JPH05212354A - 圧電振動子の駆動回路 - Google Patents

圧電振動子の駆動回路

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JPH05212354A
JPH05212354A JP4054401A JP5440192A JPH05212354A JP H05212354 A JPH05212354 A JP H05212354A JP 4054401 A JP4054401 A JP 4054401A JP 5440192 A JP5440192 A JP 5440192A JP H05212354 A JPH05212354 A JP H05212354A
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JP
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piezoelectric
vibrator
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JP4054401A
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Koichi Masuko
弘一 増子
Isao Ito
勲 伊藤
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Alps Alpine Co Ltd
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Alps Electric Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 圧電モータなどに使用される圧電振動子を、
常に一定の振幅となるように制御して駆動できるように
する。 【構成】 パルス幅変調部Aにおいて、発振部15から
の所定周波数の発振出力を、CPU25からD/A変換
部26を経た制御電力によりパルス幅変調し、この駆動
電力により圧電モータ10の捩り振動用の振動子2と縦
振動用の振動子4を駆動してロータ6を回転させる。振
動検出部Fのブリッジ回路により圧電振動子2の振幅差
に基づく電力を取出し、これを差動増幅器18に負帰還
させ、パルス幅変調制御電力E1を得る。この電力E1
よりパルス幅変調することにより、振動子2は常に一定
の振幅にて駆動され、一定回転数によるモータ駆動が可
能になる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、圧電モータなどに使用
される圧電振動子を駆動する回路に係り、特に圧電振動
子を一定の振幅にて安定して駆動できるようにした圧電
振動子の駆動回路に関する。
【0002】
【従来の技術】圧電振動子の利用分野には、負荷が作用
した状態で圧電振動子を一定の振幅により駆動しなくて
はならない場合がある。図4はこの種の圧電振動子を使
用した装置の一例として圧電モータを示している。図4
に示す圧電モータは捩り振動と縦振動によりロータを回
転させるいわゆる複合振動子型である。固定側の筒状体
1と捩り振動側の筒状体3との間に圧電振動子2が介装
されている。この圧電振動子2は例えばランジュバン型
捩り振動子であり、所定周波数の駆動電力により軸線回
りの捩り振動を発揮する。また捩り振動側の筒状体3の
先端には縦振動用の圧電振動子4が設けられている。こ
の圧電振動子4は積層型であり、所定周波数の駆動電力
により軸方向に縦振動を発生する。
【0003】固定側の筒状体1には、軸受が保持されて
おり、この軸受により回転軸5が回転自在に支持されて
いる。回転軸5の先部にはロータ6が装着され、このロ
ータ6に加圧スプリング7を押し付けるナット8が、回
転軸5の先端の雄ねじ部5aに螺着されている。これに
よりロータ6は回転軸5と軸回り方向に相対ずれを生じ
ることなく一体となって回転できるとともに、加圧スプ
リング7によりロータ6は前記圧電振動子4に加圧され
ている。
【0004】上記圧電モータでは、圧電振動子2の軸回
りの捩り振動と、圧電振動子4の縦振動との複合によ
り、ロータ6ならびに回転軸5が、振動子4の振動位相
に応じて正方向または逆方向へ回転する。上記の圧電モ
ータにおける駆動方法としては、それぞれの圧電振動子
2または4にコイルなどを直列に接続し、コイルなどの
インダクタンスと圧電振動子のキャパシタンスとによる
共振回路の共振周波数に一致する周波数の駆動電力を与
えれば、圧電振動子2または4に最大電圧が与えられ、
電力から機械的動力への伝達効率が最良となる。また複
合振動子型の圧電モータでは、特に捩り振動を発生する
圧電振動子2へ与えられる駆動電力をパルス幅変調して
