JP3178082B2 - 超音波振動子用駆動制御回路 - Google Patents

超音波振動子用駆動制御回路

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JP3178082B2 JP13797292A JP13797292A JP3178082B2 JP 3178082 B2 JP3178082 B2 JP 3178082B2 JP 13797292 A JP13797292 A JP 13797292A JP 13797292 A JP13797292 A JP 13797292A JP 3178082 B2 JP3178082 B2 JP 3178082B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、超音波振動子用駆動制
御回路に係り、とくに超音波溶接機等の超音波加工機に
好適な超音波振動子用駆動制御回路に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の超音波振動子用駆動制御回路にお
ける周波数の出力制御は、用途に応じて種々異なった方
式で行われている。そして、これらのものの多くは段階
的に周波数の出力を切り替える制御方式が用いられてい
る。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例においては出力制御が段階的であるために、出力周
波数の精度が悪く、しかも出力周波数が不安定であると
いう不都合があった。
【0004】
【発明の目的】本発明の目的は、かかる従来例の有する
不都合を改善し、とくに広い範囲にわたって安定した周
波数出力を得ることができる超音波振動子用駆動制御回
路を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】そこで、本発明では、超
音波振動子を駆動する振動子用発振回路と、この振動子
用発振回路の出力を調整する出力調整回路と、超音波振
動子の発振電圧VCを計測するセンサと、このセンサの
計測結果に基づき超音波振動子の発振電圧VCと振動子
用発振回路における印加電圧V0との比|VC/V0|
が大きくなるように振動子用発振回路を制御する周波数
可変設定回路とを具備するという構成を採っている。こ
れによって前述した目的を達成しようとするものであ
る。
【0006】
【作用】周波数可変設定回路は、常時,センサから送ら
れてくる超音波振動子の発振電圧VCを監視し、共振角
周波数における超音波振動子の発振電圧VCと振動子用
発振回路の印加電圧V0との比|VC/V0|が大きく
なるように、振動子用発振回路のインダクタンスを制御
する。
【0007】
【発明の実施例】以下、本発明の一実施例を図1ないし
図3に基づいて説明する。
【0008】図1の実施例は、超音波振動子1と、超音
波振動子1を駆動する振動子用発振回路2と、この振動
子用発振回路2の出力を調整する出力調整回路3とを備
えている。
【0009】超音波振動子1には、この超音波振動子1
の出力周波数及びその振幅を検出する周波数検出センサ
4が装備されている。
【0010】振動子用発振回路2には、超音波振動子1
用の周波数可変設定回路5が併設され、この周波数可変
設定回路5が周波数検出センサ4の出力に応じて振動子
用発振回路2の発振周波数を連続的に可変設定する周波
数可変設定機能を備えた構成となっている。
【0011】周波数検出センサ4の出力は、切り換えス
イッチ10を介して出力調整回路3に入力されるように
なっている。この切り換えスイッチ10には、他方の端
子にテスト用の所定周波数の正弦波を出力するCR発振
器11が装備されている。
【0012】これを更に詳述すると、超音波振動子1
は、本実施例では容量C0のPZT素子から構成されて
いる。
【0013】また、振動子用発振回路2は、容量C0の
PZT素子と抵抗器R0と固定インダクタンスLとが直
列接続された構成となっている。そして、抵抗器R0に
は、出力調整回路3の所定周期の出力パルスが印加され
るようになっている。
【0014】出力調整回路3は、図2に示されるよう
に、周波数検出センサ4から送られてくる周波数信号を
整流する整流器31と、この整流器31の出力を所定の
基準値(基準値設定回路31Aの出力)と比較し,さら
に増幅して出力する比較増幅器32とを備え、また、入
力信号を方形波に変換するシュミット回路33と、この
シュミット回路33の出力を微分する微分回路34と、
この微分回路34の出力に基づいて鋸歯状信号を発振す
る鋸歯状信号発振回路35とを備えている。
