JP3179394B2 - 印刷配線板の電気検査装置及び電気検査方法 - Google Patents
印刷配線板の電気検査装置及び電気検査方法Info
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- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
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- G01R31/2801—Testing of printed circuits, backplanes, motherboards, hybrid circuits or carriers for multichip packages [MCP]
- G01R31/281—Specific types of tests or tests for a specific type of fault, e.g. thermal mapping, shorts testing
- G01R31/2812—Checking for open circuits or shorts, e.g. solder bridges; Testing conductivity, resistivity or impedance
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R27/00—Arrangements for measuring resistance, reactance, impedance, or electric characteristics derived therefrom
- G01R27/02—Measuring real or complex resistance, reactance, impedance, or other two-pole characteristics derived therefrom, e.g. time constant
- G01R27/14—Measuring resistance by measuring current or voltage obtained from a reference source
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、印刷配線板の電気
検査装置及び電気検査方法に関し、特に、印刷配線板の
配線に潜在している疑似導通（見かけ上正常に導通して
いるが、わずかな機械的、熱的或いは電気的ストレスで
断線に至る欠陥）或いは疑似絶縁部（見かけ上正常に絶
縁されているが、わずかな機械的、熱的或いは電気的ス
トレスで短絡に至る欠陥）（以下、疑似導通と疑似絶縁
をまとめてルーズコンタクトという）のような欠陥を電
気的に検出するのに用いられる印刷配線板の電気検査装
置及び電気検査方法に関する。
検査装置及び電気検査方法に関し、特に、印刷配線板の
配線に潜在している疑似導通（見かけ上正常に導通して
いるが、わずかな機械的、熱的或いは電気的ストレスで
断線に至る欠陥）或いは疑似絶縁部（見かけ上正常に絶
縁されているが、わずかな機械的、熱的或いは電気的ス
トレスで短絡に至る欠陥）（以下、疑似導通と疑似絶縁
をまとめてルーズコンタクトという）のような欠陥を電
気的に検出するのに用いられる印刷配線板の電気検査装
置及び電気検査方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に印刷配線板は、その製造工程で、
配線の断線や異なる配線間の短絡が生じている虞がある
ため、これらの欠陥の有無を確認するために電気検査が
実施されている。従来、この種の印刷配線板の電気検査
は、図４にそのブロック図が示される電気検査装置４０
で実施されている。
配線の断線や異なる配線間の短絡が生じている虞がある
ため、これらの欠陥の有無を確認するために電気検査が
実施されている。従来、この種の印刷配線板の電気検査
は、図４にそのブロック図が示される電気検査装置４０
で実施されている。
【０００３】従来の電気検査装置４０は、所定の定電流
を発生する定電流発生部４１１とこの定電流発生部４１
１で発生した定電流をプローブ３ａ，３ｂを介して検査
対象配線の被検査端子２ａ，２ｂ間に印加し、この時の
被検査端子２ａ，２ｂ間の電圧を測定して抵抗成分を検
出する測定部４１２とを含む電気テスタ部４１と、抵抗
成分から配線の導通、断線を検出する比較判定部４２と
を備えただけである。また、この電気検査装置４０によ
る検査方法は、電気検査装置４０のプローブ３ａ，３ｂ
を介して被検査端子２ａ，２ｂ間に単に定格を越えない
定電流を印加して抵抗成分を検出し、配線の断線及び配
線間の短絡を判定している。
を発生する定電流発生部４１１とこの定電流発生部４１
１で発生した定電流をプローブ３ａ，３ｂを介して検査
対象配線の被検査端子２ａ，２ｂ間に印加し、この時の
被検査端子２ａ，２ｂ間の電圧を測定して抵抗成分を検
出する測定部４１２とを含む電気テスタ部４１と、抵抗
成分から配線の導通、断線を検出する比較判定部４２と
を備えただけである。また、この電気検査装置４０によ
る検査方法は、電気検査装置４０のプローブ３ａ，３ｂ
を介して被検査端子２ａ，２ｂ間に単に定格を越えない
定電流を印加して抵抗成分を検出し、配線の断線及び配
線間の短絡を判定している。
【０００４】更に、特開昭６０−１０２７０７号公報に
は、被検査回路に最大許容電流以上の電流が流れるべ
く、且つ新たに欠陥が生じない程度にパルス幅が設定さ
れたパルス電圧を印加して電流を測定し、測定された電
流波形の乱れによって欠陥を検出する、薄膜形成品のル
ーズコンタクトの検出方法が開示されている。
は、被検査回路に最大許容電流以上の電流が流れるべ
く、且つ新たに欠陥が生じない程度にパルス幅が設定さ
れたパルス電圧を印加して電流を測定し、測定された電
流波形の乱れによって欠陥を検出する、薄膜形成品のル
ーズコンタクトの検出方法が開示されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】印刷配線板は、電子部
品の実装の際に、機械的、熱的ストレスを受けることが
避けられず、印刷配線板にルーズコンタクトが潜在して
いると、このルーズコンタクトが断線或いは短絡に至る
虞がある。
品の実装の際に、機械的、熱的ストレスを受けることが
避けられず、印刷配線板にルーズコンタクトが潜在して
いると、このルーズコンタクトが断線或いは短絡に至る
虞がある。
【０００６】しかし、配線にルーズコンタクトが潜在し
ていても、上述した従来の印刷配線板の電気検査装置或
いはこの検査装置による検査方法のように、配線に単に
定格を越えない定電流を印加して抵抗成分を検出し、抵
抗成分から配線の導通、断線を比較判定するだけでは、
ルーズコンタクトの存在を検出できずに電気的特性上は
良品と誤判定してしまうという問題があった。
ていても、上述した従来の印刷配線板の電気検査装置或
いはこの検査装置による検査方法のように、配線に単に
定格を越えない定電流を印加して抵抗成分を検出し、抵
抗成分から配線の導通、断線を比較判定するだけでは、
ルーズコンタクトの存在を検出できずに電気的特性上は
良品と誤判定してしまうという問題があった。
【０００７】また、特開昭６０−１０２７０７号公報に
開示されている、パルス電圧を印加して電流を測定し、
測定された電流波形の乱れによって欠陥を検出する方法
では、どのような電流波形の乱れが観測された場合を欠
陥とするかの判定が、複雑で微妙なものになっている。
開示されている、パルス電圧を印加して電流を測定し、
測定された電流波形の乱れによって欠陥を検出する方法
では、どのような電流波形の乱れが観測された場合を欠
陥とするかの判定が、複雑で微妙なものになっている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の印刷配線板の電
気検査装置は、所定の電流値、パルス幅及びパルス間隔
の定電流パルスを予め定められた回数（ｎ回とする）被
検査対象配線毎に発生するパルス発生部と、このパルス
発生部で発生された前記定電流パルスが前記被検査対象
配線の被測定端子間に印加された際の前記被測定端子間
の電圧を１パルス毎に測定しこの測定された電圧値と前
記定電流パルスの電流値とから前記被測定端子間の抵抗
値を算出する測定部と、前記被測定端子間に印加される
前記定電流パルスがｉ番目（１≦ｉ≦ｎ）のときの前記
測定部で算出された前記抵抗値をＲ（ｉ）と表すときｋ
番目（２≦ｋ≦ｎ）の前記定電流パルスでの算出抵抗値
Ｒ（ｋ）の変動量ΔＲ（ｋ）＝Ｒ（ｋ）−Ｒ（ｋ−１）
を検出する変動検出部と、この変動検出部で検出された
前記変動量ΔＲ（ｋ）と予め定められた判定規格値とを
比較し前記変動量ΔＲ（ｋ）が前記判定規格値以上か否
かを判定する判定部と、前記パルス発生部で発生された
前記定電流パルスが被検査対象配線に印加される回数を
制御する制御部とを含み、且つ印加される前記定電流パ
ルスの電流値が前記被検査対象配線の最大定格電流値の
２倍以上且つ４倍以下に設定されていることを特徴とし
ている。
気検査装置は、所定の電流値、パルス幅及びパルス間隔
の定電流パルスを予め定められた回数（ｎ回とする）被
検査対象配線毎に発生するパルス発生部と、このパルス
発生部で発生された前記定電流パルスが前記被検査対象
配線の被測定端子間に印加された際の前記被測定端子間
の電圧を１パルス毎に測定しこの測定された電圧値と前
記定電流パルスの電流値とから前記被測定端子間の抵抗
値を算出する測定部と、前記被測定端子間に印加される
前記定電流パルスがｉ番目（１≦ｉ≦ｎ）のときの前記
測定部で算出された前記抵抗値をＲ（ｉ）と表すときｋ
番目（２≦ｋ≦ｎ）の前記定電流パルスでの算出抵抗値
Ｒ（ｋ）の変動量ΔＲ（ｋ）＝Ｒ（ｋ）−Ｒ（ｋ−１）
を検出する変動検出部と、この変動検出部で検出された
前記変動量ΔＲ（ｋ）と予め定められた判定規格値とを
比較し前記変動量ΔＲ（ｋ）が前記判定規格値以上か否
かを判定する判定部と、前記パルス発生部で発生された
前記定電流パルスが被検査対象配線に印加される回数を
制御する制御部とを含み、且つ印加される前記定電流パ
ルスの電流値が前記被検査対象配線の最大定格電流値の
２倍以上且つ４倍以下に設定されていることを特徴とし
ている。
【０００９】また、本発明の印刷配線板の電気検査方法
は、被測定端子間に被検査対象配線の最大定格電流値の
２倍以上且つ４倍以下の電流値で、所定のパルス幅及び
パルス間隔に設定された定電流パルスを予め定められた
回数（ｎ回とする）印加する定電流パルス印加ステップ
と、この定電流パルス印加ステップの１定電流パルス毎
に前記被測定端子間の電圧を測定し前記定電流パルスの
電流値とこの測定結果電圧値とから前記被測定端子間の
抵抗値を算出する測定ステップと、前記定電流パルス印
加ステップのｉ番目（１≦ｉ≦ｎ）の定電流パルスのと
きに前記測定ステップで測定された前記測定端子間の抵
抗値をＲ（ｉ）と表すとき前記定電流パルス印加ステッ
プのｋ番目（２≦ｋ≦ｎ）の前記定電流パルスでの算出
抵抗値Ｒ（ｋ）の変動量ΔＲ（ｋ）＝Ｒ（ｋ）−Ｒ（ｋ
−１）を検出する変動検出ステップと、この変動検出ス
テップで検出された前記変動量ΔＲ（ｋ）と予め定めら
れた判定規格値とを比較し、前記変動量ΔＲ（ｋ）が前
記判定規格値未満であれば当該端子間を正常とし、前記
変動量が前記判定規格値以上の場合は当該端子間を異常
として、当該被検査対象の関連する情報と共に判定結果
情報を記憶する判定ステップとを含むことを特徴として
いる。
は、被測定端子間に被検査対象配線の最大定格電流値の
２倍以上且つ４倍以下の電流値で、所定のパルス幅及び
パルス間隔に設定された定電流パルスを予め定められた