振動子2の振幅を変化させることにより、ロータ6の回
転数とトルクを変化させることが可能である。例えば振
幅を小さくすると、回転数とトルクが低下し、振幅を大
きくすると回転数とトルクが増加する。
【0005】よって、圧電モータの駆動方式としては、
前記共振周波数に一致する周波数の駆動電力を与え且つ
そのパルス幅変調することにより、最大の効率で駆動で
き、しかも回転数ならびにトルクを制御することが可能
である。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】前記圧電モータを各種
機器の回転源として使用する場合、ロータ6の回転数が
常に一定となるような制御を行うことが必要となる。前
述の駆動電力をパルス幅変調する方式において、例えば
ロータ6の回転数を検出するエンコーダを設け、このエ
ンコーダからの回転検出値に基づいて、回転数が一定に
なるように前記駆動電力のパルス幅を制御することが考
えられる。
【0007】しかしながら、この方法では、例えばエン
コーダからの回転検出値に基づき駆動電力のパルス幅を
拡大しても、振動子の振幅が直ちに追従せずロータ6の
回転が上がらない場合が考えられる。例えばモータに作
用する負荷に大きな変動が生じたとき、あるいはロータ
6と負荷とが回転スリップを生じている場合である。こ
のようなとき、エンコーダからの出力により回転数が上
がっていないと判断されるため、振動子に過大な振幅の
パルスや駆動振動が与えられることになる。その結果、
回転制御がきかなくなり、振動子が過振動し、圧電振動
子を破損するなどの問題が生じる。
【0008】本発明は上記従来の課題を解決するもので
あり、パルス幅変調により圧電振動子を駆動する際、振
動子が常に一定の振幅により振動するように自己制御で
きるようにして、過振動などが生じず、安定した駆動が
できるようにした圧電振動子の駆動回路を提供すること
を目的としている。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明は、負荷が与えら
れた状態で振動する圧電振動子を駆動する回路におい
て、前記圧電振動子を駆動する所定周波数の駆動電力に
パルス幅変調を与えるパルス幅変調部と、前記圧電振動
子の振幅に応じた検出電力を出力させる振動検出部と、
制御部からの制御電力と前記検出電力の差をとってこの
差電力を前記パルス幅変調部でのパルス幅の変調制御電
力として与える差動部とが設けられていることを特徴と
するものである。
【0010】また上記手段において、振動検出部を、圧
電振動子を含み且つ圧電振動子と等価なインピーダンス
を有するブリッジ回路と、この圧電振動子の振幅の変化
に応じてこのブリッジ回路に流れる電力を整流して検出
電力を得る整流部とから構成することが可能である。
【0011】
【作用】上記手段では、駆動電力をパルス幅変調して圧
電振動子を駆動する場合、例えばブリッジ回路などによ
る振動検出部により、圧電振動子の振幅の差に応じた検
出電力を得る。前記パルス幅変調を行う制御電力に前記
検出電力を負帰還させることにより、圧電振動子が常に
一定の振幅にて振動するように駆動電力のパルス幅が自
己制御される。よって例えば圧電モータの場合、負荷の
変動に対しても常に一定の回転が行なわれるように機能
し、振動子に過振動を生じるような駆動電力が与えられ
るのが防止できる。
【0012】
【実施例】以下、本発明について図面を参照して説明す
る。図1は本発明による振動子の駆動回路の一例とし
て、図4に示す複合振動子型の圧電モータの駆動回路を
ブロック図にて示している。図1において符号10は図
4に示したのと同種の複合振動子型圧電モータであり、
この圧電モータ10は、軸回りの捩り振動を発生する圧
電振動子2と軸方向の縦振動を発生する圧電振動子4を
有している。図1において符号Aで示すブロックは駆動
電力のパルス幅変調部である。このパルス幅変調部Aに
は、発振部15が設けられている。この発振部15にお
ける発振周波数fは、前記圧電振動子2と直列インダク
タンスL1とによる共振周波数、および圧電振動子4と
直列インダクタンスL2とによる共振周波数とほぼ一致
しており、例えば発振周波数fが約20kHzである。
【0013】またパルス幅変調部Aには、CPU25か
らの出力と前記発振部15からの発振出力との差に基づ
いて反転出力を得る差動増幅器16、CPU25から出
力されD/A変換部26により変換されたパルス幅制御
電力と前記発振部15からの発振出力との差を求めてパ
ルス幅変調を行う差動増幅器17、後述の振動検出部F
からの検出電力をD/A変換部26からの制御電力に負
帰還させるための差動増幅器18を有している。また、
パルス幅変調部Aには、前記差動増幅器16と17との
出力に基づき、変調されたパルス幅の出力を得るORゲ
ート19、このORゲート19からの出力をそれぞれの
圧電振動子2と4とに割り振るフリップフロップ20お
よびORゲート21,22が設けられている。
【0014】パルス幅変調部Aからの出力は、プッシュ
プル増幅回路CとDに供給される。プッシュプル増幅回
路Cは捩り振動用の圧電振動子2を駆動するためのもの
であり、プッシュプル増幅回路Dは縦振動用の圧電振動
子4を駆動するためのものである。前記フリップフロッ
プ20およびORゲート21と22により、前記駆動電
力はプッシュプル増幅回路CとDに送られる。なお、プ
ッシュプル増幅回路Dへの駆動電力の供給経路には、極
性切換部Bが設けられ、CPU25からの回転方向切換
信号の経路27が極性切換部Bに接続されている。正転
逆転の切換操作を行う操作部28からの操作信号がCP
U25に入力されると、CPU25からの指令により極
性切換部Bにてプッシュプル増幅回路Dへの駆動電力の
極性が正負切換えられ、縦振動用の圧電振動子4の振動
位相が変えられ、これによりロータ6の回転方向が切換
えられる。
【0015】前記プッシュプル増幅回路Cは、一対のフ
ィルタ31a,31bとトランス32とから構成され、
同様にプッシュプル増幅回路Dは、一対のフィルタ33
a,33bとトランス34とから構成されている。プッ
シュプル増幅回路Cでは、フィルタ31aと31bで入
力された駆動電力の正と負の半サイクルずつが電力増幅
され、トランス32にて合成されて歪みのない増幅出力
が得られるようになっている。一方のプッシュプル増幅
回路Dにおいてもフィルタ33aと33bとで正負の半
サイクルごとの電力増幅がなされ、トランス34により
合成される。そして、プッシュプル増幅回路Cからの増
幅出力は、直列インダクタンスL1および捩り振動用の
圧電振動子2に与えられ、プッシュプル増幅回路Dの増
幅出力は直列インダクタンスL2および縦振動用の圧電
振動子4に与えられる。
【0016】AC電源は、全波整流回路35により整流
され、各プッシュプル増幅回路CとDに増幅電力として
与えられる。また全波整流されたDC電力は、電圧調整
部36により12Vの電圧となって前記パルス幅変調部
Aに与えられ、発振部15および各差動増幅器16,1
7,18などの駆動電力となる。さらに電圧調整部37
からの5VのDC電力がCPU25の駆動電力として与
えられる。
【0017】また前記捩り振動用の圧電振動子2には振
動検出部Fが接続されている。この振動検出部Fは図2
に示すように、圧電振動子2と容量C1,C2,C3とに
よるブリッジ回路であり、圧電振動子2のインピーダン
スをZf、各容量C1,C2,C3のインピーダンスを
1,Z2,Z3とした場合に、Zf・Z1=Z2・Z3の平
衡条件が成り立つように構成されている。そしてブリッ
ジ間の平衡部に流れる電流による電力が検出トランス4
1にて取出され、容量とダイオードとから成る整流部4
2により整流され、検出出力経路43から前記パルス幅
変調部の差動増幅器18に負帰還される。
【0018】また図1に示す圧電モータ10にはロータ
6の回転数を検出するエンコーダ(周波数ジェネレー
タ)45が設けられており、このエンコーダ45の検出
出力経路46が前記CPU25に入力されている。この
エンコーダはロータ6の回転数に応じた周波数のパルス
を出力するものである。さらに圧電モータ10またはそ
の近傍には、環境条件を把握するための温度センサー4
7と、結露センサー49が設けられており、両センサー
47と49からの検出出力経路48と50は、CPU2
5のA/D変換入力部25aに接続されている。
【0019】次に上記駆動回路の動作について説明す
る。図3は、前記パルス幅変調部Aにおける差動増幅器
の入力ならびに出力電力を示している。図3(A)は、
差動増幅器18からのパルス幅制御電力E1と、差動増
幅器17の負の端子に入力される発振部15からの発振
電力E2を示している。この発振電力E2は、捩り振動用
の圧電振動子2と直列インダクタンスL1との共振周波
数、および縦振動用の圧電振動子4と直列インダクタン
スL2との共振周波数と一致した周波数の電力であり、
図の実施例の場合、発振周波数fは約20kHzであ
る。また図3(B)は差動増幅器17からの出力電力E
3を示している。
【0020】図3(C)は、差動増幅器16からの出力
電力E4を示している。差動増幅器16では、CPU2
5からの駆動信号経路52が正端子に入力し、発振部1
5からの発振出力が負端子に入力されるため、CPU2
5から駆動指令が出されるときには、差動増幅器16か
らの出力電圧E4は正負が反転した反転出力となる。図
3(D)はORゲート19からの出力電力E5を示して
いる。ORゲート19からの出力は、発振部15からの
