JP3169227B2 - 探針移動装置 - Google Patents
探針移動装置Info
- Publication number
- JP3169227B2 JP3169227B2 JP02934991A JP2934991A JP3169227B2 JP 3169227 B2 JP3169227 B2 JP 3169227B2 JP 02934991 A JP02934991 A JP 02934991A JP 2934991 A JP2934991 A JP 2934991A JP 3169227 B2 JP3169227 B2 JP 3169227B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- sample
- fine
- sample surface
- tunnel current
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、探針と試料を接近させ
た際に観測される物理現象を利用する装置において、探
針と試料とを接近させる探針移動装置に関するものであ
る。
た際に観測される物理現象を利用する装置において、探
針と試料とを接近させる探針移動装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】近年、探針と試料とを接近させ、その際
に観測されるトンネル現象等の物理現象を利用して物質
表面及び表面近傍の電子構造を直接観察する走査型トン
ネル顕微鏡（以下ＳＴＭと云う）が開発され［G.Binnin
g et al.,Helvetica Physica Acta,55,726(1982)］、単
結晶、非晶質を問わず実空間像を高い分解能で測定でき
るようになっている。また、ＳＴＭは媒体に対して電流
による損傷を与えずに低電力で観測できる利点をも有
し、更には超高真空中のみならず大気中、溶液中でも動
作し種々の材料に対して用いることができ、学術的或い
は研究分野での広範囲な応用が期待されている。また、
産業分野においても例えば特開昭６３−１６１５５２号
公報、同１６１５５３号公報にも開示されているよう
に、原子或いは分子サイズの空間分解能を有する原理に
着目し、記録再生装置への応用、実用化が精力的に進め
られている。
に観測されるトンネル現象等の物理現象を利用して物質
表面及び表面近傍の電子構造を直接観察する走査型トン
ネル顕微鏡（以下ＳＴＭと云う）が開発され［G.Binnin
g et al.,Helvetica Physica Acta,55,726(1982)］、単
結晶、非晶質を問わず実空間像を高い分解能で測定でき
るようになっている。また、ＳＴＭは媒体に対して電流
による損傷を与えずに低電力で観測できる利点をも有
し、更には超高真空中のみならず大気中、溶液中でも動
作し種々の材料に対して用いることができ、学術的或い
は研究分野での広範囲な応用が期待されている。また、
産業分野においても例えば特開昭６３−１６１５５２号
公報、同１６１５５３号公報にも開示されているよう
に、原子或いは分子サイズの空間分解能を有する原理に
着目し、記録再生装置への応用、実用化が精力的に進め
られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
ＳＴＭ又は記録再生装置が正しく機能するためには、試
料と探針間にトンネル電流が流れる程度に、試料と探針
が充分に接近していることが必要である。このため、予
め試料・探針間をトンネル現象が観測される距離まで近
付ける探針接近機構が不可欠である。従来、接近機構と
して具体的にはステッピングモータ、インチワーム、或
いは積層圧電体が利用されてきたが（アプライド フィ
ジックス レター第４０巻（１９８２）第１７８頁第１
８０頁）、従来の接近手段では移動時に生ずる寄生振動
やクリープ現象によって探針の位置精度が得られず、接
近させる際に探針を試料に衝突させてしまう可能性が高
い。その結果、試料の損傷ばかりでなく、探針の先端が
潰れて曲率半径が増大し空間分解能の低下を惹き起こす
ことが問題となっている。
ＳＴＭ又は記録再生装置が正しく機能するためには、試
料と探針間にトンネル電流が流れる程度に、試料と探針
が充分に接近していることが必要である。このため、予
め試料・探針間をトンネル現象が観測される距離まで近
付ける探針接近機構が不可欠である。従来、接近機構と
して具体的にはステッピングモータ、インチワーム、或
いは積層圧電体が利用されてきたが（アプライド フィ
ジックス レター第４０巻（１９８２）第１７８頁第１
８０頁）、従来の接近手段では移動時に生ずる寄生振動
やクリープ現象によって探針の位置精度が得られず、接
近させる際に探針を試料に衝突させてしまう可能性が高
い。その結果、試料の損傷ばかりでなく、探針の先端が
潰れて曲率半径が増大し空間分解能の低下を惹き起こす
ことが問題となっている。
【０００４】本発明の目的は、前記の問題を解決し、Ｓ
ＴＭのみならずその応用装置、例えば情報を記録・再生