【0015】さらに、この出力調整回路3は、比較増幅
器32の出力を鋸歯状信号発振回路35の出力に基づい
てパルス幅変調を行う比較回路36を備え、その出力信
号でスイッチングトランジスタTrをオンオフ制御し、
これによって所定のデューティサイクルを有する出力パ
ルスがトランスT1を介して振動子用発振回路2の抵抗
器R0に印加されるようになっている。
【0016】すなわち、振動子用発振回路2に印加され
るこの方形波のデューティサイクルは、超音波振動子1
より周波数検出センサ4を介して得られる電圧によって
制御される。また、この方形波の振幅制御は、比較増幅
器32に装備されている基準値設定回路31Aの出力レ
ベルにより行われる。
【0017】周波数可変設定回路5は、図3に示される
ように、周波数検出センサ4の出力を対応する所定の電
圧値に変換する電圧変換回路5Bと、振動子用発振回路
2のインピーダンスを調整するインピーダンス調整回路
5Cと、電圧変換回路5Bからの電圧値に基づいてイン
ピーダンス調整回路5Cを制御する制御電圧回路5Aと
から構成されている。
【0018】また、インピーダンス調整回路5Cは、図
3に示されるように、抵抗器R1を介して直列接続され
た第1のバッファアンプG1およびブートストラップ回
路を形成する第2のバッファアンプG2と、抵抗器R1の
出力段に装備され制御電圧回路5Aからの制御電圧VG
をゲート入力とする制御用の電界効果トランジスタ51
と、第1のバッファアンプG1の正の入力端子に接続さ
れたトランスTの二次側コイルL2とを備えている。さ
らに第1のバッファアンプG1の正の入力端子には第2
のバッファアンプG2の出力がインダクタンス成分L0の
コイル52を介して入力されるようになっている。
【0019】一般に、オペアンプの出力側から入力側に
対して正帰還をかけ見かけ上の入力インピーダンスを増
大させる方法をブートストラップと呼んでいる。
【0020】次に、本実施例におけるインピーダンス調
整回路5Cの動作原理について説明する。
【0021】各バッファアンプG1,G2の総合利得Gを
求める。
【0022】G=R2/(R1+R2) ・・・・・
【0023】ここで、R2は電界効果トランジスタ51
のドレイン−ソース間の内部抵抗rDSを示す。
【0024】この総合利得Gによりコイル52のインダ
クタンス成分L0をブートストラップすると、バッファ
アンプG1の入力側からみた実効インダクタンスL1は、
次式により求められる。
【0025】L1=L0/(1−G) ・・・・・
【0026】式に式を代入すると、以下のようにな
る。
【0027】 L1=L0[1+(R2/R1)] ・・・・・
【0028】トランスTの二次側に実効インダクタンス
L1が接続された場合、一次側からみた実効インダクタ
ンスLieは、次式により求められる。
【0029】 Lie=L1−[M2/(L1+L2)]=L1[L1/(L1+L2)]・・・・
【0030】ここで、MはトランスTの一次側と二次側
との間の相互インダクタンスを示す。また、トランスT
の一次側と二次側との結合係数kを1とおき、M2=L1
・L2の関係を用いた。さらに式と式より、
【0031】 Lie/L1=1/[1+(L2/L1)]=1/[1+(L2/L0)/(1+R2 /R1)] ・・・・・
【0032】また、
【0033】 rDS=R0/[1−(VG/VP)] ・・・・・
【0034】ここで、VPはピンチオフ電圧、R0はVG
=0の時のrDSの値である。さらに式を式に代入す
る。
【0035】 Lie/L1=1/[1+(L2/L0)/(1+rDS/R1)]=1/[1+L2/ 0)/{1+R0/1/(1−VG/VP)}]・・・・・
【0036】ここで、L2/0=L2/L0、R0/1=R0/
R1を示す。式から明らかなように、VGを変化させる
ことによりLieを変化させることができる。つまり、V
Gを変化させることにより次式に示されるように振動子
用発振回路2における共振周波数を制御することができ
る。
【0037】 fr=1/2π√LC・√Lie・・・・・
【0038】次に、本実施例における制御電圧回路5A
の動作について説明する。
【0039】制御電圧回路5Aは、電圧変換回路5Bか
らの電圧値をチェックすることにより超音波振動子1に
かかるかかる電圧を各サイクル毎に監視する。
【0040】一般に、抵抗器R,コイルL,コンデンサ
Cからなる直列回路に電圧V0を印加すると流れる電流
Iは角周波数をωとすると次式で求められる。
【0041】I=V0/R+j(ωL−1/ωC)
【0042】Rが小さいときには、角周波数ωの変化に
