/02

Claims (40)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 所定の雰囲気でマテリアル処理手段を支
   持するモジュラー処理装置であって、 軸方向に分割された少なくとも一つの内部処理領域を有
   する軸方向に長いエンクロージャーであって、前記エン
   クロージャーから隔離された状態で所定の雰囲気を有す
   る手段を備え、前記少なくとも一つの内部処理領域は、
   少なくとも一つのアクセスポートを有するエンクロージ
   ャー；それぞれが 内部処理領域に設けられたマテリアル処理手
   段と、ポートとを有する複数の移動可能なトランスファ
   ーキャスク； 前記キャスクまたは前記エンクロージャーのいずれかに
   関連し、前記キャスクを前記エンクロージャーのアクセ
   スポートに接続し、かつ、前記所定の雰囲気を含む手
   段； 前記キャスクに関連し、前記エンクロージャーの内部処
   理領域に対して前記キャスク内部を交互に閉止および開
   放するための手段； 前記トランスファーキャスクの内部にあって、前記マテ
   リアル処理手段を該キャスク内へ収容し、または、前記
   エンクロージャーの内部処理領域へ前記処理手段を延長
   させるための収容および延長手段を備えることを特徴と
   する装置。
2. 【請求項２】 前記収容および延長手段が少なくとも一
   つの延長可能なアームである請求項１の装置。
3. 【請求項３】 前記マテリアル処理手段の各々が前記ア
   ームの少なくとも一つのものの端部に配置されている請
   求項２の装置。
4. 【請求項４】 前記エンクロージャーの内部で前記処理
   手段を受け、関連した処理領域で前記処理手段を所定の
   配列にする装着手段を含む請求項３の装置。
5. 【請求項５】 前記エンクロージャーの雰囲気がヴァキ
   ュームである請求項１の装置。
6. 【請求項６】 操作パワーを前記キャスクから前記処理
   手段へ与える手段であって、前記トランスファーキャス
   クそれぞれと関連している手段を備えている請求項４の
   装置。
7. 【請求項７】 前記処理手段が前記エンクロージャーの
   アクセスポートの軸方向開口よりも軸方向で長い請求項
   １の装置。
8. 【請求項８】 前記処理手段を回転させて前記エンクロ
   ージャーのアクセスポートを通過させるための、前記収
   容および延長手段と関連する手段を含む請求項７の装
   置。
9. 【請求項９】 前記処理手段は、軸方向に分割された少
   なくとも二つの処理手段部分を含み、前記延長手段は、
   各処理手段部分に対するアームと、前記二つの処理手段
   部分を前記ポートを通過させるために重ね合わせた状態
   で配置するように前記アームを制御するための手段とを
   有している請求項７の装置。
10. 【請求項１０】 前記閉止および開放するための手段が
    前記キャスクのポートと関連するゲートバルブと、前記
    エンクロージャーに関連するゲートバルブと、前記ゲー
    トバルブ間の領域を減圧するポンプ手段とを有している
    請求項１，２，３，４，５，６，７，８または９の装
    置。
11. 【請求項１１】 所定の雰囲気でマテリアル処理装置を
    含むポート付きエンクロージャーと選択的に係合し、前
    記処理装置の少なくとも一部を、離間した分離可能なユ
    ニットから前記エンクロージャーへ与えるモジュラー処
    理システムであって、 前記所定の雰囲気を有する密閉可能な内部チャンバを構
    成するキャスク； 前記キャスクの一方の側面に配置されたポート； 前記エンクロージャーのポートと関連し、前記エンクロ
    ージャーのポートと協同して前記キャスクとエンクロー
    ジャーとの間に開口を形成するか、前記キャスク内に前
    記雰囲気を封止するバルブ手段； 前記キャスクと関連し、前記キャスク内から前記処理装
    置の前記一部を支持して、前記開口を介して前記キャス
    ク内と前記エンクロージャー内への選択的封じ込みを行
    うための支持手段を備えることを特徴とするシステム。
12. 【請求項１２】 前記選択的封じ込み手段が延長可能な
    アームである請求項１１のシステム。
13. 【請求項１３】 前記処理装置の一部が前記延長可能な
    アームの末端部に固定されている請求項１２のシステ
    ム。
14. 【請求項１４】 前記延長可能なアームは、伸縮自在な
    構造であり、また前記処理装置の一部を伸縮させて前記
    キャスク内で操作を行わせ、また、後退させるハイドロ
    リック手段を備えている請求項１３のシステム。
15. 【請求項１５】 前記キャスクから前記装置の一部まで
    伸び、冷却媒体と電気パワーとを供給するフレキシブル
    な手段を含む請求項１４のシステム。
16. 【請求項１６】 前記装置の一部を回転させて前記開口
    を通過させる手段を含む前記キャスクを有する請求項１
    １のシステム。
17. 【請求項１７】 前記装置の一部が電子ビームエバポレ
    ータを有する請求項１６のシステム。
18. 【請求項１８】 前記エバポレータが正常では固体であ
    るマテリアルを含む坩堝を含む請求項１７のシステム。
19. 【請求項１９】 前記エバポレータと関連するシールド
    と、前記シールドを前記エバポレータを越えて傾斜さ
    せ、前記キャスクのポートを通過させる手段とを有する
    請求項１７のシステム。
20. 【請求項２０】 前記処理装置の一部が前記エンクロー
    ジャー内にあるときは互いに近接して横配置された複数
    のセクションを含み、前記支持手段が前記セクションを
    積み上げて前記開口から移し出したり、または、前記キ
    ャスク内へ封じ込めたりする手段を含む請求項１１のシ
    ステム。
21. 【請求項２１】 前記支持手段が前記セクションのそれ
    ぞれに対して延長可能なアームを有する請求項２０のシ
    ステム。
22. 【請求項２２】 前記セクションのそれぞれは、関連し
    た延長可能なアームの末端に取り付けられている請求項
    ２１のシステム。
23. 【請求項２３】 前記延長可能なアームのそれぞれは、
    伸縮自在であって、前記アームを液圧で作動し前記セク
    ションを前記キャスク内で重ねた状態で操作する、前記
    キャスクに関連した手段が設けてある請求項２１のシス
    テム。
24. 【請求項２４】 前記セクションのそれぞれを前記キャ
    スク内から電気的に励起する手段を含む請求項２３のシ
    ステム。
25. 【請求項２５】 前記セクションのそれぞれがイオン抽
    出システムを含む請求項２０のシステム。
26. 【請求項２６】 前記エンクロージャーにおける各セク
    ションが前記エンクロージャーにおいて所定の配列とな
    るようにする装着手段を含む請求項２５のシステム。
27. 【請求項２７】 前記装着手段を調節して前記セクショ
    ンの配列を変える手段を含む請求項２６のシステム。
28. 【請求項２８】 前記キャスク内における隣接関係にあ
    る前記セクションの横寸法よりも前記キャスクポートの
    横寸法が狭い請求項２０のシステム。
29. 【請求項２９】 レーザー同位体分離の手段における、
    モジュラー化され、交換可能であるベーポライザーなら
    びにエクストラクターを含むモジュラー処理装置であっ
    て、 互いに軸方向に隣接されて配置されて互いに相互接続す
    る複数のモジュラーユニットから構成され、内部にヴァ
    キュームチャンバを有し、それぞれのモジュラーユニッ
    トが複数のアクセスポートを有している軸方向に長いエ
    ンクロージャー；それぞれが前記モジュラーユニットの前記アクセスポー
    トの一つと関連するように適用される 複数のヴァキュー
    ムキャスクであって、それぞれがその一方の側面に配置
    されたポートを有し、関連するモジュラーユニットのポ
    ートと連結して、連結した部分との間にシールされた開
    口を形成するヴァキュームキャスク； 前記ヴァキュームキャスクのそれぞれに関連し、前記ヴ
    ァキュームキャスクポートと前記アクセスポートの開口
    を介して関連のモジュラーユニットに出入する支持手
    段； 第１のヴァキュームキャスクと関連し、支持手段に固定
    されて関連するキャスクまたはモジュラーユニットのい
    ずれかに封じ込まれるベーポライザーアッセンブリーで
    あって、操作の段階で、前記関連のモジュラーユニット
    内でマテリアルをベーポライズする手段を含むベーポラ
    イザーアッセンブリー；そして第２のヴァキュームキャ
    スクと関連し、支持手段に固定されて関連するキャスク
    またはモジュラーユニットのいずれかに封じ込まれ、さ
    らに、操作の段階で関連モジュラーユニット内でベーポ
    ライズされたマテリアルを受ける手段を有するエクスト
    ラクタアッセンブリーを備えることを特徴とする装置。
30. 【請求項３０】 前記エクストラクタアッセンブリーを
    受ける前記モジュラー内の手段であって、前記エクスト
    ラクタアッセンブリーを所定の配列にする手段を含む請
    求項２９の装置。
31. 【請求項３１】 前記モジュラーユニット内で前記ベー
    ポライザーアッセンブリーを回転させる手段を備えてい
    る請求項２９の装置。
32. 【請求項３２】 前記支持手段を伸縮させて関連のベー
    ポライザーアッセンブリーを回転させた後に関連のヴァ
    キュームキャスクに移す手段を備えている請求項３１の
    装置。
33. 【請求項３３】 前記エクストラクタアッセンブリーの
    それぞれが二つのセグメントを含み、これらセグメント
    のそれぞれが前記支持手段の分離されたものに固定され
    ている請求項２９の装置。
34. 【請求項３４】 前記二つのセグメントを縦方向に積み
    上げて前記アクセスポートを通して引き抜くことができ
    るようにする手段を備えている請求項３３の装置。
35. 【請求項３５】 積まれたエクストラクタアッセンブリ
    ーそれぞれに関連した前記支持手段を伸縮させて、これ
    を関連のアクセスポートを通して関連のキャスクヘ移す
    手段を備えた請求項３４の装置。
36. 【請求項３６】 キャスクを関連のモジュラーユニット
    へ移動させ、またそこから移動させる手段を含む請求項
    ２９の装置。
37. 【請求項３７】 前記モジュラーユニットのそれぞれに
    関連し、前記エンクロージャーのアクセスポートを介し
    てマテリアルを前記ベーポライザーアッセンブリーヘ補
    充する取り外し可能なマテリアルフィーダー手段を備え
    ている請求項２９の装置。
38. 【請求項３８】 長さ方向に長く形成され、複数の相互
    に隣接して接続配置されたモジュラーユニットからな
    り、モジュラーユニットのそれぞれが少なくとも一つの
    アクセスポートを有するヴァキュームエンクロージャ
    ー； 複数のモジュラーセクションからなり、前記セクション
    のそれぞれは、前記モジュラーユニットの一つに配設さ
    れ、そして前記アクセスポートの長さ方向の寸法よりも
    長い長さ方向の寸法を有するヴァキューム処理手段； 複数のトランスファーキャスクであって、前記トランス
    ファーキャスタのそれぞれが前記アクセスポートの一つ
    と前記モジュラーセクションの一つに関連しているヴァ
    キュームトランスファーキャスク；を有する処理システムにおいて、 前記モジュラーセクシ
    ョンの一つを関連したアクセスポートから取り除くモジ
    ュラー処理方法であって、 前記セクションを前記関連のアクセスポートの方へ所定
    の距離だけ後退させるステップ； 前記モジュラーセクションを関連のアクセスポートの面
    に垂直な軸回りを所定の角度回転させるステップ；およ
    び前記モジュラーユニットを回転させながら関連のアク
    セスポートから引き抜き、関連のトランスファーキャス
    クヘ移すステップとを備えることを特徴とする方法。
39. 【請求項３９】 長さ方向に長く形成され、複数の相互
    に隣接して接続配置されたモジュラーユニットからな
    り、モジュラーユニットのそれぞれが少なくとも一つの
    アクセスポートを有するヴァキュームエンクロージャ
    ー；長さ方向に区分された 複数のモジュラーセクションから
    なり、前記セクションのそれぞれは、前記モジュラーユ
    ニットの一つに配設され、そして前記アクセスポートの
    長さ方向の寸法よりも長い長さ方向の寸法を有するヴァ
    キューム処理手段； 複数のトランスファーキャスクであって、前記トランス
    ファーキャスクのそれぞれが前記アクセスポートの一つ
    と前記モジュラーセクションの一つに関連しているヴァ
    キュームトランスファーキャスク；を有するヴァキューム処理システムにおいて、 前記モジ
    ュラーセクションの一つを関連したアクセスポートを通
    して引き抜くモジュラー処理方法であって、 一方のセグメントを他方のセグメントに重ねるステッ
    プ； 前記重ね合わせたセグメントを関連のアクセスポートに
    おいてセンターが合うまで横方向へずらせるステップ；
    および前記セグメントを重ね合わせた状態で関連のアク
    セスポートを通して関連のトランスファーキャスクへ引
    き抜くステップとを備えることを特徴とする方法。
40. 【請求項４０】 それぞれが互いに隣接されて整列され
    て長いヴァキュームチャンバを構成する複数のモジュラ
    ーユニットからなる長さ方向に長いエンクロージャーで
    あって、これらモジュラーユニットのそれぞれが互いに
    対向して設けられた第１および第２のアクセスポート
    と、前記第１および第２のアクセスポートの下側に配置
    された第３のアクセスポートとを有するエンクロージャ
    ー；それぞれがバルブ付きポートを有している 複数のヴァキ
    ュームトランスファーキャスクであって、第１のトラン
    スファーキャスクが第１のアクセスポートに接続されて
    いる複数のヴァキュームトランスファーキャスク；各 モジュラーユニットと関連するエクストラクタアッセ
    ンブリーであって、それぞれが前記トランスファーキャ
    スクのそれぞれと関連する二つのエクストラクタアッセ
    ンブリーセクションを有するエクストラクタアッセンブ
    リー； 前記エクストラクタアッセンブリーを関連のトランスフ
    ァーキャスクから機械的且つ操作可能に支持するリトラ
    クタブルな支持手段； 前記第１および第２のアクセスポートに対し前記各トラ
    ンスファーキャスクを出入させる手段； 前記モジュラーユニット内にあって、前記エクストラク
    タアッセンブリーセクションを受け、支持し、且つ整合
    させる整合手段； 前記第１、第２および第３のアクセスポートのそれぞれ
    に関連し、前記ヴァキュームキャスクのポートに接続す
    るために適用されるバルブ手段； 前記モジュラーユニットのそれぞれに関連するベーポラ
    イザーアッセンブリーであって、それぞれが前記トラン
    ファーキャスクの異なる一つに関連し、またトランスフ
    ァーキャスクのポートを介して前記第３のアクセスポー
    トに隣接して配置され、且つ接続されているベーポライ
    ザーアッセンブリー；および前記ベーポライザーアッセ
    ンブリーを関連のトランスファーキャスクから機械的且
    つ操作可能に支持するリトラクタブルな支持手段；を有するレーザー同位体分離システムにおいて、 前記エ
    クストラクタアッセンブリーをシステムの操作を中断す
    ることなく交換するモジュラー処理方法であって、 空の重なり合ったエクストラクタアッセンブリーセクシ
    ョンを含む第２のトランスファーキャスクを前記第２の
    アクセスポートに接続するステップ； 前記エクストラクタアッセンブリーセクションを前記整
    合手段から引き上げるステップ； 前記第１のトランスファーキャスクの前記セクションの
    一つを前記エクストラクタアッセンブリーの前記セクシ
    ョンの他方の上に持ち上げるステップ； 前記第１のトランスファーキャスクのエクストラクタア
    ッセンブリーの前記セグメントを互いに重ね合わすステ
    ップ； 前記第１のトランスファーキャスクのエクストラクタア
    ッセンブリーの前記支持手段を第１のトランスファーキ
    ャスクヘ後退させ、エクストラクタアッセンブリーを重
    ねた状態でトランスファーキャスクヘ引き込むステッ
    プ； エクストラクタアッセンブリーを重ねた状態で前記第２
    のトランスファーキャスクから前記モジュラーユニット
    ヘ延長させるステップ； 前記第２のトランスファーキャスクのエクストラクタア
    ッセンブリーのセクションの重ねた状態を解除するステ
    ップ； 前記第２のトランスファーキャスクのエクストラクタア
    ッセンブリーの前記重ねた状態が解除されたセクション
    を互いに近接した状態で前記整合手段へ降下させるステ
    ップ； 前記ベーポライザーアッセンブリーの操作を開始するス
    テップ； 前記第１のトランスファーキャスクを前記モジュラーユ
    ニットの前記第１のアクセスポートから離脱させるステ
    ップ； 前記第１のトランスファーキャスクを前記モジュラーユ
    ニットから分解ステーションヘ移送するステップ；およ
    び第３のトランファーキャスクを前記第１のアクセスポ
    ートヘ結合するステップとを備えることを特徴とする方
    法。