JP3167044B2 - 直流リニアモータ及びこれを具備した直動ユニット - Google Patents
直流リニアモータ及びこれを具備した直動ユニットInfo
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- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
- F16C29/04—Ball or roller bearings
- F16C29/06—Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load
- F16C29/0633—Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load with a bearing body defining a U-shaped carriage, i.e. surrounding a guide rail or track on three sides
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- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
- H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
- H02K41/03—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors
- H02K41/031—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors of the permanent magnet type
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば工作機械や産業
用ロボットなどの直線運動機構部において、移動させる
べき物体を高精度に移動させるために多用される直流リ
ニアモータと、該直流リニアモータに物体案内用の案内
手段を付加した直動ユニットとに関する。
用ロボットなどの直線運動機構部において、移動させる
べき物体を高精度に移動させるために多用される直流リ
ニアモータと、該直流リニアモータに物体案内用の案内
手段を付加した直動ユニットとに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の直流リニアモータ及び直
動ユニットとして、図５に示す可動マグネット型のもの
があった。なお、この従来技術については、例えば実公
昭６３−３４４６８号公報において開示されている。
動ユニットとして、図５に示す可動マグネット型のもの
があった。なお、この従来技術については、例えば実公
昭６３−３４４６８号公報において開示されている。
【０００３】図５に示すように、当該直流リニアモータ
は、長尺のガイドレール３０上に該ガイドレールの略全
長（紙面に対して垂直な方向が長さ方向）に亘って延在
すべく設けられたコイルヨーク３１と、該コイルヨーク
３１に所定の形態を以て巻装された電機子コイル群３２
とからなる一次側を有している。これに対し、二次側に
ついては、移動すべき方向、すなわちガイドレール３０
の長さ方向に沿ってＮ及びＳの複数の磁極が交互に並ぶ
ように着磁された界磁マグネット３４と、該界磁マグネ
ット３４の背面側に添設されたマグネットヨーク３５と
を有している。これら一次側及び二次側は、その各々が
具備する電機子コイル群３２と界磁マグネット３４とが
互いに対向するように配置され、相対的な移動が自在と
なっている。詳しくは、界磁マグネット３４に固着され
たマグネットヨーク３５の両側部に一対のローラ３６ａ
及び３６ｂが設けられ、該各ローラがガイドレール３０
上を転動するようになされている。これらローラ３６
ａ、３６ｂと、ガイドレール３０とによって、上記一次
側及び二次側の相互の案内をなす案内手段が構成されて
いる。
は、長尺のガイドレール３０上に該ガイドレールの略全
長（紙面に対して垂直な方向が長さ方向）に亘って延在
すべく設けられたコイルヨーク３１と、該コイルヨーク
３１に所定の形態を以て巻装された電機子コイル群３２
とからなる一次側を有している。これに対し、二次側に
ついては、移動すべき方向、すなわちガイドレール３０
の長さ方向に沿ってＮ及びＳの複数の磁極が交互に並ぶ
ように着磁された界磁マグネット３４と、該界磁マグネ
ット３４の背面側に添設されたマグネットヨーク３５と
を有している。これら一次側及び二次側は、その各々が
具備する電機子コイル群３２と界磁マグネット３４とが
互いに対向するように配置され、相対的な移動が自在と
なっている。詳しくは、界磁マグネット３４に固着され
たマグネットヨーク３５の両側部に一対のローラ３６ａ
及び３６ｂが設けられ、該各ローラがガイドレール３０
上を転動するようになされている。これらローラ３６
ａ、３６ｂと、ガイドレール３０とによって、上記一次
側及び二次側の相互の案内をなす案内手段が構成されて
いる。
【０００４】コイルヨーク３１の下面側にはプリント基
板３７が取り付けられている。このプリント基板３７の
下面側には、制御回路を構成するＩＣやトランジスタな
どの電子部品群３８が取り付けられている。また、プリ
ント基板３７の上面側には、上述した一次側及び二次側
の相対的位置を検知するためのホール素子等から成る磁
電変換素子３９が配設されている。この磁電変換素子３
９は、上記一次側及び二次側の相対移動方向において所
定ピッチを以て多数並設されており、コイルヨーク３１
に形成された開口部３１ａを通じて界磁マグネット３４
と対向している。
板３７が取り付けられている。このプリント基板３７の
下面側には、制御回路を構成するＩＣやトランジスタな
どの電子部品群３８が取り付けられている。また、プリ
ント基板３７の上面側には、上述した一次側及び二次側
の相対的位置を検知するためのホール素子等から成る磁
電変換素子３９が配設されている。この磁電変換素子３
９は、上記一次側及び二次側の相対移動方向において所
定ピッチを以て多数並設されており、コイルヨーク３１
に形成された開口部３１ａを通じて界磁マグネット３４
と対向している。
【０００５】上記した構成の直流リニアモータを含む直
動ユニットにおいては、電機子コイル３２に所定の電流
を供給することにより、一次側及び二次側の両者間にフ
レミングの左手の法則による推力が生じ、例えば一次側
を固定側とすれば、この推力によって二次側が移動す
る。
動ユニットにおいては、電機子コイル３２に所定の電流
を供給することにより、一次側及び二次側の両者間にフ
レミングの左手の法則による推力が生じ、例えば一次側
を固定側とすれば、この推力によって二次側が移動す
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記した従来の直流リ
ニアモータ及び直動ユニットにおいては、電子部品群３
８を含む制御回路や磁電変換素子３９等を搭載したプリ
ント基板３７と、一次側の構成部材であるコイルヨーク
３１とが占めるスペースが比較的大きいという欠点があ
り、該モータ及びユニット全体としての小型化、特に薄
型化を図る上で解決されるべき問題となっている。ま
た、部品点数が多く、コストの増大を招来している。
ニアモータ及び直動ユニットにおいては、電子部品群３
８を含む制御回路や磁電変換素子３９等を搭載したプリ
ント基板３７と、一次側の構成部材であるコイルヨーク
３１とが占めるスペースが比較的大きいという欠点があ
り、該モータ及びユニット全体としての小型化、特に薄
型化を図る上で解決されるべき問題となっている。ま
た、部品点数が多く、コストの増大を招来している。
【０００７】更に、プリント基板３７が断熱性を有する
ことから、該プリント基板上に設けられたＩＣ及びトラ
ンジスタなどより発せられる熱が籠り易く、この熱によ
って制御回路が悪影響を受ける懸念がある。
ことから、該プリント基板上に設けられたＩＣ及びトラ
ンジスタなどより発せられる熱が籠り易く、この熱によ
って制御回路が悪影響を受ける懸念がある。
【０００８】そこで、本発明は、上記従来技術の欠点に
鑑みてなされたものであって、薄型にしてコストが安
く、しかも、発熱性電子部品からの熱を効果的に放熱す
ることができる直流リニアモータ及び直動ユニットを提
供することを目的とする。
鑑みてなされたものであって、薄型にしてコストが安
く、しかも、発熱性電子部品からの熱を効果的に放熱す
ることができる直流リニアモータ及び直動ユニットを提
供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、左右両側部に
軌道が形成され長手状でなる軌道台と、該軌道台の略全
長に亘って延在して設けられた矩形板状のコイルヨーク
と、該コイルヨーク上にあって長手方向に沿って一列に
並べられた多数の電機子コイルと前記各電機子コイル毎
に配置され相対位置を検知するための磁電変換素子とが
固設された基板とを含む一次側と、前記軌道台の前記軌
道に沿って複数の転動体を回転自在に当接可能に保持し
て案内される摺動台と、移動すべき前記長手方向に沿っ
てＮ及びＳの磁極が交互に着磁された界磁マグネットと
を含む二次側とでなり、前記電機子コイルと前記界磁マ
グネットとが互いに対向して配置され、前記電機子コイ
ルに電流を供給することにより前記一次側及び前記二次
側の相対移動がなされ、及び前記相対移動を案内手段で
ある前記軌道台と前記摺動台とで案内する直流リニアモ
ータ及びこれを具備した直動ユニットであって、前記コ
イルヨークは、前記長手方向に沿って下面表面にエッチ
ング等により直接に配線が施され、且つ前記下面表面に
前記各電機子コイル及び前記各磁電変換素子の制御回路
を構成する電子部品が前記配線に電気的に接続して配設
されて回路基板を兼用してなるものである。
軌道が形成され長手状でなる軌道台と、該軌道台の略全
長に亘って延在して設けられた矩形板状のコイルヨーク
と、該コイルヨーク上にあって長手方向に沿って一列に
並べられた多数の電機子コイルと前記各電機子コイル毎
に配置され相対位置を検知するための磁電変換素子とが
固設された基板とを含む一次側と、前記軌道台の前記軌
道に沿って複数の転動体を回転自在に当接可能に保持し
て案内される摺動台と、移動すべき前記長手方向に沿っ
てＮ及びＳの磁極が交互に着磁された界磁マグネットと
を含む二次側とでなり、前記電機子コイルと前記界磁マ
グネットとが互いに対向して配置され、前記電機子コイ
ルに電流を供給することにより前記一次側及び前記二次
側の相対移動がなされ、及び前記相対移動を案内手段で
ある前記軌道台と前記摺動台とで案内する直流リニアモ
ータ及びこれを具備した直動ユニットであって、前記コ
イルヨークは、前記長手方向に沿って下面表面にエッチ
ング等により直接に配線が施され、且つ前記下面表面に
前記各電機子コイル及び前記各磁電変換素子の制御回路
を構成する電子部品が前記配線に電気的に接続して配設
されて回路基板を兼用してなるものである。
【００１０】
【実施例】次に、本発明に係る直流リニアモータ及び該
モータを含む直動ユニットの実施例について添付図面を
参照しつつ説明する。なお、この直流リニアモータは可
動マグネット型のものである。
モータを含む直動ユニットの実施例について添付図面を
参照しつつ説明する。なお、この直流リニアモータは可
動マグネット型のものである。
【００１１】本発明に係る直流リニアモータは、一次側
及び二次側から成り、本実施例においてはこの一次側を
給電側にしてしかも固定側とし、二次側を可動側として
説明する。
及び二次側から成り、本実施例においてはこの一次側を
給電側にしてしかも固定側とし、二次側を可動側として
説明する。
【００１２】以下、まず、これら一次側及び二次側の相
互の案内をなす案内手段から説明する。
互の案内をなす案内手段から説明する。
【００１３】図１乃至図３に示すように、この案内手段
は、その伸長方向に対して垂直な断面の形状が上方に開
放した略コの字状であるように形成された長手状でなる
軌道台１と、転動体循環路２（参照符号は図２及び図３
に示す：詳細は後述する）を有し、該軌道台１に対して
相対運動可能な摺動台としてのスライドユニット３とを
有している。軌道台１の左右の外側部には、断面が略円
弧状の軌道としての軌道溝１ａが１条ずつ、軸方向に沿
って形成されている。但し、この軌道溝１ａの数は必ず
しも２条に限定するものではない。上記の転動体循環路
２はこれら軌道溝１ａの各々に対応すべく、２条設けら
れている。そして、該転動体循環路２内には、スライド
ユニット３の移動に伴ってこの軌道溝１ａ上を転動しつ
つ循環して軌道台１及びスライドユニット３の間で荷重
を負荷する転動体としての多数のボール４が配列収容さ
れている。
は、その伸長方向に対して垂直な断面の形状が上方に開
放した略コの字状であるように形成された長手状でなる
軌道台１と、転動体循環路２（参照符号は図２及び図３
に示す：詳細は後述する）を有し、該軌道台１に対して
相対運動可能な摺動台としてのスライドユニット３とを
有している。軌道台１の左右の外側部には、断面が略円
弧状の軌道としての軌道溝１ａが１条ずつ、軸方向に沿
って形成されている。但し、この軌道溝１ａの数は必ず
しも２条に限定するものではない。上記の転動体循環路
２はこれら軌道溝１ａの各々に対応すべく、２条設けら
れている。そして、該転動体循環路２内には、スライド
ユニット３の移動に伴ってこの軌道溝１ａ上を転動しつ
つ循環して軌道台１及びスライドユニット３の間で荷重
を負荷する転動体としての多数のボール４が配列収容さ
れている。
【００１４】このスライドユニット３は、軌道台１上に
跨架したケーシング６と、該ケーシング６の両端部に結
合された一対のエンドキャップ７ａ及び７ｂと、該エン
ドキャップ７ａ及び７ｂ各々の外面に取り付けられた２
枚のシール８ａ及び８ｂとを有している。なお、エンド
キャップ７ａには、上記のボール４にグリースを供給す
るためのグリースニップル９が取り付けられている。図
２及び図３に示すように、各転動体循環路２は、ケーシ
ング６の左右両側部に夫々直線的にかつ互いに平行に形
成された負荷軌道溝２ａ及びリターン路２ｂと、両エン
ドキャップ７ａ、７ｂに形成されて該負荷軌道溝２ａ及
びリターン路２ｂをこれらの両端部にて連通させる一対
の略半円状の方向転換路２ｃ及び２ｄとから成る。な
お、上記負荷軌道溝２ａが軌道台１の軌道溝１ａと対向
している。
跨架したケーシング６と、該ケーシング６の両端部に結
合された一対のエンドキャップ７ａ及び７ｂと、該エン
ドキャップ７ａ及び７ｂ各々の外面に取り付けられた２
枚のシール８ａ及び８ｂとを有している。なお、エンド
キャップ７ａには、上記のボール４にグリースを供給す
るためのグリースニップル９が取り付けられている。図
２及び図３に示すように、各転動体循環路２は、ケーシ
ング６の左右両側部に夫々直線的にかつ互いに平行に形
成された負荷軌道溝２ａ及びリターン路２ｂと、両エン
ドキャップ７ａ、７ｂに形成されて該負荷軌道溝２ａ及
びリターン路２ｂをこれらの両端部にて連通させる一対
の略半円状の方向転換路２ｃ及び２ｄとから成る。な
お、上記負荷軌道溝２ａが軌道台１の軌道溝１ａと対向
している。
【００１５】上記構成の案内手段は、例えば、図２及び
図３に示す工作機械（全体としては図示しない）が装備
する平坦なベッド１２上に配置され、軌道台１が該ベッ
ド１２に対して複数本のボルト（六角穴つき）１３によ
って締結される。このため、軌道台１は、これをベッド
１２に固定するための平坦な取付面１ｂを底部に有して
いる。なお、図２及び図３に示すように、軌道台１の底
部には、該ボルト１３の頭部よりも大きな径の座グリ部
１ｃと、ボルト１３のねじ部よりも僅かに大径の挿通孔
１ｄとが同心的に形成されており、ボルト１３は、該座
グリ部１ｃ及び挿通孔１ｄにその全体が埋没するように
挿入されてベッド１２に螺合されている。また、図１に
示すように、スライドユニット３のケーシング６の上面
側には、複数のねじ孔６ａが形成されており、被加工物
等を担持するテーブル（図示せず）が、これらのねじ孔
６ａに螺合するボルト（六角穴付き：図示せず）によっ
て該ケーシング６に締結される。
図３に示す工作機械（全体としては図示しない）が装備
する平坦なベッド１２上に配置され、軌道台１が該ベッ
ド１２に対して複数本のボルト（六角穴つき）１３によ
って締結される。このため、軌道台１は、これをベッド
１２に固定するための平坦な取付面１ｂを底部に有して
いる。なお、図２及び図３に示すように、軌道台１の底
部には、該ボルト１３の頭部よりも大きな径の座グリ部
１ｃと、ボルト１３のねじ部よりも僅かに大径の挿通孔
１ｄとが同心的に形成されており、ボルト１３は、該座
グリ部１ｃ及び挿通孔１ｄにその全体が埋没するように
挿入されてベッド１２に螺合されている。また、図１に
示すように、スライドユニット３のケーシング６の上面
側には、複数のねじ孔６ａが形成されており、被加工物
等を担持するテーブル（図示せず）が、これらのねじ孔
６ａに螺合するボルト（六角穴付き：図示せず）によっ
て該ケーシング６に締結される。
【００１６】次いで、上述した構成の案内手段によって
相互の案内がなされる直流リニアモータの一次側及び二
次側について詳述する。
相互の案内がなされる直流リニアモータの一次側及び二
次側について詳述する。
【００１７】図１及び図３に示すように、該一次側は、
軌道台１上に該軌道台の略全長に亘って延在するように
設けられた矩形板状のコイルヨーク１５と、該コイルヨ
ーク１５上にあって長手方向に沿って一列に並べて配設
された多数の電機子コイル１６とを有している。なお、
コイルヨーク１５は断面形状が上方が開放するコの字状
に形成された軌道台１の底部近傍に配置されている。詳
しくは、軌道台１にはその底部近傍に２条の支持段部１
ｅが形成されており、コイルヨーク１５はこれら支持段
部１ｅにより支持され、且つ、該各支持段部に対して接
着剤若しくは小ねじ等を以て固定されている。また、図
示のように、各電機子コイル１６は夫々、略矩形状に巻
回されている。
軌道台１上に該軌道台の略全長に亘って延在するように
設けられた矩形板状のコイルヨーク１５と、該コイルヨ
ーク１５上にあって長手方向に沿って一列に並べて配設
された多数の電機子コイル１６とを有している。なお、
コイルヨーク１５は断面形状が上方が開放するコの字状
に形成された軌道台１の底部近傍に配置されている。詳
しくは、軌道台１にはその底部近傍に２条の支持段部１
ｅが形成されており、コイルヨーク１５はこれら支持段
部１ｅにより支持され、且つ、該各支持段部に対して接
着剤若しくは小ねじ等を以て固定されている。また、図
示のように、各電機子コイル１６は夫々、略矩形状に巻
回されている。
【００１８】図３に示すように、コイルヨーク１５の下
面表面には、各電機子コイル及び各磁電変換素子の制御
回路を構成するＩＣ及びトランジスタなどの電子部品群
１８が設けられている。コイルヨーク１５の長手方向に
沿って下面表面には、これらの電子部品相互を電気的に
直接に接続するための配線がエッチング等により施され
ている。但し、該配線とコイルヨーク１５とは、互いに
電気的に絶縁されている。すなわち、コイルヨーク１５
は回路基板を兼用している。
面表面には、各電機子コイル及び各磁電変換素子の制御
回路を構成するＩＣ及びトランジスタなどの電子部品群
１８が設けられている。コイルヨーク１５の長手方向に
沿って下面表面には、これらの電子部品相互を電気的に
直接に接続するための配線がエッチング等により施され
ている。但し、該配線とコイルヨーク１５とは、互いに
電気的に絶縁されている。すなわち、コイルヨーク１５
は回路基板を兼用している。
【００１９】また、各電機子コイル１６の上面側には該
各電機子コイルを固定するための樹脂等からなる薄い基
板１９が固設されており、該基板１９の下面に、コイル
ヨーク１５及び電機子コイル１６等を有する一次側と後
述の二次側との相対位置を検知するためのホール素子等
から成る磁電変換素子２０が取り付けられている。この
磁電変換素子２０は、上記した電機子コイル１６の各々
の内側に位置するようにして、該一次側及び二次側の相
対移動方向において所定ピッチを隔てて多数並設されて
いる。また、これら磁電変換素子２０は、電子部品群１
８を含む制御回路と結線されている。
各電機子コイルを固定するための樹脂等からなる薄い基
板１９が固設されており、該基板１９の下面に、コイル
ヨーク１５及び電機子コイル１６等を有する一次側と後
述の二次側との相対位置を検知するためのホール素子等
から成る磁電変換素子２０が取り付けられている。この
磁電変換素子２０は、上記した電機子コイル１６の各々
の内側に位置するようにして、該一次側及び二次側の相
対移動方向において所定ピッチを隔てて多数並設されて
いる。また、これら磁電変換素子２０は、電子部品群１
８を含む制御回路と結線されている。
【００２０】一方、二次側に関しては、下記のように構
成されている。
成されている。
【００２１】図３に示すように、該二次側は、スライド
ユニット３の構成部材であるケーシング６の下面側に固
着されたマグネットヨーク２２と、上記一次側の電機子
コイル１６の各々と対向すべく該マグネットヨーク２２
の下面に固設された界磁マグネット２３とを有してい
る。図４から明らかなように、界磁マグネット２３は、
全体として略矩形板状に形成され、一次側及び二次側の
相対移動がなされる方向Ａ、すなわち軌道台１の長手方
向に沿って、Ｎ及びＳの磁極が複数、この場合５極が交
互に並ぶように着磁されている。
ユニット３の構成部材であるケーシング６の下面側に固
着されたマグネットヨーク２２と、上記一次側の電機子
コイル１６の各々と対向すべく該マグネットヨーク２２
の下面に固設された界磁マグネット２３とを有してい
る。図４から明らかなように、界磁マグネット２３は、
全体として略矩形板状に形成され、一次側及び二次側の
相対移動がなされる方向Ａ、すなわち軌道台１の長手方
向に沿って、Ｎ及びＳの磁極が複数、この場合５極が交
互に並ぶように着磁されている。
【００２２】上述した直流リニアモータを含む直動ユニ
ットは例えば、スライドユニット３がテーブル（図示せ
ず）を担持するようにして使用される。この構成におい
て、該テーブル上に被加工物（図示せず）が載置されて
固定され、その状態で電機子コイル１６に所定の電流を
供給することにより、一次側及び二次側の両者間にフレ
ミングの左手の法則による推力が生じ、固定側である一
次側に対して二次側が移動する。これにより、該被加工
物の搬送が行われる。
ットは例えば、スライドユニット３がテーブル（図示せ
ず）を担持するようにして使用される。この構成におい
て、該テーブル上に被加工物（図示せず）が載置されて
固定され、その状態で電機子コイル１６に所定の電流を
供給することにより、一次側及び二次側の両者間にフレ
ミングの左手の法則による推力が生じ、固定側である一
次側に対して二次側が移動する。これにより、該被加工
物の搬送が行われる。
【００２３】なお、上記の実施例においては、スライド
ユニット３の移動に伴ってボール４が該スライドユニッ
ト内を循環するが、かかる構成に限らず、他の構成のも
のに適用してもよいことは勿論である。更に、上記の実
施例においては転動体としてボールが使用されている
が、ころを用いた構成としてもよい。
ユニット３の移動に伴ってボール４が該スライドユニッ
ト内を循環するが、かかる構成に限らず、他の構成のも
のに適用してもよいことは勿論である。更に、上記の実
施例においては転動体としてボールが使用されている
が、ころを用いた構成としてもよい。
【００２４】また、上記の実施例では、一次側及び二次
側の相互の案内をなす案内手段として機械的構成のもの
を示したが、流体（空気や油）の圧力やマグネットの磁
力により該両者を相対的に浮揚させる構成の案内手段と
することも可能である。
側の相互の案内をなす案内手段として機械的構成のもの
を示したが、流体（空気や油）の圧力やマグネットの磁
力により該両者を相対的に浮揚させる構成の案内手段と
することも可能である。
【００２５】更に、上記した実施例においては電機子コ
イル１６側を固定として界磁マグネット２３側が移動す
る可動マグネット型の直流リニアモータを示したが、本
発明は可動コイル型直流リニアモータにも適用可能であ
る。
イル１６側を固定として界磁マグネット２３側が移動す
る可動マグネット型の直流リニアモータを示したが、本
発明は可動コイル型直流リニアモータにも適用可能であ
る。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、コ
イルヨークを回路基板として活用している故、直流リニ
アモータ及び直動ユニットの小型化、特に薄型化が達成
されるという効果がある。また、部品点数も少なくて済
み、コストが低減する効果がある。更に、コイルヨーク
は放熱量が大であるが故に、その搭載した発熱性電子部
品からの熱を効果的に放熱することができ、熱に弱い制
御回路への悪影響を防止できるという効果がある。
イルヨークを回路基板として活用している故、直流リニ
アモータ及び直動ユニットの小型化、特に薄型化が達成
されるという効果がある。また、部品点数も少なくて済
み、コストが低減する効果がある。更に、コイルヨーク
は放熱量が大であるが故に、その搭載した発熱性電子部
品からの熱を効果的に放熱することができ、熱に弱い制
御回路への悪影響を防止できるという効果がある。
【図１】図１は、本発明の第１実施例としての直流リニ
アモータを含む直動ユニットの要部の、一部断面を含む
斜視図である。
アモータを含む直動ユニットの要部の、一部断面を含む
斜視図である。
【図２】図２は、図１に示した直動ユニットを工作機械
のベッド上に取り付けた状態を示す、一部断面を含む側
面図である。
のベッド上に取り付けた状態を示す、一部断面を含む側
面図である。
【図３】図３は、図２に関するＢ−Ｂ断面図である。
【図４】図４は、図１乃至図３に示した直動ユニットが
具備する界磁マグネットの斜視図である。
具備する界磁マグネットの斜視図である。
【図５】図５は、従来の直流リニアモータを含む直動ユ
ニットの縦断面図である。
ニットの縦断面図である。
１ 軌道台 ３ スライドユニット（摺動台） １５ コイルヨーク １６ 電機子コイル １８ 電子部品群 ２２ マグネットヨーク ２３ 界磁マグネット
Claims (1)
- 【請求項１】 左右両側部に軌道が形成され長手状でな
る軌道台と、該軌道台の略全長に亘って延在して設けら
れた矩形板状のコイルヨークと、該コイルヨーク上にあ
って長手方向に沿って一列に並べられた多数の電機子コ
イルと前記各電機子コイル毎に配置され相対位置を検知
するための磁電変換素子とが固設された基板とを含む一
次側と、前記軌道台の前記軌道に沿って複数の転動体を
回転自在に当接可能に保持して案内される摺動台と、移
動すべき前記長手方向に沿ってＮ及びＳの磁極が交互に
着磁された界磁マグネットとを含む二次側とでなり、前
記電機子コイルと前記界磁マグネットとが互いに対向し
て配置され、前記電機子コイルに電流を供給することに
より前記一次側及び前記二次側の相対移動がなされ、及
び前記相対移動を案内手段である前記軌道台と前記摺動
台とで案内する直流リニアモータ及びこれを具備した直
動ユニットであって、 前記コイルヨークは、前記長手方向に沿って下面表面に
エッチング等により直接に配線が施され、且つ前記下面
表面に前記各電機子コイル及び前記各磁電変換素子の制
御回路を構成する電子部品が前記配線に電気的に接続し
て配設されて回路基板を兼用してなることを特徴とする
直流リニアモータ及びこれを具備した直動ユニット。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05885992A JP3167044B2 (ja) | 1992-02-13 | 1992-02-13 | 直流リニアモータ及びこれを具備した直動ユニット |
| US08/007,781 US5357158A (en) | 1992-02-13 | 1993-01-22 | Direct current linear motor and a direct drive unit on which it is equipped |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05885992A JP3167044B2 (ja) | 1992-02-13 | 1992-02-13 | 直流リニアモータ及びこれを具備した直動ユニット |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05227729A JPH05227729A (ja) | 1993-09-03 |
| JP3167044B2 true JP3167044B2 (ja) | 2001-05-14 |
Family
ID=13096438
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP05885992A Expired - Fee Related JP3167044B2 (ja) | 1992-02-13 | 1992-02-13 | 直流リニアモータ及びこれを具備した直動ユニット |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5357158A (ja) |
| JP (1) | JP3167044B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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1992
- 1992-02-13 JP JP05885992A patent/JP3167044B2/ja not_active Expired - Fee Related
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1993
- 1993-01-22 US US08/007,781 patent/US5357158A/en not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
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| US5357158A (en) | 1994-10-18 |
| JPH05227729A (ja) | 1993-09-03 |
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