応じてIは急激に変化する。Iの絶対値が最大になる角
周波数を共振角周波数ω0と呼ぶ。ここで、コイルLの
両端にかかる電圧をVL、コンデンサCの両端にかかる
電圧をVCとすると共振回路の性能を表す値Qは以下の
ように定義される。
【0043】Q=|VL/V0|ω=ω0
【0044】=|VC/V0|ω=ω0・・・・・
【0045】式により振動子用発振回路2におけるQ
の値を求める。ここで、V0は振動子用発振回路2の抵
抗器R0に印加される出力調整回路3からの出力電圧で
あり、VCは超音波振動子1にかかるかかる電圧すなわ
電圧変換回路5Bからの電圧値により知ることができ
る。
【0046】そして、電圧を共振からのずれが少しある
ことを前提に振動子用発振回路2におけるQの値を高め
るために、超音波振動子1にかかるかかる電圧が高くな
るように演算し、その演算結果VGをインピーダンス調
整回路5Cに出力する。
【0047】制御電圧回路5Aは、常に振動子用発振回
路2におけるQが高い値をとるように試行を繰り返す。
【0048】次に、本実施例における出力調整回路3の
動作について説明する。
【0049】整流器31は、周波数検出センサ4からの
周波数信号を整流し比較増幅器32に出力する。
【0050】比較増幅器32は、整流器31の出力と基
準値設定回路31Aの出力と比較し,その比較結果を増
幅して比較回路36に出力する。
【0051】シュミット回路33は、周波数検出センサ
4からの周波数信号を方形波に変換し、微分回路34に
出力する。
【0052】微分回路34は、シュミット回路33の出
力を微分し、鋸歯状信号発振回路35に出力する。
【0053】鋸歯状信号発振回路35は、微分回路34
の出力に基づいて鋸歯状信号を発振し比較回路36に出
力する。
【0054】比較回路36は、鋸歯状信号発振回路35
の出力に基づいて比較増幅器32の出力をパルス幅変調
し、スイッチングトランジスタTrのゲートに入力す
る。
【0055】スイッチングトランジスタTrは、比較回
路36の出力に基づいてオンオフ動作を行う。そして、
スイッチングトランジスタTrのオンオフ動作により、
所定のデューティサイクルを有する出力パルスがトラン
スT1を介して振動子用発振回路2の抵抗器R0に印加さ
れる。
【0056】振動子用発振回路2の共振周波数f0は、
出力調整回路3のスイッチング周波数に常に一致し、同
期化される。
【0057】すなわち、出力調整回路3は、超音波振動
子1の周波数が負荷や温度変化等によってずれた場合、
即座に超音波振動子1の周波数に同期化することができ
る。また、基準値設定回路31Aの出力レベルを変化さ
せることにより超音波振動子1の発振振幅を変えること
ができるとともに、超音波振動子1の発振振幅が負荷や
温度変化等によって変化してもトランジスタのデューテ
ィサイクルを制御することにより常に一定値に保持する
ことができる。
【0058】
【発明の効果】本発明は以上のように構成され機能する
ので、これによると、超音波振動子の振動サイクル毎に
振動子用発振回路の制御を行うことができ、これがた
め、安定した周波数出力を広範囲に得ることができると
いう従来にない優れた超音波振動子用駆動制御回路を提
供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示す構成図である。
【図2】図1における出力調整回路の詳細を示す詳細構
成図である。
【図3】図1における周波数可変設定回路の詳細を示す
詳細構成図である。
【符号の説明】
1:超音波振動子 2:振動子用発振回路 3:出力調整回路 4:周波数検出センサ 5:周波数可変設定回路 5A:制御電圧回路 5B:電圧変換回路 5C:インピーダンス調整回路

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 超音波振動子を駆動する振動子用発振回
    路と、この振動子用発振回路の出力を調整する出力調整
    回路とを備えた超音波振動子用駆動制御回路において、 前記超音波振動子の発振電圧VCを計測するセンサを当
    該超音波振動子に装備するとともに、前記センサの計測
    結果に基づき前記超音波振動子の発振電圧VCと前記振
    動子用発振回路における印加電圧V0との比|VC/V
    0|が大きくなるように前記振動子用発振回路を制御す
    る周波数可変設定回路を装備したことを特徴とする超音
    波振動子用駆動制御回路。
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