回数（ｎ回とする）印加する定電流パルス印加ステップ
と、この定電流パルス印加ステップの１定電流パルス毎
に前記被測定端子間の電圧を測定し前記定電流パルスの
電流値とこの測定結果電圧値とから前記被測定端子間の
抵抗値を算出する測定ステップと、前記定電流パルス印
加ステップのｉ番目（１≦ｉ≦ｎ）の定電流パルスのと
きに前記測定ステップで測定された前記測定端子間の抵
抗値をＲ（ｉ）と表すとき前記定電流パルス印加ステッ
プのｋ番目（２≦ｋ≦ｎ）の前記定電流パルスでの算出
抵抗値Ｒ（ｋ）の変動量ΔＲ（ｋ）＝Ｒ（ｋ）−Ｒ（ｋ
−１）を検出する変動検出ステップと、この変動検出ス
テップで検出された前記変動量ΔＲ（ｋ）と予め定めら
れた判定規格値とを比較し、前記変動量ΔＲ（ｋ）が前
記判定規格値未満であれば当該端子間を正常とし、前記
変動量が前記判定規格値以上の場合は当該端子間を異常
として、当該被検査対象の関連する情報と共に判定結果
情報を記憶する判定ステップとを含むことを特徴として
いる。
【００１０】ルーズコンタクト部が潜在している被検査
配線に適切な定電流パルスを印加すると、ルーズコンタ
クト部の欠陥は瞬時の電流がもたらす発熱によってその
接触が解除或いは逆に溶着されたり、絶縁膜が破壊され
るなどにより、配線の抵抗値が大きく変動するので、こ
の抵抗値変動量を検出し、適切に定められた判定規格値
と比較することにより、ルーズコンタクト部が潜在して
いる被検査配線を判別することができる。
配線に適切な定電流パルスを印加すると、ルーズコンタ
クト部の欠陥は瞬時の電流がもたらす発熱によってその
接触が解除或いは逆に溶着されたり、絶縁膜が破壊され
るなどにより、配線の抵抗値が大きく変動するので、こ
の抵抗値変動量を検出し、適切に定められた判定規格値
と比較することにより、ルーズコンタクト部が潜在して
いる被検査配線を判別することができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照して詳細に説明する。
て、図面を参照して詳細に説明する。
【００１２】図１は、本発明の第１の実施形態の印刷配
線板の電気検査装置の概略ブロック図である。
線板の電気検査装置の概略ブロック図である。
【００１３】電気検査装置１０は、印刷配線１の被測定
端子２ａ，２ｂ間にプローブ３ａ，３ｂを介して印加さ
れる所定の電流値、パルス幅及びパルス間隔の定電流パ
ルスを予め定められた回数（ｎ回とする）被測定対象毎
に発生するパルス発生部１１と、このパルス発生部で発
生された前記定電流パルスが被測定端子２ａ，２ｂ間に
印加された際の被測定端子２ａ，２ｂ間の電圧を１パル
ス毎に測定しこの測定された電圧値と前記定電流パルス
の定電流値とから前記被測定端子２ａ，２ｂ間の抵抗値
を算出する測定部１２と、前記定電流パルスがｉ番目
（１≦ｉ≦ｎ）のときにこの測定部１２で算出された当
該被測定端子２ａ，２ｂ間の抵抗値をＲ（ｉ）と表すと
き、前記定電流パルスがｋ番目（２≦ｋ≦ｎ）のときの
前記被測定端子２ａ，２ｂ間の抵抗の変動量ΔＲ（ｋ）
＝Ｒ（ｋ）−Ｒ（ｋ−１）を検出する抵抗変動検出部１
３と、前記抵抗変動検出部１３で検出された前記変動量
ΔＲ（ｋ）と予め定められた規格値とを比較し前記変動
量ΔＲ（ｋ）が前記規格値以上か否かを判定する判定部
１４と、前記パルス発生部１１で発生された前記定電流
パルスが前記被測定端子２ａ，２ｂ間に印加される回数
を制御する制御部１５とを含んでいる。
端子２ａ，２ｂ間にプローブ３ａ，３ｂを介して印加さ
れる所定の電流値、パルス幅及びパルス間隔の定電流パ
ルスを予め定められた回数（ｎ回とする）被測定対象毎
に発生するパルス発生部１１と、このパルス発生部で発
生された前記定電流パルスが被測定端子２ａ，２ｂ間に
印加された際の被測定端子２ａ，２ｂ間の電圧を１パル
ス毎に測定しこの測定された電圧値と前記定電流パルス
の定電流値とから前記被測定端子２ａ，２ｂ間の抵抗値
を算出する測定部１２と、前記定電流パルスがｉ番目
（１≦ｉ≦ｎ）のときにこの測定部１２で算出された当
該被測定端子２ａ，２ｂ間の抵抗値をＲ（ｉ）と表すと
き、前記定電流パルスがｋ番目（２≦ｋ≦ｎ）のときの
前記被測定端子２ａ，２ｂ間の抵抗の変動量ΔＲ（ｋ）
＝Ｒ（ｋ）−Ｒ（ｋ−１）を検出する抵抗変動検出部１
３と、前記抵抗変動検出部１３で検出された前記変動量
ΔＲ（ｋ）と予め定められた規格値とを比較し前記変動
量ΔＲ（ｋ）が前記規格値以上か否かを判定する判定部
１４と、前記パルス発生部１１で発生された前記定電流
パルスが前記被測定端子２ａ，２ｂ間に印加される回数
を制御する制御部１５とを含んでいる。
【００１４】次に、本実施形態の電気検査装置１０の動
作を説明する。
作を説明する。
【００１５】検査対象となる配線に接続されている被測
定端子間に、電気検査装置１０のパルス発生部１１で発
生する所定の定電流パルスが、予め定められた回数（ｎ
回）だけ印加されるように、制御部１５で制御される。
この際、１パルス毎に測定部１２で前記被測定端子間の
電圧を測定しこの測定結果電圧値と印加された定電流パ
ルスの電流値とから被測定端子間の配線抵抗値が算出さ
れる。変動検出部１３では、定電流パルスがｋ番目（２
≦ｋ≦ｎ）のときの当該被測定端子間の抵抗値の変動量
ΔＲ（ｋ）＝Ｒ（ｋ）−Ｒ（ｋ−１）が算出される。ま
た、判定部１４で、この変動量ΔＲ（ｋ）と予め定めら
れた判定規格値とが比較される。この結果、予め定めら
れた回数（ｎ回）の全てのパルスで前記変動量ΔＲ
（ｋ）が前記判定規格値未満であれば当該端子間の前記
配線を正常とし、１回でも前記変動量ΔＲ（ｋ）が前記
判定規格値以上の場合は当該端子間の前記配線を異常と
する。予め定められた回数のパルス印加が終了した後、
この判定結果情報が、必要な関連情報（基板のロット番
号、シリアル番号、基板上の対象配線位置等必要に応じ
て定められる）と共に図示されていない記憶手段に格納
される。
定端子間に、電気検査装置１０のパルス発生部１１で発
