JP3156264B2 - 排気ガス処理装置 - Google Patents
排気ガス処理装置Info
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- JP3156264B2 JP3156264B2 JP05997091A JP5997091A JP3156264B2 JP 3156264 B2 JP3156264 B2 JP 3156264B2 JP 05997091 A JP05997091 A JP 05997091A JP 5997091 A JP5997091 A JP 5997091A JP 3156264 B2 JP3156264 B2 JP 3156264B2
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- clean gas
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、吸着材により排気ガス
の排出物質を除去する排気ガス処理装置に関する。
の排出物質を除去する排気ガス処理装置に関する。
【０００２】半導体装置等を製造する工場においては、
大気中に容易に揮発する各種の化学薬品類が多く使用さ
れており、これらを含む排気ガスが大量に排出される。
このような排気ガスは排気ガス処理装置で排出物質を除
去した後に大気中に放出している。
大気中に容易に揮発する各種の化学薬品類が多く使用さ
れており、これらを含む排気ガスが大量に排出される。
このような排気ガスは排気ガス処理装置で排出物質を除
去した後に大気中に放出している。
【０００３】
【従来の技術】従来の排気ガス処理装置について図３を
参照して説明する。図３は従来の排気ガス処理装置を説
明するための図であって、同図(a) は装置の要部を模式
的に示す側断面図、同図(b) は排気ガスにより攪拌され
ている吸着材の状態を模式的に示す側断面図、同図(c)
は攪拌が略停止している吸着材の状態を模式的に示す側
断面図である。なお、本明細書では、同一部品、同一材
料等に対しては全図を通して同じ符号を付与した。
参照して説明する。図３は従来の排気ガス処理装置を説
明するための図であって、同図(a) は装置の要部を模式
的に示す側断面図、同図(b) は排気ガスにより攪拌され
ている吸着材の状態を模式的に示す側断面図、同図(c)
は攪拌が略停止している吸着材の状態を模式的に示す側
断面図である。なお、本明細書では、同一部品、同一材
料等に対しては全図を通して同じ符号を付与した。
【０００４】図３(a) において、11は中に吸着材52を入
れて排気ガス51に含まれる排出物質(図示せず) の除去
処理を行う吸着塔本体、12は吸着塔本体11に排気ガス51
を導入する排気ガス導入管、13は吸着塔本体11内で清浄
化された清浄気体55を大気中に放出する清浄気体放出管
である。吸着塔本体11は大きなドラム罐状をしており、
その側壁上部には吸着材供給管18が、側壁下部には吸着
材回収管19がそれぞれ斜設されている。
れて排気ガス51に含まれる排出物質(図示せず) の除去
処理を行う吸着塔本体、12は吸着塔本体11に排気ガス51
を導入する排気ガス導入管、13は吸着塔本体11内で清浄
化された清浄気体55を大気中に放出する清浄気体放出管
である。吸着塔本体11は大きなドラム罐状をしており、
その側壁上部には吸着材供給管18が、側壁下部には吸着
材回収管19がそれぞれ斜設されている。
【０００５】また、この中には、多数の通気孔16a が点
在するとともに一つの吸着材落下口16b を備えた通気板
16が多段に配設されて、上下方向に仕切られている。複
数の通気板16は各吸着材落下口16b が上下方向に互いに
重ならないように配設されている。これらの通気板16の
下には通気筒17a と吸着材落下避け17b を備えた傾斜板
17が斜設されており、その最低位置で吸着材回収管19と
接している。
在するとともに一つの吸着材落下口16b を備えた通気板
16が多段に配設されて、上下方向に仕切られている。複
数の通気板16は各吸着材落下口16b が上下方向に互いに
重ならないように配設されている。これらの通気板16の
下には通気筒17a と吸着材落下避け17b を備えた傾斜板
17が斜設されており、その最低位置で吸着材回収管19と
接している。
【０００６】吸着材52がこの吸着塔本体11に吸着材供給
管18から供給され、複数の通気板16の吸着材落下口16b
と傾斜板17上を経由して吸着材回収管19から使用済吸着
材53として回収される。回収された使用済吸着材53は吸
着材再生装置 (図示せず) により再生され、吸着材52と
して再び吸着材供給管18から吸着塔本体11に供給され
る。
管18から供給され、複数の通気板16の吸着材落下口16b
と傾斜板17上を経由して吸着材回収管19から使用済吸着
材53として回収される。回収された使用済吸着材53は吸
着材再生装置 (図示せず) により再生され、吸着材52と
して再び吸着材供給管18から吸着塔本体11に供給され
る。
【０００７】排気ガス導入管12は、一端が吸着塔本体11
に接続され、他端は排気ダクト20を介して多数の排気ガ
ス発生源 (図示せず) に連通している。排気ガス導入管
12の管路には、排気ダクト20側に第１の送風機21が、吸
着塔本体11側に第２の送風機22がそれぞれ配設されてお
り、また、第１の送風機21と第２の送風機22との間で外
気取入管23と排気ガス緊急放出管14が接続されている。
外気取入管23と排気ガス緊急放出管14はいずれも一端が
開口しており、それぞれの管路にはいずれも開度調整可
能な取入管調整弁24, 放出管調整弁15が配設されてい
る。
に接続され、他端は排気ダクト20を介して多数の排気ガ
ス発生源 (図示せず) に連通している。排気ガス導入管
12の管路には、排気ダクト20側に第１の送風機21が、吸
着塔本体11側に第２の送風機22がそれぞれ配設されてお
り、また、第１の送風機21と第２の送風機22との間で外
気取入管23と排気ガス緊急放出管14が接続されている。
外気取入管23と排気ガス緊急放出管14はいずれも一端が
開口しており、それぞれの管路にはいずれも開度調整可
能な取入管調整弁24, 放出管調整弁15が配設されてい
る。
【０００８】かかる排気ガス処理装置は、例えば半導体
製造工場内の排気ガス発生源で発生し、排気ダクト20を
経由して送られてきた排気ガス51を第１の送風機21によ
り排気ガス導入管12に送り込み、第２の送風機22により
付勢して勢いよく吸着塔本体11内に吹き込む。この排気
ガス51は吸着塔本体11内に配設した傾斜板17の通気筒17
a から勢い良く吹き上げ、通気板16の通気孔16a を順次
通過する。この際、通気板16上の吸着材51は浮上・攪拌
されて図３(b) のように適当に分散し、排気ガス51中の
排出物質を効率よく吸着する。排出物質が除去された排
気ガス51は清浄気体 (清浄空気) 55となって清浄気体放
出管13から大気中に放出される。
製造工場内の排気ガス発生源で発生し、排気ダクト20を
経由して送られてきた排気ガス51を第１の送風機21によ
り排気ガス導入管12に送り込み、第２の送風機22により
付勢して勢いよく吸着塔本体11内に吹き込む。この排気
ガス51は吸着塔本体11内に配設した傾斜板17の通気筒17
a から勢い良く吹き上げ、通気板16の通気孔16a を順次
通過する。この際、通気板16上の吸着材51は浮上・攪拌
されて図３(b) のように適当に分散し、排気ガス51中の
排出物質を効率よく吸着する。排出物質が除去された排
気ガス51は清浄気体 (清浄空気) 55となって清浄気体放
出管13から大気中に放出される。
【０００９】ここで、吸着塔本体11内に導入する排気ガ
ス51の流量が少ないと吸着材51は図３(c) のように殆ど
分散しないから、吸着材51の吸着効率が低下する。従っ
て、吸着材51を常に適当に分散させるために排気ガス51
の導入流量を適当な値に保つ必要がある。外気取入管23
と取入管調整弁24とはそのためのものであり、例えば、
所望の導入流量が毎分500m3 、排気ダクト20からの流量
が毎分250m3 ならば、取入管調整弁24を調整して外気取
入管23から毎分250m3 の大気54を排気ガス導入管12に取
り入れる。
ス51の流量が少ないと吸着材51は図３(c) のように殆ど
分散しないから、吸着材51の吸着効率が低下する。従っ
て、吸着材51を常に適当に分散させるために排気ガス51
の導入流量を適当な値に保つ必要がある。外気取入管23
と取入管調整弁24とはそのためのものであり、例えば、
所望の導入流量が毎分500m3 、排気ダクト20からの流量
が毎分250m3 ならば、取入管調整弁24を調整して外気取
入管23から毎分250m3 の大気54を排気ガス導入管12に取
り入れる。
【００１０】尚、何らかの原因で吸着塔本体11内での排
気ガス51の流れが突然悪くなり、図３(c) に示すように
通気板16の通気孔16a が吸着材52や使用済吸着材53で目
詰まりした緊急時には、放出管調整弁15を開いて排気ガ
ス緊急放出管14から排気ガス51を大気中に放出する。
気ガス51の流れが突然悪くなり、図３(c) に示すように
通気板16の通気孔16a が吸着材52や使用済吸着材53で目
詰まりした緊急時には、放出管調整弁15を開いて排気ガ
ス緊急放出管14から排気ガス51を大気中に放出する。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】前述のように、従来の
排気ガス処理装置は、排気ガス51に外気 (大気54) を加
えて吸着塔本体11内に導入しているから、吸着材52が排
気ガス51中の排出物質の他にこの外気に含まれる水分
（雨天の場合に特に多い）をも吸着して早期に吸着能力
が低下することとなり、これをカバーするために吸着材
52の供給量を多くしなければならず、その結果、使用済
吸着材53の再生費用が増加する、という問題があった。
排気ガス処理装置は、排気ガス51に外気 (大気54) を加
えて吸着塔本体11内に導入しているから、吸着材52が排
気ガス51中の排出物質の他にこの外気に含まれる水分
（雨天の場合に特に多い）をも吸着して早期に吸着能力
が低下することとなり、これをカバーするために吸着材
52の供給量を多くしなければならず、その結果、使用済
吸着材53の再生費用が増加する、という問題があった。
【００１２】本発明は、このような問題を解決するため
になされたものであって、その目的は吸着材の吸着能力
を長く保つことのできる排気ガス処理装置の提供にあ
る。
になされたものであって、その目的は吸着材の吸着能力
を長く保つことのできる排気ガス処理装置の提供にあ
る。
【００１３】
【課題を解決するための手段】前記目的は、排気ガスに
含まれる排出物質を吸着する吸着材を入れる吸着塔本体
と、該吸着塔本体内に該排気ガスを導入する排気ガス導
入管と、該排気ガスが該吸着塔本体内で該吸着材により
該排出物質を除去されてなる清浄気体を大気中に放出す
る清浄気体放出管と、を有する排気ガス処理装置におい
て、一端が該清浄気体放出管から分岐し他端が該排気ガ
ス導入管から分岐してなる清浄気体還流管と、該清浄気
体還流管の管路に配設されて該清浄気体を該清浄気体放
出管から該排気ガス導入管に還流させる還流手段とを有
する排気ガス処理装置とすることにより達成される。
含まれる排出物質を吸着する吸着材を入れる吸着塔本体
と、該吸着塔本体内に該排気ガスを導入する排気ガス導
入管と、該排気ガスが該吸着塔本体内で該吸着材により
該排出物質を除去されてなる清浄気体を大気中に放出す
る清浄気体放出管と、を有する排気ガス処理装置におい
て、一端が該清浄気体放出管から分岐し他端が該排気ガ
ス導入管から分岐してなる清浄気体還流管と、該清浄気
体還流管の管路に配設されて該清浄気体を該清浄気体放
出管から該排気ガス導入管に還流させる還流手段とを有
する排気ガス処理装置とすることにより達成される。
【００１４】
【作用】本発明の排気ガス処理装置では、吸着塔本体に
導入する排気ガスの流量不足分を、吸着塔本体内で清浄
化された清浄気体を還流することで補うように構成され
ているから、従来の排気ガス処理装置のように吸着材が
大気中の水分を多量に吸着することはなく、従って、吸
着材の吸着能力の低下速度はスローダウンし、使用済吸
着材の再生費用が低減する。
導入する排気ガスの流量不足分を、吸着塔本体内で清浄
化された清浄気体を還流することで補うように構成され
ているから、従来の排気ガス処理装置のように吸着材が
大気中の水分を多量に吸着することはなく、従って、吸
着材の吸着能力の低下速度はスローダウンし、使用済吸
着材の再生費用が低減する。
【００１５】
【実施例】以下、本発明の実施例を、図１及び図２を参
照して説明する。図１は第１の実施例を模式的に示す要
部側断面図、図２は第２の実施例を模式的に示す要部側
断面図である。
照して説明する。図１は第１の実施例を模式的に示す要
部側断面図、図２は第２の実施例を模式的に示す要部側
断面図である。
【００１６】第１の実施例は、図１に示したように、図
３により説明した従来の排気ガス処理装置における取入
管調整弁24を備えた外気取入管23に代えて、その外気取
入用開口端を清浄気体放出管13に連結したように構成し
た清浄気体還流管31とするとともに、その清浄気体還流
管31の管路に第３の送風機（還流手段）32を設けたもの
となっている。他の部分は、図３の装置と同じである。
３により説明した従来の排気ガス処理装置における取入
管調整弁24を備えた外気取入管23に代えて、その外気取
入用開口端を清浄気体放出管13に連結したように構成し
た清浄気体還流管31とするとともに、その清浄気体還流
管31の管路に第３の送風機（還流手段）32を設けたもの
となっている。他の部分は、図３の装置と同じである。
【００１７】この例の排気ガス処理装置では、吸着塔本
体11内に導入する排気ガス51の流量が足りない場合、第
３の送風機によって清浄気体55を清浄気体放出管13から
排気ガス導入管12に送り込み、これを排気ガス51ととも
に第２の送風機22により吸着塔本体11内に導入する。
体11内に導入する排気ガス51の流量が足りない場合、第
３の送風機によって清浄気体55を清浄気体放出管13から
排気ガス導入管12に送り込み、これを排気ガス51ととも
に第２の送風機22により吸着塔本体11内に導入する。
【００１８】第２の実施例は、図２に示したように、図
１により説明した第１の実施例をベースに構成したもの
であり、バイパス管41と、その管路を開閉するバイパス
管調整弁42と、排気ガス導入管12の管路を開閉する導入
管調整弁43と、排気ガス緊急放出管14を通過する排気ガ
ス51の排出物質を吸着する吸着フィルタ44とが、第１の
実施例に付加されている。
１により説明した第１の実施例をベースに構成したもの
であり、バイパス管41と、その管路を開閉するバイパス
管調整弁42と、排気ガス導入管12の管路を開閉する導入
管調整弁43と、排気ガス緊急放出管14を通過する排気ガ
ス51の排出物質を吸着する吸着フィルタ44とが、第１の
実施例に付加されている。
【００１９】バイパス管41は一端が排気ガス導入管12の
清浄気体還流管31連結位置より上流側でこの排気ガス導
入管12と連結し、他端が清浄気体還流管31の第３の送風
機32配設位置より上流側でこの清浄気体還流管31と連結
している。導入管調整弁43は排気ガス導入管12の清浄気
体還流管31連結位置とバイパス管41連結位置との間に配
設されている。バイパス管調整弁42と導入管調整弁43と
は、ともに開度の調整ができる。
清浄気体還流管31連結位置より上流側でこの排気ガス導
入管12と連結し、他端が清浄気体還流管31の第３の送風
機32配設位置より上流側でこの清浄気体還流管31と連結
している。導入管調整弁43は排気ガス導入管12の清浄気
体還流管31連結位置とバイパス管41連結位置との間に配
設されている。バイパス管調整弁42と導入管調整弁43と
は、ともに開度の調整ができる。
【００２０】この例の排気ガス処理装置では、通常運転
の際にはバイパス管調整弁42と放出管調整弁15を閉じ、
導入管調整弁43を開く。従って、第１の実施例と同じ状
態で運転されることとなる。
の際にはバイパス管調整弁42と放出管調整弁15を閉じ、
導入管調整弁43を開く。従って、第１の実施例と同じ状
態で運転されることとなる。
【００２１】一方、何らかの原因で吸着塔本体11内での
排気ガス51の流れが突然悪くなり、図３(c) に示すよう
に通気板16の通気孔16a が吸着材52や使用済吸着材53で
目詰まりした緊急時には、バイパス管調整弁42と放出管
調整弁15を開くとともに導入管調整弁43を閉じる。これ
により、排気ガス51はバイパス管41、清浄気体還流管31
を順次経由して排気ガス緊急放出管14をに入る。この排
気ガス51は第３の送風機32により付勢されているから吸
着フィルタ44を通過し、排出物質が除去されて大気中に
放出される。従って、この例では、緊急放出時でも、清
浄気体55が大気中に放出されることになる。
排気ガス51の流れが突然悪くなり、図３(c) に示すよう
に通気板16の通気孔16a が吸着材52や使用済吸着材53で
目詰まりした緊急時には、バイパス管調整弁42と放出管
調整弁15を開くとともに導入管調整弁43を閉じる。これ
により、排気ガス51はバイパス管41、清浄気体還流管31
を順次経由して排気ガス緊急放出管14をに入る。この排
気ガス51は第３の送風機32により付勢されているから吸
着フィルタ44を通過し、排出物質が除去されて大気中に
放出される。従って、この例では、緊急放出時でも、清
浄気体55が大気中に放出されることになる。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、吸着材の
吸着能力の低下速度をスローダウンすることのできる排
気ガス処理装置を提供できる。従って、本発明の排気ガ
ス処理装置においては吸着材の再生サイクルが延びるか
ら、吸着材の再生費用が低減することとなる。
吸着能力の低下速度をスローダウンすることのできる排
気ガス処理装置を提供できる。従って、本発明の排気ガ
ス処理装置においては吸着材の再生サイクルが延びるか
ら、吸着材の再生費用が低減することとなる。
【図１】は、第１の実施例を模式的に示す要部側断面
図、
図、
【図２】は、第２の実施例を模式的に示す要部側断面
図、
図、
【図３】は、従来の排気ガス処理装置を説明するための
図である。
図である。
11は、吸着塔本体、 12は、排気ガス導入管、 13は、清浄気体放出管、 14は、排気ガス緊急放出管、 15は、放出管調整弁、 16は、通気板、 16a は、通気孔、 16b は、吸着材落下口、 17は、傾斜板、 17a は、通気筒、 17b は、吸着材落下避け、 18は、吸着材供給管、 19は、吸着材回収管、 20は、排気ダクト、 21は、第１の送風機、 22は、第２の送風機、 23は、外気取入管、 24は、取入管調整弁、 31は、清浄気体還流管、 32は、第３の送風機 (還流手段) 、 41は、バイパス管、 42は、バイパス管調整弁、 43は、導入管調整弁、 44は、吸着フィルター、 51は、排気ガス、 52は、吸着材、 53は、使用済吸着材、 54は、大気、 55は、清浄空気 (清浄気体) をそれぞれ示す。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B01D 53/34 - 53/96 B01D 53/08
Claims (2)
- 【請求項１】 排気ガスに含まれる排出物質を吸着する
吸着材を入れる吸着塔本体と、該吸着塔本体内に該排気
ガスを導入する排気ガス導入管と、該排気ガスが該吸着
塔本体内で該吸着材により該排出物質を除去されてなる
清浄気体を大気中に放出する清浄気体放出管と、を有す
る排気ガス処理装置において、一端が該清浄気体放出管から分岐し他端が該排気ガス導
入管から分岐してなる清浄気体還流管と、該清浄気体還
流管の管路に配設されて該清浄気体を該清浄気体放出管
から該排気ガス導入管に還流させる還流手段とを有する
ことを特徴とする排気ガス処理装置。 - 【請求項２】 一端が前記排気ガス導入管の前記清浄気
体還流管連結位置より上流側で該排気ガス導入管から分
岐し他端が該清浄気体還流管の前記還流手段配設位置よ
り上流側で該清浄気体還流管から分岐してなるバイパス
管と、該バイパス管の管路を開閉するバイパス管調整弁
と、該排気ガス導入管の該清浄気体還流管連結位置と該
バイパス管連結位置との間の管路を開閉する導入管開閉
弁と、を有すること特徴とする請求項１記載の排気ガス
処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05997091A JP3156264B2 (ja) | 1991-03-25 | 1991-03-25 | 排気ガス処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05997091A JP3156264B2 (ja) | 1991-03-25 | 1991-03-25 | 排気ガス処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04293516A JPH04293516A (ja) | 1992-10-19 |
| JP3156264B2 true JP3156264B2 (ja) | 2001-04-16 |
Family
ID=13128541
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP05997091A Expired - Fee Related JP3156264B2 (ja) | 1991-03-25 | 1991-03-25 | 排気ガス処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3156264B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108993094A (zh) * | 2018-08-13 | 2018-12-14 | 中国科学院过程工程研究所 | 一种活性炭烟气净化塔 |
-
1991
- 1991-03-25 JP JP05997091A patent/JP3156264B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04293516A (ja) | 1992-10-19 |
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