JP3179130B2 - 四極子質量分析計の測定ヘッド - Google Patents
四極子質量分析計の測定ヘッドInfo
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- JP3179130B2 JP3179130B2 JP13390091A JP13390091A JP3179130B2 JP 3179130 B2 JP3179130 B2 JP 3179130B2 JP 13390091 A JP13390091 A JP 13390091A JP 13390091 A JP13390091 A JP 13390091A JP 3179130 B2 JP3179130 B2 JP 3179130B2
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- Japan
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- quadrupole
- head according
- separation mechanism
- flange
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/26—Mass spectrometers or separator tubes
- H01J49/34—Dynamic spectrometers
- H01J49/42—Stability-of-path spectrometers, e.g. monopole, quadrupole, multipole, farvitrons
- H01J49/4205—Device types
- H01J49/421—Mass filters, i.e. deviating unwanted ions without trapping
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/04—Arrangements for introducing or extracting samples to be analysed, e.g. vacuum locks; Arrangements for external adjustment of electron- or ion-optical components
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、四極子質量分析計の測
定ヘッドであって、イオン源、軸線平行な開口を備えた
円筒形の一体のセラミック部分から成る一体の四極子・
分離機構、検出器、測定ヘッドを排気鐘へ取り付けるた
めのフランジ、及びこれらの構成部分の支持手段を備え
ている形式のものに関する。
定ヘッドであって、イオン源、軸線平行な開口を備えた
円筒形の一体のセラミック部分から成る一体の四極子・
分離機構、検出器、測定ヘッドを排気鐘へ取り付けるた
めのフランジ、及びこれらの構成部分の支持手段を備え
ている形式のものに関する。
【０００２】
【従来の技術】前記形式の測定ヘッドは、Leybold-Hera
eus GmbH社の印刷物:「Grundlagender Vakuumtechnik,
Berechnungen und Tabellen (真空技術の基礎、計算及
び表)」の１１／８２版、５８及び５９ページに記載し
てある。四極子・分離機構は軸線平行な開口を備えた円
筒形の一体のセラミック部分から成っている。開口の横
断面は円筒軸線を中心として対称的に配置された４つの
双曲枝の形を成している。双曲面は金属被覆を備えてお
り、金属被覆は双曲線状の横断面の電極を形成してい
る。電極には高周波電圧及びオーバラップされた直流電
圧が与えられる。このような電圧の値に関連して、質量
数Ｍのイオンが四極子・分離機構を通過するか、若しく
は通過しない。このような形式の四極子・分離機構はド
イツ連邦共和国特許出願公開第２２１５７６３号、第２
３４７５４４号及び第２６２５６６０号公報により公知
である。
eus GmbH社の印刷物:「Grundlagender Vakuumtechnik,
Berechnungen und Tabellen (真空技術の基礎、計算及
び表)」の１１／８２版、５８及び５９ページに記載し
てある。四極子・分離機構は軸線平行な開口を備えた円
筒形の一体のセラミック部分から成っている。開口の横
