JP3171382B2 - スライシングマシン - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はスライシングマシン
に係り、特に結晶インゴットを薄片状に切断して半導体
ウェーハを製造するスライシングマシンに関する。

【０００２】

【従来の技術】スライシングマシンは、内周刃ブレード
又は外周刃ブレードを高速回転し、これらを結晶インゴ
ットに押し当てて薄片状の半導体ウェーハを切断する。
この場合、半導体ウェーハの歩留り、後処理工程を考慮
すると、切断時の回転ブレードの変位を出来るだけ少な
くし、半導体ウェーハの反りを小さくしたほうが有利で
ある。

【０００３】しかしながら、近年、半導体ウェーハの大
型化の傾向にともない回転ブレードの径が大きくなり、
半導体ウェーハの切断時に回転ブレードが変形して結晶
インゴットから切断された半導体ウェーハに反りが発生
するという問題がある。このような事情により、回転ブ
レードで切断された半導体ウェーハに反りが発生しない
ようにする対策が従来から種々なされている。又、完成
時のウェーハ平坦度を向上させる為、規定の反り形態を
与えることも多い。

【０００４】例えば、特開平６−２７８１２９号公報に
開示されたスライシングマシンは、一対の側方磁力発生
手段で結晶インゴットの両側方に位置する回転ブレード
を軸方向に変位させると共に、中央磁力発生手段で結晶
インゴットの中央部に位置する回転ブレードを軸方向に
変位させる。一対の側方磁力発生手段及び中央磁力発生
手段の回転ブレードの軸方向への変位力は、一対の側方
磁力発生手段及び中央磁力発生手段のそれぞれの近傍に
配された一対の側方ブレード位置検出センサ及び中央ブ
レード位置検出センサの検出値に基づいて制御される。

【０００５】これにより、回転ブレードで結晶インゴッ
トを薄片状の半導体ウェーハに切断する際に、回転ブレ
ードを平坦に維持することができるので、半導体ウェー
ハに反りが発生することを防止することができる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開平
６−２７８１２９号公報に開示された中央磁力発生手段
は回転ブレードと共に、切断された半導体ウェーハを挟
んで配されるので、中央磁力発生手段と回転ブレードと
の間に半導体ウェーハが介在される。従って、半導体ウ
ェーハが障害になって回転ブレードの平坦度を高精度に
制御することができないので、切断された半導体ウェー
ハに反りが発生するという問題がある。又、回転ブレー
ドの平坦度を高精度に制御することができないので、完
成時のウェーハ平坦度を向上させる為に必要な規定の反
り形態をウェーハに与えることができないという問題が
ある。

【０００７】また、一対の側方磁力発生手段及び中央磁
力発生手段で回転ブレードが磁化されるが、回転ブレー
ドの磁化にバラツキが生じて回転ブレードの制御に悪影
響がでる。従って、回転ブレードの平坦度を高精度に制
御することができないので、切断された半導体ウェーハ
に反りが発生するという問題がある。又、回転ブレード
の平坦度を高精度に制御することができないので、完成
時のウェーハ平坦度を向上させる為に必要な規定の反り
形態をウェーハに与えることができないという問題があ
る。

【０００８】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、回転ブレードの平坦度を高精度に制御して半導
体ウェーハに反りが発生することを防止することや、完
成時のウェーハ平坦度を向上させる為に任意の反り形状
に半導体ウェーハを切断することができるスライシング
マシンを提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、ドーナツ状の回転ブレードの内周刃で結
晶インゴットを薄片状ウェーハに切断するスライシング
マシンにおいて、前記回転ブレードで切断される結晶イ
ンゴットの切断送り方向線上で結晶インゴットに対して
切断方向に先行した位置に配置され、前記回転ブレード
にエアを吹き付けて前記回転ブレードを軸方向に押し付
ける中央エア吹出し手段と、前記中央エア吹出し手段
を、前記結晶インゴットに対して切断方向に先行した一
定間隔を保って前記結晶インゴットの移動方向に追従し
て移動させ、所定位置まで移動した前記中央エア吹出し
手段を前記結晶インゴットの側方側に逃がす移動手段
と、前記切断送り方向線上の前記回転ブレードの内周刃
に対し、切断された前記ウェーハを挟んで対向する位置
に配され、その位置における前記内周刃の軸方向の位置
を検出する中央位置検出手段と、前記中央位置検出手段
からの信号に基づいて、該中央位置検出手段で検出した
前記内周刃が軸方向の所望位置に位置するように前記中
央エア吹出し手段から吹き出すエア圧を調整するエア圧
調整手段と、を備えたことを特徴としている。本発明
は、前記目的を達成するために、ドーナツ状の回転ブレ
ードの内周刃で結晶インゴットを薄片状ウェーハに切断
するスライシングマシンにおいて、前記結晶インゴット
の両側方に配されると共に前記回転ブレードにエアを吹
き付けて前記回転ブレードを軸方向に押し付ける一対の
側方エア吹出し手段と、該一対の側方エア吹出し手段の
各々の近傍に配され、前記回転ブレードの内周刃の軸方
向の位置を検出する一対の側方位置検出手段と、前記一
対の側方エア吹出し手段の中間に配されると共に、前記
回転ブレードで切断される結晶インゴットの切断送り方
向線上で結晶インゴットに対して切断方向に先行した位
置に配置され、前記回転ブレードにエアを吹き付けて前
記回転ブレードを軸方向に押し付ける中央エア吹出し手
段と、前記中央エア吹出し手段を前記結晶インゴットに
対して切断方向に先行した一定間隔を保って前記結晶イ
ンゴットの移動方向に追従して移動させ、所定位置まで
移動した前記中央エア吹出し手段を前記結晶インゴット
の側方側に逃がす移動手段と、前記一対の側方位置検出
手段からの信号に基づいて前記結晶インゴット両側方の
前記内周刃が軸方向の所望位置に位置するように前記一
対の側方エア吹出し手段から吹き出すエア圧を調整する
と共に、前記結晶インゴットの切断送り方向線上の前記
内周刃が軸方向の所望位置に位置するように前記中央エ
ア吹出し手段から吹き出すエア圧を調整するエア圧調整
手段と、を備えたことを特徴としている。本発明は、前
記目的を達成するために、ドーナツ状の回転ブレードの
内周刃で結晶インゴットを薄片状ウェーハに切断するス
ライシングマシンにおいて、前記結晶インゴットの両側
方に配されると共に前記回転ブレードにエアを吹き付け
て前記回転ブレードを軸方向に押し付ける一対の側方エ
ア吹出し手段と、該一対の側方エア吹出し手段の各々の
近傍に配され、前記回転ブレードの内周刃の軸方向の位
置を検出する一対の側方位置検出手段と、前記一対の側
方エア吹出し手段の中間に配されると共に、前記回転ブ
レードで切断される結晶インゴットの切断送り方向線上
で結晶インゴットに対して切断方向に先行した位置に配
置され、前記回転ブレードにエアを吹き付けて前記回転
ブレードを軸方向に押し付ける中央エア吹出し手段と、
前記中央エア吹出し手段を前記結晶インゴットに対して
切断方向に先行した一定間隔を保って前記結晶インゴッ
トの移動方向に追従して移動させ、所定位置まで移動し
た前記中央エア吹出し手段を前記結晶インゴットの側方
側に逃がす移動手段と、前記一対の側方検出手段の中間
位置に配されると共に、前記切断送り方向線上の前記回
転ブレードの内周刃に対し、切断された前記ウェーハを
挟んで対向する位置に配され、その位置における前記内
周刃の軸方向の位置を検出する中央位置検出手段と、前
記一対の側方位置検出手段からの信号に基づいて前記結
晶インゴット両側方の前記内周刃が軸方向の所望位置に
位置するように前記一対の側方エア吹出し手段から吹き
出すエア圧を調整すると共に、前記中央位置検出手段か
らの信号に基づいて前記結晶インゴットの切断送り方向
線上の前記内周刃が軸方向の所望位置に位置するように
前記中央エア吹出し手段から吹き出すエア圧を調整する
エア圧調整手段と、を備えたことを特徴としている。