生する所定の定電流パルスが、予め定められた回数（ｎ
回）だけ印加されるように、制御部１５で制御される。
この際、１パルス毎に測定部１２で前記被測定端子間の
電圧を測定しこの測定結果電圧値と印加された定電流パ
ルスの電流値とから被測定端子間の配線抵抗値が算出さ
れる。変動検出部１３では、定電流パルスがｋ番目（２
≦ｋ≦ｎ）のときの当該被測定端子間の抵抗値の変動量
ΔＲ（ｋ）＝Ｒ（ｋ）−Ｒ（ｋ−１）が算出される。ま
た、判定部１４で、この変動量ΔＲ（ｋ）と予め定めら
れた判定規格値とが比較される。この結果、予め定めら
れた回数（ｎ回）の全てのパルスで前記変動量ΔＲ
（ｋ）が前記判定規格値未満であれば当該端子間の前記
配線を正常とし、１回でも前記変動量ΔＲ（ｋ）が前記
判定規格値以上の場合は当該端子間の前記配線を異常と
する。予め定められた回数のパルス印加が終了した後、
この判定結果情報が、必要な関連情報（基板のロット番
号、シリアル番号、基板上の対象配線位置等必要に応じ
て定められる）と共に図示されていない記憶手段に格納
される。
【００１６】当該印刷配線板の全ての検査対象配線に対
して、この一連の動作が実施される。
して、この一連の動作が実施される。
【００１７】尚、電気検査装置１０は、被測定端子間が
正常な絶縁状態或いは完全な断線状態のような場合、パ
ルス発生部１１からの出力電圧値が予め定められた値に
達すると図示されていない保護回路が作動してパルス発
生部１１からの出力は遮断され、当該被測定端子間の電
圧は０Ｖになると共に、測定結果はオーバフロー表示さ
れるように構成されている。
正常な絶縁状態或いは完全な断線状態のような場合、パ
ルス発生部１１からの出力電圧値が予め定められた値に
達すると図示されていない保護回路が作動してパルス発
生部１１からの出力は遮断され、当該被測定端子間の電
圧は０Ｖになると共に、測定結果はオーバフロー表示さ
れるように構成されている。
【００１８】次に、図２を参照して、ルーズコンタクト
部の具体的な検出方法について説明する。尚、以下の説
明において、印加される定電流パルスの電流値は一定で
あるものとする。
部の具体的な検出方法について説明する。尚、以下の説
明において、印加される定電流パルスの電流値は一定で
あるものとする。
【００１９】図２は、ルーズコンタクト部の検出方法を
説明するための図で、分図（イ）は疑似導通箇所及び疑
似絶縁箇所を含んだ印刷配線の接続を示す模式図、分図
（ロ）は被測定端子間に印加する定電流パルス波形の模
式図、分図（ハ）は分図（ロ）の定電流パルスを端子
（Ａ，Ｃ）−Ｂ間或いは端子（Ａ，Ｂ，Ｃ）−（Ｄ，
Ｅ）間に印加した際にそれぞれの端子間で観測される電
圧波形の模式図、分図（ニ）と（ホ）は、それぞれ分図
（ロ）の定電流パルスを端子Ｄ−Ｅ（又はＦ−Ｇ）間、
端子（Ｄ，Ｅ）−（Ｆ，Ｇ）間に印加した際にそれぞれ
の端子間で観測される電圧波形の模式図である。
説明するための図で、分図（イ）は疑似導通箇所及び疑
似絶縁箇所を含んだ印刷配線の接続を示す模式図、分図
（ロ）は被測定端子間に印加する定電流パルス波形の模
式図、分図（ハ）は分図（ロ）の定電流パルスを端子
（Ａ，Ｃ）−Ｂ間或いは端子（Ａ，Ｂ，Ｃ）−（Ｄ，
Ｅ）間に印加した際にそれぞれの端子間で観測される電
圧波形の模式図、分図（ニ）と（ホ）は、それぞれ分図
（ロ）の定電流パルスを端子Ｄ−Ｅ（又はＦ−Ｇ）間、
端子（Ｄ，Ｅ）−（Ｆ，Ｇ）間に印加した際にそれぞれ
の端子間で観測される電圧波形の模式図である。
【００２０】また、図２（イ）において、端子Ｄ−Ｅ間
及びＦ−Ｇ間は正常な配線、端子（Ｄ，Ｅ）−（Ｆ，
Ｇ）間は正常な絶縁状態、端子（Ａ，Ｃ）−Ｂ間及び端
子（Ａ，Ｂ，Ｃ）−（Ｄ，Ｅ）間はルーズコンタクト部
が潜在しているものとする。
及びＦ−Ｇ間は正常な配線、端子（Ｄ，Ｅ）−（Ｆ，
Ｇ）間は正常な絶縁状態、端子（Ａ，Ｃ）−Ｂ間及び端
子（Ａ，Ｂ，Ｃ）−（Ｄ，Ｅ）間はルーズコンタクト部
が潜在しているものとする。
【００２１】正常な配線が接続されている端子Ｄ−Ｅ間
の電気検査においては、図２（ニ）の測定結果電圧の模
式図に示されているとおり、印加される定電流パルスに
より発生する配線自体のジュール熱のため、配線の抵抗
値は徐々に大きくなるが、変動量としては極僅か（高
々、数％未満）であり、判定規格値（通常、２０％前
後）より十分小さい値である。従って、端子Ｄ−Ｅ間の
配線は正常と判定される。
の電気検査においては、図２（ニ）の測定結果電圧の模
式図に示されているとおり、印加される定電流パルスに
より発生する配線自体のジュール熱のため、配線の抵抗
値は徐々に大きくなるが、変動量としては極僅か（高
々、数％未満）であり、判定規格値（通常、２０％前
後）より十分小さい値である。従って、端子Ｄ−Ｅ間の
配線は正常と判定される。
【００２２】また、端子（Ｄ，Ｅ）−（Ｆ，Ｇ）間のよ
うに正常な絶縁状態にある配線間の電気検査において
は、図２（ロ）の定電流パルスを印加しても、電流が流
れず保護回路が作動してパルス発生部１１からの出力は
遮断されて被測定端子（Ｄ，Ｅ）−（Ｆ，Ｇ）間は電圧
０Ｖとなる。従って、測定結果は、図２（ホ）に示され
るとおり電圧パルスは現れない。又、変動検出部１３で
算出される抵抗値はオーバーフローとなり、パルス毎の
変動も無意味であり、変動無しとして扱われる。
うに正常な絶縁状態にある配線間の電気検査において
は、図２（ロ）の定電流パルスを印加しても、電流が流
れず保護回路が作動してパルス発生部１１からの出力は
遮断されて被測定端子（Ｄ，Ｅ）−（Ｆ，Ｇ）間は電圧
０Ｖとなる。従って、測定結果は、図２（ホ）に示され
るとおり電圧パルスは現れない。又、変動検出部１３で
算出される抵抗値はオーバーフローとなり、パルス毎の
変動も無意味であり、変動無しとして扱われる。
【００２３】一方、端子（Ａ，Ｃ）−Ｂ間或いは端子
（Ａ，Ｂ，Ｃ）−（Ｄ，Ｅ）間のようにルーズコンタク
