JP3156551B2 - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
- Publication number
- JP3156551B2 JP3156551B2 JP17528895A JP17528895A JP3156551B2 JP 3156551 B2 JP3156551 B2 JP 3156551B2 JP 17528895 A JP17528895 A JP 17528895A JP 17528895 A JP17528895 A JP 17528895A JP 3156551 B2 JP3156551 B2 JP 3156551B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- acoustic wave
- surface acoustic
- wave device
- displacement
- width
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
【０００１】
【産業の利用分野】本発明は弾性表面波を用いた弾性表
面波装置において、不要な共振（以下スプリアスと呼
ぶ）を回避した弾性表面波装置に関する。
面波装置において、不要な共振（以下スプリアスと呼
ぶ）を回避した弾性表面波装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の弾性表面波装置の一種であるＳＡ
Ｗ共振子の電極構造としては、例えば米国特許４７１６
１６号公報、又は米国特許３８８６５０４号公報、又は
特公平６−８５４９２号公報、特公平７−２８１９５号
公報等に記載されている。
Ｗ共振子の電極構造としては、例えば米国特許４７１６
１６号公報、又は米国特許３８８６５０４号公報、又は
特公平６−８５４９２号公報、特公平７−２８１９５号
公報等に記載されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前述の従来技
術では、いわゆる横モードのスプリアスを抑圧する方法
を提供しているだけで、本願が対象とする主振に極めて
近接するスプリアスについては言及しておらずその解決
方法は未知であった。そこで本発明はこのような問題点
を解決するもので、その目的とするところは、３００Ｍ
Ｈｚ以上の高周波数において正常に動作する１ポートＳ
ＡＷ共振子さらには弾性表面波装置を市場に提供するこ
とにある。
術では、いわゆる横モードのスプリアスを抑圧する方法
を提供しているだけで、本願が対象とする主振に極めて
近接するスプリアスについては言及しておらずその解決
方法は未知であった。そこで本発明はこのような問題点
を解決するもので、その目的とするところは、３００Ｍ
Ｈｚ以上の高周波数において正常に動作する１ポートＳ
ＡＷ共振子さらには弾性表面波装置を市場に提供するこ
とにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の弾性表面波装置
は、圧電体平板上に、弾性表面波を励振する少なくとも
１個のすだれ状電極と、少なくとも１対の反射器とから
なるものにおいて、前記すだれ状電極の電極指の交差幅
が２５波長以上であり、かつ前記電極指が交差する領域
とバスバー導体との距離を１０波長から４波長として、
前記電極指の交差幅領域の弾性表面波の変位Ｕ（Ｙ）が
前記バスバー導体に達せずに減衰していることを特徴と
する。
は、圧電体平板上に、弾性表面波を励振する少なくとも
１個のすだれ状電極と、少なくとも１対の反射器とから
なるものにおいて、前記すだれ状電極の電極指の交差幅
が２５波長以上であり、かつ前記電極指が交差する領域
とバスバー導体との距離を１０波長から４波長として、
前記電極指の交差幅領域の弾性表面波の変位Ｕ（Ｙ）が
前記バスバー導体に達せずに減衰していることを特徴と
する。
【０００５】この場合、弾性表面波装置の反射器は、す
だれ状電極の交差幅とほぼ等しい長さの導体ストリップ
を多数配列した後、各導体ストリップを、対角に配置し
た短絡導体にて接続することが望ましい。
だれ状電極の交差幅とほぼ等しい長さの導体ストリップ
を多数配列した後、各導体ストリップを、対角に配置し
た短絡導体にて接続することが望ましい。
【０００６】
【０００７】さらに、弾性表面波装置の周波数ｆmと自
由表面の周波数ｆfとの比ｆm／ｆfを０．９９５より小
さく、０．９８５より大きくすることが望ましい。
由表面の周波数ｆfとの比ｆm／ｆfを０．９９５より小
さく、０．９８５より大きくすることが望ましい。
【０００８】
【０００９】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１から図５によ
