JP5049174B2 - 飛行時間型質量分析装置及びそれに用いられる荷電粒子検出装置 - Google Patents
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Description
荷電粒子検出装置は、フランジ部のMCPに向かう面もしくはその反対側の面を装置筐体に設けられた固定壁面に向けて固定されているとよい。
Claims (6)
- イオン飛行領域を備える装置筐体内に、前記イオン飛行領域を飛行したイオンを検出する荷電粒子検出装置を配置した飛行時間型質量分析装置で用いられる荷電粒子検出装置において、
マイクロチャネルプレートと、前記マイクロチャネルプレートの荷電粒子入射面側に配置され、前記マイクロチャネルプレートの荷電粒子入射面を露出する開口を有している第1の電極と、前記マイクロチャネルプレートをはさんで、前記マイクロチャネルプレートの荷電粒子出射面側に配置され、前記マイクロチャネルプレートの荷電粒子出射面を露出する開口を有している第2の電極と、前記第2の電極をはさんで、前記マイクロチャネルプレートの荷電粒子出射面に対向して配置される第3の電極と、前記第3の電極の前記マイクロチャネルプレートに対向する面と反対の面側に配置される後方カバーとを有し、
前記第1の電極は、装置筐体に固定されるフランジ部を備え、前記フランジ部は、前記マイクロチャネルプレートの荷電粒子出射面側からみて前記後方カバーを含む前記後方カバーと前記第1の電極の間に配置されている構成部品より外側に突出して設けられていることを特徴とする荷電粒子検出装置。 - イオン飛行領域を備える装置筐体内に、前記イオン飛行領域を飛行したイオンを検出する荷電粒子検出装置を配置した飛行時間型質量分析装置において、
前記荷電粒子検出装置は、マイクロチャネルプレートと、前記マイクロチャネルプレートの荷電粒子入射面側に配置され、前記マイクロチャネルプレートの荷電粒子入射面を露出する開口を有している第1の電極と、前記マイクロチャネルプレートをはさんで、前記マイクロチャネルプレートの荷電粒子出射面側に配置され、前記マイクロチャネルプレートの荷電粒子出射面を露出する開口を有している第2の電極と、前記第2の電極をはさんで、前記マイクロチャネルプレートの荷電粒子出射面に対向して配置される第3の電極と、前記第3の電極の前記マイクロチャネルプレートに対向する面と反対の面側に配置される後方カバーとを有し、
前記第1の電極は、装置筐体に固定されるフランジ部を備え、前記フランジ部は、前記マイクロチャネルプレートの荷電粒子出射面側からみて前記後方カバーを含む前記後方カバーと前記第1の電極の間に配置されている構成部品より外側に突出して設けられていることを特徴とする飛行時間型質量分析装置。 - 前記フランジ部と前記装置筐体との間に絶縁体を配置していることを特徴とする請求項2記載の飛行時間型質量分析装置。
- 前記フランジ部を前記装置筐体に固定する電気絶縁性のネジ部材を備えていることを特徴とする請求項2記載の飛行時間型質量分析装置。
- 前記荷電粒子検出装置は、前記フランジ部の前記マイクロチャネルプレートに向かう面を前記装置筐体に設けられた固定壁面に向けて固定されていることを特徴とする請求項2〜4のいずれか1項に記載の飛行時間型質量分析装置。
- 前記荷電粒子検出装置は、前記フランジ部の前記マイクロチャネルプレートに向かう面と反対側の面を前記装置筐体に設けられた固定壁面に向けて固定されていることを特徴とする請求項2〜4のいずれか1項に記載の飛行時間型質量分析装置。
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