ト部（疑似導通部）４或いはルーズコンタクト部（疑似
絶縁部）５が潜在している場合、このルーズコンタクト
部４或いは５は、印加される定電流パルスによってその
接触が解除されたり、或いは逆に絶縁膜が破壊されて溶
着されるなど、パルス毎に状態が変化し抵抗値が大きく
変動する。従って、端子（Ａ，Ｃ）−Ｂ間或いは端子
（Ａ，Ｂ，Ｃ）−（Ｄ，Ｅ）間で測定される電圧は、図
２（ハ）に模式的に示されるとおり大きく変動する。
（Ａ，Ｂ，Ｃ）−（Ｄ，Ｅ）間のようにルーズコンタク
ト部（疑似導通部）４或いはルーズコンタクト部（疑似
絶縁部）５が潜在している場合、このルーズコンタクト
部４或いは５は、印加される定電流パルスによってその
接触が解除されたり、或いは逆に絶縁膜が破壊されて溶
着されるなど、パルス毎に状態が変化し抵抗値が大きく
変動する。従って、端子（Ａ，Ｃ）−Ｂ間或いは端子
（Ａ，Ｂ，Ｃ）−（Ｄ，Ｅ）間で測定される電圧は、図
２（ハ）に模式的に示されるとおり大きく変動する。
【００２４】上述の通り、端子Ｄ−Ｅ間のように正常な
導通配線或いは端子（Ｄ，Ｅ）−（Ｆ，Ｇ）間のように
正常な絶縁状態にある配線間であれば、パルス毎の抵抗
値は徐々に極僅かだけ大きくなる或いは見かけ上の抵抗
値でほとんど変動しないことから、本実施形態の電気検
査装置を用いてパルス毎の抵抗値変動量を検出し、適切
な判定規格値で判定することにより、潜在しているルー
ズコンタクトを容易に検出することができる。
導通配線或いは端子（Ｄ，Ｅ）−（Ｆ，Ｇ）間のように
正常な絶縁状態にある配線間であれば、パルス毎の抵抗
値は徐々に極僅かだけ大きくなる或いは見かけ上の抵抗
値でほとんど変動しないことから、本実施形態の電気検
査装置を用いてパルス毎の抵抗値変動量を検出し、適切
な判定規格値で判定することにより、潜在しているルー
ズコンタクトを容易に検出することができる。
【００２５】尚、上記の説明のように定電流パルスの電
流値が各パルス間で一定で有れば、あらためて抵抗値を
算出するまでもなく、測定結果電圧値の変動量を印刷配
線の正常・異常を判定するためのパラメータとすること
ができる。
流値が各パルス間で一定で有れば、あらためて抵抗値を
算出するまでもなく、測定結果電圧値の変動量を印刷配
線の正常・異常を判定するためのパラメータとすること
ができる。
【００２６】逆に、１パルス毎に印刷配線の抵抗値を算
出し、この抵抗値の変動量で印刷配線の正常・異常を判
定するようにすれば、定電流パルスの電流値を１パルス
毎に変化させることも可能である。
出し、この抵抗値の変動量で印刷配線の正常・異常を判
定するようにすれば、定電流パルスの電流値を１パルス
毎に変化させることも可能である。
【００２７】図３は、本発明の第２の実施形態の印刷配
線板の電気検査方法を示すフローチャートである。
線板の電気検査方法を示すフローチャートである。
【００２８】本実施形態の印刷配線板の電気検査方法
は、印刷配線板に印刷された配線の疑似導通或いは互い
に絶縁された異なる配線間の疑似絶縁の有無を検査する
印刷配線板の電気検査方法であって、被測定端子間に所
定の電流値、パルス幅及びパルス間隔に設定された定電
流パルスを予め定められた回数（ｎ回）印加する定電流
パルス印加ステップＳ１と、この定電流パルス印加ステ
ップの１定電流パルス毎に前記被測定端子間の電圧を測
定し前記定電流パルスの電流値とこの測定結果電圧値と
から前記被測定端子間の抵抗値を算出する測定ステップ
Ｓ２と、前記定電流パルス印加ステップＳ１のｉ番目
（１≦ｉ≦ｎ）の定電流パルスのときに前記測定ステッ
プＳ２で測定された前記測定端子間の抵抗値をＲ（ｉ）
と表すとき前記定電流パルス印加ステップＳ１のｋ番目
（２≦ｋ≦ｎ）の前記定電流パルスでの算出抵抗値Ｒ
（ｋ）の変動量ΔＲ（ｋ）＝Ｒ（ｋ）−Ｒ（ｋ−１）を
検出する変動検出ステップＳ３と、この変動検出ステッ
プＳ３で検出された前記変動量ΔＲ（ｋ）と予め定めら
れた判定規格値とを比較し、前記変動量ΔＲ（ｋ）が前
記判定規格値未満であれば当該端子間を正常とし、前記
変動量が前記判定規格値以上の場合は当該端子間を異常
として、当該被検査対象の関連する情報と共に判定結果
情報を記憶する判定ステップＳ４とを含んでいる。
は、印刷配線板に印刷された配線の疑似導通或いは互い
に絶縁された異なる配線間の疑似絶縁の有無を検査する
印刷配線板の電気検査方法であって、被測定端子間に所
定の電流値、パルス幅及びパルス間隔に設定された定電
流パルスを予め定められた回数（ｎ回）印加する定電流
パルス印加ステップＳ１と、この定電流パルス印加ステ
ップの１定電流パルス毎に前記被測定端子間の電圧を測
定し前記定電流パルスの電流値とこの測定結果電圧値と
から前記被測定端子間の抵抗値を算出する測定ステップ
Ｓ２と、前記定電流パルス印加ステップＳ１のｉ番目
（１≦ｉ≦ｎ）の定電流パルスのときに前記測定ステッ
プＳ２で測定された前記測定端子間の抵抗値をＲ（ｉ）
と表すとき前記定電流パルス印加ステップＳ１のｋ番目
（２≦ｋ≦ｎ）の前記定電流パルスでの算出抵抗値Ｒ
（ｋ）の変動量ΔＲ（ｋ）＝Ｒ（ｋ）−Ｒ（ｋ−１）を
検出する変動検出ステップＳ３と、この変動検出ステッ
プＳ３で検出された前記変動量ΔＲ（ｋ）と予め定めら
れた判定規格値とを比較し、前記変動量ΔＲ（ｋ）が前
記判定規格値未満であれば当該端子間を正常とし、前記
変動量が前記判定規格値以上の場合は当該端子間を異常
として、当該被検査対象の関連する情報と共に判定結果
情報を記憶する判定ステップＳ４とを含んでいる。
【００２９】次に、図１，３を参照して、本実施形態の
印刷配線板の電気検査方法の作用について説明する。
印刷配線板の電気検査方法の作用について説明する。
【００３０】まず、定電流パルス印加ステップＳ１にお
いて、検査対象となる配線に接続されている被測定端子
を選択し、この被測定端子間に所定の電流値、パルス幅
及びパルス間隔に設定された定電流パルスがｎ回印加さ
れる。