断面は円筒軸線を中心として対称的に配置された４つの
双曲枝の形を成している。双曲面は金属被覆を備えてお
り、金属被覆は双曲線状の横断面の電極を形成してい
る。電極には高周波電圧及びオーバラップされた直流電
圧が与えられる。このような電圧の値に関連して、質量
数Ｍのイオンが四極子・分離機構を通過するか、若しく
は通過しない。このような形式の四極子・分離機構はド
イツ連邦共和国特許出願公開第２２１５７６３号、第２
３４７５４４号及び第２６２５６６０号公報により公知
である。
【０００３】公知の四極子測定ヘッドにおいては、複数
の電流供給部を備えた金属製の中央の支持部分が設けら
れている。支持部分にフランジが取り付けられており、
フランジを用いて測定ヘッドが排気鐘の相対する対向フ
ランジに接続される。フランジの外側に、支持部分を通
して導かれる導線のプラグ機構が配置されており、プラ
グ機構に供給電圧部及び信号処理部分が接続される。フ
ランジの内側では中央の支持部分に検出器及び四極子・
分離機構が保持されている。さらに、支持部分には四極
子・分離機構を取り囲む管を設けてあり、この管が四極
子・分離機構の前に支承されたイオン源を支持してい
る。
の電流供給部を備えた金属製の中央の支持部分が設けら
れている。支持部分にフランジが取り付けられており、
フランジを用いて測定ヘッドが排気鐘の相対する対向フ
ランジに接続される。フランジの外側に、支持部分を通
して導かれる導線のプラグ機構が配置されており、プラ
グ機構に供給電圧部及び信号処理部分が接続される。フ
ランジの内側では中央の支持部分に検出器及び四極子・
分離機構が保持されている。さらに、支持部分には四極
子・分離機構を取り囲む管を設けてあり、この管が四極
子・分離機構の前に支承されたイオン源を支持してい
る。
【０００４】公知の四極子測定ヘッドの構造は高価でか
つ煩雑である。互いに調節される複数の構成部分に基づ
き、測定ヘッドの組み立てに時間がかかる。さらに四極
子測定ヘッドは振動の影響を受けやすい。四極子測定ヘ
ッドの構成部分の数、ひいては構成部分の、排気鐘内に
存在する表面が大きく、これによって質量分析計の運転
に必要な真空の形成が損なわれる。
つ煩雑である。互いに調節される複数の構成部分に基づ
き、測定ヘッドの組み立てに時間がかかる。さらに四極
子測定ヘッドは振動の影響を受けやすい。四極子測定ヘ
ッドの構成部分の数、ひいては構成部分の、排気鐘内に
存在する表面が大きく、これによって質量分析計の運転
に必要な真空の形成が損なわれる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、冒頭
に述べた形式の四極子測定ヘッドを改善して、四極子測
定ヘッドの構造を著しく簡単にすることである。
に述べた形式の四極子測定ヘッドを改善して、四極子測
定ヘッドの構造を著しく簡単にすることである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に本発明の構成では、一体の四極子・分離機構がイオン
源、検出器、及び又はフランジの支持体を成しており、
検出器が、四極子・分離機構のイオン流出開口を真空密
に閉鎖するカバーの構成部分である。
に本発明の構成では、一体の四極子・分離機構がイオン
源、検出器、及び又はフランジの支持体を成しており、
検出器が、四極子・分離機構のイオン流出開口を真空密
に閉鎖するカバーの構成部分である。
【０００７】
【発明の効果】本発明の前記構成により、四極子・分離
機構自体が真空機構の容器壁として用いられることに基
づき、四極子測定ヘッドの著しく簡単かつ安定な構造が
得られ、四極子測定ヘッドが著しく頑丈になる。さら
に、利点としてわずかな構成部分だけを真空内に配置す
ればよく、その結果真空の形成に影響を及ぼす表面の面
積が著しく減少させられる。従って本発明に基づき形成
された質量分析計は装着の後著しく早期に運転準備完了
される。
機構自体が真空機構の容器壁として用いられることに基
づき、四極子測定ヘッドの著しく簡単かつ安定な構造が
得られ、四極子測定ヘッドが著しく頑丈になる。さら
に、利点としてわずかな構成部分だけを真空内に配置す
ればよく、その結果真空の形成に影響を及ぼす表面の面
積が著しく減少させられる。従って本発明に基づき形成
された質量分析計は装着の後著しく早期に運転準備完了
される。
【０００８】
【０００９】四極子・分離機構と構成部分との間の結合
が接着結合である。これによって組み立ての簡単な安定