前記周波数fの出力がパルス幅変調を受けており、図3
(D)では、変調されたパルス幅をPで示している。
【0021】駆動動作としては、まずCPU25から出
力経路53を経てパルス幅を制御するための制御信号が
与えられると、これがD/A変換部26によりアナログ
電力に変換され、差動増幅器18に送られ、前記振動検
出部Fの検出出力経路43から与えられる検出電力との
差が求められ、これがパルス幅制御電力E1として差動
増幅器17に与えられる。差動増幅器17ではパルス幅
制御電力E1と発振部15からの発振電力E2との差が求
められ、差動増幅器17から図3(B)に示す電力E3
が得られる。この電力E3の正のサイクル成分の幅P
は、パルス幅制御電力E1の電圧に比例する。
【0022】図3(C)に示すように、差動増幅器16
からの出力電力E4は、発振部15からの発振電力の反
転出力であり、よってORゲート19からは、E3とE4
のOR出力が得られ、これが図3(D)に示すパルス幅
変調を受けた駆動電力E5となる。この駆動電力E5のパ
ルス幅Pは、前記パルス幅制御電力E1の電圧に比例し
ている。このようにしてパルス幅変調を受けた駆動電力
5は、フリップフロップ20およびORゲート21,
22によりプッシュプル増幅回路CとDとに別けられ、
全波整流回路35からのDC電力により増幅される。な
お操作部28により回転方向の切換操作がなされると、
極性切換部Bにより極性が反転されてプッシュプル増幅
器Dに送られる。
【0023】プッシュプル増幅器CとDにより増幅され
た駆動電力は、直列インダクタンスL1とL2ならびに各
圧電振動子2と4に供給される。圧電振動子2は前記発
振部15の発振周波数fに共振して軸回りに捩り振動
し、圧電振動子4は同じく発振周波数fに共振して軸方
向に縦振動し、よってロータ6と回転軸5は、極性切換
部Bの出力極性に応じた方向へ回転させられる。各振動
子2と4は、直列インダクタンスL1,L2との共振周波
数にて、最も高い電力により駆動される。このときの回
転数およびトルクはORゲート19からの駆動電力E5
のパルス幅Pの増減に対応する。すなわちパルス幅Pが
大きいと回転数ならびにトルクが高くなり、パルス幅P
が小さいと回転数とトルクが低くなる。
【0024】ここで、振動検出部Fの検出トランス32
には、捩り振動用の圧電振動子2の実際の振動数と駆動
電力の周波数fとの差に基づく電流が流れるため、この
電力をトランス32から取出すと、これは圧電振動子2
を駆動しようとする振幅と実際の振幅との振幅差に比例
したものとなる。この電力が整流部42により整流され
てDC電力となり、これがパルス幅変調部Aにおける差
動増幅器18に負帰還される。よって差動増幅器18か
らは、CPU25とD/A変換部26からの制御電力か
ら前記振動検出部Fからの検出電力の差をとった出力が
パルス幅変調制御電力E1として得られる。すなわち例
えば圧電振動子2の振幅がCPU25からの制御に基づ
くものよりも大きいと、その振幅の差に基づく電力が負
帰還されてCPU25から出力される制御電力から引か
れ、図3(A)に示す電力E1の電圧が下降して、パル
ス幅Pを小さくするように自動制御される。
【0025】上記の負帰還により、圧電振動子2は常に
一定の振幅にて駆動され、ロータ6と回転軸5が一定の
回転数により回転させられる。この回転制御は、圧電振
動子2の実際の振幅差を負帰還させて行っているため、
圧電振動子2に過大なパルス幅の駆動電力が与えられて
過振動を生じることはない。
【0026】また圧電モータ10は、圧電振動4とロー
タ6との摩擦を利用して回転させているものであるた
め、ロータ6に加わる負荷が大きく変化した場合には、
トルクを上げるために駆動電力のパルス幅を変化させる
必要がある。この制御は、エンコーダ45におけるロー
タ6の回転数に応じた検出パルスに基づいて、CPU2
5からの制御電力を変化させることにより行なわれる。
この大きな負荷の変動による回転数の変化に基づき、こ
の回転数の差を修正できる制御信号がD/A変換部26
を経て差動増幅器18に送られ、駆動電力のパルス幅が
制御される。このときも振動検出部Fからの振幅検出電
力による負帰還がかけられ、よって圧電振動子2が過振
動を生じるようなことなく、CPU25の制御に追従
し、ロータ6は安定して回転させられる。
【0027】さらに図1の実施例では、エンコーダ45
による検出パルスに加え、温度センサー47により環境
温度の測定信号がCPU25に与えられ、温度による摩
擦係数の変化などに基づき修正を加えられた制御信号が
パルス幅変調部Aの差動増幅器18に与えられる。また
結露センサー49により結露が生じていることがわかっ
たときには、CPU25からD/A変換部26を経た制
御電力により、圧電モータ10の圧電振動子2と4が、
ロータ6を回転させないパルス幅にて振動させられ、結
露乾燥を速めるようにする。
【0028】なお、上記実施例では、複合振動子型の圧
電モータ10の駆動制御について説明したが、パルス幅
制御により回転数の制御を行う他の方式の圧電モータの
駆動回路としても使用できる。また圧電モータに限ら
ず、所定の負荷の基で振動し、且つ振幅の制御が必要と
なる圧電アクチュエータであれば、前記駆動回路を用い
ることにより、圧電アクチュエータを常に一定の振幅に
て駆動できるようになる。
【0029】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、圧電振動
子の振幅に基づく検出電力によりパルス幅変調制御電力
に負帰還をかけているため、圧電振動子の振幅を常に一
定となるように制御できる。また実際の圧電振動子の振
幅に基づいて制御を行っているため、過大なパルス幅の
駆動電力が与えられて圧電振動子が過振動を生じるよう
なことを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例として圧電モータの駆動回路
を示す回路ブロック図、
【図2】図1の回路における振動検出部の構成を示す回
路図、
【図3】(A)(B)(C)(D)はパルス幅変調部の
各部の電力を示す波形図、
【図4】圧電モータの構造を示す分解斜視図、
【符号の説明】
A パルス幅変調部 B 極性切換部 C,D プッシュプル増幅回路 F 振動検出部 10 圧電モータ 2,4 圧電振動子 15 発振部 16,17,18 差動増幅器 25 CPU

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 負荷が与えられた状態で振動する圧電振
    動子を駆動する回路において、前記圧電振動子を駆動す
    る所定周波数の駆動電力にパルス幅変調を与えるパルス
    幅変調部と、前記圧電振動子の振幅に応じた検出電力を
    出力させる振動検出部と、制御部からの制御電力と前記
    検出電力の差をとってこの差電力を前記パルス幅変調部
    でのパルス幅の変調制御電力として与える差動部とが設
    けられていることを特徴とする圧電振動子の駆動回路。
  2. 【請求項2】 振動検出部は、圧電振動子を含み且つ圧
    電振動子と等価なインピーダンスを有するブリッジ回路
    と、この圧電振動子の振幅の変化に応じてこのブリッジ
    回路に流れる電力を整流して検出電力を得る整流部とか
    ら成る請求項1記載の圧電振動子の駆動回路。
JP4054401A 1992-02-04 1992-02-04 圧電振動子の駆動回路 Withdrawn JPH05212354A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001058157A (ja) * 1999-06-17 2001-03-06 Nec Shizuoka Ltd 携帯端末の振動発生用モータの制御装置及びその制御方法
WO2007049091A1 (en) 2005-10-27 2007-05-03 Nokia Corporation Vibration motor as a transducer of audio
JP2008301698A (ja) * 2007-05-01 2008-12-11 Panasonic Corp 駆動装置
JP2012110867A (ja) * 2010-11-26 2012-06-14 Wako Denshi:Kk 圧電振動子駆動回路

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001058157A (ja) * 1999-06-17 2001-03-06 Nec Shizuoka Ltd 携帯端末の振動発生用モータの制御装置及びその制御方法
WO2007049091A1 (en) 2005-10-27 2007-05-03 Nokia Corporation Vibration motor as a transducer of audio
US8131321B2 (en) 2005-10-27 2012-03-06 Nokia Corporation Vibration motor as a transducer of audio
JP2008301698A (ja) * 2007-05-01 2008-12-11 Panasonic Corp 駆動装置
JP2012110867A (ja) * 2010-11-26 2012-06-14 Wako Denshi:Kk 圧電振動子駆動回路

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