いて、検査対象となる配線に接続されている被測定端子
を選択し、この被測定端子間に所定の電流値、パルス幅
及びパルス間隔に設定された定電流パルスがｎ回印加さ
れる。
【００３１】次に、測定ステップＳ２においては、前記
定電流パルス１回毎に測定部１２で前記端子間の電圧を
測定し、この測定結果電圧値と定電流パルスの電流値と
から抵抗値（見かけ上の抵抗値も含めて）が算出され。
今、仮に当該被測定端子に対する前記定電流パルスがｉ
番目（１≦ｉ≦ｎ）のときに算出された当該被測定端子
間の抵抗値をＲ（ｉ）と表すことにする。
定電流パルス１回毎に測定部１２で前記端子間の電圧を
測定し、この測定結果電圧値と定電流パルスの電流値と
から抵抗値（見かけ上の抵抗値も含めて）が算出され。
今、仮に当該被測定端子に対する前記定電流パルスがｉ
番目（１≦ｉ≦ｎ）のときに算出された当該被測定端子
間の抵抗値をＲ（ｉ）と表すことにする。
【００３２】次に、変動検出ステップＳ３においては、
変動検出部１３により、ｋ番目（２≦ｋ≦ｎ）の定電流
パルスでの当該被測定端子間の算出抵抗値Ｒ（ｋ）の変
動量ΔＲ（ｋ）＝Ｒ（ｋ）−Ｒ（ｋ−１）が算出され
る。
変動検出部１３により、ｋ番目（２≦ｋ≦ｎ）の定電流
パルスでの当該被測定端子間の算出抵抗値Ｒ（ｋ）の変
動量ΔＲ（ｋ）＝Ｒ（ｋ）−Ｒ（ｋ−１）が算出され
る。
【００３３】次に、判定ステップＳ４においては、判定
部１４で変動検出テップＳ３で算出された変動量ΔＲ
（ｋ）と予め定められた判定規格値とを比較し、前記変
動量ΔＲ（ｋ）が前記判定規格値未満であれば当該端子
間の前記配線を正常とし、前記変動量ΔＲ（ｋ）が前記
判定規格値以上の場合は当該端子間の前記配線を異常と
する情報が、必要な関連情報（基板のロット番号、シリ
アル番号、基板上の対象配線位置等必要に応じて定めら
れる）と共に図示されていない記憶手段に格納される。
部１４で変動検出テップＳ３で算出された変動量ΔＲ
（ｋ）と予め定められた判定規格値とを比較し、前記変
動量ΔＲ（ｋ）が前記判定規格値未満であれば当該端子
間の前記配線を正常とし、前記変動量ΔＲ（ｋ）が前記
判定規格値以上の場合は当該端子間の前記配線を異常と
する情報が、必要な関連情報（基板のロット番号、シリ
アル番号、基板上の対象配線位置等必要に応じて定めら
れる）と共に図示されていない記憶手段に格納される。
【００３４】上述の通り、本実施形態の印刷配線板の電
気検査方法によれば、配線にルーズコンタクトが潜在し
ていても、所定の定電流パルスを複数回印加し、１パル
ス毎に観測される抵抗値を算出し、更に直前のパルスで
算出された抵抗値からの変動量を算出して予め定められ
た判定規格値と比較し、判定することでルーズコンタク
トを容易に検出することができる。
気検査方法によれば、配線にルーズコンタクトが潜在し
ていても、所定の定電流パルスを複数回印加し、１パル
ス毎に観測される抵抗値を算出し、更に直前のパルスで
算出された抵抗値からの変動量を算出して予め定められ
た判定規格値と比較し、判定することでルーズコンタク
トを容易に検出することができる。
【００３５】次に、本発明の印刷配線板の電気検査方法
による具体的実験結果の例を説明する。
による具体的実験結果の例を説明する。
【００３６】図２（イ）に示されるようなルーズコンタ
クトを故意に含ませた試料を準備し、パルス間隔をパル
ス幅Ｐｔの２倍として、パルス幅Ｐｔ：４水準、パルス
電流ＰＡ：４水準を設定し、各水準の組み合わせで、欠
陥検出率を調べたところ、表−１の結果が得られた。
尚、試料数は各水準２０個、パルスの印加数は１０パル
スとし、不良判定基準として、パルス毎の抵抗値の変
動、つまり（この場合電流パルスの電流値が一定である
ので）、パルス毎の電圧変動が２０％以上のものをルー
ズコンタクトが潜在する異常配線と判定した。
クトを故意に含ませた試料を準備し、パルス間隔をパル
ス幅Ｐｔの２倍として、パルス幅Ｐｔ：４水準、パルス
電流ＰＡ：４水準を設定し、各水準の組み合わせで、欠
陥検出率を調べたところ、表−１の結果が得られた。
尚、試料数は各水準２０個、パルスの印加数は１０パル
スとし、不良判定基準として、パルス毎の抵抗値の変
動、つまり（この場合電流パルスの電流値が一定である
ので）、パルス毎の電圧変動が２０％以上のものをルー
ズコンタクトが潜在する異常配線と判定した。
【００３７】これより、ルーズコンタクトを１００％検
出し得る条件は、定電流パルスの電流値＝１．０Ａ（回
路定格の２倍）、パルス幅＝１５ｍｓ以上であることが
判明した。
出し得る条件は、定電流パルスの電流値＝１．０Ａ（回
路定格の２倍）、パルス幅＝１５ｍｓ以上であることが
判明した。
【００３８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の印刷配線
板の電気検査装置或いは電気検査方法を用いることによ
り、被検査配線にルーズコンタクトのような欠陥が潜在
していても、これを確実に検出できるため、印刷配線板
自身の信頼性向上と共に、欠陥が潜在している印刷配線
板の後工程への流出を防止でき、部品実装も含む仕損費
発生を防止できるという効果がある。
板の電気検査装置或いは電気検査方法を用いることによ
り、被検査配線にルーズコンタクトのような欠陥が潜在
していても、これを確実に検出できるため、印刷配線板
自身の信頼性向上と共に、欠陥が潜在している印刷配線
板の後工程への流出を防止でき、部品実装も含む仕損費
発生を防止できるという効果がある。
【図１】本発明の第１の実施形態の印刷配線板の電気検
査装置の概略ブロック図である。
査装置の概略ブロック図である。
【図２】本発明の印刷配線板の電気検査装置或いは電気
検査方法によるルーズコンタクト部の検出方法を説明す
るための図で、分図（イ）は疑似導通箇所及び疑似絶縁
箇所を含んだ印刷配線の接続を示す模式図、分図（ロ）
は被測定端子間に印加する定電流パルス波形の模式図、
分図（ハ）は分図（ロ）の定電流パルスを端子（Ａ，