した構造が得られる。使用される接着剤が非導体である
場合には、電圧及び電流を供給する接続導線が四極子・
分離機構に取り付けられた導体路の形で接着箇所を通し
て導かれる。従って、金属製のフランジを通る従来必要
な複数の電流供給部が省略される。
が接着結合である。これによって組み立ての簡単な安定
した構造が得られる。使用される接着剤が非導体である
場合には、電圧及び電流を供給する接続導線が四極子・
分離機構に取り付けられた導体路の形で接着箇所を通し
て導かれる。従って、金属製のフランジを通る従来必要
な複数の電流供給部が省略される。
【００１０】
【実施例】図１から図６は本発明に基づく測定ヘッド１
（若しくは測定ヘッドの部分）を示しており、四極子・
分離機構が符号２で、イオン源が符号３で、かつ検出器
が符号４で示してある。分離機構は、軸線平行な開口５
を備えた円筒形の一体のセラミック部分から成ってお
り、軸線平行な開口は横断面で有利には円筒軸線６を中
心として対称的に配置された４つの双曲枝の形を成して
いる。この面は金属被覆を備えており、金属被覆は４つ
の電極（図示せず）を形成している。分離機構は１つの
ユニットにまとめられた（接着された）複数の部分から
成っていてよい（ドイツ連邦共和国特許出願公開第２６
２５６６０号公報参照）。
（若しくは測定ヘッドの部分）を示しており、四極子・
分離機構が符号２で、イオン源が符号３で、かつ検出器
が符号４で示してある。分離機構は、軸線平行な開口５
を備えた円筒形の一体のセラミック部分から成ってお
り、軸線平行な開口は横断面で有利には円筒軸線６を中
心として対称的に配置された４つの双曲枝の形を成して
いる。この面は金属被覆を備えており、金属被覆は４つ
の電極（図示せず）を形成している。分離機構は１つの
ユニットにまとめられた（接着された）複数の部分から
成っていてよい（ドイツ連邦共和国特許出願公開第２６
２５６６０号公報参照）。
【００１１】イオン源３の実施例として電子衝撃イオン
源を示してあり、電子衝撃イオン源はリング状の陰極７
及びかご形の陽極８を備えている。このような構成部分
の支持体は有利には分離機構２自体である。
源を示してあり、電子衝撃イオン源はリング状の陰極７
及びかご形の陽極８を備えている。このような構成部分
の支持体は有利には分離機構２自体である。
【００１２】測定ヘッド１を排気鐘１２に取り付けるた
めのフランジ１１も、分離機構２自体によって保持され
ている。フランジ１１はイオン源３の近くに配置されて
おり、その結果測定ヘッド１の真空内に存在する表面が
できりだけ小さくなっている。フランジ１１は中央の開
口１３で以て分離機構２を取り囲んでいる。押しつぶし
ねじ結合若しくは適当な金属−／セラミック接着の手段
を用いてフランジ１１と分離機構との安定な真空密な結
合か可能である。図示の実施例では接着結合が行われて
いる。接着層が符号１４で示してある。
めのフランジ１１も、分離機構２自体によって保持され
ている。フランジ１１はイオン源３の近くに配置されて
おり、その結果測定ヘッド１の真空内に存在する表面が
できりだけ小さくなっている。フランジ１１は中央の開
口１３で以て分離機構２を取り囲んでいる。押しつぶし
ねじ結合若しくは適当な金属−／セラミック接着の手段
を用いてフランジ１１と分離機構との安定な真空密な結
合か可能である。図示の実施例では接着結合が行われて
いる。接着層が符号１４で示してある。
【００１３】図示の実施例で異なって形成された検出器
４はそれぞれカバー１６の構成部分であり、このカバー
は分離機構２の開口５を真空の外側に位置する端面の範
囲で閉鎖している。分離機構２とカバー１６との間の安
定な真空密な結合が有利には適当な接着で保証される。
接着層は符号１７で示してある。
４はそれぞれカバー１６の構成部分であり、このカバー
は分離機構２の開口５を真空の外側に位置する端面の範
囲で閉鎖している。分離機構２とカバー１６との間の安
定な真空密な結合が有利には適当な接着で保証される。
接着層は符号１７で示してある。
【００１４】図１の実施例では検出器４としてイオン捕
集器を設けてあり、このイオン捕集器はセラミックから
成る小鉢状のカバー１６の底部に配置されている。信号
導線２１がカバー１６の孔を通して導かれている。カバ
ー１６自体は電子的な構成部分２２、例えば前置増幅器
の支持体である。電子的な構成部分２２はブロックとし
て破線で示してある。もちろん、分離機構２を電子的な