り説明し、最後に本発明の理論的根拠を図６から図８を
用いて説明する。図１は本発明の弾性表面波装置の一実
施例である。図１中の各部位の名称は、１００は圧電体
平板、１０１と１０２はすだれ状電極（以下、ＩＤＴ(I
nterdigital Transducer）と略す）のバスバー導体、
１０３と１０４は前記ＩＤＴの電極指、１０５のＷｃは
電極指の交差幅、１０６のＢは電極指の交差する領域と
前記バスバー導体との距離、１０８は反射器、１０９と
１１０等は反射器の導体ストリップ、１１１は前記反射
器の導体ストリップ群を短絡する短絡導体である。前記
１００の圧電体平板は、水晶、タンタル酸リチウム等の
圧電性を有する単結晶およびＺｎＯ等の圧電性薄膜を形
成した基板からなる。前記の１００上に形成された１０
１，１０２，１０３，１０４からなるＩＤＴおよび１０
８の反射器は、アルミニウムおよび金等の導電性を有す
る金属膜を蒸着、スパッタ等の手段により薄膜形成した
後、フォトリソグラフィ技術によりパターン形成して作
られる。本発明の弾性表面波装置においては、前記のＩ
ＤＴが１個と反射器が１対の１ポートＳＡＷ共振子で
も、また前記のＩＤＴが２個または３個と反射器が１対
の２ポートＳＡＷ共振子でも、ＩＤＴが２個としたトラ
ンスバーサル型ＳＡＷフィルタであってもよい。本発明
にあっては、反射器１０８の幅寸法は、ＩＤＴの交差指
の交差幅Ｗｃと同一寸法とする。また１０８の反射器
は、前述の金属薄膜からなる導体ストリップ１０９，１
１０等を多数等周期で並行に配置したものである。前記
の周期は、通例、利用する弾性表面波の半波長(λ／
２）がとられている。
り説明し、最後に本発明の理論的根拠を図６から図８を
用いて説明する。図１は本発明の弾性表面波装置の一実
施例である。図１中の各部位の名称は、１００は圧電体
平板、１０１と１０２はすだれ状電極（以下、ＩＤＴ(I
nterdigital Transducer）と略す）のバスバー導体、
１０３と１０４は前記ＩＤＴの電極指、１０５のＷｃは
電極指の交差幅、１０６のＢは電極指の交差する領域と
前記バスバー導体との距離、１０８は反射器、１０９と
１１０等は反射器の導体ストリップ、１１１は前記反射
器の導体ストリップ群を短絡する短絡導体である。前記
１００の圧電体平板は、水晶、タンタル酸リチウム等の
圧電性を有する単結晶およびＺｎＯ等の圧電性薄膜を形
成した基板からなる。前記の１００上に形成された１０
１，１０２，１０３，１０４からなるＩＤＴおよび１０
８の反射器は、アルミニウムおよび金等の導電性を有す
る金属膜を蒸着、スパッタ等の手段により薄膜形成した
後、フォトリソグラフィ技術によりパターン形成して作
られる。本発明の弾性表面波装置においては、前記のＩ
ＤＴが１個と反射器が１対の１ポートＳＡＷ共振子で
も、また前記のＩＤＴが２個または３個と反射器が１対
の２ポートＳＡＷ共振子でも、ＩＤＴが２個としたトラ
ンスバーサル型ＳＡＷフィルタであってもよい。本発明
にあっては、反射器１０８の幅寸法は、ＩＤＴの交差指
の交差幅Ｗｃと同一寸法とする。また１０８の反射器
は、前述の金属薄膜からなる導体ストリップ１０９，１
１０等を多数等周期で並行に配置したものである。前記
の周期は、通例、利用する弾性表面波の半波長(λ／
２）がとられている。
【００１０】つぎに、本発明の核心である図１中の幅寸
法Ｂ（１０６）につき詳述する。
法Ｂ（１０６）につき詳述する。
【００１１】図２は図１のＩＤＴの横幅方向Ｙ−Ｙ´断
面を見たものであって、図中の２００は圧電体平板、２
０１は電極指の交差幅の領域、２０２と２０３はＩＤＴ
のバスバー導体部、２０４は基本波対称モードＳ0の変
位、２０５は基本波斜対称モードＡ0の変位である。前
記変位Ｓ0は中心線ｍ−ｍ´に対して対称であり、Ａ0の
変位は、原点Ｏに関して点対称となっている。前記交差
幅の部分２０１の端部Ｐから、変位２０４がほとんど零
に減少する点Ｑまでの距離ｄが、前記寸法Ｂより小さい
ことを示す。前記の距離ｄとＢ寸法の関係を知るに当た
り、後述する理論に元ずく計算を行った。図３は前記Ｉ
ＤＴの作る周波数ｆmとＩＤＴを形成する金属導体膜の
厚みを無限小としたときの自由表面の周波数ｆfとの比
（ｆm／ｆf）を横軸として、縦軸を利用する弾性表面波
の波長λを単位とした前記の距離ｄとしたときの特性図
である。図中の３０１は前記図２の２０５の斜対称モー
ドＡ0の特性、３０２は、図２の２０４の対称モードＳ0
の特性である。但し、計算の条件として電極指の交差幅
Ｗｃを２５λ（波長）とした。モードＡ0およびＳ0のい
ずれものｄが１０以下となるためには（ｆm／ｆf）が
０．９９５以下であることがわかる。さらに通常使用す
る電極膜厚み範囲が（ｆm／ｆf）の値で０．９８５以上
であることから線で囲まれたの領域が指定される。つぎ
に図４に前記の交差幅Ｗｃに対する、前記距離ｄの関係
を示す。図中の４０１は前記図２の斜対称モードＡ0の
特性であり、Ｗｃが２５λ以上で前記距離ｄは１０以下
となることがわかる。最後に、図５に、実験で求めた前
記Ｗｃにたいする１ポートＳＡＷ共振子の等価直列抵抗
Ｒ1の関係を示す。Ｒ1は電極指の交差幅Ｗｃが大きくな
るに従い小さくなっていく。Ｒ1が通常の発振回路にお
いて使用できる２０Ω以下となるためにはＷｃが２５λ
以上必要なことがわかる。以上をまとめると、前記Ｗｃ
が２５λ以上、かつ（ｆm／ｆf）が０．９９５以下かつ
０．９８５以上であれば、距離ｄは１０λ以下とするこ
とができる。従って前記の寸法Ｂを１０λ程度とすれ
ば、変位の振幅がＩＤＴのバスバー電極にかからなくす
ることができると言える。最後に何故Ｂ＝１０λに設定
したかについては、図１の弾性表面波装置の横幅寸法が
図１から推測できる通り、２Ｂ＋Ｗｃ以上となるが、Ｂ
が１０λでほぼＷｃに等しくなり小型化の観点からこの
程度のＢ寸法が最大値であることによる。
面を見たものであって、図中の２００は圧電体平板、２
０１は電極指の交差幅の領域、２０２と２０３はＩＤＴ
のバスバー導体部、２０４は基本波対称モードＳ0の変
位、２０５は基本波斜対称モードＡ0の変位である。前
記変位Ｓ0は中心線ｍ−ｍ´に対して対称であり、Ａ0の
変位は、原点Ｏに関して点対称となっている。前記交差
幅の部分２０１の端部Ｐから、変位２０４がほとんど零
に減少する点Ｑまでの距離ｄが、前記寸法Ｂより小さい
ことを示す。前記の距離ｄとＢ寸法の関係を知るに当た
り、後述する理論に元ずく計算を行った。図３は前記Ｉ
ＤＴの作る周波数ｆmとＩＤＴを形成する金属導体膜の
厚みを無限小としたときの自由表面の周波数ｆfとの比
（ｆm／ｆf）を横軸として、縦軸を利用する弾性表面波
の波長λを単位とした前記の距離ｄとしたときの特性図
である。図中の３０１は前記図２の２０５の斜対称モー
ドＡ0の特性、３０２は、図２の２０４の対称モードＳ0
の特性である。但し、計算の条件として電極指の交差幅
Ｗｃを２５λ（波長）とした。モードＡ0およびＳ0のい
ずれものｄが１０以下となるためには（ｆm／ｆf）が
０．９９５以下であることがわかる。さらに通常使用す
る電極膜厚み範囲が（ｆm／ｆf）の値で０．９８５以上
であることから線で囲まれたの領域が指定される。つぎ
に図４に前記の交差幅Ｗｃに対する、前記距離ｄの関係
を示す。図中の４０１は前記図２の斜対称モードＡ0の
特性であり、Ｗｃが２５λ以上で前記距離ｄは１０以下
となることがわかる。最後に、図５に、実験で求めた前
記Ｗｃにたいする１ポートＳＡＷ共振子の等価直列抵抗
Ｒ1の関係を示す。Ｒ1は電極指の交差幅Ｗｃが大きくな
るに従い小さくなっていく。Ｒ1が通常の発振回路にお
いて使用できる２０Ω以下となるためにはＷｃが２５λ
以上必要なことがわかる。以上をまとめると、前記Ｗｃ
が２５λ以上、かつ（ｆm／ｆf）が０．９９５以下かつ
０．９８５以上であれば、距離ｄは１０λ以下とするこ
とができる。従って前記の寸法Ｂを１０λ程度とすれ
ば、変位の振幅がＩＤＴのバスバー電極にかからなくす
ることができると言える。最後に何故Ｂ＝１０λに設定
したかについては、図１の弾性表面波装置の横幅寸法が
図１から推測できる通り、２Ｂ＋Ｗｃ以上となるが、Ｂ
が１０λでほぼＷｃに等しくなり小型化の観点からこの
程度のＢ寸法が最大値であることによる。
【００１２】次に前述の計算の理論的根拠につき以下に
説明する。
説明する。
【００１３】図６は従来の技術では説明できない現象の
発生している１ポートＳＡＷ共振子の共振特性を示す図
である。横軸は周波数、縦軸は前記共振子のインピーダ
ンスＺ（ω）の対数表示である。図中の共振点６０２は
主共振６０１近傍に存在する未知なるスプリアスであ
る。主共振６０１は図２の２０４Ｓ0の変位に対応す
る。一方、主共振周波数より下の６０３は縦モードによ
るスプリアス共振である。また、上側に存在する６０４
と６０５は横モードとよばれているスプリアス共振であ
ることは周知である。さらにまた、主共振のスプリアス
６０２のわずか上側に存在する６０６は極めて小さな振
幅変化であり、斜対称の横モードスプリアス（図２の２
０５Ａ0）と考えられる。 共振６０１、６０２、６０
６は範囲６７０ｐｐｍ程に、極めて近接して存在してお
り従来の考えかたでは説明できない。この問題を解決す
るに当たりＳＡＷ共振子の幅方向の変位を支配する微分
方程式を導いた。前記微分方程式はＳＡＷ共振子の振動
エネルギーを長さと深さ方向に積分して得られるラグラ
