JP4824439B2 - Qcm装置 - Google Patents
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Q=(蓄積されたピーク・エネルギー)/(1ラジアン当たり消失される2πエネルギー)
軽負荷の条件下では、周波数の低下は堆積物の質量密度(kgm/m2)に比例するものと解釈できる。軽負荷条件下のこの比例特性はソルベリ(Sauerbrey)によって確認されており、次のソルベリの関係式で表すことができる。
この等価回路の共振子の固有共振周波数は次式で表される。
本発明者の研究により、QCM装置において共振周波数のドリフト量が小さく、かつ速やかに安定した測定値が得られるようにするためには、QCM基板と滴下される液体の温度が同じであること、液体の滴下時にQCM基板にショックを与えないようにすること、および液体の滴下時にQCM基板の感度のある部分、すなわちQCM回路部分に直接液体を滴下しないことが重要であることが見いだされた。さらに、QCM回路の周囲の全方向から均一に液体が滴下されると、より好ましい結果が得られることも見いだされた。
本発明の装置では、QCM基板は、QCM基板の形状に対応したQCM基板ホルダーにより固定、保持される。QCM基板ホルダーの材質および構造は任意である。材質として好適にはテフロン(登録商標)のようなフッ素化樹脂が使用される。構造の例は図3に示される。QCM基板ホルダーはQCM基板下ホルダー、インナーリングおよびアウターリングから作られている。インナーリングはQCM基板を保持するとともに、O−リングなどを使用して、測定時にQCM基板上に滴下される液体が漏れないよう、基板と密着する必要がある。
QCM基板上のQCM回路ではない位置とは、たとえば図2において、基板1の上であるが、回路2ではない部分を言う。なお、滴下による衝撃をより少なくするために、開口部と基板の間にじゃま板を配置し、一端この上に滴下した後、基板に落下させることもできる。
該開口部は好ましくは直径約0.1−1mm、より好ましくは0.3−0.7mm、もっとも好ましくは約0.5mmの開口である。開口の位置は、QCM基板上であってQCM回路の上でなければ、任意の位置であることができる。好ましくは、開口はQCM回路の輪郭に沿って均一な間隔で設けられる。開口の個数は好ましくは4−20個、より好ましくは6−15個、もっとも好ましくは8−12個である。
該開口部から、QCM基板上に滴下される液体の量は特に制限するものではないが、液体の深さが0.5−3mm、典型的には1−2mmになるような量であり、一般的なQCM基板の場合には、液体の量は約0.1−2ml、好ましくは約0.2−0.7ml、もっとも好ましくは0.5mlである。
本発明のQCM装置50からの出力は、図5に示されるようにQCMアンプ52に供給され、周波数カウンター54を経てコンピューター56に送られることができる。
等温とは、QCM基板と液体との温度差が+/−0.01℃以内であることをいい、好ましくは+/−0.005℃以内、より好ましくは+/−0.0015℃以内である。
本発明の方法においては、液体がQCM回路の周囲に滴下されるので、液体の滴下によるQCM回路への影響がない。
本発明の方法では、共振周波数のドリフト量が小さく、かつ速やかに安定し、かつ液体の滴下と同時にフィルムが液体と接触せず、回路にショックを与えることがない。また回路上に塗布されたフィルムが液体と接触する瞬間から測定値を得ることができる。そのため、接触初期における現象を解析することができる。
これは、QCM基板上に石英のような露光エネルギーが通過する材料で作られた部分が設けられた本発明の装置を用い、フォトレジストを露光しながら、フォトレジストと液体との相互作用を測定することができる。本発明の方法では、フォトレジストの露光前、露光中、または露光直後に液体と接触した場合の測定を行うことができる。
また、本発明の測定方法によれば、フォトレジストなどの物質と液体が接触した場合の、ごく初期の変化を測定することができる。さらには、フォトレジストを露光しながら、または露光直後の測定を行うこともできる。
QCM基板10は、テフロン(登録商標)製のQCM基板下ホルダー12,インナーリング14,およびアウターリング16からなるQCM基板ホルダーにより保持、固定される。QCM基板ホルダーは、下アルミブロック18、および上アルミブロック20からなる金属製ブロック内に収納される。金属製ブロック内には液体を通すことができる流路22が形成される。金属製ブロックの外側で、QCM基板上であって、QCM回路の上ではない位置に配置された流路24から、QCM回路の周囲に液体が滴下される。滴下された液体はQCM基板の上に流れ、QCM基板10とインナーリング14により形成される空間26に溜まる。QCM基板の上には、石英28が設けられている。なお、30はQCM基板と接触する電極である。
QCM装置において、QCM回路の上に、直接水を滴下して測定した結果を図6a)に示す。水を滴下した瞬間に共振周波数はグラフの範囲外まで振り切れ、−10Hzよりも小さくなった後、図の測定時間約30の箇所に示した矢印のように上昇する。水の滴下後、共振周波数が安定するまでの時間をドリフト時間と呼ぶが、図中、共振周波数の−6Hzの位置に矢印付きの横線で示すように長い時間を要し、約500秒経過しても依然として共振周波数が安定しなかった。水を滴下した際の最小値と安定時との共振周波数の差をドリフト量として示すと、測定時間約425の位置に矢印付きの縦線で示したように、非常に大きいことが示された。なお、多くの実験を行った結果、水の温度は+/−0.1℃の範囲で変化していた。またドリフト時間はばらつきがあり、200−500秒の間で変化することがわかった。
QCM基板の上に市販のトップコートを210nmの膜厚で塗布し、本発明の方法により測定した結果を図7に示す。
何も塗布されていない時の結果と同じであり、フィルムには水に溶け出す成分のないことが確認された。
2:QCM回路
10:QCM基板
12:QCM基板下ホルダー
14:インナーリング
16:アウターリング
18:下アルミブロック
20:上アルミブロック
22:流路
24:流路
26:空間
28:石英
30:電極
40:外部の容器
42:金属製ブロック内部に形成された流路
44:石英の周囲の流路
46:流路の開口部
50:QCM装置
52:QCMアンプ
54:周波数カウンター
56:コンピューター
Claims (10)
- QCM基板、該基板を保持するQCM基板ホルダー、該QCM基板ホルダーを取り囲む金属製ブロック、および少なくとも一部は金属製ブロックの内部に形成された液体を通すことができる流路を有し、該流路に形成された開口部を通してブロックとほぼ同じ温度にされた液体が、QCM基板上のQCM回路ではない位置に滴下される、QCM装置。
- 金属製ブロックの内部から外部へ伸びる流路が形成される、請求項1記載のQCM装置。
- QCM基板上に露光エネルギーが通過する材料で作られた部分が設けられた、請求項1または2記載のQCM装置。
- QCM回路の周囲全体に液体が滴下される、請求項1から3のいずれか1項記載のQCM装置。
- QCM基板と等温にした液体を、QCM基板上のQCM回路ではない位置に滴下することを特徴とする、QCM測定方法。
- QCM回路上にフィルムを形成し、QCM基板と等温にした液体を、QCM基板上のQCM回路ではない位置に滴下することを特徴とする、QCM測定方法。
- フィルムが、フォトレジストフィルムである、請求項6記載の方法。
- QCM基板上にフォトレジストを塗布し、フォトレジストに露光エネルギーを加えながら、QCM基板と等温にした液体を、QCM基板上のQCM回路ではない位置に滴下することを特徴とする、QCM測定方法。
- QCM回路の周囲全体に液体が滴下される、請求項8記載の方法。
- 液体が水である、請求項5から9のいずれか1項記載の方法。
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