構成部分のための支持体として用いることも可能であ
る。
集器を設けてあり、このイオン捕集器はセラミックから
成る小鉢状のカバー１６の底部に配置されている。信号
導線２１がカバー１６の孔を通して導かれている。カバ
ー１６自体は電子的な構成部分２２、例えば前置増幅器
の支持体である。電子的な構成部分２２はブロックとし
て破線で示してある。もちろん、分離機構２を電子的な
構成部分のための支持体として用いることも可能であ
る。
【００１５】イオン源３の、排気鐘１２の内側に位置す
る陽極８は分離機構２の、排気鐘１２内に突入する端部
によって保持されている。このために、端部に金属製の
保持リング２３が接着されている。保持リングには電気
的な絶縁材料（有利にはセラミック）から成るスペーサ
２４を介して抽出電極２５及び、陽極８のための支持プ
レート２６が取り付けられている。電圧供給が絶縁され
フランジ１１を通して導かれた導線２７，２８を介して
行われる。導線２７は陽極８に接続されている。抽出電
極への電圧供給は図示してない。導線２８は陰極７に接
続されていて、同時に陰極の支持体として用いられてい
る。別個の加熱電圧供給は同じく図示してない。
る陽極８は分離機構２の、排気鐘１２内に突入する端部
によって保持されている。このために、端部に金属製の
保持リング２３が接着されている。保持リングには電気
的な絶縁材料（有利にはセラミック）から成るスペーサ
２４を介して抽出電極２５及び、陽極８のための支持プ
レート２６が取り付けられている。電圧供給が絶縁され
フランジ１１を通して導かれた導線２７，２８を介して
行われる。導線２７は陽極８に接続されている。抽出電
極への電圧供給は図示してない。導線２８は陰極７に接
続されていて、同時に陰極の支持体として用いられてい
る。別個の加熱電圧供給は同じく図示してない。
【００１６】図２に示す実施例においては、分離機構２
の真空内に位置する端面は４つのリングを支持してお
り、各リングは個別に次の機能を有している： ３１：絶縁リング ３２：イオン源のための支持リング ３３：絶縁リング ３４：陽極基礎プレート 真空内に位置する構成部分への電圧供給は導体路３５，
３６を介して行われ、導体路はセラミック・分離機構２
に取り付けられている。電気的な絶縁材料から成る接着
層１４に基づき、フランジ１１に対する絶縁された貫通
案内が保証される。
の真空内に位置する端面は４つのリングを支持してお
り、各リングは個別に次の機能を有している： ３１：絶縁リング ３２：イオン源のための支持リング ３３：絶縁リング ３４：陽極基礎プレート 真空内に位置する構成部分への電圧供給は導体路３５，
３６を介して行われ、導体路はセラミック・分離機構２
に取り付けられている。電気的な絶縁材料から成る接着
層１４に基づき、フランジ１１に対する絶縁された貫通
案内が保証される。
【００１７】ファラデー・カップ（Faraday-Becher）と
して構成された検出器４から放出される信号も導体路３
７を用いて外側へ導かれる。導体路３７は接着層１７を
貫通している。
して構成された検出器４から放出される信号も導体路３
７を用いて外側へ導かれる。導体路３７は接着層１７を
貫通している。
【００１８】図３は本発明に基づく質量分析計の検出器
部分を示している。検出器４としてチャンネルトロンを
設けてある。チャンネルトロンは分離機構２の円筒軸線
６に対してずらして配置してある。偏向電極３８を用い
て、分離機構２から流出するイオンがチャンネルトロン
４の入口へ偏向される。選択的にチャンネルプレートが
用いられてよい。
部分を示している。検出器４としてチャンネルトロンを
設けてある。チャンネルトロンは分離機構２の円筒軸線
６に対してずらして配置してある。偏向電極３８を用い
て、分離機構２から流出するイオンがチャンネルトロン
４の入口へ偏向される。選択的にチャンネルプレートが
用いられてよい。
【００１９】図４に示す質量分析計においては検出器４
が２つのイオン捕集器４１，４２を有している。イオン
捕集器４１は円板の形を成しており、イオン捕集器４２
はリング状に構成されていて、イオン捕集器４１を同心
的に取り囲んでいる。従って検出器４は場所分析機能を
有している。
が２つのイオン捕集器４１，４２を有している。イオン
捕集器４１は円板の形を成しており、イオン捕集器４２
はリング状に構成されていて、イオン捕集器４１を同心
的に取り囲んでいる。従って検出器４は場所分析機能を
有している。