Ｃ）−Ｂ間或いは端子（Ａ，Ｂ，Ｃ）−（Ｄ，Ｅ）間に
印加した際にそれぞれの端子間で観測される電圧波形の
模式図、分図（ニ）と（ホ）は、それぞれ分図（ロ）の
定電流パルスを端子Ｄ−Ｅ（又はＦ−Ｇ）間、端子
（Ｄ，Ｅ）−（Ｆ，Ｇ）間に印加した際にそれぞれの端
子間で観測される電圧波形の模式図である。
検査方法によるルーズコンタクト部の検出方法を説明す
るための図で、分図（イ）は疑似導通箇所及び疑似絶縁
箇所を含んだ印刷配線の接続を示す模式図、分図（ロ）
は被測定端子間に印加する定電流パルス波形の模式図、
分図（ハ）は分図（ロ）の定電流パルスを端子（Ａ，
Ｃ）−Ｂ間或いは端子（Ａ，Ｂ，Ｃ）−（Ｄ，Ｅ）間に
印加した際にそれぞれの端子間で観測される電圧波形の
模式図、分図（ニ）と（ホ）は、それぞれ分図（ロ）の
定電流パルスを端子Ｄ−Ｅ（又はＦ−Ｇ）間、端子
（Ｄ，Ｅ）−（Ｆ，Ｇ）間に印加した際にそれぞれの端
子間で観測される電圧波形の模式図である。
【図３】本発明の第２の実施形態の印刷配線板の電気検
査方法を示すフローチャートである。
査方法を示すフローチャートである。
【図４】従来の印刷配線板の電気検査装置のブロック図
である。
である。
１ 印刷配線 ２ａ，２ｂ 端子 ３ａ，３ｂ プローブ ４ ルーズコンタクト部（疑似導通部） ５ ルーズコンタクト部（疑似絶縁部） １０，４０ 電気検査装置 １１ パルス発生部 １２，４１２ 測定部 １３ 変動検出部 １４ 判定部 １５ 制御部 ４１ 電気テスタ部 ４２ 比較判定部 ４１１ 定電流発生部
Claims (4)
- 【請求項１】 印刷配線板に印刷された配線の潜在欠陥
の有無を検査する印刷配線板電気検査装置であって、所
定の電流値、パルス幅及びパルス間隔の定電流パルスを
予め定められた回数（ｎ回とする）被検査対象配線毎に
発生するパルス発生部と、このパルス発生部で発生され
た前記定電流パルスが前記被検査対象配線の被測定端子
間に印加された際の前記被測定端子間の電圧を１パルス
毎に測定しこの測定された電圧値と前記定電流パルスの
定電流値とから前記被測定端子間の抵抗値を算出する測
定部と、前記被測定端子間に印加される前記定電流パル
スがｉ番目（１≦ｉ≦ｎ）のときの前記測定部で算出さ
れた前記抵抗値をＲ（ｉ）と表すときｋ番目（２≦ｋ≦
ｎ）の前記定電流パルスでの算出抵抗値Ｒ（ｋ）の変動
量ΔＲ（ｋ）＝Ｒ（ｋ）−Ｒ（ｋ−１）を検出する変動
検出部と、この変動検出部で検出された前記変動量ΔＲ
（ｋ）と予め定められた判定規格値とを比較し前記変動
量ΔＲ（ｋ）が前記判定規格値以上か否かを判定する判
定部と、前記パルス発生部で発生された前記定電流パル
スが被検査対象配線に印加される回数を制御する制御部
とを含み、且つ印加される前記定電流パルスの電流値が
前記被検査対象配線の最大定格電流値の２倍以上且つ４
倍以下に設定されていることを特徴とする印刷配線板の
電気検査装置。 - 【請求項２】 印刷配線板に印刷された配線の潜在欠陥
の有無を検査する印刷配線板の電気検査方法であって、
被測定端子間に被検査対象配線の最大定格電流値の２倍
以上且つ４倍以下の電流値で、所定のパルス幅及びパル
ス間隔に設定された定電流パルスを予め定められた回数
（ｎ回とする）印加する定電流パルス印加ステップと、
この定電流パルス印加ステップの１定電流パルス毎に前
記被測定端子間の電圧を測定し前記定電流パルスの電流
値とこの測定結果電圧値とから前記被測定端子間の抵抗
値を算出する測定ステップと、前記定電流パルス印加ス
テップのｉ番目（１≦ｉ≦ｎ）の定電流パルスのときに
前記測定ステップで測定された前記測定端子間の抵抗値
をＲｉ）と表すとき前記定電流パルス印加ステップのｋ
番目（２≦ｋ≦ｎ）の前記定電流パルスでの算出抵抗値
Ｒ（ｋ）の変動量ΔＲ（ｋ）＝Ｒ（ｋ）−Ｒ（ｋ−１）
を検出する変動検出ステップと、この変動検出ステップ
で検出された前記変動量ΔＲ（ｋ）と予め定められた判
定規格値とを比較し、前記変動量ΔＲ（ｋ）が前記判定
規格値未満であれば当該端子間を正常とし、前記変動量
が前記判定規格値以上の場合は当該端子間を異常とし
て、当該被検査対象の関連する情報と共に判定結果情報
を記憶する判定ステップとを含むことを特徴とする印刷
配線板の電気検査方法。 - 【請求項３】 前記定電流パルスの電流値が前記被検査
対象配線の最大定格電流値の２倍，３倍，４倍のとき、
前記パルス幅がそれぞれ１５ｍｓｅｃ以上，１０ｍｓｅ
ｃ以上，１０ｍｓｅｃ以上である請求項１記載の印刷配
線板の電気検査装置。 - 【請求項４】 前記定電流パルスの電流値が被検査対象
配線の最大定格電流値の２倍，３倍，４倍のとき、パル
ス幅がそれぞれ１５ｍｓｅｃ以上，１０ｍｓｅｃ以上，
１０ｍｓｅｃ以上である請求項２記載の印刷配線板の電
気検査方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32793197A JP3179394B2 (ja) | 1997-11-28 | 1997-11-28 | 印刷配線板の電気検査装置及び電気検査方法 |
| US09/197,674 US6300771B1 (en) | 1997-11-28 | 1998-11-23 | Electrical inspection device for detecting a latent defect |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32793197A JP3179394B2 (ja) | 1997-11-28 | 1997-11-28 | 印刷配線板の電気検査装置及び電気検査方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11160381A JPH11160381A (ja) | 1999-06-18 |
| JP3179394B2 true JP3179394B2 (ja) | 2001-06-25 |
