JP3263245B2 - 超音波モータの速度信号調整方法および速度制御回路 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、圧電体により励振され
た弾性振動を駆動力とする超音波モータの速度信号調整
方法および速度制御回路に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、圧電セラミック等の圧電体、およ
び金属等の弾性基板により構成された振動体を交流電圧
で駆動して励振し、これを駆動力とする超音波モータが
注目されている。以下に、図面を参照しながら従来の超
音波モータについて説明する。

【０００３】図５は従来例における超音波モータの縦断
面図であり、弾性基板１の一面に、圧電体２を貼り合わ
せて振動体３を構成している。また弾性基板１の他方の
面には、突起体１aが設置されている。４は弾性体、５
は耐摩耗性材料よりなる摩擦材であり、互いに貼り合わ
せて移動体６を構成している。７は外部に移動体６の回
転力を伝達する出力伝達軸であり、移動体６の回転を安
定に効率よく出力伝達軸７に伝達するために突起部７a
が設けられており、出力伝達部７bより外部に回転力を
取り出す。８は、出力伝達軸７の異常振動等を吸収補正
し、移動体６の回転を安定に効率よく出力伝達軸７に伝
えるために設置された摩擦係数の大きな弾性部材であ
る。９は振動体３の振動を阻害することなく振動体３を
支持する支持部材、10はベアリング、11は皿バネであ
る。12は加圧力調整手段であり、移動体６は摩擦材５を
介して振動体３に皿バネ11により加圧接触させられてい
る。13は超音波モータを支持するベース部である。ベア
リング10はこのベース部13に設置されており、出力伝達
軸７の位置規制を行っている。

【０００４】図６は上記超音波モータにおける圧電体２
の電極構造の一例を示す平面図であり、周方向に４波の
曲げ振動を励振するように構成している。同図におい
て、Ａ₀，Ｂ₀は、それぞれ振動体３上に励振される進行
波の２分の１の波長相当の小領域からなる駆動電極であ
る。Ｃ₀は励振される進行波の４分の１の波長相当の長
さの電極、Ｄ₀は励振される進行波の４分の３の波長相
当の長さの電極である。したがって、駆動電極Ａ₀と駆
動電極Ｂ₀とは互いに、位置的に進行波の４分の１波長
(＝90度)の位相差を持つ。

【０００５】また、駆動電極Ａ₀，Ｂ₀内の隣り合う２分
の１の波長相当の各小電極部は、厚みの方向に交互に反
対方向に分極されている。圧電体２の弾性基板１との接
着面は図６に示された面と反対側の面であり、電極は全
面電極である。使用時には斜線で示したように、駆動電
極Ａ₀と駆動電極Ｂ₀を構成する小領域は、それぞれ短絡
して用いられる。この駆動電極Ａ₀，Ｂ₀に(数１)，(数
２)で表される電圧Ｖ₁およびＶ₂をそれぞれ印加すれ
ば、振動体３には(数３)で表される円周方向に進行する
曲げ振動の進行波が励振される。

【０００６】

【数１】Ｖ₁＝Ｖ₀×sin(ωt)

【０００７】

【数２】Ｖ₂＝Ｖ₀×cos(ωt)

【０００８】

【数３】 ξ＝ξ₀×｛cos(ωt)×cos(ｋx)＋sin(ωt)×sin(ｋt)} ＝ξ₀cos(ωt−ｋx) ただし、Ｖ₀は電圧の最大値、ωは角周波数、ｔは時
間、ξは曲げ振動の振幅値、ξ₀は曲げ振動の振幅の最
大値、ｋは波数、ｘは位置を示す。

【０００９】図７は超音波モータの動作状態を説明する
原理図である。同図は、振動体３に進行波を励振するこ
とによって、振動体３の表面のＡ点は、長軸ｗ，短軸ｕ
の楕円運動をし、振動体３に加圧して設置された移動体
６は摩擦材５を介して、振動体３の表面の任意の点が描
く楕円の頂点Ａ近傍で接触し、摩擦力により波の進行方
向(矢印ａ)とは逆方向(矢印ｂ)に(数４)で表される速度
ｖで運動する様子を示している。

【００１０】

【数４】ｖ＝ω×ｗ 図８は振動体３の駆動端子からみた等価回路であり、電
気的容量(Ｃ_e)14，電気系−機械系変換トランス(変換係
数Ｎ)15，機械的弾性定数(Ｃ_m)16，質量(Ｌ_m)17，機械
的損失(Ｒ_m)18とで表される。圧電体２に電圧Ｖを印加
すると、その周波数，絶対値に応じた総電流(ｉ)19が流
れる。この総電流(ｉ)19は、圧電体２の電気的容量
(Ｃ_e)14に流れる電流である電気腕電流(ｉ_e)20と電気系
−機械系変換トランス15に流れる電流である機械腕電流
(ｉ_m)21とからなる。この機械腕電流(ｉ_m)21が、電気系
−機械系変換トランス15により(数５)で表される変位速
度ｖdに変換される。

【００１１】

【数５】ｖd＝ｄξ／ｄt したがって、総電流(ｉ)19、あるいは機械腕電流(ｉ_m)2
1によって、変位ξを求めることができる。

【００１２】これらのことより移動体６の回転速度は、
振動体３の曲げ振動の振幅の瞬時値に比例し、曲げ振動
の振幅の瞬時値は振動体３を構成する圧電体２に流れる
機械腕電流(ｉ_m)21に比例する。

【００１３】図９は従来例の超音波モータの速度制御回
路である。この速度制御回路の動作概要を説明すると、
電圧制御発振器22から超音波モータの目標回転速度に対
応する駆動周波数の信号が発生される。ここで、前記信
号は２分割され、一方は90度位相器23を通り、電力増幅
器24によって電力増幅される。また、他方は電力増幅器
25によって電力増幅される。さらに、電力増幅器24から
発せられた信号はコイル26を通って圧電体２上の２組の
駆動電極の一方の駆動電極27に印加されるとともに、こ
の駆動電極27下の圧電体２の静電容量と等価な静電容量
を有するキャパシタ28に印加される。同様に電力増幅器
25から発せられた信号は、コイル29を通って圧電体２上
の２組の駆動電極の他方の駆動電極30に印加されるとと
もに、この駆動電極30下の圧電体２と等価な静電容量を
有するキャパシタ31に印加される。

【００１４】このとき、振動体３上には周方向に進行す
る曲げ振動が励振され、摩擦材５と振動体３の突起体１
aの間に作用する摩擦力により、前記図７で説明したよ
うに移動体６が進行波の進行方向と逆向きに駆動され
る。また、圧電体２には、図８で前述したように、駆動
電圧の周波数、その絶対値に応じた総電流(ｉ)19が流
れ、この総電流(ｉ)19は抵抗32により電圧信号に変換さ
れ、減算器33の一方の入力端子に印加される。また、キ
ャパシタ28とキャパシタ31にも印加電圧の絶対値および
その周波数に応じた圧電体２上の２組の駆動電極27，30
を流れる電気腕電流(ｉ_e)20と等価な電流が流れ、それ
ぞれを加え合わせたものが抵抗34により電圧信号に変換
され、減算器33の他方の入力端子に入力される。

【００１５】減算器33の出力は、２組の駆動電極27，30
を流れる総機械腕電流に比例した電圧値であり、前述し
たように、これは超音波モータの移動体の回転速度に比
例したものである。この後、減算器33の出力は整流器38
により直流電圧に変換された後、マイコン35に取り込ま
れる。ここで、マイコン35は取り込んだ値をＲＯＭ36上
の回転速度信号と回転速度のデータに照らし合わせ、現
在の超音波モータの速度を認識した後、速度設定値37と
比較演算した後、電圧制御発振器22に訂正動作をかけ、
超音波モータの回転速度が一定となるように超音波モー
タの駆動周波数を調整する。