【００２０】捕集器電極４１に接続する信号導線２１は
カバー１６の孔を通って電子装置２２に導かれている。
リング状のイオン捕集器４２から放出される信号は導体
路４３を用いてカバー１６内に配置された前置増幅器４
４に導かれる。増幅された信号は接着層１７を貫通する
導体路を介してカバー１６から導き出され、かつカバー
１６の外側に例えば電子装置２２に導かれる。
カバー１６の孔を通って電子装置２２に導かれている。
リング状のイオン捕集器４２から放出される信号は導体
路４３を用いてカバー１６内に配置された前置増幅器４
４に導かれる。増幅された信号は接着層１７を貫通する
導体路を介してカバー１６から導き出され、かつカバー
１６の外側に例えば電子装置２２に導かれる。
【００２１】図５は外側のケーシング５１を備えた実施
例を示しており、このケーシングはフランジ１１に取り
付けられている。ケーシング５１内には配線プレート５
２，５３，５４が保持されている。配線プレート５２上
にはイオン源３への供給のための電子的な構成部分が配
置されている。配線プレート５２から出発する導線５
５，５６と直接的な供給導線２７，２８との接続はプラ
グ５７，５８を介して行われる。導線２７，２８は同じ
く絶縁されてフランジ１１を通して導かれかつ、形状安
定的に構成されていて、リング陰極７及び陽極８を支持
している。
例を示しており、このケーシングはフランジ１１に取り
付けられている。ケーシング５１内には配線プレート５
２，５３，５４が保持されている。配線プレート５２上
にはイオン源３への供給のための電子的な構成部分が配
置されている。配線プレート５２から出発する導線５
５，５６と直接的な供給導線２７，２８との接続はプラ
グ５７，５８を介して行われる。導線２７，２８は同じ
く絶縁されてフランジ１１を通して導かれかつ、形状安
定的に構成されていて、リング陰極７及び陽極８を支持
している。
【００２２】配線プレート５３上に配置された構成部分
は分離機構２の電極への供給電圧を形成するために用い
られる。接着層１７を通して導かれた導体路６１，６２
及びこの導体路に接続する金属舌片６３，６４を介し
て、分離機構２内に配置された電極が配線プレート５３
に接続されている。
は分離機構２の電極への供給電圧を形成するために用い
られる。接着層１７を通して導かれた導体路６１，６２
及びこの導体路に接続する金属舌片６３，６４を介し
て、分離機構２内に配置された電極が配線プレート５３
に接続されている。
【００２３】配線プレート５４に配置された電子的な構
成部分は信号処理のために用いられる。プラグ６５を介
して信号導線２１が配線プレート５４に接続されてい
る。
成部分は信号処理のために用いられる。プラグ６５を介
して信号導線２１が配線プレート５４に接続されてい
る。
【００２４】前述の本発明は分離機構２への前置フイル
タ及び又は後置フイルタの装着を簡単に可能にする。前
置フイルタは所望の質量と不所望の質量との最初の分離
を行い、これによって分離機構内へのイオンの良好な集
束のために役立つ。後置フイルタは検出器へのイオンの
移行を改善する。全体として前置フイルタ及び後置フイ
ルタを使用した場合には分析及び感度の改善が達成され
る。
タ及び又は後置フイルタの装着を簡単に可能にする。前
置フイルタは所望の質量と不所望の質量との最初の分離
を行い、これによって分離機構内へのイオンの良好な集
束のために役立つ。後置フイルタは検出器へのイオンの
移行を改善する。全体として前置フイルタ及び後置フイ
ルタを使用した場合には分析及び感度の改善が達成され
る。
【００２５】図６の実施例においては、分離機構２に前
置フイルタ７１及び後置フイルタ７２が配属してある。
フイルタは同じく四極子・機構として構成されていて、
かつ接着箇所７３，７４を介して分離機構２に接続され
ている。電圧供給のための電子装置は詳細には示してな
い。電圧供給は同じく導体路を介して行われ、導体路は
接着箇所７３，７４を通して導かれる。前置フイルタ７
１及び後置フイルタ７２がもっぱら交流電圧で、それも
分離機構２の交流電圧で運転される場合には、接着箇所
７３，７４をコンデンサとして構成しかつこのコンデン
サを介して、分離機構２の交流電圧電極に生じる電圧を
前置フイルタ７１及び後置フイルタ７２の電極へ伝達す
ることも可能である。分離機構２の直流電圧ポテンシャ
ルに対しては前置フイルタ及び後置フイルタは絶縁され
ている。
置フイルタ７１及び後置フイルタ７２が配属してある。