【００１０】本発明に係るスライシングマシンによれ
ば、移動手段は、中央エア吹出し手段を結晶インゴット
と一定間隔をおいて結晶インゴットの移動方向に追従し
て移動する。これにより、結晶インゴットの切断中に、
中央エア吹出し手段から吹き出したエアを回転ブレード
に吹き付けることができる。そして、所定位置まで移動
した中央エア吹出し手段を結晶インゴットの側方側に逃
がすことにより、結晶インゴットと中央エア吹出し手段
との干渉を防止する。

【００１１】従って、結晶インゴットの切断中に、一対
の側方位置検出手段及び中央位置検出手段で回転ブレー
ドの軸方向の位置を検出して、回転ブレードが基準位置
からズレた場合、回転ブレードが基準位置に復帰するよ
うに、一対の側方エア吹出し手段、中央エア吹出し手段
から吹き出すエア圧をエア圧調整手段で調整する。この
場合、一対の側方エア吹出し手段、中央エア吹出し手段
から吹き出されたエアは回転ブレードに直接吹きかけら
れる。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るスライシングマシンの一実施例について詳説する。図
１、図２及び図３に示すように、本発明に係るスライシ
ングマシン１０は一対の側方エアパッド（側方エア吹出
し手段）１２、１２、一対の側方位置検出センサ（側方
位置検出手段）１４、１４、中央エアパッド（中央エア
吹出し手段）１６、第１移動手段１８、第２移動手段１
９、中央位置検出センサ（中央位置検出手段）２０、エ
ア圧調整手段２２および制御手段４２を備えている。

【００１３】図１に示すスライシングマシン１０のスピ
ンドル２６の上端部にはチャックボデイ２８が固着され
ており、スピンドル２６の下端部には図示しない駆動モ
ータが連結されている。これにより、この駆動モータの
駆動でチャックボデイ２８がスピンドル２６を介して回
転する。チャックボデイ２８にはドーナツ状の回転ブレ
ード３０の外周縁が張り上げられ、回転ブレード３０の
内周縁には内周刃３２が形成されている。内周刃３２は
微細なダイヤモンド砥粒などで構成されている。また、
回転ブレード３０は外周縁がチャックボデイ２８の公知
の増し張り機構（図示せず）によりその張力を調整す
る。

【００１４】ワーク支持台３４の下面には結晶インゴッ
ト３６の上端が固着されている。ワーク支持台３４は切
断送り機構３８により切断送り方向（Ｘ₁ −Ｘ₂ 方向）
に移動可能に支持され、さらにワーク支持台３４はワー
ク割出し機構４０によりワーク割出し方向（Ｚ−Ｚ方
向）に移動可能に支持されている。切断送り機構３８及
びワーク割出し機構４０は制御手段４２からの指令信号
に基づいて駆動する。

【００１５】図２に示すように、結晶インゴット３６の
両側方の回転ブレード３０の上方に、それぞれ側方エア
パッド１２、１２が配されている。側方エアパッド１
２、１２にそれぞれ近接した回転ブレード３０の上方に
非接触式の側方位置検出センサ１４、１４が配されてい
る。側方エアパッド１２、１２は、回転ブレード３０に
対向する吹出面からエアを吹き出し、吹き出したエアを
回転ブレード３０の表面に吹き付ける。このエアは後述
するエア圧調整手段２２から供給される。また、側方位
置検出センサ１４、１４は回転ブレード３０の内周刃３
２の軸方向の位置を検出し、検出した値は非接触式変位
計４１を介して制御手段４２に入力する。

【００１６】側方エアパッド１２、１２の中間の回転ブ
レード３０の下方には中央エアパッド１６が配され、中
央エアパッド１６は回転ブレード３０に対向する吹出面
からエアを吹き出し、吹き出したエアを回転ブレードの
裏面に吹き付ける。このエアは後述するエア圧力調整手
段２２から供給される。図５、図６に示すように、中央
エアパッド１６は第１移動手段１８に支持され、第１移
動手段１８は第２移動手段１９（図３、図４参照）に連
結されている。第２移動手段１９の支持ブロック４６は
送りテーブル４８（図３、図４参照）に固定されてい
る。送りテーブル４８は、図１に示した切断送り機構３
８の構成部材である。支持ブロック４６にはエアシリン
ダ４９を介して係合部５０が連結されている。支持ブロ
ック４６の貫通穴４６Ａ内にはロッド５２が摺動自在に
支持され、ロッド５２の左端部には係合部５０が固定さ
れている。また、支持ブロック４６にはロックシリンダ
５４が配設され、ロックシリンダ５４は伸長時にロッド
５４Ａの先端部がロッド５２を押圧してロック状態に維
持し、収縮時にロッド５４Ａの先端部がロッド５２から
退避してロック状態を解除する。