・消去又はこれらの２つ以上の組合わせから成る情報処
理装置に用いて好適な探針移動装置を提供することにあ
る。
ＴＭのみならずその応用装置、例えば情報を記録・再生
・消去又はこれらの２つ以上の組合わせから成る情報処
理装置に用いて好適な探針移動装置を提供することにあ
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めの本発明に係る探針移動装置は、試料面との距離に対
応する物理現象を検出するために用いる探針と試料面と
の間の距離を変位させる微移動手段と、該微移動手段と
試料面との間の距離を前記微移動手段の変位量よりも大
きく変化させる粗移動手段とを有する探針移動装置であ
って、前記微移動手段により前記探針を前記試料面に接
近させる第１動作と、前記物理現象を検出できない場合
に前記微移動手段により前記探針を前記試料面から退避
させる第２動作と、前記微移動手段による前記探針と前
記試料面との最接近距離を超えない範囲内で前記粗移動
手段により前記探針を前記試料面に接近させる第３動作
とを繰り返す制御手段とを備えたことを特徴とする。
めの本発明に係る探針移動装置は、試料面との距離に対
応する物理現象を検出するために用いる探針と試料面と
の間の距離を変位させる微移動手段と、該微移動手段と
試料面との間の距離を前記微移動手段の変位量よりも大
きく変化させる粗移動手段とを有する探針移動装置であ
って、前記微移動手段により前記探針を前記試料面に接
近させる第１動作と、前記物理現象を検出できない場合
に前記微移動手段により前記探針を前記試料面から退避
させる第２動作と、前記微移動手段による前記探針と前
記試料面との最接近距離を超えない範囲内で前記粗移動
手段により前記探針を前記試料面に接近させる第３動作
とを繰り返す制御手段とを備えたことを特徴とする。
【０００６】
【作用】上述の構成を有する探針移動装置は、第１、第
２動作と第３動作による探針の動作を交互に行い、探針
の目標距離への接近完了が第３動作による接近駆動時に
限定される。
２動作と第３動作による探針の動作を交互に行い、探針
の目標距離への接近完了が第３動作による接近駆動時に
限定される。
【０００７】
【実施例】本発明を図示の実施例に基づいて詳細に説明
する。
する。
【０００８】図１はＳＴＭのブロック回路構成図であ
り、トンネル電流を観測しながら試料Ｓに探針１を接近
させる場合を示している。この図１において、探針１は
例えば圧電アクチュエータを用いた微動部２に設けられ
ており、更にこの微動部２は例えばステッピングモータ
等を用いて広範囲を移動可能とされた粗動部３に取り付
けられている。そして、これらの微動部２、粗動部３は
シーケンス制御回路４によってその動作が制御されてい
る。また、試料Ｓと探針１との間にはバイアス回路５に
より弱いバイアス電圧が印加され、両者間を流れるトン
ネル電流がトンネル電流検出部６で測定される。
り、トンネル電流を観測しながら試料Ｓに探針１を接近
させる場合を示している。この図１において、探針１は
例えば圧電アクチュエータを用いた微動部２に設けられ
ており、更にこの微動部２は例えばステッピングモータ
等を用いて広範囲を移動可能とされた粗動部３に取り付
けられている。そして、これらの微動部２、粗動部３は
シーケンス制御回路４によってその動作が制御されてい
る。また、試料Ｓと探針１との間にはバイアス回路５に
より弱いバイアス電圧が印加され、両者間を流れるトン
ネル電流がトンネル電流検出部６で測定される。
【０００９】なお、微動部２は積層圧電体等により例え
ば最大０．２μｍ程度の範囲内で微動でき、一方で粗動
部３は例えば１０ｍｍ程度の可動範囲内を０．１μｍス
テップで粗動できるようにされており、微動部２、粗動
部３は共に制御回路４によって制御され、トンネル電流
検出部６によってトンネル電流が観測されるまで、以下
に説明するような動作によって探針１が試料Ｓに衝突す
ることなく接近する。なお、図２はこの際の微動部２、
粗動部３のそれぞれの移動量及び検出されるトンネル電
流のタイムチャート図である。
ば最大０．２μｍ程度の範囲内で微動でき、一方で粗動
部３は例えば１０ｍｍ程度の可動範囲内を０．１μｍス
テップで粗動できるようにされており、微動部２、粗動
部３は共に制御回路４によって制御され、トンネル電流
検出部６によってトンネル電流が観測されるまで、以下
に説明するような動作によって探針１が試料Ｓに衝突す
ることなく接近する。なお、図２はこの際の微動部２、
粗動部３のそれぞれの移動量及び検出されるトンネル電
流のタイムチャート図である。
【００１０】即ち、先ず探針１を試料Ｓから離してお
き、微動部２を最大距離０．２μｍまで伸ばしながらト
ンネル電流が流れるか否かを確かめる(a) 。トンネル現
象が現れず、トンネル電流が観測されない場合には微動
部２を直ちに縮める。次に、粗動部３を１ステップ動か
す(b) 。粗動部３の１ステップは０．１μｍであるか
ら、前回の微動部２の伸び０．２μｍによって調べた範
