JP3170521B2 - 基板ベーク装置 - Google Patents

基板ベーク装置

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JP3170521B2
JP3170521B2 JP15808092A JP15808092A JP3170521B2 JP 3170521 B2 JP3170521 B2 JP 3170521B2 JP 15808092 A JP15808092 A JP 15808092A JP 15808092 A JP15808092 A JP 15808092A JP 3170521 B2 JP3170521 B2 JP 3170521B2
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plates
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祐司 野崎
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Oki Electric Industry Co Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はＩＣ製造における基板の
ベーク装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図３は従来の基板ベーク装置を示す概略
平面図である。この基板ベーク装置は、ローダ１から搬
出された基板（図示せず）が、第１ホットプレート２、
第２ホットプレート３、第３ホットプレート４、第１ク
ールプレート５、第２クールプレート６の順に、予め設
定した時間だけ滞在し、アンローダ７に収納される。
【０００３】なお、８ａ〜８ｄは断熱材である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記構
成の装置では、（Ａ）装置の長さが長くなり、場所をと
ること、（Ｂ）第３ホットプレートと第１クールプレー
トの温度差のため、たとえ、断熱材を基板間に入れて
も、各プレート表面の温度差により、基板が均一にベー
クまたは冷却することができないこと、などという問題
点があった。
【０００５】本発明は、以上述べた、装置が場所をとる
こと、基板が均一にベークまたは冷却されないという問
題点を除去するため、各ホットプレートおよび各クール
プレートを立体的に配置した優れた装置を提供すること
を目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明に係る基板ベーク
装置は、上下方向に所定間隔で配置された複数のクール
プレートと、複数のクールプレートより上方に、かつ、
上下方向に所定間隔で配置された複数のホットプレート
とを備えたものである。
【０００７】
【作用】本発明は、装置の場所をとらず、しかも基板を
均一にベークまたは冷却することができる。
【０００８】
【実施例】図１は本発明に係る基板ベーク装置の一実施
例を示す平面図であり、図２は図１の側面図である。
【０００９】図において、９はアーム１０を備え、左右
方向および上下方向に移動可能なリフターロボット、１
１はローダ１に対向して設けた第１バッファ、１２はア
ンローダ７に対向して設けた第２バッファ、１３はその
詳細を図２に示すベーク部である。
【００１０】なお、このベーク部１３（図２参照）にお
いて、１４，１５，１６および１７は、それぞれ下面に
断熱材１８が固定され、所定間隔で上下方向に配置され
た第１ホットプレート、第２ホットプレート、第３ホッ
トプレートおよび第１クールプレート、１９はこの第１
クールプレート１７の下方に所定の間隔をもって配置し
た第２クールプレートである。
【００１１】この構成による基板ベーク装置について説
明すると、まず、ローダ１から搬出された基板（図示せ
ず）は、第１バッファ１１へ搬送される。そして、位置
Ｌへ移動したリフターロボット９のアーム１０が、基板
（図示せず）をクランプする。そして、このリフターロ
ボット９は、そのアーム１０が基板（図示せず）をクラ
ンプした状態で、位置Ｃへ移動したのち、第１ホットプ
レート１４（図２参照）の位置まで上昇する。そして、
このアーム１０が伸びて、クランプを解除すると、基板
（図示せず）はこの第１ホットプレート１４上に載る。
【００１２】そして、指定時間が経過したのち、再びア
ーム１０が基板（図示せず）をクランプし、後退し、第
２ホットプレート１５の位置まで下降し、アーム１０が
前進し、クランプを解除すると、基板（図示せず）は第
２ホットプレート１５上に載る。
【００１３】そして、上述の動作を繰り返し、基板（図
示せず）が第２クールプレート１９に載り、指定時間が
経過すると、アーム１０が基板（図示せず）をクランプ
し、リフターロボット９は位置Ｒへ移動する。そして、
基板（図示せず）は、アーム１０により第２バッファ１
２へ搬送されたのち、アンローダ１２に収納される。
【００１４】なお、以上の実施例は、ホットプレートを
３個、クールプレートを２個配置した場合について説明
したが、これに限定せず、必要により所定数だけ配置す
ればよいことはもちろんである。
【００１５】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明に係
る基板ベーク装置によれば、所定数のホットプレートお
よびクールプレートを上下方向に、所定間隔をもって配
置したので、装置の設置スペースを狭くすることがで
き、しかも、各プレート間に断熱材があるため、基板を
均一にベークまたは冷却することができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る基板ベーク装置の一実施例を示す
平面図である。
【図２】図１の側面図である。
【図３】従来の基板ベーク装置を示す平面図である。
【符号の説明】
９ リフターロボット １０ アーム １１ 第１バッファ １２ 第２バッファ １３ ベーク部 １４ 第１ホットプレート １５ 第２ホットプレート １６ 第３ホットプレート １７ 第１クールプレート １８ 断熱材 １９ 第２クールプレート

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 上下方向に所定間隔で配置された複数の
    クールプレートと、 前記複数のクールプレートより上方に、かつ、上下方向
    に所定間隔で配置された複数のホットプレートとを備え
    た ことを特徴とする基板ベーク装置。
  2. 【請求項２】 前記各プレート間に断熱材を備えたこと
    を特徴とする請求項１記載の基板ベーク装置。
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JP3910791B2 (ja) * 2000-09-19 2007-04-25 東京エレクトロン株式会社 基板の熱処理方法及び基板の熱処理装置

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