【００１７】係合部５０は略Ｌ字形に形成され、その下
端部５０Ａは第１移動手段１８のアーム５６に係合して
いる。すなわち、図５に示すようにアーム５６は略Ｌ字
形に形成され、一方の端部に形成された凹部５６Ａ内に
係合部５０の下端部５０Ａが係合されている。また、ア
ーム５６の他方の端部はスライダ５８の左端部の凹部内
に固定されている。スライダ５８はガイドレール５９
Ａ、５９Ａに沿って矢印Ｘ₁ −Ｘ₂ 方向に移動自在に支
持され、ガイドレール５９Ａ、５９Ａは支持板６１（図
６参照）に固定されている。

【００１８】また、スライダ５８の右端部には連結部材
６０が連結され、連結部材６０の端部には回転シリンダ
６２が配設され、回転シリンダ６２の回転軸６２Ａには
回転アーム６４が連結されている。回転アーム６４には
エアシリンダ６６が配設され、エアシリンダ６６のロッ
ド６６Ａには支持部材６８を介して中央エアパッド１６
が設けられている。

【００１９】従って、ロックシリンダ５４を伸長したロ
ッド５２のロック状態で、送りテーブル４８を矢印Ｘ₁
−Ｘ₂ 方向に移動するとロッド５２及びエアシリンダ４
９を介して係合部５０が矢印Ｘ₁ −Ｘ₂ 方向に移動す
る。これにより、係合部５０の下端部５０Ａが矢印Ｘ₁
−Ｘ₂ 方向に移動するので、図５に示すようにアーム５
６を介してスライダ５８がガイドレール５９Ａ、５９Ａ
に沿って矢印Ｘ₁ −Ｘ₂方向に移動する。

【００２０】このロッド５２に連結された係合部５０の
下端部５０Ａはアーム５６に連結されているので、ロッ
クシリンダ５４を収縮してロッド５２のロックを解除す
ると共にエアシリンダ４９をフリーの状態にして、送り
テーブル４８を矢印Ｘ₁ −Ｘ ₂ 方向に移動すると、係合
部５０が停止した状態になり、支持ブロック４６のみが
ロッド５２に沿ってＸ₁ −Ｘ₂ 方向に移動する。この場
合、エアシリンダ４９のエアシリンダ部が支持ブロック
４６に追従して移動する。

【００２１】また、中央エアパッド１６が、図５に示す
停止位置Ｐ₁ に位置決めされた状態で回転シリンダ６２
を反時計回り方向に９０°回動することにより中央エア
パッド１６をＰ₂ 位置まで円弧移動する。さらに、エア
シリンダ６６のロッド６６Ａを伸長すると中央エアパッ
ド１６が上昇して吹付け位置（図６参照）に位置決めさ
れ、エアシリンダ６６のロッド６６Ａを収縮すると中央
エアパッド１６が吹付け位置から待機位置まで下降す
る。

【００２２】図７、図８に示すように、中央位置検出セ
ンサ２０は取付け部材７０に取り付けられ、取付け部材
７０は板ばね７２を介してブロック７４に連結されてい
る。ブロック７４には調整ボルト７６がねじ結合され、
調整ボルト７６の先端部は取付け部材７０に当接されて
いる。従って、調整ボルト７６を回動することにより中
央位置検出センサ２０の位置を調整することができる。

【００２３】ブロック７４はロッド７８を介してアーム
８０に連結されている。図７に示すように、アーム８０
は、ガイドレール８２に沿って移動自在に支持されると
共に、エアシリンダ８４のロッド８４Ａに連結されてい
る。ガイドレール８２とエアシリンダ８４は平行に配さ
れ、かつ、ガイドレール８２及びエアシリンダ８４のシ
リンダ部８４Ｂは、第１移動手段１８のガイドレール５
９Ａ、５９Ａと同様に支持板６１（図６参照）に固定さ
れている。

【００２４】そして、エアシリンダ８４を作動してロッ
ド８４Ａを収縮すると中央位置検出センサ２０が結晶イ
ンゴット３６の中心線上の検出位置Ｐ₃ に位置する。ま
た、エアシリンダ８４を作動してロッド８４Ａを伸長す
ると中央位置検出センサ２０が結晶インゴット３６から
退避した退避位置Ｐ₄ に位置する。中央位置検出センサ
２０が退避位置Ｐ₄ に位置決めされた状態で、回収皿８
６を、図７に示す待機位置から図５に示す回収位置まで
回転軸８８を中心にして時計回り方向に回動し、また、
図５に示す回収位置から図７に示す待機位置まで回転軸
８８を中心にして反時計回り方向に回動する。これによ
り、回収皿８６の回動時の中央位置検出センサ２０と回
収皿８６との干渉を防止する。

【００２５】この中央位置検出センサ２０は、図８に示
すように、結晶インゴット３６の下方に位置し、回転ブ
レード３０の内周刃３２の軸方向の位置を検出する。そ
して、中央位置検出センサ２０で検出した値は非接触式
変位計４１を介して制御手段４２に入力する。前述した
エア圧調整手段２２は、制御手段４２から出力された信
号に基づいて結晶インゴット３６の両側方の回転ブレー
ド３０の内周刃３２が軸方向の所望位置に位置するよう
に一対の側方エアパッド１２、１２から吹き出すエア圧
を調整する。また、エア圧調整手段２２は、制御手段４
２から出力された信号に基づいて結晶インゴット３６の
中央の内周刃３２が軸方向の所望位置に位置するように
中央エアパッド１６から吹き出すエア圧を調整する。な
お、制御手段４２は、一対の側方位置検出センサ１４、
１４及び中央位置検出センサ２０が検出した回転ブレー
ド３０の内周刃３２の軸方向の位置に基づいてエア圧調
整手段２２にエア圧を調整する信号を出力する。

【００２６】前記の如く構成された前記実施例のスライ
シングマシンの作用を説明する。先ず、結晶インゴット
３６を薄片状のウェーハに切断する前の初期設定を行
う。すなわち、図５に示すように、中央位置検出センサ
２０を結晶インゴット３６から退避した退避位置Ｐ₄ に
配し、次に、中央エアパッド１６の第２移動手段１９の
エアシリンダ４９を収縮した状態で、中央エアパッド１
６を結晶インゴット３６の進行方向（右側）の中央の初
期位置Ｐ₀ に配する。次いで、結晶インゴット３６を初
期位置Ｉ₀ に配置する。これにより、初期設定が完了す
る。

【００２７】次に、中央位置検出センサ２０のエアシリ
ンダ８４を作動してロッド８４Ａを収縮し、中央位置検
出センサ２０を退避位置Ｐ₄ から、結晶インゴット３６
の中心線上の検出位置Ｐ₃ に移動する（矢印Ａ方向）。
次いで、中央エアパッド１６のエアシリンダ６６を作動
してロッド６６Ａを伸長することにより、中央エアパッ
ド１６を待機位置から吹付け位置（図６参照）に上昇す
る。

【００２８】続いて、結晶インゴット３６の割出し後、
送りテーブル４８を、図３、図４上で矢印Ｘ₁ 方向に移
動して結晶インゴット３６を初期位置Ｉ₀ から矢印Ｘ₁
方向に移動する。次に、一対の側方エアパッド１２、１
２からエアをそれぞれ吹き出して回転ブレード３０を、
図９に示すように下方に押し下げる。これにより、回転
ブレード３０の切断部の剛性を増加させる。

【００２９】そして、結晶インゴット３６の右端部と回
転ブレード３０の内周刃とが接触した時の回転ブレード
３０の軸方向の位置を中央位置検出センサ２０及び側方
位置検出センサ１４、１４で検出し、それぞれの検出値
を基準位置として制御手段４２に記憶する。次に、中央
エアパッド１６のロックシリンダ５４を伸長してロッド
５２をロック状態に維持し、中央エアパッド１６を送り
テーブル４８（すなわち、結晶インゴット３６）と共に
矢印Ｘ₁ 方向に移動する。