ンジアン Ｌ＝Ｔ−Ｕ（Ｔは運動エネルギー、Ｕは位置
エネルギー）から得られるもので次式となる。
発生している１ポートＳＡＷ共振子の共振特性を示す図
である。横軸は周波数、縦軸は前記共振子のインピーダ
ンスＺ（ω）の対数表示である。図中の共振点６０２は
主共振６０１近傍に存在する未知なるスプリアスであ
る。主共振６０１は図２の２０４Ｓ0の変位に対応す
る。一方、主共振周波数より下の６０３は縦モードによ
るスプリアス共振である。また、上側に存在する６０４
と６０５は横モードとよばれているスプリアス共振であ
ることは周知である。さらにまた、主共振のスプリアス
６０２のわずか上側に存在する６０６は極めて小さな振
幅変化であり、斜対称の横モードスプリアス（図２の２
０５Ａ0）と考えられる。 共振６０１、６０２、６０
６は範囲６７０ｐｐｍ程に、極めて近接して存在してお
り従来の考えかたでは説明できない。この問題を解決す
るに当たりＳＡＷ共振子の幅方向の変位を支配する微分
方程式を導いた。前記微分方程式はＳＡＷ共振子の振動
エネルギーを長さと深さ方向に積分して得られるラグラ
ンジアン Ｌ＝Ｔ−Ｕ（Ｔは運動エネルギー、Ｕは位置
エネルギー）から得られるもので次式となる。
【００１４】 但し、Ｕ（Ｙ）は幅方向変位、Ｙは弾性表面波の波長λ
で規格化したｙ座標（ｙ／λ）、ａは横方向のせん断効
果係数、ωは角周波数、ω0は電極指の交差幅が無限大
のＳＡＷ共振子が有する角周波数である。前記ａ定数
は、実際のＳＡＷ共振子を測定した結果から、本発明が
問題とするＳＴカットにおいては０．０３３であった。
さらに、主共振の近傍にスプリアスが発生した図６のＳ
ＡＷ共振子の電極パターンにつき前記の（１）式を用い
て幅方向の変位を計算してみると図７となった。図７は
ＳＡＷ共振子の幅方向中心から左半分を図示したもので
あって、図中の７００は圧電体平板、７０１が基本波対
称モードの内のひとつであるＳ01、７０２はもうひとつ
の基本波対称モードであるＳ02である。また領域ＤＡは
ＩＤＴの電極指交差幅領域、領域ＤＢはＩＤＴおよび反
射器のバスバー領域、領域ＤＣは電極のない自由表面領
域である。前記のＤＡは１６λ、ＤＢは６５λである。
領域ＤＡの共振子周波数はωm、領域ＤＢの共振子周波
数はωfm、領域ＤＣの共振子周波数は、ωfであって、
これらの間には、ωf＞ωm＞ωfmの大小関係がある。モ
ードＳ01とＳ02の周波数間には、Ｓ02の方がＳ01より１
５０ｐｐｍほど高く、極めて近接しており図６の現象を
良く説明している。また基本波斜対称モードＡ0は５０
０ｐｐｍほでＳ02よりうえ側にあり全体をよく説明して
いる。図７の変位は領域ＤＡから領域ＤＢ，ＤＣへ共振
エネルギーがリークしている現象と説明できる。従っ
て、この現象を防ぐには領域ＤＡからの変位のリークを
なくせばよい。この結論にたいする回答が本発明の図１
の内容である。最後に、図１の本発明の反射器の動作原
理を図８に説明する。図８は反射器の横断面変位を図示
したもので、図中の８００は圧電体平板、８０１は基本
波対称モード変位Ｓ0、８０２は反射器の導体ストリッ
プ、８０３は図７同様に各領域の共振子の共振周波数を
示す(ωf＞ωm）。 変位８０１が示す通り、図７の領
域ＤＢのようなリーク変位を発生させないことがわか
る。
で規格化したｙ座標（ｙ／λ）、ａは横方向のせん断効
果係数、ωは角周波数、ω0は電極指の交差幅が無限大
のＳＡＷ共振子が有する角周波数である。前記ａ定数
は、実際のＳＡＷ共振子を測定した結果から、本発明が
問題とするＳＴカットにおいては０．０３３であった。
さらに、主共振の近傍にスプリアスが発生した図６のＳ
ＡＷ共振子の電極パターンにつき前記の（１）式を用い
て幅方向の変位を計算してみると図７となった。図７は
ＳＡＷ共振子の幅方向中心から左半分を図示したもので
あって、図中の７００は圧電体平板、７０１が基本波対
称モードの内のひとつであるＳ01、７０２はもうひとつ
の基本波対称モードであるＳ02である。また領域ＤＡは
ＩＤＴの電極指交差幅領域、領域ＤＢはＩＤＴおよび反
射器のバスバー領域、領域ＤＣは電極のない自由表面領
域である。前記のＤＡは１６λ、ＤＢは６５λである。
領域ＤＡの共振子周波数はωm、領域ＤＢの共振子周波
数はωfm、領域ＤＣの共振子周波数は、ωfであって、
これらの間には、ωf＞ωm＞ωfmの大小関係がある。モ
ードＳ01とＳ02の周波数間には、Ｓ02の方がＳ01より１
５０ｐｐｍほど高く、極めて近接しており図６の現象を
良く説明している。また基本波斜対称モードＡ0は５０
０ｐｐｍほでＳ02よりうえ側にあり全体をよく説明して
いる。図７の変位は領域ＤＡから領域ＤＢ，ＤＣへ共振
エネルギーがリークしている現象と説明できる。従っ
て、この現象を防ぐには領域ＤＡからの変位のリークを
なくせばよい。この結論にたいする回答が本発明の図１
の内容である。最後に、図１の本発明の反射器の動作原
理を図８に説明する。図８は反射器の横断面変位を図示
したもので、図中の８００は圧電体平板、８０１は基本
波対称モード変位Ｓ0、８０２は反射器の導体ストリッ
プ、８０３は図７同様に各領域の共振子の共振周波数を
示す(ωf＞ωm）。 変位８０１が示す通り、図７の領
域ＤＢのようなリーク変位を発生させないことがわか
る。
【００１５】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、弾性
表面波装置におけるＩＤＴとバスバー導体間の距離Ｂを
表面波の変位がリークしないように設定すること、さら
に反射器のバスバー導体を除去する構成としたことによ
り、主共振近傍にスプリアスがなく正常に動作する弾性
表面波装置を市場に提供でき今後多大の利点が得られ
る。
表面波装置におけるＩＤＴとバスバー導体間の距離Ｂを
表面波の変位がリークしないように設定すること、さら
に反射器のバスバー導体を除去する構成としたことによ
り、主共振近傍にスプリアスがなく正常に動作する弾性
表面波装置を市場に提供でき今後多大の利点が得られ
る。
【図１】 本発明の一実施例の弾性表面波装置を示す平
面図。
面図。
【図２】 前記図１の実施例が示す弾性表面波装置のＩ
ＤＴが示す横断面変位図。
ＤＴが示す横断面変位図。
【図３】 前記図１の弾性表面波装置の特性図。
【図４】 前記図１の弾性表面波装置の特性図。
【図５】 前記図１の弾性表面波装置の特性図。
【図６】 従来の弾性表面波装置の共振特性図。
【図７】 前記図６の弾性表面波装置が示す横断面変位
図。
図。
【図８】 前記図１の弾性表面波装置の反射器が示す横
断面変位図。
断面変位図。
１００ 圧電体平板 １０１ ＩＤＴのバスバー導体 １０２ ＩＤＴのバスバー導体 １０３ 電極指 １０４ 電極指 １０８ 反射器 １０９ 短絡導体
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H03H 9/145 H03H 9/25
Claims (3)
- 【請求項１】 圧電体平板上に、弾性表面波を励振する
少なくとも１個のすだれ状電極と、少なくとも１対の反
射器とからなる弾性表面波装置において、前記すだれ状電極の電極指の交差幅が２５波長以上であ
り、かつ前記電極指が交差する領域とバスバー導体との
距離を１０波長から４波長として、前記電極指の交差幅
領域の弾性表面波の変位Ｕ（Ｙ）が前記バスバー導体に
達せずに減衰している ことを特徴とする弾性表面波装
置。 - 【請求項２】 前記弾性表面波装置の反射器は、前記す
だれ状電極の交差幅とほぼ等しい長さの導体ストリップ
を多数配列した後、各導体ストリップを、対角に配置し
た短絡導体にて接続したことを特徴とする請求項１記載
の弾性表面波装置。 - 【請求項３】 前記弾性表面波装置の周波数ｆmと自由
表面の周波数ｆfとの比ｆm／ｆfが０．９９５より小さ
く、０．９８５より大きいことを特徴とする請求項１記
載の弾性表面波装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17528895A JP3156551B2 (ja) | 1995-07-11 | 1995-07-11 | 弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17528895A JP3156551B2 (ja) | 1995-07-11 | 1995-07-11 | 弾性表面波装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0927726A JPH0927726A (ja) | 1997-01-28 |
| JP3156551B2 true JP3156551B2 (ja) | 2001-04-16 |
Family
ID=15993502
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17528895A Expired - Lifetime JP3156551B2 (ja) | 1995-07-11 | 1995-07-11 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3156551B2 (ja) |
-
1995
- 1995-07-11 JP JP17528895A patent/JP3156551B2/ja not_active Expired - Lifetime
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 信学技報ＵＳ８５−１１ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0927726A (ja) | 1997-01-28 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| WO2021060513A1 (ja) | 弾性波装置 | |
| US6271617B1 (en) | Surface acoustic wave device with a tungsten-aluminum layered interdigital transducer | |
| JP3189508B2 (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
| US8390400B2 (en) | Acoustic wave element having an electrode finger with a protrusion | |
| JPH05183380A (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
| WO2023002858A1 (ja) | 弾性波装置及びフィルタ装置 | |
| JP3391309B2 (ja) | 表面波装置及び通信機装置 | |
| JPH06152317A (ja) | 梯子型弾性表面波フィルタ | |
| JP3341709B2 (ja) | 表面波装置及びそれを用いた通信装置 | |
| JP4014630B2 (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JP2000165197A (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
| JP2004328196A (ja) | 弾性表面波デバイス | |
| JPH11191720A (ja) | 弾性表面波装置及び弾性表面波フィルタ | |
| JPH05347535A (ja) | 弾性表面波フィルタ装置 | |
| JP3156551B2 (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JP3379383B2 (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JP4339974B2 (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JPH10276062A (ja) | 弾性表面波デバイス | |
| CN116508261A (zh) | 弹性波装置及梯型滤波器 | |
| JP3341596B2 (ja) | 表面波装置 | |
| JP3307284B2 (ja) | ２ポートｓａｗ共振子 | |
| JPS6147010B2 (ja) | ||
| WO2023248636A1 (ja) | 弾性波装置 | |
| JP2003218665A5 (ja) | ||
| WO2023085347A1 (ja) | 弾性波装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080209 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090209 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090209 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100209 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110209 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110209 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120209 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130209 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130209 Year of fee payment: 12 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |