JP3148984B2 - 水晶振動子を用いた検出対象物質の感度可変検出方法 - Google Patents
水晶振動子を用いた検出対象物質の感度可変検出方法Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガス濃度測定、有
害物質等の濃度監視等を、現場において簡便迅速に、か
つ連続的に測定・監視可能とする検出法に関するもので
ある。
害物質等の濃度監視等を、現場において簡便迅速に、か
つ連続的に測定・監視可能とする検出法に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】従来、ガス濃度測定あるいは溶液中にお
ける溶存揮発性物質の高感度分析には、主にガスクロマ
トグラフ法が用いられてきた。又、現場での作業環境の
監視などには、より簡便な検知管法も使われている。揮
発性物質の分析に用いられるガスクロマトグラフ法での
濃度測定は操作が煩雑で時間を要し熟練した技術者が行
ってきた。一方、現場で実施可能な簡易検出法としては
発色試薬の呈色反応を利用した検知管法が用いられてき
たが、干渉物質の影響を受けやすく、また変色を測定者
が目視する際に誤差を生じやすい。さらに、これらの方
法は現場でのサンプリングが必要であるため、濃度を常
時監視することは難しく、事故・災害時等に、緊急に現
場の濃度を遠隔地から監視することができないという問
題があった。
ける溶存揮発性物質の高感度分析には、主にガスクロマ
トグラフ法が用いられてきた。又、現場での作業環境の
監視などには、より簡便な検知管法も使われている。揮
発性物質の分析に用いられるガスクロマトグラフ法での
濃度測定は操作が煩雑で時間を要し熟練した技術者が行
ってきた。一方、現場で実施可能な簡易検出法としては
発色試薬の呈色反応を利用した検知管法が用いられてき
たが、干渉物質の影響を受けやすく、また変色を測定者
が目視する際に誤差を生じやすい。さらに、これらの方
法は現場でのサンプリングが必要であるため、濃度を常
時監視することは難しく、事故・災害時等に、緊急に現
場の濃度を遠隔地から監視することができないという問
題があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、分析対象物
質の濃度を水晶振動子の周波数変化から検知する方法に
おいて、その検知感度を調節する方法を提供することを
その課題とする。
質の濃度を水晶振動子の周波数変化から検知する方法に
おいて、その検知感度を調節する方法を提供することを
その課題とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、前記課題
を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、本発明を完成する
に至った。即ち、本発明によれば、検出対象物質を含有
する気体又は液体を、該検出対象物質に対して吸着性を
有する被膜を表面に有する水晶振動子に接触させるとと
もに、該水晶振動子の周波数変化を測定することにより
該検出対象物質の濃度を検出する方法において、該検出
対象物質を含有する気体又は液体を温度調節装置中を流
通させて該気体又は気体の温度を調節した後、これと同
じ温度に調節された該検出器と接触させることを特徴と
する検出対象物質の検出方法が提供される。
を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、本発明を完成する
に至った。即ち、本発明によれば、検出対象物質を含有
する気体又は液体を、該検出対象物質に対して吸着性を
有する被膜を表面に有する水晶振動子に接触させるとと
もに、該水晶振動子の周波数変化を測定することにより
該検出対象物質の濃度を検出する方法において、該検出
対象物質を含有する気体又は液体を温度調節装置中を流
通させて該気体又は気体の温度を調節した後、これと同
じ温度に調節された該検出器と接触させることを特徴と
する検出対象物質の検出方法が提供される。
【０００５】
【発明の実施の形態】本発明で用いる検出器は、検出対
象物質に対して吸着性を有する被膜を表面に有する水晶
振動子である。このような検出器では、その水晶振動子
の表面に吸着した物質の質量に比例して水晶振動子の発
振周波数が変化する。従って、その周波数変化を測定す
ることにより、その検出対象物質の吸着量（濃度）を知
ることができる。その被膜の厚さは、水晶振動子の発振
を妨げない薄膜であればよい。
象物質に対して吸着性を有する被膜を表面に有する水晶
振動子である。このような検出器では、その水晶振動子
の表面に吸着した物質の質量に比例して水晶振動子の発
振周波数が変化する。従って、その周波数変化を測定す
ることにより、その検出対象物質の吸着量（濃度）を知
ることができる。その被膜の厚さは、水晶振動子の発振
を妨げない薄膜であればよい。
【０００６】水晶振動子（水晶発振器）としては、従来
公知の各種のものを用いることができるが、一般的に
は、その基本周波数が１〜１００ＭＨｚ、好ましくは９
〜２７ＭＨｚのものが用いられる。
公知の各種のものを用いることができるが、一般的に
は、その基本周波数が１〜１００ＭＨｚ、好ましくは９
〜２７ＭＨｚのものが用いられる。
【０００７】水晶振動子の表面に形成する被膜は、検出
対象物質に対して吸着性を有する被膜である。この場
合、その被膜は、その被膜形成材料自体が吸着性を有す
るものであってもよく、また、その被膜中に吸着性物質
を含有させたものであってもよい。前者の被膜の場合、
その被膜は、各種の脂質化合物から形成されたものであ
ることができる。このような脂質化合物としては、以下
のものが示される。
対象物質に対して吸着性を有する被膜である。この場
合、その被膜は、その被膜形成材料自体が吸着性を有す
るものであってもよく、また、その被膜中に吸着性物質
を含有させたものであってもよい。前者の被膜の場合、
その被膜は、各種の脂質化合物から形成されたものであ
ることができる。このような脂質化合物としては、以下
のものが示される。
【０００８】（１）下記一般式（１）で表される脂質化
合物
合物
【化１】 前記式中、Ｒ１及びＲ２は炭素数８〜２２、好ましくは
１０〜１８の高級アルキル基又はアルケニル基を示す。
Ｒ３は炭素数１〜８、好ましくは１〜６の低級アルキル
基を示す。Ｒ４は炭素数１〜８、好ましくは１〜６のア
ルケニル基を示す。
１０〜１８の高級アルキル基又はアルケニル基を示す。
Ｒ３は炭素数１〜８、好ましくは１〜６の低級アルキル
基を示す。Ｒ４は炭素数１〜８、好ましくは１〜６のア
ルケニル基を示す。
【０００９】（２）下記一般式（２）で表される脂質化
合物
合物
【化２】 前記式中、Ｒ１及びＲ２は高級アルキル基又はアルケニ
ル基を示す。Ｒ３及びＲ５は低級アルキル基を示す。Ｐ
ｈはフェニレン基を示し、Ｌはポリエチレン鎖等の炭化
水素鎖を示す。
ル基を示す。Ｒ３及びＲ５は低級アルキル基を示す。Ｐ
ｈはフェニレン基を示し、Ｌはポリエチレン鎖等の炭化
水素鎖を示す。
【００１０】（３）下記一般式（３）で表される脂質化
合物
合物
【化３】 前記式中、Ｒ１及びＲ２は高級アルキル基又はアルケニ
ル基を示し、Ｒ５は炭素数２〜８のアルキレン基を示
し、ｎは１〜１０、好ましくは２〜６の数を示す。
ル基を示し、Ｒ５は炭素数２〜８のアルキレン基を示
し、ｎは１〜１０、好ましくは２〜６の数を示す。
【００１１】（４）下記一般式（４）で表される脂質化
合物
合物
【化４】 前記式中、Ｒ１及びＲ２は高級アルキル基又はアルケニ
ル基を示す。
ル基を示す。
【００１２】前記脂質化合物は、気体や液体中の揮発性
有機塩素化合物（ＶＯＣＬ）（トリクロロエチレン、テ
トラクロロエチレン等）に対して吸着性を示す。
有機塩素化合物（ＶＯＣＬ）（トリクロロエチレン、テ
トラクロロエチレン等）に対して吸着性を示す。
【００１３】（５）極性基を含有するポリマー 極性基として酸性基（カルボキシル基、スルホン酸基、
リン酸基等）を含有するポリマーは、塩基性ガス（アン
モニア、アミン等）を吸着する。一方、極性基として塩
基性基（アミノ基等）を含有するポリマーは酸性ガス
（塩化水素、亜硫酸ガス等）を吸着する。
リン酸基等）を含有するポリマーは、塩基性ガス（アン
モニア、アミン等）を吸着する。一方、極性基として塩
基性基（アミノ基等）を含有するポリマーは酸性ガス
（塩化水素、亜硫酸ガス等）を吸着する。
【００１４】一方、吸着性物質を含有する被膜の場合、
その吸着性物質としては、以下のもの等を含有するポリ
マー被膜を挙げることができる。
その吸着性物質としては、以下のもの等を含有するポリ
マー被膜を挙げることができる。
【００１５】（１）多孔性吸着剤 このようなものとしては、活性炭、ゼオライト、アルミ
ナ、シリカ、チタニア、シリカーアルミナ等が挙げられ
る。このような多孔性吸着剤は、その吸着性能に応じて
各種のガスや液体を吸着する。
ナ、シリカ、チタニア、シリカーアルミナ等が挙げられ
る。このような多孔性吸着剤は、その吸着性能に応じて
各種のガスや液体を吸着する。
【００１６】（２）極性基を含有する低分子化合物 このようなものとしては、酸性基（カルボキシル基、ス
ルホン酸基、リン酸基等）を含有する各種の化合物や、
塩基性基（アミノ基等）を含有する各種の化合物を挙げ
ることができる。酸性基を有する化合物は、塩基性ガス
を吸着し、一方、塩基性基を含有する化合物は、酸性ガ
スを吸着する。
ルホン酸基、リン酸基等）を含有する各種の化合物や、
塩基性基（アミノ基等）を含有する各種の化合物を挙げ
ることができる。酸性基を有する化合物は、塩基性ガス
を吸着し、一方、塩基性基を含有する化合物は、酸性ガ
スを吸着する。
【００１７】前記吸着性物質を含むポリマー被膜は、吸
着性物質とポリマーとの混合物を、溶液状又はエマルジ
ョン状で水晶振動子表面に塗布乾燥することのよって形
成することができる。ポリマーとしては、塗料における
塗膜成分として用いられている各種のポリマーを挙げる
ことができる。
着性物質とポリマーとの混合物を、溶液状又はエマルジ
ョン状で水晶振動子表面に塗布乾燥することのよって形
成することができる。ポリマーとしては、塗料における
塗膜成分として用いられている各種のポリマーを挙げる
ことができる。
【００１８】本発明においては、前記した検出器を用い
て気体や液体中の検出対象物質の濃度を測定する際に、
その検出器を温度制御することを特徴とする。この場
合、その温度は一般的には−１５〜４５℃であるが、検
出器を低温側に保つと、検出対象物質の吸着量が増大す
るため、その検出感度が向上する。検出感度を向上させ
る場合、その温度としては、室温より低い温度、例え
ば、−１５〜２０℃、好ましくは−１０〜１５℃程度の
温度が採用される。一方、検出器を高温側に保つと、検
出対象物質の吸着量が減少し、検出感度が抑制される。
この場合、その温度としては、室温より高い温度、通
常、３０〜４５℃、好ましくは３０〜４０℃が採用され
る。
て気体や液体中の検出対象物質の濃度を測定する際に、
その検出器を温度制御することを特徴とする。この場
合、その温度は一般的には−１５〜４５℃であるが、検
出器を低温側に保つと、検出対象物質の吸着量が増大す
るため、その検出感度が向上する。検出感度を向上させ
る場合、その温度としては、室温より低い温度、例え
ば、−１５〜２０℃、好ましくは−１０〜１５℃程度の
温度が採用される。一方、検出器を高温側に保つと、検
出対象物質の吸着量が減少し、検出感度が抑制される。
この場合、その温度としては、室温より高い温度、通
常、３０〜４５℃、好ましくは３０〜４０℃が採用され
る。
【００１９】検出器の温度を調節する方法としては、検
出対象物質を含む気体又は液体を、温度調節装置を流通
させて所定温度に調節した後、検出器と接触させる方法
や、検出器をボックス等に収容する等して所定温度に調
節しておき、この所定温度に調節された検出器に、あら
かじめ所定温度に調節した気体又は液体を接触させる方
法等が採用される。温度調節装置としては、恒温室内に
配置した導管コイル等が採用される。この温度調節装置
により所定温度に調節された気体又は液体は、前記検出
器と接触し、その検出器の検出感度を所定感度に調節す
る。
出対象物質を含む気体又は液体を、温度調節装置を流通
させて所定温度に調節した後、検出器と接触させる方法
や、検出器をボックス等に収容する等して所定温度に調
節しておき、この所定温度に調節された検出器に、あら
かじめ所定温度に調節した気体又は液体を接触させる方
法等が採用される。温度調節装置としては、恒温室内に
配置した導管コイル等が採用される。この温度調節装置
により所定温度に調節された気体又は液体は、前記検出
器と接触し、その検出器の検出感度を所定感度に調節す
る。
【００２０】
【実施例】次に本発明の１つの実施例について図面を参
照して説明する。図１は窒素中のトリクロロエチレン濃
度を連続的に測定する際に使用する装置の構成図であ
る。検出器を内蔵するフローセル及び温度調節装置、試
料及びブランク（窒素）の供給装置と流路切替のための
制御装置、装置全体の制御及び検出器出力の記録、解析
のためのコンピュータから構成される。測定装置及び試
料の変質及び劣化を防ぐためテフロン製の配管材を使用
する。
照して説明する。図１は窒素中のトリクロロエチレン濃
度を連続的に測定する際に使用する装置の構成図であ
る。検出器を内蔵するフローセル及び温度調節装置、試
料及びブランク（窒素）の供給装置と流路切替のための
制御装置、装置全体の制御及び検出器出力の記録、解析
のためのコンピュータから構成される。測定装置及び試
料の変質及び劣化を防ぐためテフロン製の配管材を使用
する。
【００２１】検出器の作成法を示す。基本周波９ＭＨ
ｚ、ＡＴ−ｃｕｔ型の水晶振動子に以下の手順により脂
質膜を被覆する事により作成した。脂質をジクロロメタ
ンに溶解し、この溶液を水晶振動子の一方の電極上に塗
布する。被覆の前後で発振周波数が約５０００〜１５０
００Ｈｚ減少するように塗布量を調節する。空気中で溶
媒を蒸発乾燥し、フローセルに組み込む。各々の検出器
の周波数変化はコンピューターで逐次記録し信号処理を
行う。温度変化による誤差を低減するためフローセルは
目的温度の±０．３℃以内に保つ。
ｚ、ＡＴ−ｃｕｔ型の水晶振動子に以下の手順により脂
質膜を被覆する事により作成した。脂質をジクロロメタ
ンに溶解し、この溶液を水晶振動子の一方の電極上に塗
布する。被覆の前後で発振周波数が約５０００〜１５０
００Ｈｚ減少するように塗布量を調節する。空気中で溶
媒を蒸発乾燥し、フローセルに組み込む。各々の検出器
の周波数変化はコンピューターで逐次記録し信号処理を
行う。温度変化による誤差を低減するためフローセルは
目的温度の±０．３℃以内に保つ。
【００２２】図２に、異なる脂質１〜４をそれぞれ約5
マイクログラム被覆した検出器のトリクロロエチレンに
対する温度対感度特性を示す。測定は次の操作により行
った。 （１）フローセルに窒素のみを流す。 （２）１０００ｐｐｍのトリクロロエチレンを一定時間
流し、２０分後の値を記録する。 （３）再び窒素のみを流す。 この例から、脂質1を被覆した検出器では、検出器の温
度が下がるといったん感度が増大するが−５℃以下で急
激に減少することが分かる。その他の脂質を被覆した検
出器では一般に温度が低いほど感度が増大する。従来法
では主に室温付近で使用していたが、本法によると−５
℃に冷却した水晶振動子を用いることで２５℃での使用
に比べて最大約６倍に感度が上がり、４５℃に加熱した
場合２５℃での使用に比べて約０．３倍に感度が抑制さ
れた。
マイクログラム被覆した検出器のトリクロロエチレンに
対する温度対感度特性を示す。測定は次の操作により行
った。 （１）フローセルに窒素のみを流す。 （２）１０００ｐｐｍのトリクロロエチレンを一定時間
流し、２０分後の値を記録する。 （３）再び窒素のみを流す。 この例から、脂質1を被覆した検出器では、検出器の温
度が下がるといったん感度が増大するが−５℃以下で急
激に減少することが分かる。その他の脂質を被覆した検
出器では一般に温度が低いほど感度が増大する。従来法
では主に室温付近で使用していたが、本法によると−５
℃に冷却した水晶振動子を用いることで２５℃での使用
に比べて最大約６倍に感度が上がり、４５℃に加熱した
場合２５℃での使用に比べて約０．３倍に感度が抑制さ
れた。
【００２３】前記脂質１〜４は、下記の構造式で表され
るものである。 （１）脂質１
るものである。 （１）脂質１
【化５】 （２）脂質２
【化６】 （３）脂質３
【化７】 （４）脂質４
【化８】
【００２４】
【発明の効果】以上、説明したように、本発明の温度制
御を行った水晶振動子を用いた気体中及び溶液中におけ
る検出対象物質の可変感度検出方法は、検出対象物質を
選択的に吸着する吸着性被膜で表面を被覆した水晶振動
子を温度制御して検出器として使用し、水晶振動子の表
面に吸着した物質の質量に比例して水晶振動子の発振周
波数が変化する現象を利用して、検出対象物質濃度を検
出器の感度を任意に可変して測定することを可能とする
ものである。さらに、本発明の場合、従来法では困難な
現場での完全自動測定を可能とすることから、有害物質
漏洩事故に迅速に対処するための早期警報装置への応用
の他、分析操作の省力化、分析精度向上、安全性の向上
の効果を得ることができる。
御を行った水晶振動子を用いた気体中及び溶液中におけ
る検出対象物質の可変感度検出方法は、検出対象物質を
選択的に吸着する吸着性被膜で表面を被覆した水晶振動
子を温度制御して検出器として使用し、水晶振動子の表
面に吸着した物質の質量に比例して水晶振動子の発振周
波数が変化する現象を利用して、検出対象物質濃度を検
出器の感度を任意に可変して測定することを可能とする
ものである。さらに、本発明の場合、従来法では困難な
現場での完全自動測定を可能とすることから、有害物質
漏洩事故に迅速に対処するための早期警報装置への応用
の他、分析操作の省力化、分析精度向上、安全性の向上
の効果を得ることができる。
【図１】本法により試料中の揮発性有機塩素化合物濃度
を測定する装置の構成図である。
を測定する装置の構成図である。
【図２】トリクロロエチレンに対する温度対感度特性で
ある。
ある。
フロントページの続き (72)発明者 冨永 衛 茨城県つくば市小野川16番３ 工業技術 院資源環境技術総合研究所内 (56)参考文献 特開 平８−233759（ＪＰ，Ａ) 特開 平10−38784（ＪＰ，Ａ) 特開 平10−90152（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 5/02 ＪＩＣＳＴファイル（ＪＯＩＳ)
Claims (2)
- 【請求項１】 検出対象物質を含有する気体又は液体
を、該検出対象物質に対して吸着性を有する被膜を表面
に有する水晶振動子に接触させるとともに、該水晶振動
子の周波数変化を測定することにより該検出対象物質の
濃度を検出する方法において、 該検出対象物質を含有する気体又は液体を温度調節装置
中を流通させて該気体又は液体の温度を調節した後、こ
れと同じ温度に調節され、上記検出対象物質の吸着量を
増大又は減少させることにより検出感度の調節された検
出器と接触させることを特徴とする検出対象物質の検出
方法。 - 【請求項２】 該気体又は液体を該温度調節装置中を流
通させて、該気体又は液体の温度を−１５〜４５℃の温
度に調節する請求項１の方法。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10894999A JP3148984B2 (ja) | 1999-04-16 | 1999-04-16 | 水晶振動子を用いた検出対象物質の感度可変検出方法 |
| DE10013278A DE10013278A1 (de) | 1999-04-16 | 2000-03-17 | Verfahren zur Konzentrationsbestimmung einer Zielsubstanz unter Verwendung eines Quarzoszillators und eine Vorrichtung hierfür |
| US09/531,430 US6339954B1 (en) | 1999-04-16 | 2000-03-20 | Method of analyzing concentration of target substance using quartz oscillator and device therefor |
| EP00302703A EP1045243A3 (en) | 1999-04-16 | 2000-03-30 | Method of analyzing concentration of target substance using quartz oscillator and device therefor |
| AU25219/00A AU779030B2 (en) | 1999-04-16 | 2000-03-31 | Method of analyzing concentration of target substance using quartz oscillator and device therefor |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10894999A JP3148984B2 (ja) | 1999-04-16 | 1999-04-16 | 水晶振動子を用いた検出対象物質の感度可変検出方法 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000304672A JP2000304672A (ja) | 2000-11-02 |
| JP3148984B2 true JP3148984B2 (ja) | 2001-03-26 |
Family
ID=14497741
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10894999A Expired - Lifetime JP3148984B2 (ja) | 1999-04-16 | 1999-04-16 | 水晶振動子を用いた検出対象物質の感度可変検出方法 |
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| EP (1) | EP1045243A3 (ja) |
| JP (1) | JP3148984B2 (ja) |
| AU (1) | AU779030B2 (ja) |
| DE (1) | DE10013278A1 (ja) |
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| US6920399B2 (en) * | 2000-07-10 | 2005-07-19 | Nanoalert (Israel) Ltd. | Method and apparatus for determining the composition of fluids |
| JP3357914B2 (ja) * | 2000-08-30 | 2002-12-16 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 溶液中の低分子化合物の検出方法 |
| JP4905752B2 (ja) * | 2001-07-24 | 2012-03-28 | エスティー・ラボ株式会社 | 揮発性有機塩素化合物センサ |
| JP3884680B2 (ja) * | 2002-08-09 | 2007-02-21 | 三菱電機株式会社 | 化学センサおよびその製造方法 |
| EP1548421A4 (en) * | 2002-09-05 | 2008-05-14 | Tokyo University Of Pharmacy A | NANOCANAL SENSOR WITH QUARTZ OSCILLATOR |
| US6862917B2 (en) * | 2002-09-30 | 2005-03-08 | Bae Systems Information And Electronic Systems Integration Inc. | Apparatus for detecting chemical agents including olfactory interferometric lens and method of use |
| JP4824439B2 (ja) * | 2006-03-01 | 2011-11-30 | リソテック ジャパン株式会社 | Ｑｃｍ装置 |
| JP2009229353A (ja) * | 2008-03-25 | 2009-10-08 | Seiko Epson Corp | 気体センサデバイス及び気体センサシステム |
| JP7442810B2 (ja) | 2020-07-15 | 2024-03-05 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 | フラーレンナノチューブ、その製造方法およびそれを用いた水晶振動子ガスセンサ |
| JP7442811B2 (ja) | 2020-07-15 | 2024-03-05 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 | フラーレンナノシート、その製造方法およびそれを用いた水晶振動子ガスセンサ |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4259606A (en) * | 1979-05-25 | 1981-03-31 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Fast warm-up oven controlled piezoelectric oscillator |
| US4414441A (en) * | 1982-04-02 | 1983-11-08 | Emhart Industries, Inc. | Hydrocarbon responsive switch |
| US4590462A (en) * | 1985-01-28 | 1986-05-20 | Glen C. Amon | Oil leakage detection apparatus |
| US5177994A (en) * | 1991-05-22 | 1993-01-12 | Suntory Limited And Tokyo Institute Of Technology | Odor sensing system |
| US5852229A (en) * | 1996-05-29 | 1998-12-22 | Kimberly-Clark Worldwide, Inc. | Piezoelectric resonator chemical sensing device |
| JPH1038784A (ja) * | 1996-07-23 | 1998-02-13 | Sogo Yatsukou Kk | 水晶発振子を用いる定量方法およびその装置 |
| JP3443632B2 (ja) * | 1997-07-29 | 2003-09-08 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 揮発性有機塩素化合物の検出方法及びその検出装置 |
| JP3148984B2 (ja) * | 1999-04-16 | 2001-03-26 | 工業技術院長 | 水晶振動子を用いた検出対象物質の感度可変検出方法 |
-
1999
- 1999-04-16 JP JP10894999A patent/JP3148984B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2000
- 2000-03-17 DE DE10013278A patent/DE10013278A1/de not_active Withdrawn
- 2000-03-20 US US09/531,430 patent/US6339954B1/en not_active Expired - Fee Related
- 2000-03-30 EP EP00302703A patent/EP1045243A3/en not_active Withdrawn
- 2000-03-31 AU AU25219/00A patent/AU779030B2/en not_active Ceased
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP1045243A2 (en) | 2000-10-18 |
| DE10013278A1 (de) | 2000-10-19 |
| EP1045243A3 (en) | 2002-01-09 |
| AU779030B2 (en) | 2005-01-06 |
| US6339954B1 (en) | 2002-01-22 |
| JP2000304672A (ja) | 2000-11-02 |
| AU2521900A (en) | 2000-10-19 |
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