JP5350679B2 - イオン検出器 - Google Patents
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Description
Claims (4)
- 絶縁性を有し、互いに対向する一対の基板と、
前記基板同士の間の空間へイオンを導入する開口部と、
前記開口部と対向するように前記基板で挟持され、導入した前記イオンを検出するイオン検出素子と、
前記イオン検出素子に隣接するように前記基板で挟持され、前記イオンを入射させる入射面が、前記開口部から前記イオン検出素子へ向かう軸線に沿って延在するマイクロチャンネルプレートと、
前記マイクロチャンネルプレートの出射面と平行に対向するように前記基板で挟持され、前記軸線に沿って延在するアノードと、を備え、
前記基板はそれぞれ貫通孔を有し、
前記マイクロチャンネルプレートは、前記基板の対向方向に沿って延在する入力電極及び出力電極に連結され、当該入力電極及び出力電極が前記貫通孔に挿入されることによって前記基板に支持され、
前記入力電極は、前記マイクロチャンネルプレートの入射面において、前記軸線が延びる方向における一方の端部で前記基板の対向方向に沿って延在すると共に、前記一方の端部で前記マイクロチャンネルプレートのIN電極と電気的に接続され、
前記出力電極は、前記マイクロチャンネルプレートの出射面において、前記軸線が延びる方向における前記一方の端部と反対側の端部で前記基板の対向方向に沿って延在すると共に、前記一方の端部と反対の端部で前記マイクロチャンネルプレートのOUT電極と電気的に接続されていることを特徴とするイオン検出器。 - 前記基板はそれぞれ貫通孔を有し、
前記イオン検出素子は、前記基板の対向方向に沿って延在する電極を有し、当該電極が前記貫通孔に挿入されることによって前記基板に支持されていることを特徴とする請求項1記載のイオン検出器。 - 前記イオン検出素子は、ファラデーカップであることを特徴とする請求項1又は2記載のイオン検出器。
- 前記マイクロチャンネルプレート及び前記アノードは、前記軸線に対して所定の角度をなすように延在することを特徴とする請求項1〜3の何れか一項記載のイオン検出器。
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