囲内に探針１は存在する。つまり、粗動によって探針１
が前回の微動時よりも試料Ｓに接近することはなく、こ
の粗動時にトンネル電流が流れ始めることはない。続い
て、再び微動部２を最大まで動かす過程でトンネル電流
が流れるか否かを調べる。トンネル現象が発生せず、ト
ンネル電流が観測されければ、微動部２を縮めて再び粗
動により探針１を更に１ステップだけ試料に近付ける
(c) 。以下、上述の手順を繰り返し、トンネル電流が観
測された時点(d) で接近工程は完了し、シーケンス制御
は終了となる。
き、微動部２を最大距離０．２μｍまで伸ばしながらト
ンネル電流が流れるか否かを確かめる(a) 。トンネル現
象が現れず、トンネル電流が観測されない場合には微動
部２を直ちに縮める。次に、粗動部３を１ステップ動か
す(b) 。粗動部３の１ステップは０．１μｍであるか
ら、前回の微動部２の伸び０．２μｍによって調べた範
囲内に探針１は存在する。つまり、粗動によって探針１
が前回の微動時よりも試料Ｓに接近することはなく、こ
の粗動時にトンネル電流が流れ始めることはない。続い
て、再び微動部２を最大まで動かす過程でトンネル電流
が流れるか否かを調べる。トンネル現象が発生せず、ト
ンネル電流が観測されければ、微動部２を縮めて再び粗
動により探針１を更に１ステップだけ試料に近付ける
(c) 。以下、上述の手順を繰り返し、トンネル電流が観
測された時点(d) で接近工程は完了し、シーケンス制御
は終了となる。
【００１１】図３は他の接近制御時のタイムチャート図
であり、粗動部３の駆動が積層圧電体の場合等のよう
に、ステップ式ではない場合に適用可能である。即ち、
微動部２の前進時には粗動部３を停止し、微動部２の後
退に合わせて、最大でも微動部２の後退速さ以下の速さ
で粗動部３を前進させる。この場合にも、粗動によって
探針１が前回の微動の範囲よりも試料Ｓに接近すること
はなく、粗動時にトンネル電流が流れ始めることはな
い。
であり、粗動部３の駆動が積層圧電体の場合等のよう
に、ステップ式ではない場合に適用可能である。即ち、
微動部２の前進時には粗動部３を停止し、微動部２の後
退に合わせて、最大でも微動部２の後退速さ以下の速さ
で粗動部３を前進させる。この場合にも、粗動によって
探針１が前回の微動の範囲よりも試料Ｓに接近すること
はなく、粗動時にトンネル電流が流れ始めることはな
い。
【００１２】以上何れの方式においても、トンネル電流
は必ず微動時に流れ始め、粗動部３を駆動した際に生ず
る問題点である寄生振動の影響を全く受けない。このた
め、従来の接近機構において接近させた場合に、接近完
了時に生ずるスパイク状のトンネル電流の異常増大が防
止でき、また探針１の先端と試料Ｓとの衝突による損傷
の発生確率を大きく減少できる。
は必ず微動時に流れ始め、粗動部３を駆動した際に生ず
る問題点である寄生振動の影響を全く受けない。このた
め、従来の接近機構において接近させた場合に、接近完
了時に生ずるスパイク状のトンネル電流の異常増大が防
止でき、また探針１の先端と試料Ｓとの衝突による損傷
の発生確率を大きく減少できる。
【００１３】次に、本発明者らが実際にＳＴＭに対して
用いた実施例について説明する。ＳＴＭは図１に示すよ
うな構成から成っている。バイアス回路５によって試料
Ｓと探針１との間に印加された一定電圧によって流れる
トンネル電流が一定となるように探針１をフィードバッ
ク制御によって試料面と垂直方向に上下させる。そし
て、同時に探針１を試料面に平行に移動し、そのときの
探針１の上下動を信号として読み出し、画像として出力
するシステムがＳＴＭである。その場合も、試料Ｓと探
針１との初めの接近時に両者の衝突が生じ、試料Ｓ又は
探針に損傷を起こすことが多い。そこで、本発明を用い
て探針１を試料Ｓから離し、再び接近させ観察するとい
う一連の実験を繰り返し行った。その結果、掃引時の衝
突による試料Ｓの損傷が引き起こすトンネル電流の乱れ
などがなくなり、空間分解能の高い像を再現性良く観察
することができ、衝突や接触の確率が減少したことが確
認された。
用いた実施例について説明する。ＳＴＭは図１に示すよ
うな構成から成っている。バイアス回路５によって試料
Ｓと探針１との間に印加された一定電圧によって流れる
トンネル電流が一定となるように探針１をフィードバッ
ク制御によって試料面と垂直方向に上下させる。そし
て、同時に探針１を試料面に平行に移動し、そのときの
探針１の上下動を信号として読み出し、画像として出力
するシステムがＳＴＭである。その場合も、試料Ｓと探
針１との初めの接近時に両者の衝突が生じ、試料Ｓ又は
探針に損傷を起こすことが多い。そこで、本発明を用い
て探針１を試料Ｓから離し、再び接近させ観察するとい
う一連の実験を繰り返し行った。その結果、掃引時の衝
突による試料Ｓの損傷が引き起こすトンネル電流の乱れ
などがなくなり、空間分解能の高い像を再現性良く観察
することができ、衝突や接触の確率が減少したことが確
認された。
【００１４】更に、本発明者らが本発明を情報処理装置
に対して用いた場合の実施例について説明する。先ず、