フイルタは同じく四極子・機構として構成されていて、
かつ接着箇所７３，７４を介して分離機構２に接続され
ている。電圧供給のための電子装置は詳細には示してな
い。電圧供給は同じく導体路を介して行われ、導体路は
接着箇所７３，７４を通して導かれる。前置フイルタ７
１及び後置フイルタ７２がもっぱら交流電圧で、それも
分離機構２の交流電圧で運転される場合には、接着箇所
７３，７４をコンデンサとして構成しかつこのコンデン
サを介して、分離機構２の交流電圧電極に生じる電圧を
前置フイルタ７１及び後置フイルタ７２の電極へ伝達す
ることも可能である。分離機構２の直流電圧ポテンシャ
ルに対しては前置フイルタ及び後置フイルタは絶縁され
ている。
【００２６】コンデンサは有利にはそれぞれ端面に配置
され金属化された面区分７５，７６，７７，７８によっ
て形成されている。それぞれのコンデンサのキャパシタ
ンスは面区分の大きさ、間隔及び使用された接着剤の種
類に関連し、すなわちコンデンサの誘導体を形成する大
きさに関連している。特に金属化された面区分７６，７
７の大きさ及び配置は、接着箇所７３，７４を貫通する
導体路を介して分離機構２の電極への直流電圧の供給を
できるだけ維持しているように選ばれる。
され金属化された面区分７５，７６，７７，７８によっ
て形成されている。それぞれのコンデンサのキャパシタ
ンスは面区分の大きさ、間隔及び使用された接着剤の種
類に関連し、すなわちコンデンサの誘導体を形成する大
きさに関連している。特に金属化された面区分７６，７
７の大きさ及び配置は、接着箇所７３，７４を貫通する
導体路を介して分離機構２の電極への直流電圧の供給を
できるだけ維持しているように選ばれる。
【００２７】異なる接着箇所１４，１７，７３，７４に
とって、それぞれ適した接着剤（金属・セラミック接着
剤若しくはセラミック・セラミック接着剤）が使用され
ねばならない。
とって、それぞれ適した接着剤（金属・セラミック接着
剤若しくはセラミック・セラミック接着剤）が使用され
ねばならない。
【００２８】金属・セラミック結合のためにガラスろ
う、及びアクチブろう（Aktivlot）、若しくは硬質ろう
の使用も可能である。
う、及びアクチブろう（Aktivlot）、若しくは硬質ろう
の使用も可能である。
【図１】第１実施例の縦断面図。
【図２】第２実施例の縦断面図。
【図３】第３実施例の検出器部分の断面図。
【図４】第４実施例の検出器部分の断面図。
【図５】第５実施例の縦断面図。
【図６】第６実施例の縦断面図。
１ 測定ヘッド、 ２ 分離機構、 ３ イオン源、
４ 検出器、 ５ 開口、 ６ 円筒軸線、 ７ 陰
極、 ８ 陽極、 １１ フランジ、 １２ 排気鐘、
１３ 開口、 １４ 接着層、 １６ カバー、 １
７ 接着層、 ２１信号導線、 ２２ 構成部分、 ２
３ 保持リング、 ２４ スペーサ、２５ 抽出電極、
２６ 支持プレート、 ２７，２８ 導線、 ３５，
３６，３７ 導体路、 ３８ 偏向電極、 ４１，４２
イオン捕集器、 ４３ 導体路、 ４４ 前置増幅
器、 ５１ ケーシング、 ５２，５３，５４ 配線プ
レート、５５，５６ 導線、 ５７，５８ プラグ、６
１，６２ 導体路、 ６３，６４金属舌片、 ６５ プ
ラグ、 ７１ 前置フイルタ、 ７２ 後置フイルタ
４ 検出器、 ５ 開口、 ６ 円筒軸線、 ７ 陰
極、 ８ 陽極、 １１ フランジ、 １２ 排気鐘、
１３ 開口、 １４ 接着層、 １６ カバー、 １
７ 接着層、 ２１信号導線、 ２２ 構成部分、 ２
３ 保持リング、 ２４ スペーサ、２５ 抽出電極、
２６ 支持プレート、 ２７，２８ 導線、 ３５，
３６，３７ 導体路、 ３８ 偏向電極、 ４１，４２
イオン捕集器、 ４３ 導体路、 ４４ 前置増幅
器、 ５１ ケーシング、 ５２，５３，５４ 配線プ
レート、５５，５６ 導線、 ５７，５８ プラグ、６
１，６２ 導体路、 ６３，６４金属舌片、 ６５ プ
ラグ、 ７１ 前置フイルタ、 ７２ 後置フイルタ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭47−41694（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−152846（ＪＰ，Ａ) 特公 昭48−3596（ＪＰ，Ｂ１) 実公 昭45−10479（ＪＰ，Ｙ１) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01J 49/42
Claims (13)
- 【請求項１】 四極子質量分析計の測定ヘッド（１）で
あって、イオン源（３）、軸線平行な開口（５）を備え
た円筒形の一体のセラミック部分から成る一体の四極子
・分離機構（２）、検出器（４）、測定ヘッド（１）を
排気鐘（１２）へ取り付けるためのフランジ（１１）、
及びこれらの構成部分の支持手段を備えている形式のも
のにおいて、一体の四極子・分離機構（２）がイオン源
（３）、検出器（４）、及びフランジ（１１）の支持体
を成しており、検出器(４)が、四極子・分離機構(２)の
イオン流出開口を真空密に閉鎖するカバー（１６）の構
成部分であることを特徴とする四極子質量分析計の測定
ヘッド。 - 【請求項２】 カバー（１６）が電子的な構成部分（２
２）の支持体である請求項１記載の測定ヘッド。 - 【請求項３】 四極子・分離機構（２）と構成部分
（３，１１，１６）との間の結合が接着若しくはろう付
け結合である請求項１又は２記載の測定ヘッド。 - 【請求項４】 ろう付け結合がガラスろう、硬質ろう、
アクチブろう若しくは類似のものから成る結合である請
求項３記載の測定ヘッド。 - 【請求項５】 使用される接着剤若しくは使用されるろ
う付け剤が電気絶縁特性を有しており、電圧若しくは電
流を供給する接続導線が導体路（３５，３６，３７，４
５，６１，６２）の形で接着箇所若しくはろう付け箇所
（１４，１７，７３，７４）を通して導かれている請求
項３又は４記載の測定ヘッド。 - 【請求項６】 導体路（３５，３６，３７，４５，６
１，６２）を電子的な供給部分及び又は信号処理部分と
接続するために金属舌片（６３，６４）が設けられてい
る請求項５記載の測定ヘッド。 - 【請求項７】 フランジ（１１）がイオン源（３）の近
くに配置されている請求項１から６のいずれか１項記載
の測定ヘッド。 - 【請求項８】 四極子・分離機構（２）が付加的に、電
子的な構成部分（２２）の支持体である請求項１記載の
測定ヘッド。 - 【請求項９】 四極子・分離機構（２）を取り囲む外側
のケーシング（５１）を設けてあり、ケーシングがフラ
ンジ（１１）に取り外し可能に取り付けてある請求項１
から８のいずれか１項記載の測定ヘッド。 - 【請求項１０】 ケーシング（５１）内に電子的な供給
部分及び信号処理部分を配置してあり、これらの構成部
分と所属の部材とを接続するためにプラグ機構（５７，
５８，６５）及び又は金属舌片（６３，６４）を設けて
ある請求項９記載の測定ヘッド。 - 【請求項１１】 四極子・分離機構（２）が前置フイル
タ（７１）及び又は後置フイルタ（７２）を備えている
請求項１から１０のいずれか１項記載の測定ヘッド。 - 【請求項１２】 前置フイルタ（７１）及び又は後置フ
イルタ（７２）が同じく四極子機構として構成されてい
てかつ接着箇所（７３，７４）を介して四極子・分離機
構（２）に接続されている請求項１１記載の測定ヘッ
ド。 - 【請求項１３】 接着箇所(７３，７４)がコンデンサと
して構成されていて、交流電圧を四極子・分離機構(２)
から前置フイルタ（７１）及び又は後置フイルタ（７
２）へ伝達するために用いられている請求項１２記載の
測定ヘッド。
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|---|---|---|---|
| DE90110681.5 | 1990-06-06 | ||
| EP90110681A EP0460255B1 (de) | 1990-06-06 | 1990-06-06 | Messkopf für ein Quadrupolmassenspektrometer |
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|---|---|---|---|
| JP13390091A Expired - Fee Related JP3179130B2 (ja) | 1990-06-06 | 1991-06-05 | 四極子質量分析計の測定ヘッド |
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| JP (1) | JP3179130B2 (ja) |
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-
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