Family
ID=18204614
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32793197A Expired - Fee Related JP3179394B2 (ja) | 1997-11-28 | 1997-11-28 | 印刷配線板の電気検査装置及び電気検査方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6300771B1 (ja) |
| JP (1) | JP3179394B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US6794883B2 (en) * | 2002-03-19 | 2004-09-21 | Emerson Electric Co. | Method and system for monitoring winding insulation resistance |
| JP2006220652A (ja) * | 2005-02-10 | 2006-08-24 | General Electric Co <Ge> | 電気回路の接合部及び接触部を品質認定するための方法 |
| JP4657758B2 (ja) * | 2005-02-25 | 2011-03-23 | 日本電産リード株式会社 | 基板検査装置及び基板検査方法 |
| JP2006278762A (ja) * | 2005-03-29 | 2006-10-12 | Tdk Corp | 多層基板の検査方法および検査装置 |
| KR100756501B1 (ko) | 2006-01-31 | 2007-09-10 | 서승환 | 고전류 펄스 인가방식을 이용한 스루홀 도금 불량 검사방법 |
| TWI322645B (en) * | 2006-12-20 | 2010-03-21 | Nan Ya Printed Circuit Board Corp | Lot traceable printed circuit board |
| DE102007007339B4 (de) | 2007-02-14 | 2018-09-20 | Rohde & Schwarz Gmbh & Co. Kg | Verfahren und Vorrichtung zum Lokalisieren von Fehlern auf elektronischen Leiterplatten |
| US20080204068A1 (en) * | 2007-02-28 | 2008-08-28 | International Business Machines Corporation | Method for estimating defects in an npn transistor array |
| KR102133356B1 (ko) * | 2014-02-24 | 2020-07-13 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 반도체 장치 및 그 동작방법 |
| JP2021032671A (ja) * | 2019-08-23 | 2021-03-01 | 日置電機株式会社 | 基板検査装置および基板検査方法 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60102707A (ja) | 1983-11-09 | 1985-06-06 | Hitachi Ltd | 薄膜形成品のスクリ−ニング方法 |
| JPS62211568A (ja) | 1986-03-12 | 1987-09-17 | Hitachi Ltd | 配線回路板の導通試験装置 |
| EP0622733B1 (en) | 1993-04-30 | 1997-07-16 | STMicroelectronics S.r.l. | Method and device for testing integrated power devices |
| US5414364A (en) * | 1993-09-08 | 1995-05-09 | Actel Corporation | Apparatus and method for measuring programmed antifuse resistance |
| US5453696A (en) * | 1994-02-01 | 1995-09-26 | Crosspoint Solutions, Inc. | Embedded fuse resistance measuring circuit |
| US5502395A (en) * | 1994-05-25 | 1996-03-26 | Allen; William J. | Method for programming antifuses for reliable programmed links |
| JP3586330B2 (ja) | 1996-02-27 | 2004-11-10 | 富士通株式会社 | デバイス間接触不良結線検出方法 |
-
1997
- 1997-11-28 JP JP32793197A patent/JP3179394B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1998
- 1998-11-23 US US09/197,674 patent/US6300771B1/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6300771B1 (en) | 2001-10-09 |
| JPH11160381A (ja) | 1999-06-18 |
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