【００３０】結晶インゴット３６を回転ブレード３０の
内周刃３２と接触させてから、さらに矢印Ｘ₁ 方向に移
動することにより、結晶インゴット３６が内周刃３２で
切断される。この結晶インゴット３６の切断中に、中央
位置検出センサ２０及び側方位置検出センサ１４、１４
の検出値がそれぞれの基準位置の下方に位置した場合、
回転ブレード３０が基準位置まで上昇するように、制御
手段４２からエア圧調整手段２２に信号が出力されて、
中央エアパッド１６及び側方エアパッド１２、１２から
吹き出されるそれぞれのエア圧を調整する。

【００３１】また、中央位置検出センサ２０及び側方位
置検出センサ１４、１４の検出値がそれぞれの基準位置
の上方に位置した場合、回転ブレード３０が基準位置ま
で下降するように、制御手段４２からエア圧調整手段２
２に信号が出力されて、中央エアパッド１６及び側方エ
アパッド１２、１２から吹き出されるそれぞれのエア圧
を調整する。

【００３２】そして、結晶インゴット３６が一定量切断
された（中央エアパッド１６が停止位置Ｐ₁ まで移動し
た）後、ロックシリンダ５４を収縮してロッド５２のロ
ックを解除すると共にエアシリンダ４９をフリーの状態
にする。これにより、送りテーブル４８と中央エアパッ
ド１６との連結が切り離されて中央エアパッド１６が停
止位置Ｐ₁ に停止する。従って、中央エアパッド１６
と、回転ブレード３０の外周をロックするチャックボデ
イ２８との干渉が防止される。

【００３３】次に、中央エアパッド１６からのエアの吹
出しを停止して、中央エアパッド１６のエアシリンダ６
６を作動してロッド６６Ａを収縮することにより、中央
エアパッド１６を吹付け位置（図６参照）から待機位置
まで下降する。次いで、回転シリンダ６２を反時計回り
方向に９０°回動することにより、回転シリンダ６２を
中心にして中央エアパッド１６を停止位置Ｐ₁ から退避
位置Ｐ₂ まで円弧移動する。同時に、中央位置検出セン
サ２０のエアシリンダ８４を作動してロッド８４Ａを伸
長し、中央位置検出センサ２０を検出位置Ｐ₃ から、退
避位置Ｐ₄ まで移動する。

【００３４】次に、回収装置の回収皿８６が、図７に示
す待機位置から図５に示す回収位置まで回転軸８８を中
心にして時計回り方向に回動する。この状態で結晶イン
ゴット３６の切断を継続して切断完了後、回収皿８６に
ウェーハが回収され、回収皿８６が、図５に示す回収位
置から図７に示す待機位置まで回収皿８６の回転軸８８
を中心にして反時計回り方向に回動する。

【００３５】次に、回転シリンダ６２を時計回り方向に
９０°回動することにより、回転シリンダ６２の回転軸
６２Ａを中心にして中央エアパッド１６を退避位置Ｐ₂
から停止位置Ｐ₁ まで円弧移動する。次いで、中央エア
パッド１６の第２移動手段１９のエアシリンダ４９を収
縮状態から伸長して、中央エアパッド１６を初期位置Ｐ
₀ まで移動する。続いて、結晶インゴット３６を初期位
置Ｉ₀ に配置して初期設定状態に復帰する。

【００３６】以下、上述した工程を順次繰り返して結晶
インゴット３６から薄片状のウェーハを複数枚切断す
る。前記実施例では、結晶インゴット３６の切断前に一
対の側方エアパッド１２、１２からエアを吹き出して回
転ブレード３０を下方に押し下げ、切断部の剛性を増し
ブレード位置を制御する場合について説明したが、これ
に限らず、切断中の回転ブレード３０を切断部中央のみ
基準位置に位置決めするために中央エアパッド１６、中
央位置検出センサ２０を使用することも可能である。