情報処理装置の基本的な動作を述べると、図１の構成を
用いて試料Ｓの代りに記録媒体を用い、先に述べたＳＴ
Ｍ動作に加え、バイアス回路５によって或る特定の電圧
信号をバイアス電圧に重畳することにより、そのときの
探針１の位置に対応する記録媒体面上に電気的な変化を
生じさせ、情報を書き込む。また、読み出しはＳＴＭ動
作によって得られる電流信号や探針１の上下動信号によ
って行い、消去はその同じ位置に所定の電圧信号を加え
ることによって、記録媒体面上の電気的な状態変化を元
に戻すことによって行う。具体的な実施例については、
特開昭６３−１６１５５２号公報及び同１６１５５３号
公報に開示されているように、金（Ａｕ）電極上に積層
されたポリイミドＬＢ膜（２層膜）から成る記録媒体を
図１の試料Ｓの代りに配置し、記録・再生及び消去を行
った。このような装置において、ＸＹ方向に探針１をト
ンネル電流が一定になるように走査しながら、バイアス
回路５によりバイアス電圧に波高値−６Ｖ及び＋１．５
Ｖの連続したパルス波を重畳した電圧を記録媒体・探針
１間に印加することで電気的な情報の書き込みを行い、
更に再びその記録された面を探針１によって走査し、ト
ンネル電流検出回路６によって得られるトンネル電流の
変化を用いたＳＴＭ像から記録情報の読み出しを行っ
た。その結果、上記の操作を繰り返し行っても記録情報
と再生情報が再現性良く一致することを確認できた。こ
のことから、上記の操作を繰り返し行う際にも、記録媒
体を破壊することなく探針１を記録面に接近させること
ができたことが判かる。また、走査の途中で、記録媒体
上の記録を行った領域に探針１が接近した時点でバイア
ス回路５によって、記録媒体と探針１との間に波高値３
Ｖのパルス電圧をバイアス電圧に重畳する操作を行った
ところ、再生されるＳＴＭ像から記録された情報が消去
されたことを確認した。この際にも本発明の接近機構に
よって探針１と記録媒体との衝突を効果的に防止できた
ことは勿論である。
に対して用いた場合の実施例について説明する。先ず、
情報処理装置の基本的な動作を述べると、図１の構成を
用いて試料Ｓの代りに記録媒体を用い、先に述べたＳＴ
Ｍ動作に加え、バイアス回路５によって或る特定の電圧
信号をバイアス電圧に重畳することにより、そのときの
探針１の位置に対応する記録媒体面上に電気的な変化を
生じさせ、情報を書き込む。また、読み出しはＳＴＭ動
作によって得られる電流信号や探針１の上下動信号によ
って行い、消去はその同じ位置に所定の電圧信号を加え
ることによって、記録媒体面上の電気的な状態変化を元
に戻すことによって行う。具体的な実施例については、
特開昭６３−１６１５５２号公報及び同１６１５５３号
公報に開示されているように、金（Ａｕ）電極上に積層
されたポリイミドＬＢ膜（２層膜）から成る記録媒体を
図１の試料Ｓの代りに配置し、記録・再生及び消去を行
った。このような装置において、ＸＹ方向に探針１をト
ンネル電流が一定になるように走査しながら、バイアス
回路５によりバイアス電圧に波高値−６Ｖ及び＋１．５
Ｖの連続したパルス波を重畳した電圧を記録媒体・探針
１間に印加することで電気的な情報の書き込みを行い、
更に再びその記録された面を探針１によって走査し、ト
ンネル電流検出回路６によって得られるトンネル電流の
変化を用いたＳＴＭ像から記録情報の読み出しを行っ
た。その結果、上記の操作を繰り返し行っても記録情報
と再生情報が再現性良く一致することを確認できた。こ
のことから、上記の操作を繰り返し行う際にも、記録媒
体を破壊することなく探針１を記録面に接近させること
ができたことが判かる。また、走査の途中で、記録媒体
上の記録を行った領域に探針１が接近した時点でバイア
ス回路５によって、記録媒体と探針１との間に波高値３
Ｖのパルス電圧をバイアス電圧に重畳する操作を行った
ところ、再生されるＳＴＭ像から記録された情報が消去
されたことを確認した。この際にも本発明の接近機構に
よって探針１と記録媒体との衝突を効果的に防止できた
ことは勿論である。
【００１５】本発明者らの実験によれば、記録情報と再
生情報が再現性良く一致し、記録・再生の走査を繰り返
し行っても記録媒体を破壊することなく、探針１を記録
媒体面に接近できることを確認した。また、記録媒体上
の記録を行った領域に探針１が接近した時点で、波高値
３Ｖのパルス電圧をバイアス電圧に重畳する走査を行っ
たところ、再生される読み出し信号から記録した情報が
消去されたことが確認された。
生情報が再現性良く一致し、記録・再生の走査を繰り返
し行っても記録媒体を破壊することなく、探針１を記録
媒体面に接近できることを確認した。また、記録媒体上
の記録を行った領域に探針１が接近した時点で、波高値
３Ｖのパルス電圧をバイアス電圧に重畳する走査を行っ
たところ、再生される読み出し信号から記録した情報が
消去されたことが確認された。
【００１６】なお、本発明において、微動部２、粗動部
３の構成及び移動量は前記のものに限定されるものでは
ない。例えば、ＤＣサーボモータ、インチワーム等を用
いても容易に適用が可能であり、同様に利用できる。
３の構成及び移動量は前記のものに限定されるものでは
ない。例えば、ＤＣサーボモータ、インチワーム等を用
いても容易に適用が可能であり、同様に利用できる。
【００１７】また、本実施例では物理情報としてトンネ
ル電流を測定するＳＴＭと、情報処理装置に適用した場
合について述べたが、それ以外にも原子間力、容量、磁
束や磁力等を観測する測定装置等において同様に適用で
きる。
ル電流を測定するＳＴＭと、情報処理装置に適用した場
合について述べたが、それ以外にも原子間力、容量、磁
束や磁力等を観測する測定装置等において同様に適用で
きる。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る探針移
動装置は、探針を試料に衝突させることなく接近させる
ことができるので、探針先端の形状を鋭く保ったままで
使用でき、より空間分解能の高い観測が可能となる。ま
た、探針が損傷を受けないので探針の交換を不要とし、
ＳＴＭや情報記録装置においてシステムの簡便化、小型
化が図れる利点がある。
動装置は、探針を試料に衝突させることなく接近させる
ことができるので、探針先端の形状を鋭く保ったままで
使用でき、より空間分解能の高い観測が可能となる。ま
た、探針が損傷を受けないので探針の交換を不要とし、
ＳＴＭや情報記録装置においてシステムの簡便化、小型
化が図れる利点がある。
【図１】ブロック回路構成図である。
【図２】動作を説明するためのタイムチャート図であ
る。
る。
【図３】他の実施例の動作を説明するためのタイムチャ
ート図である。
ート図である。
１ 探針 ２ 微動部 ３ 粗動部 ４ シーケンス制御回路 ５ バイアス回路 ６ トンネル電流検出回路 Ｓ 試料
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小口 高弘 東京都大田区下丸子三丁目30番２号 キ ヤノン株式会社内 (56)参考文献 特開 平２−203204（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−15601（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−252904（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−64401（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−132303（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−289502（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 13/10 - 13/24 G01B 7/34 H01J 37/28 ＪＩＣＳＴファイル（ＪＯＩＳ)
Claims (1)
- 【請求項１】 試料面との距離に対応する物理現象を検
出するために用いる探針と試料面との間の距離を変位さ
せる微移動手段と、該微移動手段と試料面との間の距離
を前記微移動手段の変位量よりも大きく変化させる粗移
動手段とを有する探針移動装置であって、前記微移動手
段により前記探針を前記試料面に接近させる第１動作
と、前記物理現象を検出できない場合に前記微移動手段
により前記探針を前記試料面から退避させる第２動作
と、前記微移動手段による前記探針と前記試料面との最
接近距離を超えない範囲内で前記粗移動手段により前記
探針を前記試料面に接近させる第３動作とを繰り返す制
御手段とを備えたことを特徴とする探針移動装置。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02934991A JP3169227B2 (ja) | 1991-01-29 | 1991-01-29 | 探針移動装置 |
| CA002059990A CA2059990C (en) | 1991-01-29 | 1992-01-24 | Moving apparatus, a moving method and an information detection and/or input apparatus using the same |
| EP92101379A EP0497288B1 (en) | 1991-01-29 | 1992-01-28 | Probe scanning system |
| DE69225724T DE69225724T2 (de) | 1991-01-29 | 1992-01-28 | Steuersystem für Abtastsonde |
| AT92101379T ATE166972T1 (de) | 1991-01-29 | 1992-01-28 | Steuersystem für abtastsonde |
| US08/328,391 US5414690A (en) | 1991-01-29 | 1994-10-24 | Moving apparatus, a moving method and an information detection and/or input apparatus using the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02934991A JP3169227B2 (ja) | 1991-01-29 | 1991-01-29 | 探針移動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04252903A JPH04252903A (ja) | 1992-09-08 |
| JP3169227B2 true JP3169227B2 (ja) | 2001-05-21 |
Family
ID=12273745
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP02934991A Expired - Fee Related JP3169227B2 (ja) | 1991-01-29 | 1991-01-29 | 探針移動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3169227B2 (ja) |
-
1991
- 1991-01-29 JP JP02934991A patent/JP3169227B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04252903A (ja) | 1992-09-08 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0497288B1 (en) | Probe scanning system | |
| EP0513790B1 (en) | Information processing apparatus | |
| JP3450349B2 (ja) | カンチレバー型プローブ | |
| US5144581A (en) | Apparatus including atomic probes utilizing tunnel current to read, write and erase data | |
| JP2961452B2 (ja) | 情報処理装置 | |
| JP2802828B2 (ja) | 情報記録担体及びこれを使用する情報処理装置 | |
| JP3029916B2 (ja) | 情報処理装置 | |
| US5202879A (en) | Information recording medium, and information recording and/or reproducing method and apparatus | |
| JP3169227B2 (ja) | 探針移動装置 | |
| JP2851855B2 (ja) | 記録再生装置 | |
| JPH04252904A (ja) | 探針移動装置 | |
| JP3015978B2 (ja) | 情報処理装置 | |
| JPH04355231A (ja) | トラッキング方法 | |
| JP2939006B2 (ja) | 傾斜測定機構 | |
| JP2821511B2 (ja) | 傾き調整方法 | |
| JP3053971B2 (ja) | トンネル電流発生用三次元変位素子、該トンネル電流発生用三次元変位素子を用いたマルチ探針ユニット、および情報処理装置 | |
| JP3103217B2 (ja) | 走査型プローブ顕微鏡及びそれを用いて試料を観察する方法 | |
| JP3217493B2 (ja) | 情報記録再生装置 | |
| JP2946132B2 (ja) | 情報処理装置及び情報処理用カセット | |
| JP2983693B2 (ja) | 情報処理方法及び情報処理装置 | |
| JP2962603B2 (ja) | 情報記録方法 | |
| JPH10112082A (ja) | 情報記録再生装置、および情報記録再生方法 | |
| JPH04223203A (ja) | カンチレバー型プローブ、これを用いた情報処理装置及び情報処理方法 | |
| JPH05307778A (ja) | 記録再生装置 | |
| JP3234952B2 (ja) | プローブユニット及びこれを用いた走査型トンネル顕微鏡、情報処理装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080316 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090316 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100316 Year of fee payment: 9 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |