JP4395228B2 - 弾性表面波装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧電基板上に入力用交差指電極と出力用交差指電極を形成した複数の弾性表面波伝搬部の各々が縦結合してなる弾性表面波装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来の2ポート共振子型の弾性表面波装置においては、例えば、図8のような電極構造となっている。即ち、圧電基板10の表面に、櫛歯状入力用電極21が櫛歯状グランド用電極22に対向して配置された入力用交差指電極20と、櫛歯状出力用電極31が櫛歯状グランド用電極32に対向して配置された出力用交差指電極30とからなり、入力用交差指電極20と出力用交差指電極30とが弾性表面波伝搬方向に向けて配設されてなる。
【0003】
また、櫛歯状入出力用電極21、31は、入出力用電極指21a、31a及び振動に寄与しない入出力用ダミー電極指21b、31bが弾性表面波伝搬方向に対して略垂直に形成されている。
【0004】
一方、櫛歯状グランド用電極22、32は、グランド用電極指22a、32a及び振動に寄与しないグランド用ダミー電極指22b、32bが弾性表面波伝搬方向に対して略垂直に形成されている。
【0005】
そして、入力用電極指21aに対向してグランド用ダミー電極指22bが、また、入力用ダミー電極指21bに対向してグランド用電極指22aがそれぞれ配設されてなる。なお、入出力用交差指電極20,30の弾性表面波伝搬方向に弾性表面波のエネルギーを閉じこめるグレーティング反射器40,50を各々配設している。
【0006】
従来の弾性表面波装置においては、図8,9に示すように弾性表面波の伝搬方向に対し垂直方向に1次の横振動モードのみならず2次以上の高次の横振動モードの振動エネルギーが閉じ込められており、基本横振動モードが主応答の横振動モードとなるのに対し2次以上の横振動モードはスプリアスとなる。この高次の横振動モードの偶数次の横振動モードにおける電荷は、入出力用交差指電極20,30内で相殺されるが、奇数次の横振動モードによる電荷は相殺されることがなく、フィルタ特性にスプリアスとして現れるものである。
【0007】
一方、従来の弾性表面波装置において、ダミー電極指21b、22b、31b、32bは弾性表面波の伝搬速度を均一にするために配設している。即ち、もしもダミー電極指21b、22b、31b、32bを設けない場合には、入出力用電極指21a、31a及びグランド用電極指22a、32aの交差部と非交差部とで伝播速度が異なり、弾性表面波の伝播する位相差が交差部と非交差部とで生じて所望の電気特性を再現できないためである。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図9に示すように奇数次の横振動モード(例えば、3次の横振動モード)においては、励振領域230が正負の両領域で存在することになり、この正の領域の振幅分布がダミー電極指21b1〜3、22b1〜3の部分にあたることになる。
【0009】
ここで、従来の弾性表面波装置の電極構造においては、入力用交差指電極20のダミー電極指21b1〜3、22b1〜3の長さは等しく形成されているため、ダミー電極指21b1、22b1による励振領域210,220が、他のダミー電極指21b2〜3、22b2〜3でも振幅と位相が一致して現れる。従って、弾性表面波がダミー電極指21b1、22b1から21b3、22b3まで伝搬するまでに振動成分210,220が加算されることになり、これにより、不要なスプリアスとして現れるという問題を有していた。
【0010】
しかも、このような弾性表面波装置を多段縦結合させた場合においては、結合する弾性表面波装置のダミー電極指による振動成分が加算されて、不要なスプリアスがさらに大きくなるものである。
【0011】
本発明は上述した問題点に鑑みて案出されたものであり、弾性表面波装置を多段結合させた場合においても高次の横振動モードによるスプリアスを抑圧して通過帯域の挿入損失の低下を防止した弾性表面波装置を提供することを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】
上述の目的を達成するため、本発明の弾性表面波装置は、圧電基板の主面に、複数の入出力用電極指を有する櫛歯状の入出力用電極と、複数のグランド用電極指を有する櫛歯状のグランド用電極とを、前記入出力用電極指と前記グランド用電極指とが互いに交差するように対向配置させると共に、前記入出力用電極及び前記グランド用電極のそれぞれに、前記入出力用電極指及び前記グランド用電極指に対向するダミー電極指を設けた弾性表面波伝搬部を複数形成し、各弾性表面波伝搬部を縦結合してなる弾性表面波装置において、2つの弾性表面波伝搬部の前記ダミー電極指の長さは、前記2つの弾性表面波伝搬部のそれぞれで同一であると共に前記2つの弾性表面波伝搬部で互いに異なっており、前記2つの弾性表面波伝搬部の前記入出力用電極指及び前記グランド用電極指の交差幅は、前記2つの弾性表面波伝搬部で同一であることを特徴とするものである。
【0013】
本発明の構成によれば、2つの弾性表面波伝搬部のダミー電極指の長さは、2つの弾性表面波伝搬部で互いに異なっているため、高次の横振動モードの振動が2つの弾性表面波伝搬部で互いに異なる周波数になり、これにより、高次の横振動モードの振動によるスプリアスを分散させて抑圧することができる。
【0014】
即ち、入出力交差指電極の交差に寄与しないダミー電極指の長さ以外は各縦結合の弾性表面波伝搬部とも同一構成であるので、通過帯域内のフィルタ特性を劣化させず高周波側減衰域に生ずるスプリアスのみを抑圧した弾性表面波装置が提供できる。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。図1は、本発明の実施の形態における弾性表面波装置を説明する平面図である。図1において弾性表面波装置Aは、2つの弾性表面波伝搬部B、Cから構成されており、圧電基板1の主面に、弾性表面波伝搬部Bの入力用交差指電極2及び出力用交差指電極3が、また、入出力用交差指電極2,3の両側にはグレーティング反射器4,5が弾性表面波の伝搬方向に沿って配設されている。同様に弾性表面波伝搬部Cの入力用交差指電極6及び出力用交差指電極7が、また、入出力用交差指電極6,7の両側にはグレーティング反射器9,10が弾性表面波の伝搬方向に沿って配設されている。
【0016】
圧電基板1は所定カット角、所定伝搬方向となるように切断処理された水晶、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、四ホウ酸リチウム、さらに、所定伝搬方向となるように分極処理されたPZT(チタン酸ジルコン酸鉛)、PZ(ジルコン酸鉛)等から成る。
【0017】
入力用交差指電極2、6は互いに噛み合う一対の電極指2a,2b,6a,6bからなり、一方の電極指2aは入力端子sと接続し、ここより入力信号を励振している。また、他方の電極指2bは外部回路の接地電位tと接続している。さらに、一方の電極指6aは弾性表面波伝搬部BとCを接続する接続端子8と接続し、ここより弾性表面波伝搬部Bからの信号を受ける。また、他方の電極指6bは外部回路の接地電位uと接続している。なお、電極指2a,2b,6a,6bが弾性表面波伝搬方向で互いに噛み合う交差幅はWの幅に形成されている。
【0018】
出力用交差指電極3,7は互いに噛み合う一対の電極指3a,3b,7a,7bからなり、一方の電極指3bは外部回路の接地電位vと接続してなる。また、他方の電極指3aは前述の接続端子8と接続し、ここから弾性表面波による出力信号を弾性表面波伝搬部Cに送信している。さらに、一方の電極指7bは外部回路の接地電位xと接続してなる。また、他方の電極指7aは外部回路の出力端子yと接続し、弾性表面波を外部に出力するように構成されている。なお、電極指3a,3bの交差幅は入力用交差指電極2と同じ幅としている。
【0019】
また、入出力端子に接続される電極指2a,3a,6a,7a(以下、入出力用電極指という)及びグランドに接続される電極指2b,3b,6b,7b(以下、グランド用電極指という)のそれぞれに、入出力用電極指2a,3a,6a,7a及びグランド用電極指2b,3b,6b,7bに対向したダミー電極指2c,3c,6c,7cが形成されており、弾性表面波伝搬部Bのダミー電極指2c,3cの長さW1は弾性表面波伝搬部Cのダミー電極指6c,7cの長さW2と長さを異ならせている。
【0020】
また、入出力交差指電極2,3,6,7、グレーティング反射器4,5,9,10は、例えば、アルミニウム薄膜からなり、その厚みは0.1〜1μmで所定のパターンに被着形成されている。また、各一対の電極指2a,2b,3a,3b,6a,6b,7a,7bの電極指幅及び間隔は、例えば、弾性表面波の波長λに対して1/4λとなっている。
【0021】
上述の構成により弾性表面波伝搬部Bにおける各グレーティング反射器4,5間で入出力交差指電極2,3からの振動エネルギーを閉じ込め、さらに、弾性表面波伝搬部Cに伝搬して各グレーティング反射器9,10間でその振動エネルギーを閉じ込めるように作用する。
【0022】
次に本発明の弾性表面波装置Aにおける動作について図1,2を用いて説明する。本発明の弾性表面波装置Aは、入力端子sを通じて入力用交差指電極2の電極指2aに入力された信号が、圧電作用により励振された弾性表面波が電極指2a,2b,3a,3b,6a,6bと圧電基板1の表面を図中左右方向に伝搬して出力用交差指電極7まで至り、これにより生じた弾性表面波は、グレーティング反射器4,5,9,10間で振動エネルギーが外部に漏れずに閉じこめられることになる。
【0023】
そして、出力用交差指電極7に弾性表面波が入射すると、その弾性表面波の振幅に比例した電圧が出力用交差指電極7に発生し、所定のフィルタ特性に応じた信号が電極指7bから抽出されて出力端子yより出力される。
【0024】
この場合、図2(a)(b)に示すように、弾性表面波伝搬部BとCのダミー電極指の長さW1及びW2を変えることで、1次の横振動モード分布における励振領域21はそのままで、高次の横振動モード(例えば3次)のうち、奇数次の横振動モード分布において励振領域が正負の両領域で存在するが、ダミー電極指3c、6cの重み付け部分は正(+)の領域22,23であるため、この正の領域22,23の振動が異なるために多段接続した場合、スプリアスが分散されて和として現れるのを防止することができる。
【0025】
入出力用交差指電極2,3,6,7の開口長Lと入出力用電極指2a,3a,6a,7a及びグランド用電極指2b,3b,6b,7bの交差幅の比を変えることでスプリアスが移動する作用を説明する。その関係を図3に示す。縦軸は通過帯域の中心周波数に対して3次の横振動モードのスプリアスが発生した周波数の比であり、横軸は入出力用交差指電極2,3,6,7の開口長Lに対する交差幅W(Wは一定に固定)の比(交差幅W/開口長L)を示している。図より、交差幅W/開口長Lを小さく、即ち、Wを固定して開口長Lを長くすることで3次の横振動モードのスプリアスは通過帯域の中心周波数に近づくことがわかる。
【0026】
一方、交差幅Wが弾性表面波の20倍(20λ、以下同じ表現をする)を超える場合(図3では22.3λ及び35λ)は交差幅W/開口長Lを変化させても影響を受けにくく(傾きが小さくなる)、逆に、交差幅10λ未満の場合には1次の横振動モードにも影響がありフィルタ特性が悪化する。従って、好ましい態様としては交差幅を10λ〜20λ、さらに好ましくは10λ〜15λとするのが良い。このことから、弾性表面波装置Aで交差幅W(10〜20λ)では、交差幅W/開口長Lを変えることで高次の横振動モードにより発生するスプリアスをコントロールできることになる。しかし、交差幅を20λ以上としても交差幅W/開口長Lの変化の影響が少ないが、この10〜20λの範囲に限定されるものでもない。
【0027】
また、図4は入出力交差指電極2,3,6,7の交差幅W=11.7λの実測値であり、図5は交差幅W=13.8λの実測値である。どちらも縦軸は減衰量(dB/div)、横軸は周波数である。これより、通過帯域特性はほとんど変わらず、通過帯域外の減衰域にスプリアスとして現れる3次の横振動モードの発生周波数が交差幅W/開口長Lの比により移動しているのがわかる。
【0028】
従って、奇数次の横振動モードによるスプリアスを抑圧するためには、各縦結合共振子型弾性表面波フィルタにおいて、入出力交差指電極のダミー電極指2c,3c,6c,7cの長さW1及びW2を異ならせることによって、各弾性表面波伝搬部B,Cの奇数次の横振動モードにより発生するスプリアス周波数を分散させて通過域高周波側減衰域のスプリアスを抑圧できることを見出した。
【0029】
【実施例】
次に、本発明の作用効果を確認するために、図1の構造において本発明の実施例を示す。圧電基板としては27.5°STカットの水晶基板を用い、その表面に入力用交差指電極、出力用交差指電極、グレーティング反射器を弾性表面波伝搬方向に沿って形成した。これにより、中心周波数360MHzの縦結合共振子型弾性表面波フィルタを2段縦続接続して弾性表面波装置を製作した。入力用交差指電極、出力用交差指電極、グレーティング反射器は、具体的には圧電基板に電極材料であるアルミニウムを真空蒸着で膜厚0.36μmで形成した後、フォトプロセスで所定パターンを形成しRIE(Reactive Ion Etching)法で不要部を除去しレジスト剥離して電極を形成した。この場合、電極指周期L=8.54μmとし、入出力用交差指電極2,3の交差幅WはW=128μm(15λ)とした。また各弾性表面波伝搬部B,Cの開口長LはL=172μm(交差幅/開口長=0.74)、L=184μm(交差幅/開口長=0.69)とし、各弾性表面波装置におけるダミー電極指の長さW1とW2の差を2(W2−W1)=12μm、即ちW2−W1=6μmとした。
【0030】
今回はW1及びW2を通過帯域幅の1/2(今回はΔf=150KHz、Δf/f0=0.0004)ずらすことで、ダミー電極指の長さW1及びW2によって生じる横振動モードのスプリアスの山谷を一致させている。以上の構成で実験した結果を図6に示す。
【0031】
これより、通過帯域外の阻止域(高周波側)で高次の横振動モードによる不要なスプリアス(図6ではa、b)を抑制でき良好な特性が得られた。
【0032】
比較例として、各素子の入出力用交差指電極2,3の延長上の交差に寄与しないダミー電極指の長さを同じとした以外は実施例と同じ構成で実験した。その結果を図7に示す。これより、通過帯域外の高周波側に高次の横振動モードに起因する不要なスプリアス(図7ではc、d、e)が生じ、実用には不適な特性であった。
【0033】
【発明の効果】
本発明の構成によれば、2つの弾性表面波伝搬部のダミー電極指の長さは、2つの弾性表面波伝搬部のそれぞれで同一であると共に2つの弾性表面波伝搬部で互いに異なっているため、高次の横振動モードの振動が2つの弾性表面波伝搬部で互いに異なる周波数になり、これにより、高次の横振動モードの振動によるスプリアスを分散させて抑圧することができる。
【0034】
これにより、入出力交差指電極の交差に寄与しないダミー電極指の長さ以外は各縦結合の弾性表面波伝搬部とも同一構成であるので、通過帯域内のフィルタ特性を劣化させず高周波側減衰域に生ずるスプリアスのみを抑圧した弾性表面波装置が提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の弾性表面波装置の平面図である。
【図2】 本発明の弾性表面波装置において発生する横振動モードを説明する図である。
【図3】 本発明のフィルタ特性を示す特性図である。
【図4】 入出力交差指電極の交差幅W=11.7λの実測値である。
【図5】 入出力交差指電極の交差幅W=13.8λの実測値である。
【図6】 本発明のダミー電極指の長さを異ならせた場合の弾性表面波装置のフィルタ特性を示す図である。
【図7】 ダミー電極指の長さを同じにした場合の弾性表面波装置のフィルタ特性を示す特性図である。
【図8】 従来の弾性表面波装置を示す平面図である。
【図9】 従来の弾性表面波装置において発生する横振動モードを説明する図である。
【符号の説明】
A:弾性表面波装置
1:圧電基板
2:入力用交差指電極(入力用電極)
3:出力用交差指電極(出力用電極)
4,5:グレーティング反射器
6:入力用交差指電極(入力用電極)
7:出力用交差指電極(出力用電極)
9,10:グレーティング反射器
Claims (1)
- 圧電基板の主面に、複数の入出力用電極指を有する櫛歯状の入出力用電極と、複数のグランド用電極指を有する櫛歯状のグランド用電極とを、前記入出力用電極指と前記グランド用電極指とが互いに交差するように対向配置させると共に、前記入出力用電極及び前記グランド用電極のそれぞれに、前記入出力用電極指及び前記グランド用電極指に対向するダミー電極指を設けた弾性表面波伝搬部を複数形成し、各弾性表面波伝搬部を縦結合してなる弾性表面波装置において、2つの弾性表面波伝搬部の前記ダミー電極指の長さは、前記2つの弾性表面波伝搬部のそれぞれで同一であると共に前記2つの弾性表面波伝搬部で互いに異なっており、前記2つの弾性表面波伝搬部の前記入出力用電極指及び前記グランド用電極指の交差幅は、前記2つの弾性表面波伝搬部で同一であることを特徴とする弾性表面波装置。
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