【００１６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図９の
超音波モータの速度制御回路では回転速度信号と回転速
度の関係に個体間のばらつきがある場合には、このばら
つきが速度制御性に反映され、安定に精度良く超音波モ
ータの速度制御を行うことはできないという課題を有し
ていた。

【００１７】本発明は、上記課題を解決し低コストで安
定に精度良く超音波モータを駆動することができる超音
波モータの速度信号調整方法および速度制御回路の提供
を目的とするものである。

【００１８】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明の速度信号調整方法では、各超音波モータの
回転速度と回転速度信号の関係を複数点でサンプリング
し、最小自乗法等により１次関数近似した後、この関数
が記憶素子上に格納されている回転速度と回転速度信号
の関数形態に合うように比較演算し、傾き補正係数，偏
り補正係数を算出する。

【００１９】また、本発明の速度制御回路は、前記速度
信号調整方法で算出された傾き補正係数，偏り補正係数
の両データを基に、各超音波モータの速度信号が記憶素
子上の関数形態と合うように傾き補正係数を基に傾き補
正を行う増幅器の増幅度を指定し、また偏り補正係数を
基に偏り補正を行う加算器に対して加算量，減算器に対
して減算量を指定する。

【００２０】

【作用】本発明によれば、超音波モータの回転速度信号
と回転速度の関係が個体間で大きくばらついていても、
各超音波モータの回転速度信号と回転速度の関係を同定
することにより、記憶素子上に格納されている回転速度
信号と回転速度の関数形態に合うように傾き補正係数，
偏り補正係数を算出することができる。そして、速度制
御時には算出された傾き補正係数，偏り補正係数を用
い、回路上で回転速度信号を補正し、マイコンが超音波
モータの回転速度信号を一意に認識することができるよ
うにすることにより、安定に精度良く超音波モータの速
度制御ができる超音波モータの速度信号調整方法および
速度制御回路を提供できる。

【００２１】

【実施例】以下に本発明の各実施例を図面を参照しなが
ら説明する。

【００２２】(実施例１)図１は本発明の超音波モータの
速度信号調整方法を実施するための速度制御回路例のブ
ロック図である。図１において、39は回転速度検出器で
あり、その他、前記図９の従来例と同じ機能のブロック
には同じ符号を付してある。

【００２３】この回路のマイコン35のアナログ電圧出力
は、電圧制御発振器22の周波数制御端子22aに印加され
るように接続されているので、電圧制御発振器22のパル
ス出力はアナログ電圧出力により周波数が制御される。
電圧制御発振器22のパルス出力は２分割され、一方は直
接電力増幅器25に、他方は90度位相器23を介して電力増
幅器24に入力されるように接続されている。前記電力増
幅器25の出力は、コイル29を通して圧電体２上に設けら
れた駆動電極30に印加されるとともに、この駆動電極30
下の圧電体２の静電容量と等価な静電容量を有するキャ
パシタ31に印加される。また、電力増幅器24の出力はコ
イル26を介して圧電体２上に設けられた駆動電極27に印
加されるとともに、この駆動電極27下の圧電体２の静電
容量と等価な静電容量を有するキャパシタ28に印加され
ている。

【００２４】また、キャパシタ31とキャパシタ28の出力
側は、抵抗34に接続され、抵抗34の他端は接地されてい
る。また、圧電体２の出力側は抵抗32に接続されてお
り、抵抗32の他端は接地されており、抵抗34と抵抗32の
抵抗値は互いに等しい。抵抗34のキャパシタ31およびキ
ャパシタ28に接続されている側、および抵抗32の圧電体
２に接続されている側は、減算器33の入力端子にそれぞ
れ接続されており、減算器33の出力端子は整流器38に接
続されている。整流器38の出力端子は、マイコン35のア
ナログ入力端子35dに接続されている。また超音波モー
タの出力伝達軸７には、回転速度検出器39が設置されて
おり、回転速度検出器39の出力端子はマイコン35のディ
ジタル入力端子35eに接続されている。