【００３７】

【発明の効果】以上説明したように本発明に係るスライ
シングマシンによれば、移動手段は、中央エア吹出し手
段を結晶インゴットと一定間隔をおいて結晶インゴット
の移動方向に追従して移動する。これにより、結晶イン
ゴットの切断中に、中央エア吹出し手段から吹き出した
エアを回転ブレードに吹き付けることができる。そし
て、所定位置まで移動した中央エア吹出し手段を結晶イ
ンゴットの側方側に逃がすことにより、結晶インゴット
と中央エア吹出し手段との干渉を防止する。

【００３８】従って、結晶インゴットの切断中に、一対
の側方位置検出手段及び中央位置検出手段で回転ブレー
ドの軸方向の位置を検出して、回転ブレードが基準位置
からズレた場合、回転ブレードが基準位置に復帰するよ
うに、一対の側方エア吹出し手段、中央エア吹出し手段
から吹き出すエア圧をエア圧調整手段で調整する。この
場合、一対の側方エア吹出し手段、中央エア吹出し手段
から吹き出されたエアは回転ブレードに直接吹きかけら
れる。

【００３９】このように、結晶インゴットの切断中に、
結晶インゴットの両側方と中央とから回転ブレードに直
接エアを吹きかけて回転ブレードの軸方向の位置を調整
するので、回転ブレードの平坦度を高精度に制御して結
晶インゴットから切断された半導体ウェーハに反りが発
生することを防止する。また、完成時のウェーハ平坦度
を向上させる為に任意の反り形状に半導体ウェーハを切
断することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るスライシングマシンの全体を示し
た概略図

【図２】本発明に係るスライシングマシンを簡略に示し
た平面図

【図３】本発明に係るスライシングマシンの側面図

【図４】本発明に係るスライシングマシンの平面図

【図５】本発明に係るスライシングマシンの要部を拡大
して動作を説明した平面図

【図６】図５のＢ−Ｂ断面図

【図７】本発明に係るスライシングマシンの中央位置検
出センサ２０の動作を説明した平面図

【図８】図７のＣ−Ｃ矢視図

【図９】図１のＡ−Ａ断面図

【符号の説明】

１０…スライシングマシン １２…側方エアパッド（側方エア吹出し手段） １４…側方位置検出センサ（側方位置検出手段） １６…中央エアパッド（中央エア吹出し手段） １８…第１移動手段（移動手段） １９…第２移動手段（移動手段） ２０…中央位置検出センサ（中央位置検出手段） ２２…エア圧調整手段 ３０…回転ブレード ３２…内周刃 ３６…結晶インゴット

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 シゲヨシ ネツ マレーシア国、セランゴール ダルール エーサン、 ウル クラン フリー トレイド ゾーン ロロング エンガン グ 35、ロット２ エス．イー．エイ チ．マレーシア センディリアン バー ハド内 (72)発明者 ハウ ワン ライ マレーシア国、セランゴール ダルール エーサン、 ウル クラン フリー トレイド ゾーン ロロング エンガン グ 35、ロット２ エス．イー．エイ チ．マレーシア センディリアン バー ハド内 (72)発明者 沢藤 進 東京都三鷹市下連雀９丁目７番１号 株 式会社東京精密内 (72)発明者 久松 美樹雄 東京都三鷹市下連雀９丁目７番１号 株 式会社東京精密内 (72)発明者 高谷 淳 東京都三鷹市下連雀９丁目７番１号 株 式会社東京精密内 (56)参考文献 特開 平７−205139（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−2310（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B28D 5/02 B24B 27/06 H01L 21/304

