JP3151516B2 - プラズマ・アドレス液晶パネルの電極形成方法及びチャンネル部材 - Google Patents
プラズマ・アドレス液晶パネルの電極形成方法及びチャンネル部材Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマ・アドレ
ス液晶（ＰＡＬＣ）パネル用の電極形成方法及びチャン
ネル部材に関する。
ス液晶（ＰＡＬＣ）パネル用の電極形成方法及びチャン
ネル部材に関する。
【０００２】
【従来の技術】アメリカ合衆国特許第５０７７５５３号
（日本国特許第２６０１７１３号に対応）は、データ蓄
積要素をアドレス指定する装置を記載している。このア
メリカ合衆国特許に示された装置を実践的に実施する方
法を図４に概略的に示す。
（日本国特許第２６０１７１３号に対応）は、データ蓄
積要素をアドレス指定する装置を記載している。このア
メリカ合衆国特許に示された装置を実践的に実施する方
法を図４に概略的に示す。
【０００３】図４に示す表示パネルは、下側から順番
に、偏光子２と、チャンネル部材４と、カバー・シート
６（マイクロシートとして周知である）と、電気光学材
料の層１０と、平行透明データ駆動電極の配列（図４の
場合、１２で示す１個のみのデータ駆動電極が見える）
と、データ駆動電極を支持する上側基板１４と、上側偏
光子１６とを具えている。チャンネル部材４は、典型的
には、ガラスで作られており、その上側主面に多数の平
行チャンネル２０が形成されている。リブ２２で分離さ
れたチャンネル２０には、ヘリウムの如きイオン化可能
なガスが充填されている。陽極２４及び陰極２６が、チ
ャンネル２０の各々に設けられている。チャンネル２０
は、データ駆動電極と直交しており、（パネルから垂直
に見た場合）データ駆動電極がチャンネルと交差する領
域が、個別のパネル要素２８を形成する。各パネル要素
は、層１０、上側偏光子１６、及び下側偏光子２の要素
を含んでいるとみなせる。カラー表示パネルの場合、パ
ネル要素は、層１０及び上側基板１４の間にカラー・フ
ィルタ（図示せず）を含んでいる。パネル要素の境界と
なる表示パネルの上側面の領域は、表示パネルの単一ピ
クセル３０を構成する。
に、偏光子２と、チャンネル部材４と、カバー・シート
６（マイクロシートとして周知である）と、電気光学材
料の層１０と、平行透明データ駆動電極の配列（図４の
場合、１２で示す１個のみのデータ駆動電極が見える）
と、データ駆動電極を支持する上側基板１４と、上側偏
光子１６とを具えている。チャンネル部材４は、典型的
には、ガラスで作られており、その上側主面に多数の平
行チャンネル２０が形成されている。リブ２２で分離さ
れたチャンネル２０には、ヘリウムの如きイオン化可能
なガスが充填されている。陽極２４及び陰極２６が、チ
ャンネル２０の各々に設けられている。チャンネル２０
は、データ駆動電極と直交しており、（パネルから垂直
に見た場合）データ駆動電極がチャンネルと交差する領
域が、個別のパネル要素２８を形成する。各パネル要素
は、層１０、上側偏光子１６、及び下側偏光子２の要素
を含んでいるとみなせる。カラー表示パネルの場合、パ
ネル要素は、層１０及び上側基板１４の間にカラー・フ
ィルタ（図示せず）を含んでいる。パネル要素の境界と
なる表示パネルの上側面の領域は、表示パネルの単一ピ
クセル３０を構成する。
【０００４】多数のチャンネル内の陽極は、接地電位に
維持されたレール（導電路）と互いに接続してもよい。
複数チャンネルの１つの陰極に適当な負電圧を与えた場
合、そのチャンネル内のガスがプラズマを形成し、この
プラズマがカバー・シート６の下側面に導電路を形成す
る。データ駆動電極が接地電位ならば、電気光学材料の
体積のある要素（ボリューム要素）には実質的な電界が
なく、パネル要素はオフとみなせる。これとは反対に、
データ駆動電極が接地と実質的に異なる電位ならば、電
気光学材料のボリューム要素内に実質的な電界が生じ、
パネル要素はオンとみなせる。
維持されたレール（導電路）と互いに接続してもよい。
複数チャンネルの１つの陰極に適当な負電圧を与えた場
合、そのチャンネル内のガスがプラズマを形成し、この
プラズマがカバー・シート６の下側面に導電路を形成す
る。データ駆動電極が接地電位ならば、電気光学材料の
体積のある要素（ボリューム要素）には実質的な電界が
なく、パネル要素はオフとみなせる。これとは反対に、
データ駆動電極が接地と実質的に異なる電位ならば、電
気光学材料のボリューム要素内に実質的な電界が生じ、
パネル要素はオンとみなせる。
【０００５】従来は、チャンネル部材及びカバー・シー
トを有するチャンネル部材アセンブリを形成し、上側基
板、データ駆動電極及び電気光学材料の層を有する上側
基板アセンブリを形成し、上側基板アセンブリをチャン
ネル部材アセンブリに取り付けて、図４に示す種類の表
示パネルを組み立てていた。チャンネル部材アセンブリ
を製造する際、カバー・シートをチャンネル部材の上面
を覆うように配置し、その周辺にて、チャンネル部材に
フリットにより密封した。
トを有するチャンネル部材アセンブリを形成し、上側基
板、データ駆動電極及び電気光学材料の層を有する上側
基板アセンブリを形成し、上側基板アセンブリをチャン
ネル部材アセンブリに取り付けて、図４に示す種類の表
示パネルを組み立てていた。チャンネル部材アセンブリ
を製造する際、カバー・シートをチャンネル部材の上面
を覆うように配置し、その周辺にて、チャンネル部材に
フリットにより密封した。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ＬａＢ6の如き微粉希
土類ヘキサホウ化物の被覆を有するニッケル又はクロム
の基層を用いて、ＰＡＬＣ表示パネル内に陰極を作るこ
とが提案されている。ニッケル又はクロムの基層上の被
覆材料として希土類ヘキサホウ化物を用いる理由は、昇
華が中熱であるので、スパッタリングに対して耐性があ
るためである。
土類ヘキサホウ化物の被覆を有するニッケル又はクロム
の基層を用いて、ＰＡＬＣ表示パネル内に陰極を作るこ
とが提案されている。ニッケル又はクロムの基層上の被
覆材料として希土類ヘキサホウ化物を用いる理由は、昇
華が中熱であるので、スパッタリングに対して耐性があ
るためである。
【０００７】この提案では、電気泳動付着により、希土
類ヘキサホウ化物の被覆を金属基層に形成する。よっ
て、チャンネル部材の全上面を覆うように金属の被覆層
を付着し、各チャンネル内に２個のストリップを形成す
るようにこの被覆層をエッチングして、基層を形成す
る。これらストリップを接地レールにより相互接続し
て、ストリップが単一の電気的に連続した電極を形成す
る。なお、接地レールは、チャンネル部材の一端に沿っ
て延びている。このチャンネル部材を電気泳動付着容器
内に配置する。なお、この電気泳動付着容器内には、電
気泳動により希土類ヘキサホウ化物を付着できる媒体が
入っている。チャンネル部材内の電極を陰極として直流
電圧源に接続し、電気泳動付着容器内の他の電極を陽極
としてこの電圧源に接続する。よって、チャンネル部材
内の陰極に、希土類ヘキサホウ化物の被覆が形成され
る。所望の被覆が形成された後、チャンネル部材を容器
から出し、複合導電層（金属と、希土類ヘキサホウ化
物）を選択的にエッチングして、チャンネル部材の各チ
ャンネル内に２個の独立した電極を形成する。各チャン
ネル内の一方の電極が陽極として作用し、他方の電極が
陰極として作用する。
類ヘキサホウ化物の被覆を金属基層に形成する。よっ
て、チャンネル部材の全上面を覆うように金属の被覆層
を付着し、各チャンネル内に２個のストリップを形成す
るようにこの被覆層をエッチングして、基層を形成す
る。これらストリップを接地レールにより相互接続し
て、ストリップが単一の電気的に連続した電極を形成す
る。なお、接地レールは、チャンネル部材の一端に沿っ
て延びている。このチャンネル部材を電気泳動付着容器
内に配置する。なお、この電気泳動付着容器内には、電
気泳動により希土類ヘキサホウ化物を付着できる媒体が
入っている。チャンネル部材内の電極を陰極として直流
電圧源に接続し、電気泳動付着容器内の他の電極を陽極
としてこの電圧源に接続する。よって、チャンネル部材
内の陰極に、希土類ヘキサホウ化物の被覆が形成され
る。所望の被覆が形成された後、チャンネル部材を容器
から出し、複合導電層（金属と、希土類ヘキサホウ化
物）を選択的にエッチングして、チャンネル部材の各チ
ャンネル内に２個の独立した電極を形成する。各チャン
ネル内の一方の電極が陽極として作用し、他方の電極が
陰極として作用する。
【０００８】多数の異なる分子構造内には、炭素が存在
する。炭素分子の１つの形式は、フラーレン（化学式Ｃ
ｎで示される炭素のみから成る大型分子：ｎは３２から
１００以上までの偶数）として知られている。分子内の
炭素原子の数により特徴づけられる少なくとも３種類の
フラーレンがある。Ｃ６０フラーレン分子は、一般に球
形構造として配置された６０個の炭素原子で構成され
る。フラーレンは、昇華温度が希土類ヘキサホウ化物よ
りも高い。
する。炭素分子の１つの形式は、フラーレン（化学式Ｃ
ｎで示される炭素のみから成る大型分子：ｎは３２から
１００以上までの偶数）として知られている。分子内の
炭素原子の数により特徴づけられる少なくとも３種類の
フラーレンがある。Ｃ６０フラーレン分子は、一般に球
形構造として配置された６０個の炭素原子で構成され
る。フラーレンは、昇華温度が希土類ヘキサホウ化物よ
りも高い。
【０００９】したがって、本発明は、昇華温度が希土類
ヘキサホウ化物よりも高いフラーレンを用いて、スパッ
タリング損傷に対する耐性を一層高めたプラズマ・アド
レス液晶パネルの電極形成方法及びチャンネル部材を提
供するものである。
ヘキサホウ化物よりも高いフラーレンを用いて、スパッ
タリング損傷に対する耐性を一層高めたプラズマ・アド
レス液晶パネルの電極形成方法及びチャンネル部材を提
供するものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明の第１の観点によ
れば、本発明は、一面に複数のチャンネルを有するプラ
ズマ・アドレス液晶パネル用チャンネル部材上に電極を
形成する方法であって；チャンネル部材のチャンネル内
に少なくとも１個の金属ストリップを形成し；この金属
ストリップ上にフラーレンの表面層を形成して、金属コ
ア及びフラーレンの表面層を有する電極を形成すること
を特徴とする。
れば、本発明は、一面に複数のチャンネルを有するプラ
ズマ・アドレス液晶パネル用チャンネル部材上に電極を
形成する方法であって；チャンネル部材のチャンネル内
に少なくとも１個の金属ストリップを形成し；この金属
ストリップ上にフラーレンの表面層を形成して、金属コ
ア及びフラーレンの表面層を有する電極を形成すること
を特徴とする。
【００１１】本発明の第２の観点によれば、本発明は、
一面に複数のチャンネルを有するプラズマ・アドレス液
晶パネル用チャンネル部材上に電極を形成する方法であ
って、；チャンネル部材の少なくとも１個のチャンネル
内に少なくとも１個の金属ストリップを形成し；金属ス
トリップ上にフラーレンの層を形成して、金属ストリッ
プを有するコアと、フラーレンの表面層とを有する電極
を形成することを特徴とする。
一面に複数のチャンネルを有するプラズマ・アドレス液
晶パネル用チャンネル部材上に電極を形成する方法であ
って、；チャンネル部材の少なくとも１個のチャンネル
内に少なくとも１個の金属ストリップを形成し；金属ス
トリップ上にフラーレンの層を形成して、金属ストリッ
プを有するコアと、フラーレンの表面層とを有する電極
を形成することを特徴とする。
【００１２】本発明の第３の観点によれば、本発明は、
プラズマ・アドレス液晶パネル用チャンネル部材上に電
極を形成する方法であって；所定パターンに応じて電極
金属を付着させ；電極金属上にフラーレンを電気泳動的
に付着させることを特徴とする。
プラズマ・アドレス液晶パネル用チャンネル部材上に電
極を形成する方法であって；所定パターンに応じて電極
金属を付着させ；電極金属上にフラーレンを電気泳動的
に付着させることを特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、添付図を参照して、本発明
の好適な実施例を説明する。なお、添付図において、同
じ参照符号は、同じ要素を示す。また、特許請求の範囲
を含む本願明細書において、「上側」や、「下側」など
の方向や位置を表す用語は、図面に対して相対的な方向
を示すものであり、絶対的な意味に限定するものではな
い。
の好適な実施例を説明する。なお、添付図において、同
じ参照符号は、同じ要素を示す。また、特許請求の範囲
を含む本願明細書において、「上側」や、「下側」など
の方向や位置を表す用語は、図面に対して相対的な方向
を示すものであり、絶対的な意味に限定するものではな
い。
【００１４】図１は、本発明を説明するために、電気泳
動付着容器内におけるプラズマ・アドレス液晶パネルの
チャンネル部材を部分的に断面とした図であり、図２
は、図１に示すチャンネル部材の平面図であり、図３
は、プラズマ放電容器における処理後のチャンネル部材
内の電極の構造を示すために、図１の細部を拡大した断
面図である。図１及び図２に示すチャンネル部材４は、
チャンネル２０の各々に２個の金属ストリップ（電極で
ある陽極及び陰極）４０及び４２を有する。図１及び図
２に示す構造は、チャンネル部材の全上面にわたって金
属の被覆層を付着させ、既知の写真平版技術を用いて被
覆層をエッチングして、所望パターンのストリップを形
成することにより、作ってもよい。レール（電極金属）
５２により、チャンネル部材の一端に沿ってストリップ
４０及び４２を相互接続する。このレール５２は、チャ
ンネル部材の一端に沿って延びる。よって、単一の電気
的に連続した電極が形成される。クロムは、ガラスに良
好に接着するので、ステップ４０、４２及びレール５２
に適切な金属は、クロムである。
動付着容器内におけるプラズマ・アドレス液晶パネルの
チャンネル部材を部分的に断面とした図であり、図２
は、図１に示すチャンネル部材の平面図であり、図３
は、プラズマ放電容器における処理後のチャンネル部材
内の電極の構造を示すために、図１の細部を拡大した断
面図である。図１及び図２に示すチャンネル部材４は、
チャンネル２０の各々に２個の金属ストリップ（電極で
ある陽極及び陰極）４０及び４２を有する。図１及び図
２に示す構造は、チャンネル部材の全上面にわたって金
属の被覆層を付着させ、既知の写真平版技術を用いて被
覆層をエッチングして、所望パターンのストリップを形
成することにより、作ってもよい。レール（電極金属）
５２により、チャンネル部材の一端に沿ってストリップ
４０及び４２を相互接続する。このレール５２は、チャ
ンネル部材の一端に沿って延びる。よって、単一の電気
的に連続した電極が形成される。クロムは、ガラスに良
好に接着するので、ステップ４０、４２及びレール５２
に適切な金属は、クロムである。
【００１５】直流電圧源５６に陰極及び陽極として夫々
接続された電極４０、４２及び電極５４を用い、適切な
媒体の入った電気泳動容器内に浸した電気泳動付着技術
により、ストリップ４０及び４２を覆うＣ６０フラーレ
ンのカバー層（表面層）４４（図３）を形成する。この
方法においては、金属接着層と、Ｃ６０フラーレンのカ
バー層とで各々構成された２個の複合ストリップ（電
極）４０’及び４２’が、各チャンネル内に形成され
る。
接続された電極４０、４２及び電極５４を用い、適切な
媒体の入った電気泳動容器内に浸した電気泳動付着技術
により、ストリップ４０及び４２を覆うＣ６０フラーレ
ンのカバー層（表面層）４４（図３）を形成する。この
方法においては、金属接着層と、Ｃ６０フラーレンのカ
バー層とで各々構成された２個の複合ストリップ（電
極）４０’及び４２’が、各チャンネル内に形成され
る。
【００１６】Ｃ６０フラーレンのカバー層４４を形成し
た後、部分５８を例えばエッチングして、各対の一方の
ストリップ４２’を他方のストリップ４２’から分離す
る。
た後、部分５８を例えばエッチングして、各対の一方の
ストリップ４２’を他方のストリップ４２’から分離す
る。
【００１７】次に、カバー・シートがチャンネル部材を
覆って配置され、チャンネル部材アセンブリをカバー・
シートにフリットにより密封する。従来方法により、チ
ャンネル部材アセンブリを上側基板アセンブリに取り付
けて、ＰＡＬＣ表示パネルを完成させる。
覆って配置され、チャンネル部材アセンブリをカバー・
シートにフリットにより密封する。従来方法により、チ
ャンネル部材アセンブリを上側基板アセンブリに取り付
けて、ＰＡＬＣ表示パネルを完成させる。
【００１８】上述の方法で製造した陰極構体は、希土類
ヘキサホウ化物を用いた陰極構体よりも優れた利点を有
する。特に、Ｃ６０フラーレンの昇華温度は、今まで用
いた希土類ヘキサホウ化物よりも高いので、陰極構体の
スパッタリング損傷に対する耐性が一層改善される。
ヘキサホウ化物を用いた陰極構体よりも優れた利点を有
する。特に、Ｃ６０フラーレンの昇華温度は、今まで用
いた希土類ヘキサホウ化物よりも高いので、陰極構体の
スパッタリング損傷に対する耐性が一層改善される。
【００１９】本発明は、上述の特定実施例に限定される
ものではなく、本発明の要旨を逸脱することなく種々の
変形変更が可能なことが理解できよう。例えば、処理を
便利にするために、Ｃ６０フラーレン層を各チャンネル
内の両方の金属ストリップ上に形成してもよいが、本発
明は、これら両方のストリップを形成するのにＣ６０フ
ラーレン層に限定するものではない。なお、特に陰極に
おいて、Ｃ６０フラーレン層の利点が得られる。
ものではなく、本発明の要旨を逸脱することなく種々の
変形変更が可能なことが理解できよう。例えば、処理を
便利にするために、Ｃ６０フラーレン層を各チャンネル
内の両方の金属ストリップ上に形成してもよいが、本発
明は、これら両方のストリップを形成するのにＣ６０フ
ラーレン層に限定するものではない。なお、特に陰極に
おいて、Ｃ６０フラーレン層の利点が得られる。
【００２０】
【発明の効果】上述の如く、本発明によれば、希土類ヘ
キサホウ化物よりも昇華温度の高いフラーレン層によ
り、導電ストリップを被覆するため、スパッタリング損
傷に対する耐性が、希土類ヘキサホウ化物の場合よりも
大幅に改善される。
キサホウ化物よりも昇華温度の高いフラーレン層によ
り、導電ストリップを被覆するため、スパッタリング損
傷に対する耐性が、希土類ヘキサホウ化物の場合よりも
大幅に改善される。
【図１】本発明を説明するために、電気泳動付着容器内
におけるプラズマ・アドレス液晶パネルのチャンネル部
材を部分的に断面とした図である。
におけるプラズマ・アドレス液晶パネルのチャンネル部
材を部分的に断面とした図である。
【図２】図１に示すチャンネル部材の平面図である。
【図３】プラズマ放電容器における処理後のチャンネル
部材内の電極の構造を示すために、図１の細部を拡大し
た断面図である。
部材内の電極の構造を示すために、図１の細部を拡大し
た断面図である。
【図４】従来のプラズマ・アドレス液晶表示パネルの断
面図である。
面図である。
４ チャンネル部材 ２０ チャンネル ４０、４２ 金属ストリップ（電極金属） ４０’、４２’ 複合ストリップ（電極） ４４ フラーレン・カバー層 ５２ レール（電極金属） ５４ 電極 ５６ 直流電圧源
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 トーマス・エス・ブザク アメリカ合衆国 オレゴン州 97007 ビーバートン サウスウエスト ストー ンクリーク・ドライブ 9755 (72)発明者 ポール・シー・マーティン アメリカ合衆国 オレゴン州 97707 サンリバーピー・オー・ボックス 4141 (56)参考文献 特表 平９−509760（ＪＰ，Ａ) 国際公開96／19750（ＷＯ，Ａ１) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G02F 1/1333 G02F 1/1343
Claims (4)
- 【請求項１】 一面に複数のチャンネルを有するプラズ
マ・アドレス液晶パネル用チャンネル部材上に電極を形
成する方法であって、 上記チャンネル部材のチャンネル内に少なくとも１個の
金属ストリップを形成し、 上記金属ストリップ上にフラーレンの表面層を形成し
て、金属コア及び上記フラーレンの表面層を有する電極
を形成することを特徴とするプラズマ・アドレス液晶パ
ネルの電極形成方法。 - 【請求項２】 一面に複数のチャンネルを有するプラズ
マ・アドレス液晶パネル用チャンネル部材上に電極を形
成する方法であって、 上記チャンネル部材の少なくとも１個のチャンネル内に
少なくとも１個の金属ストリップを形成し、 上記金属ストリップ上にフラーレンの層を形成して、上
記金属ストリップを有するコアと、上記フラーレンの表
面層とを有する電極を形成することを特徴とするプラズ
マ・アドレス液晶パネルの電極形成方法。 - 【請求項３】 プラズマ・アドレス液晶パネル用チャン
ネル部材上に電極を形成する方法であって、 所定パターンに応じて電極金属を付着させ、 上記電極金属上にフラーレンを電気泳動的に付着させる
ことを特徴とするプラズマ・アドレス液晶パネルの電極
形成方法。 - 【請求項４】 一面に複数のチャンネルを有すると共
に、該チャンネルの１個に少なくとも１個の電極を有す
るチャンネル部材であって、 上記少なくとも１個の電極は、複合構造であり、金属を
有するコアと、フラーレンの表面層とを具えたことを特
徴とするプラズマ・アドレス液晶パネル用チャンネル部
材。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US2423296P | 1996-09-30 | 1996-09-30 | |
| US60/024,232 | 1996-09-30 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10142585A JPH10142585A (ja) | 1998-05-29 |
| JP3151516B2 true JP3151516B2 (ja) | 2001-04-03 |
Family
ID=21819538
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26029697A Expired - Fee Related JP3151516B2 (ja) | 1996-09-30 | 1997-09-25 | プラズマ・アドレス液晶パネルの電極形成方法及びチャンネル部材 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5838398A (ja) |
| JP (1) | JP3151516B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101627337B1 (ko) * | 2014-08-13 | 2016-06-07 | 국민대학교산학협력단 | 상면만곡 보정형 시료 챔버 카트리지 |
Families Citing this family (11)
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|---|---|---|---|---|
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