【００２５】以上のように構成された超音波モータの速
度制御回路について、以下にその動作を説明する。

【００２６】まず、マイコン35より超音波モータの共振
周波数より高い側の駆動周波数に対応したアナログ電圧
信号が、電圧制御発振器22の周波数制御端子22aに印加
され、電圧制御発振器22からパルス駆動信号が発生され
る。ここで前記パルス駆動信号は２分割され、一方は90
度位相器23を通り電力増幅器24によって超音波モータを
駆動するのに必要な電力を有する交流駆動信号に増幅さ
れる。また、他方は電力増幅器25によって超音波モータ
を駆動するのに必要な電力を有する交流駆動信号に増幅
される。さらに電力増幅器24から発せられた電圧は、コ
イル26を通って圧電体２上に設けられた駆動電極27に印
加されるとともに、この駆動電極27下の圧電体２の静電
容量と等価な静電容量を有するキャパシタ28に印加され
る。同様に電力増幅器25から発せられた電圧は、コイル
29を通って圧電体２上に設けられた他方の駆動電極30に
印加されるとともに、この駆動電極30下の静電容量と等
価な静電容量を有するキャパシタ31に印加される。

【００２７】このとき圧電体２上には、２組の駆動電極
27，30上に印加された電圧の絶対値、およびその周波数
に応じた総電流(ｉ)19が流れ、抵抗32によりこの総電流
(ｉ)19は電圧信号に変換され、減算器33の一方の入力端
子に入力される。また、キャパシタ31とキャパシタ28に
も印加電圧の絶対値、およびその周波数に応じた圧電体
２上の２組の駆動電極27，30を流れる電気腕電流(ｉ_e)2
0と等価な電流が流れ、それぞれを加え合わせたものが
抵抗34により電圧信号に変換され、減算器33の他方の入
力端子に入力される。

【００２８】減算器33の出力は、圧電体２に流れる総電
流(ｉ)19より得られる電圧値から、キャパシタ31とキャ
パシタ28より得られる圧電体２を流れる電気腕電流
(ｉ_e)20と等価な電流より得られる電圧値を差し引いた
もので、これは圧電体２を流れる総機械腕電流に比例し
た電圧値である。機械腕電流(ｉ_m)21は振動速度に比例
し、振動速度は振動振幅に比例するので、結局、機械腕
電流は超音波モータの回転速度に比例した信号である。

【００２９】減算器33の出力は、整流器38により整流さ
れ直流電圧信号に変換され、マイコン35に送られる。ま
た、回転速度検出器39は超音波モータの回転速度を直接
検出しており、このデータはマイコン35のディジタル入
力端子35eに送られる。ここで、マイコン35に送られて
くる総機械腕電流に比例した回転速度信号Ｓと、回転速
度検出器39からの回転速度Ｒの関係は、図２のように１
次関数の関係となっており、上記動作を繰り返して複数
回転数において前記信号Ｓ，速度Ｒをサンプリングし、
最小自乗法等により(数６)のＡ₁，Ｂ₁をマイコン35は精
度良く自動的に決定することができる。図２において、
○印は実測値、直線は近似関数である。

【００３０】

【数６】Ｙ₁＝Ａ₁・Ｘ＋Ｂ₁ ここで、Ｘは回転速度検出器39により得られる超音波モ
ータの回転速度、Ｙは総機械腕電流に比例した電圧値で
ある。また、速度制御時に用いられるＲＯＭ36に格納さ
れている回転速度信号と回転数のデータの形態が(数７)
とすると、

【００３１】

【数７】Ｙ₂＝Ａ₂・Ｘ＋Ｂ₂ (数６)と(数７)は、グラフ上では図３のような関係とな
る。

【００３２】ここで、速度制御時にはマイコン35は超音
波モータの回転速度信号と回転速度の関係を(数７)の形
であると認識しており、マイコンが回転速度信号を取り
込む前に、各超音波モータに固有である(数６)の関係を
(数７)の関係に変換する必要がある。

【００３３】このためには、図３から明らかなように各
超音波モータの回転速度信号からＢ₁を減算したのち、
その値にＡ₂／Ａ₁を掛け、最後にＢ₂を加えればよい。
この速度制御回路例を図４に示す。

【００３４】このようにして、超音波モータの速度信号
調整方法により得られるＡ₁，Ｂ₁をそれぞれ傾き補正係
数，偏り補正係数として速度制御回路に提供することに
より、各超音波モータの回転速度信号と回転数のばらつ
きを補正することができ、精度良く安定に低コストで超
音波モータの速度制御を実現できる。

【００３５】(実施例２)図４は本発明の超音波モータの
速度制御回路の一実施例のブロック図である。図４にお
いて、40は減算器、41は電圧制御増幅器、42は加算器、
そして43，44はディプスイッチＡ，Ｂであり、その他、
前記図１と同じ機能のブロックには同じ符号を付してあ
る。

【００３６】この回路のマイコン35は、駆動周波数に対
応するアナログ電圧信号を電圧制御発振器22の周波数制
御端子22aに供給する。電圧制御発振器22の出力は２分
割され、一方は直接電力増幅器25に、他方は90度位相器
23を介して電力増幅器24に入力されるように接続されて
いる。電力増幅器25の出力は、コイル29を通して圧電体
２上に設けられた駆動電極30に印加されるとともに、こ
の駆動電極30下の圧電体２の静電容量と等価な静電容量
を有するキャパシタ31に印加される。また、電力増幅器
24の出力はコイル26を介して圧電体２上に設けられた駆
動電極27に印加されるとともに、この駆動電極27下の圧
電体２の静電容量と等価な静電容量を有するキャパシタ
28に印加されている。

【００３７】また、キャパシタ31とキャパシタ28の出力
側は、抵抗34に接続され、抵抗34の他端は接地されてい
る。また、圧電体２の出力側は抵抗32に接続されてお
り、抵抗32の他端は接地されており、抵抗34と抵抗32の
抵抗値は互いに等しい。抵抗34のキャパシタ31およびキ
ャパシタ28に接続されている側、および抵抗32の圧電体
２に接続されている側は、減算器33の入力端子にそれぞ
れ接続されており、減算器33の出力端子は整流器38に接
続されている。

【００３８】整流器38の出力端子は、減算器40の一方の
入力端子に接続されている。減算器40の他方の入力端子
にはマイコン35のアナログ出力端子35aが接続されてお
り、減算器40の出力端子は電圧制御増幅器41の入力端子
に接続されている。電圧制御増幅器41の増幅度制御端子
41aにはマイコン35のアナログ出力端子35bが接続されて
おり、電圧制御増幅器41の出力端子は加算器42の一方の
入力端子に接続されている。また加算器42の他方の入力
端子にはマイコン35のアナログ出力端子35cが接続され
ており、加算器42の出力はマイコン35のアナログ入力端
子35dに入力されるように接続されている。また、速度
設定値37，ＲＯＭ36，ディプスイッチＡ43，ディプスイ
ッチＢ44がそれぞれマイコン35に接続されている。

【００３９】以上のように構成された超音波モータの速
度制御回路について、以下にその動作を説明する。

【００４０】まず、マイコン22によりアナログ入力端子
35dから得られるデータを基に、ＲＯＭ36に格納されて
いる回転速度信号と回転速度のデータテーブルから得ら
れる回転速度と速度設定値37を比較演算し、速度が一定
となるような駆動周波数に対応するアナログ電圧を生成
し、電圧制御発振器22の周波数制御端子22aに印加する
ことにより電圧制御発振器22から駆動信号が発生され
る。ここで前記駆動信号は２分割され、一方は90度位相
器23を通り電力増幅器24によって超音波モータを駆動す
るのに必要な電力を有する信号に増幅される。また、他
方は電力増幅器25によって超音波モータを駆動するのに
必要な電力を有する信号に増幅される。

【００４１】さらに電力増幅器24から発せられた電圧
は、コイル26を通って圧電体２上に設けられた駆動電極
27に印加されるとともに、この駆動電極27下の圧電体２
の静電容量と等価な静電容量を有するキャパシタ28に印
加される。同様に電力増幅器25から発せられた電圧は、
コイル29を通って圧電体２上に設けられた他方の駆動電
極30に印加されるとともに、この駆動電極30下の静電容
量と等価な静電容量を有するキャパシタ31に印加され
る。

【００４２】このとき圧電体２上には、２組の駆動電極
上に印加された電圧の絶対値、およびその周波数に応じ
た総電流(ｉ)19が流れ、抵抗32によりこの総電流(ｉ)19
は電圧信号に変換され、減算器33の一方の入力端子に入
力される。また、キャパシタ31とキャパシタ28にも印加
電圧の絶対値、およびその周波数に応じた圧電体２上の
２組の駆動電極を流れる電気腕電流(ｉ_e)20と等価な電
流が流れ、それぞれを加え合わせたものが抵抗34により
電圧信号に変換され、減算器33の他方の入力端子に入力
される。

【００４３】減算器33の出力は、圧電体２に流れる総電
流(ｉ)19より得られる電圧値から、キャパシタ31とキャ
パシタ28より得られる圧電体２を流れる電気腕電流
(ｉ_e)20と等価な電流より得られる電圧値を差し引いた
もので、これは圧電体２を流れる総機械腕電流に比例し
た電圧値であり、これは超音波モータの回転速度に比例
した信号である。減算器33の出力は、整流器38により整
流され直流電圧信号に変換され、減算器40の一方の入力
端子に供給される。また、ディプスイッチＡ43は、(数
６)の偏り補正係数Ｂ₁に基づいて設定されており、マイ
コン35はこの設定値に基づき、Ｂ₁に対応するアナログ
電圧信号をアナログ出力端子35aより出力し、減算器40
の他方の入力端子に供給している。これにより減算器40
は、整流器38の出力である回転速度信号からＢ₁を減算
し、この出力を電圧制御増幅器41の入力端子に入力して
いる。また、ディプスイッチＢ44は、(数６)の傾き補正
係数Ａ₁に基づいて設定されており、マイコン35はこの
設定値に基づき、電圧制御増幅器41の増幅度がＡ₂／Ａ₁
になるようなアナログ電圧信号をアナログ出力端子35b
から電圧制御増幅器41の増幅度制御端子41aに供給して
いる。

【００４４】これにより、電圧制御増幅器41に供給され
た電圧はＡ₂／Ａ₁倍され、加算器42の入力端子に供給さ
れている。また、マイコン35のアナログ出力端子35c
は、偏り補正係数Ｂ₂に対応したアナログ電圧信号を出
力し、加算器42の他方の入力端子に供給している。これ
により、電圧制御増幅器41の出力にＢ₂を加えることが
できる。加算器42の出力はマイコン35のアナログ入力端
子35dに戻される。

【００４５】以上のように、本発明の超音波モータの速
度信号調整方法および速度制御回路により、傾き補正係
数，偏り補正係数を得ることにより回転速度信号と回転
速度の個体間のばらつきが大きくとも、容易に精度良く
超音波モータを駆動することが可能である。

【００４６】なお、上記実施例では超音波モータの回転
速度情報として、機械腕電流を用いる場合について説明
したが、回転速度情報としてセンサ電極出力の絶対値，
印加電圧と機械腕電流の位相差等の圧電体に起因する超
音波モータの回転速度情報を用いる場合にも有効であ
り、また上記実施例では回転速度信号と回転速度の関係
を１つの１次関数で近似する場合について説明したが、
回転速度信号と回転速度の関係を高次関数近似、あるい
は区分線形近似する場合にも有効であることは勿論であ
る。

【００４７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
超音波モータの回転速度信号と回転速度のＲＯＭに格納
されているデータに対する各超音波モータの傾き補正係
数と偏り補正係数のデータを得るとともに、回路上ある
いはソフト上で回転速度信号を補正することにより、容
易に精度良く超音波モータを駆動できる超音波モータの
速度信号調整方法および速度制御回路を提供することが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の超音波モータの速度信号調整方法を実
施するための速度制御回路例のブロック図である。

【図２】超音波モータの回転速度信号と回転速度の関係
を示す特性図である。

【図３】本発明の速度信号調整方法により得られる傾き
補正係数、偏り補正係数を説明する図である。

【図４】本発明の超音波モータの速度制御回路の一実施
例のブロック図である。

【図５】従来例における超音波モータの縦断面図であ
る。

【図６】図５の超音波モータの圧電体の電極構造の一例
を示す平面図である。

【図７】図５の超音波モータの動作状態を説明する原理
図である。

【図８】図５の振動体の駆動端子からみた等価回路図で
ある。

【図９】従来例における超音波モータの速度制御回路図
である。

【符号の説明】

22…電圧制御発振器、 23…90度位相器、 24，25…電
力増幅器、 26，29…コイル、 27，30…駆動電極、
28，31…キャパシタ、 32，34…抵抗、 33，40…減算
器、 35…マイコン、 35a，35b，35c…アナログ出力
端子、 35d…アナログ入力端子、 35e…ディジタル入
力端子、 36…ＲＯＭ、 37…速度設定値、 38…整流
器、 39…回転速度検出器、 41…電圧制御増幅器、
42…加算器、 43…ディプスイッチＡ、 44…ディプス
イッチＢ。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 西倉 孝弘 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (72)発明者 川▲崎▼ 修 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (72)発明者 武田 克 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (72)発明者 今田 勝巳 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (56)参考文献 特開 平３−118776（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−165968（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−117186（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−206374（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−8875（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−87579（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−305771（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H02N 2/00

Claims (8)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 圧電体を交流電圧で駆動し、前記圧電体
   と弾性体とから構成される振動体に弾性進行波を励振す
   ることにより、前記振動体上に接触して設置された移動
   体を移動させる超音波モータの速度信号調整方法におい
   て、 複数の回転速度における超音波モータの回転速度信号と
   回転速度をサンプリングし、前記回転速度信号と前記回
   転速度を関数近似した後、前記関数形態が記憶素子上に
   格納されている回転速度信号と回転速度の関数形態と合
   うように傾き補正係数，偏り補正係数を算出することを
   特徴とする超音波モータの速度信号調整方法。
2. 【請求項２】 前記回転速度信号として、機械腕電流を
   用いることを特徴とする請求項１記載の超音波モータの
   速度信号調整方法。
3. 【請求項３】 前記回転速度信号として、センサ電極出
   力の絶対値を用いることを特徴とする請求項１記載の超
   音波モータの速度信号調整方法。
4. 【請求項４】 前記回転速度信号として、駆動電圧と機
   械腕電流の位相差を用いることを特徴とする請求項１記
   載の超音波モータの速度信号調整方法。
5. 【請求項５】 圧電体を交流電圧で駆動し、前記圧電体
   と弾性体とから構成される振動体に弾性進行波を励振す
   ることにより、前記振動体上に接触して設置された移動
   体を移動させる超音波モータの速度制御回路において、 超音波モータの回転速度信号と回転速度の関数形態が記
   憶素子上のデータと合うように、傾き補正係数を基に傾
   き補正を行う増幅器と、偏り補正係数を基に偏り補正を
   行う減算器および加算器よりなることを特徴とする超音
   波モータの速度制御回路。
6. 【請求項６】 前記回転速度信号として、機械腕電流を
   用いることを特徴とする請求項５記載の超音波モータの
   速度制御回路。
7. 【請求項７】 前記回転速度信号として、センサ電極出
   力の絶対値を用いることを特徴とする請求項５記載の超
   音波モータの速度制御回路。
8. 【請求項８】 前記回転速度信号として、駆動電圧と機
   械腕電流の位相差を用いることを特徴とする請求項５記
   載の超音波モータの速度制御回路。