JP3183353U - 蛇腹 - Google Patents

Abstract

【課題】半導体ウェハの破片や研削屑等により蛇腹に穴が空くことを解消することができるばかりではなく、マシニングセンタやダイシングマシンやレーザ加工機若しくは溶接機等の工作機械に取り付けられ、繰り返し伸縮動作がされた場合であっても表面層や補強層等に亀裂等の損傷が生ずることがない新規な蛇腹を提供する。
【解決手段】複数のシート体５，６，７が接着されてなるとともに、山部２ａと谷部２ｂとが所定の幅を隔てて交互に形成されてなり、上記山部２ａと谷部２ｂとの間には該山部２ａから谷部２ｂまでの幅よりも短い幅に成形された保護板（金属板）８が上記複数のシート体５，７により挟まれた状態で配置されてなる。
【選択図】 図２

Description

本考案は、例えば、マシニングセンタやダイシングマシン、或いは、研削機等或いはレーザ加工機や溶接機等の工作機械に取り付けられる蛇腹に関するものである。

研削機により金属を研削する場合、研削屑やクーラント液が飛散する場合が多く、また、ダイシングマシンでは、半導体ウェハの破片が飛散し、それらの機械や装置に装着された蛇腹にそれらが付着した場合には、該蛇腹に穴が開いてしまったり溶融してしまったりする場合がある。そこで、本願出願人は、こうした研削屑等の飛散により蛇腹本体に穴が開く等の不都合を解消するために、難燃層と補強層との間に金属層を配置した蛇腹用シート体を、折曲することにより山部と谷部が交互に形成された蛇腹を提案した（特許文献１参照）。こうした蛇腹によれば、上記半導体ウェハの破片や研削屑等により蛇腹に穴が空くことを解消することができる。

特開平９−７２４１９号公報

しかしながら、上述した蛇腹では、上記マシニングセンタやダイシングマシンやレーザ加工機若しくは溶接機等の工作機械に取り付けられ、繰り返し伸縮動作がされると、上記山部及び谷部において金属疲労が生じ破断されてしまうことが多いばかりではなく、該破断され鋭利な状態となった金属層の端部により表面層や補強層等に亀裂等の損傷が生ずる場合が少なくない。

そこで、本考案は、上述した従来の蛇腹が有する課題を解決するために提案されたものであって、半導体ウェハの破片や研削屑等により蛇腹に穴が空くことを解消することができるばかりではなく、マシニングセンタやダイシングマシンやレーザ加工機若しくは溶接機等の工作機械に取り付けられ、繰り返し伸縮動作がされた場合であっても表面層や補強層等に亀裂等の損傷が生ずることがない新規な蛇腹を提供することを目的とするものである。

本考案は、上記課題を解決するために提案されたものであって、第１の考案（請求項１記載の考案）は、複数のシート体が接着されてなるとともに、山部と谷部とが所定の幅を隔てて交互に形成されてなり、上記山部と谷部との間には該山部から谷部までの幅よりも短い幅に成形された保護板が上記複数のシート体により挟まれた状態で配置されてなることを特徴とするものである。

この第１の考案に係る蛇腹では、上記保護板が配置されてなることから、従来の蛇腹のように、半導体ウェハの破片や研削屑等により蛇腹に穴が空くことを解消することができるばかりではなく、マシニングセンタやダイシングマシンやレーザ加工機若しくは溶接機等の工作機械に取り付けられ、繰り返し伸縮動作がされた場合であっても表面層や補強層等に亀裂等の損傷が生ずることがない

なお、上記考案を構成する複数のシート体は、表面層と裏面層とを形成する２つのシート体からなるものばかりではなく、表面層の下方に中間層が配置され、この中間層の下側に裏面層が配置され、上記保護板は、上記表面層と中間層との間、又は該中間層と裏面層との間に配置されたものであっても良い。また、上記保護板は、例えば、硬質樹脂や硬質ゴムであっても良いし、金属からなる金属板であっても良い（請求項２記載の考案）。

また、第２の考案（請求項２記載の考案）は、上記第１の考案において、前記保護板は、金属板であることを特徴とするものである。

本考案に係る蛇腹では、上記山部と谷部との間には該山部から谷部までの幅よりも短い幅に成形された保護板又は金属板が上記複数のシート体により挟まれた状態で配置されてなり、従来の蛇腹のように、山部や谷部には該保護板又は金属板は配置されていない。したがって、この考案に係る蛇腹によれば、半導体ウェハの破片や研削屑等により蛇腹に穴が空くことを解消することができるばかりではなく、マシニングセンタやダイシングマシンやレーザ加工機若しくは溶接機等の工作機械に取り付けられ、繰り返し伸縮動作がされた場合であっても表面層や補強層等に亀裂等の損傷が生ずることを有効に防止することができる。

実施の形態に係る蛇腹を一部破断した状態を示す斜視図である。 図１に示す蛇腹の断面の要部を模式的に示す側断面図である。

以下、本考案を実施するための最良の形態に係る蛇腹について図面を参照しながら詳細に説明する。なお、この実施の形態に係る蛇腹１は、図示しないダイシングマシン（半導体ウェハの加工装置）に装着される蛇腹に、本考案を適用したものである。

この蛇腹１は、上記ダイシングマシンに装着されるものであって、図１に示すように、水平方向に伸縮動作するように配置されてなるものであって、水平方向に伸縮動作する主伸縮部２と、この主伸縮部２の左端側から垂下してなる左側脚部３と、上記主伸縮部２の右端側から垂下してなる右側脚部４とから構成され、正面形状が略門型に成形されてなるものである。

そして、上記主伸縮部２には、山部２ａと谷部２ｂとが交互に形成されてなり、上記左側脚部３にも図示しない山部と谷部とが交互に形成されている。また、上記右側脚部４にも、山部４ａと谷部４ｂとが交互に形成されている。なお、この実施の形態に係る蛇腹１では、上記各山部２ａ，４ａから谷部２ｂ，４ｂまでの幅はそれぞれ同一の幅とされている。

また、この蛇腹１は、図２に示すように、表面層を形成する第１のシート体５と、裏面層を形成する第２のシート体６と、この第２のシート体６の上部に貼付された第３のシート体７と、上記第１のシート体５と第３のシート体７との間に、本考案を構成する保護板としての金属板８が配置されている。上記金属板８は、図１又は図２に示すように、上記山部２ａと谷部２ｂとの間に配置されてなるものであり、該山部２ａと谷部２ｂとの幅よりもやや短い幅を備え、長さは上記主伸縮部２の長さよりもやや短いものとされ、全体形状は長方形状に成形されている。

なお、上記金属板８は、この実施の形態にではステンレススチールを素材としているが、鉄その他の金属を使用したものであっても良い。また、この実施の形態では、金属板８を保護板として構成要素としたが、金属を素材とするものではなく、硬質樹脂や硬質ゴムから成るものであっても良い。

１ 蛇腹
２ 主伸縮部
２ａ 山部
２ｂ 谷部
３ 左側脚部
４ 右側脚部
４ａ 山部
４ｂ 谷部
５ 第１のシート体
６ 第２のシート体
７ 第３のシート体
８ 金属板

Claims (2)

1. 複数のシート体が接着されてなるとともに、山部と谷部とが所定の幅を隔てて交互に形成されてなり、上記山部と谷部との間には該山部から谷部までの幅よりも短い幅に成形された保護板が上記複数のシート体により挟まれた状態で配置されてなることを特徴とする蛇腹。
2. 前記保護板は、金属板であることを特徴とする請求項１記載の蛇腹。