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ドーナツ状の回転ブレードの内周刃で結
   晶インゴットを薄片状ウェーハに切断するスライシング
   マシンにおいて、 前記回転ブレードで切断される結晶インゴットの切断送
   り方向線上で結晶インゴットに対して切断方向に先行し
   た位置に配置され、前記回転ブレードにエアを吹き付け
   て前記回転ブレードを軸方向に押し付ける中央エア吹出
   し手段と、 前記中央エア吹出し手段を、前記結晶インゴットに対し
   て切断方向に先行した一定間隔を保って前記結晶インゴ
   ットの移動方向に追従して移動させ、所定位置まで移動
   した前記中央エア吹出し手段を前記結晶インゴットの側
   方側に逃がす移動手段と、前記切断送り方向線上の 前記回転ブレードの内周刃に対
   し、切断された前記ウェーハを挟んで対向する位置に配
   され、その位置における前記内周刃の軸方向の位置を検
   出する中央位置検出手段と、 前記中央位置検出手段からの信号に基づいて、該中央位
   置検出手段で検出した前記内周刃が軸方向の所望位置に
   位置するように前記中央エア吹出し手段から吹き出すエ
   ア圧を調整するエア圧調整手段と、 を備えたことを特徴とするスライシングマシン。
2. 【請求項２】 ドーナツ状の回転ブレードの内周刃で結
   晶インゴットを薄片状ウェーハに切断するスライシング
   マシンにおいて、 前記結晶インゴットの両側方に配されると共に前記回転
   ブレードにエアを吹き付けて前記回転ブレードを軸方向
   に押し付ける一対の側方エア吹出し手段と、 該一対の側方エア吹出し手段の各々の近傍に配され、前
   記回転ブレードの内周刃の軸方向の位置を検出する一対
   の側方位置検出手段と、 前記一対の側方エア吹出し手段の中間に配されると共
   に、前記回転ブレードで切断される結晶インゴットの切
   断送り方向線上で結晶インゴットに対して切断方向に先
   行した位置に配置され、前記回転ブレードにエアを吹き
   付けて前記回転ブレードを軸方向に押し付ける中央エア
   吹出し手段と、 前記中央エア吹出し手段を前記結晶インゴットに対して
   切断方向に先行した一定間隔を保って前記結晶インゴッ
   トの移動方向に追従して移動させ、所定位置まで移動し
   た前記中央エア吹出し手段を前記結晶インゴットの側方
   側に逃がす移動手段と、 前記一対の側方位置検出手段からの信号に基づいて前記
   結晶インゴット両側方の前記内周刃が軸方向の所望位置
   に位置するように前記一対の側方エア吹出し手段から吹
   き出すエア圧を調整すると共に、前記結晶インゴットの
   切断送り方向線上の前記内周刃が軸方向の所望位置に位
   置するように前記中央エア吹出し手段から吹き出すエア
   圧を調整するエア圧調整手段と、 を備えたことを特徴とするスライシングマシン。
3. 【請求項３】 ドーナツ状の回転ブレードの内周刃で結
   晶インゴットを薄片状ウェーハに切断するスライシング
   マシンにおいて、 前記結晶インゴットの両側方に配されると共に前記回転
   ブレードにエアを吹き付けて前記回転ブレードを軸方向
   に押し付ける一対の側方エア吹出し手段と、 該一対の側方エア吹出し手段の各々の近傍に配され、前
   記回転ブレードの内周刃の軸方向の位置を検出する一対
   の側方位置検出手段と、 前記一対の側方エア吹出し手段の中間に配されると共
   に、前記回転ブレードで切断される結晶インゴットの切
   断送り方向線上で結晶インゴットに対して切断方向に先
   行した位置に配置され、前記回転ブレードにエアを吹き
   付けて前記回転ブレードを軸方向に押し付ける中央エア
   吹出し手段と、 前記中央エア吹出し手段を前記結晶インゴットに対して
   切断方向に先行した一定間隔を保って前記結晶インゴッ
   トの移動方向に追従して移動させ、所定位置まで移動し
   た前記中央エア吹出し手段を前記結晶インゴットの側方
   側に逃がす移動手段と、 前記一対の側方検出手段の中間位置に配されると共に、
   前記切断送り方向線上の前記回転ブレードの内周刃に対
   し、切断された前記ウェーハを挟んで対向する位置に配
   され、その位置における前記内周刃の軸方向の位置を検
   出する中央位置検出手段と、 前記一対の側方位置検出手段からの信号に基づいて前記
   結晶インゴット両側方の前記内周刃が軸方向の所望位置
   に位置するように前記一対の側方エア吹出し手段から吹
   き出すエア圧を調整すると共に、前記中央位置検出手段
   からの信号に基づいて前記結晶インゴットの切断送り方
   向線上の前記内周刃が軸方向の所望位置に位置するよう
   に前記中央エア吹出し手段から吹き出すエア圧を調整す
   るエア圧調整手段と、 を備えたことを特徴とするスライシングマシン。