JP4689421B2 - 荷電粒子検出装置 - Google Patents
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Description
Claims (8)
- マイクロチャネルプレートと、前記マイクロチャネルプレートの荷電粒子入射面側に配置され、前記マイクロチャネルプレートの荷電粒子入射面を露出する開口を有している第1の電極と、前記マイクロチャネルプレートをはさんで、前記マイクロチャネルプレートの電子出射面側に配置され、前記マイクロチャネルプレートの出射面を露出する開口を有している第2の電極と、前記第2の電極をはさんで、前記マイクロチャネルプレートの出射面に対向して配置される第3の電極と、前記第3の電極に電気的に接続される信号線を有する信号出力部と、前記信号出力部を挿通させるとともに、前記第3の電極の前記マイクロチャネルプレートに対向する面と反対の面側に配置される後方カバーとを有する荷電粒子検出装置において、
前記第1の電極は、前記マイクロチャネルプレートに対向する面と反対の面および側面が露出されており、前記第1の電極と前記後方カバーの間に配置される構成部品は、前記第1の電極側からみて前記第1の電極の側面に対して同一かそれより内側に配置されているとともに、前記信号出力部は、信号線を包囲するシールド部を有する同軸ケーブルからなり、
前記信号出力部の信号線と、前記第3の電極の間に電気的に接続され、前記第3の電極と前記後方カバーの間に配置される第1のコンデンサと、
前記シールド部と、前記第2の電極との間に電気的に接続され、前記マイクロチャネルプレートと前記後方カバーの間の前記第1の電極の側壁よりも内側に配置される第2のコンデンサをさらに備えていることを特徴とする荷電粒子検出装置。 - 前記第3の電極と、前記第2のコンデンサを固定・収容する絶縁性基板をさらに備えていることを特徴とする請求項1記載の荷電粒子検出装置。
- 前記第2のコンデンサは、前記各電極を固定する支柱内に配置されていることを特徴とする請求項1記載の荷電粒子検出装置。
- 前記第2のコンデンサは、前記各電極を固定する支柱を兼ねることを特徴とする請求項1記載の荷電粒子検出装置。
- 前記第2のコンデンサは、円筒状に形成され、少なくとも前記第3の電極の外縁を覆って配置されていることを特徴とする請求項1記載の荷電粒子検出装置。
- 前記第1の電極の外径は、前記後方カバーとの間に配置される他の部材の外径より大きいことを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の荷電粒子検出装置。
- 前記後方カバーは、前記第1の電極側に突出し、前記第1の電極との間に配置される構成部品を内部に収容する円筒部を有していることを特徴とする請求項6記載の荷電粒子検出装置。
- 前記第1の電極は、前記後方カバー側に突出し、前記後方カバーとの間に配置される構成部品を内部に収容する円筒部を有していることを特徴とする請求項7記載の荷電粒子検出装置。
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