JP3147191B2 - 切断方法および切断装置 - Google Patents
切断方法および切断装置Info
- Publication number
- JP3147191B2 JP3147191B2 JP9730492A JP9730492A JP3147191B2 JP 3147191 B2 JP3147191 B2 JP 3147191B2 JP 9730492 A JP9730492 A JP 9730492A JP 9730492 A JP9730492 A JP 9730492A JP 3147191 B2 JP3147191 B2 JP 3147191B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cutting
- guide plate
- cut
- hollow portion
- pressure member
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
- B28D5/0082—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for supporting, holding, feeding, conveying or discharging work
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、柱状の被切断物を内周
刃によって薄板体に切断する切断方法、および切断装置
に関し、特に半導体の素材であるインゴットから１枚毎
に切り離したウエハを切断する方法とその装置に関す
る。
刃によって薄板体に切断する切断方法、および切断装置
に関し、特に半導体の素材であるインゴットから１枚毎
に切り離したウエハを切断する方法とその装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】半導体の素材であるインゴットの端末か
ら薄いウエハを切断する切断装置（スライシングマシ
ン）は、図３に示すようにインゴット１０の端部を支持
部１２で保持し、インゴット１０の下端から内周刃１４
で１枚ずつ切断していた。この切断は切り口にバリを生
じさせないために、円柱状のインゴット１０に対して内
周刃１４を矢印方向に寸法Ｌ1まで進行させて、インゴ
ットに長さ寸法Ｌ1の切り込みを入れ、インゴット１０
の端部に寸法Ｌ2のの厚さの連結部分１６を残してお
く。そして、最後に連結部分１６を切り取ることによっ
て、図４に実線で示す一部を切り欠いた円形のウエハ１
８を製造していた。さらにインゴットの切断に関する技
術としては、例えば実開昭６０−１０２９０７号公報、
あるいは実開平１−９５３０７号公報に開示されてい
る。
ら薄いウエハを切断する切断装置（スライシングマシ
ン）は、図３に示すようにインゴット１０の端部を支持
部１２で保持し、インゴット１０の下端から内周刃１４
で１枚ずつ切断していた。この切断は切り口にバリを生
じさせないために、円柱状のインゴット１０に対して内
周刃１４を矢印方向に寸法Ｌ1まで進行させて、インゴ
ットに長さ寸法Ｌ1の切り込みを入れ、インゴット１０
の端部に寸法Ｌ2のの厚さの連結部分１６を残してお
く。そして、最後に連結部分１６を切り取ることによっ
て、図４に実線で示す一部を切り欠いた円形のウエハ１
８を製造していた。さらにインゴットの切断に関する技
術としては、例えば実開昭６０−１０２９０７号公報、
あるいは実開平１−９５３０７号公報に開示されてい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のインゴ
ットの切断技術で製造されたウエハはウエハ面の一部を
切り取られているため、有効に使用できる面積が減少し
てしまう不都合が生じた。また、図面に示す場合のよう
にインゴット１０が片持ちで支持されていると、支持部
１２によって支持されている支持部分の材料が無駄にな
ってしまった。そこで、本発明は材料の無駄ができな
く、かつ、ウエハ等の切断物の切り口にバリが発生しな
い切断方法と切断装置を提供するものである。
ットの切断技術で製造されたウエハはウエハ面の一部を
切り取られているため、有効に使用できる面積が減少し
てしまう不都合が生じた。また、図面に示す場合のよう
にインゴット１０が片持ちで支持されていると、支持部
１２によって支持されている支持部分の材料が無駄にな
ってしまった。そこで、本発明は材料の無駄ができな
く、かつ、ウエハ等の切断物の切り口にバリが発生しな
い切断方法と切断装置を提供するものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の切断方法は被切
断物の切断方向に櫛刃状の切断刃の案内板を有する固定
した把持手段と、固定した把持手段の切断刃の案内板と
同一水平面に案内板を有する被切断物の切断方向に進退
自在な移動する把持手段との間に、被切断物の側面を長
手方向全長にわたって把持させる支持工程と、回転する
切断刃を固定した把持手段の案内板に案内させて、移動
する把持手段の案内板まで進行させ、両把持手段の内部
に支持された被切断物を切断する切断工程とを具備す
る。
断物の切断方向に櫛刃状の切断刃の案内板を有する固定
した把持手段と、固定した把持手段の切断刃の案内板と
同一水平面に案内板を有する被切断物の切断方向に進退
自在な移動する把持手段との間に、被切断物の側面を長
手方向全長にわたって把持させる支持工程と、回転する
切断刃を固定した把持手段の案内板に案内させて、移動
する把持手段の案内板まで進行させ、両把持手段の内部
に支持された被切断物を切断する切断工程とを具備す
る。
【０００５】本発明の切断装置は垂直方向に貫通した中
空部分と、中空部分に対して水平方向に一定長さの櫛刃
状に設ける案内板を有する支持本体と、一側面に支持本
体の案内板と同一ピッチの櫛刃状の案内板を有し、中空
部分内を水平方向に摺動自在に装着する圧力部材とを備
えた支持装置と、切断刃を有し、支持装置の周縁を回
転、水平移動自在な回転台とを具備する。
空部分と、中空部分に対して水平方向に一定長さの櫛刃
状に設ける案内板を有する支持本体と、一側面に支持本
体の案内板と同一ピッチの櫛刃状の案内板を有し、中空
部分内を水平方向に摺動自在に装着する圧力部材とを備
えた支持装置と、切断刃を有し、支持装置の周縁を回
転、水平移動自在な回転台とを具備する。
【０００６】
【作用】被切断物を支持装置の中空部分内に配設し、圧
力部材を被切断物方面に摺動して、被切断物の側面全体
を支持本体の中空部分内面と圧力部材とで把持すると共
に、切断刃を支持本体の案内板および圧力部材の案内板
に案内させて支持装置の内部に進行させ、中空部内面に
支持されている被切断物を完全に切断する位置まで移動
し、被切断物を切断する。
力部材を被切断物方面に摺動して、被切断物の側面全体
を支持本体の中空部分内面と圧力部材とで把持すると共
に、切断刃を支持本体の案内板および圧力部材の案内板
に案内させて支持装置の内部に進行させ、中空部内面に
支持されている被切断物を完全に切断する位置まで移動
し、被切断物を切断する。
【０００７】
【実施例】本発明を半導体の素材であるインゴットから
ウエハを切断する切断装置に実施した実施例を、図面を
参照して説明する。図１は切断装置の一部の断面図、図
２は図１の線Ａ−Ａの断面図を示す。切断装置は被切断
物であるインゴット５０を支持する支持装置６０と、支
持装置６０の周りを回転してインゴット５０を切断する
切断刃７５を内周に固着した回転台７０とよりなる。支
持装置６０は長手方向に貫通する中空部分６２１を有す
る柱状体をなす支持本体６２０と、中空部分６２１に装
備される圧力部材６４０を備えている。支持本体６２０
の中空部分６２１の周縁は、水平方向に長さ寸法Ｌ4の
深さの誘導溝６２２が複数穿孔されており、長さを寸法
Ｌ4とする第１の案内板６２４が櫛歯状に形成されてい
る。誘導溝６２２のピッチは、インゴット５０を切断し
て形成する所望のウエハ５０１の厚さとなっている。圧
力部材６４０は圧力源に連結して支持本体６２０の中空
部分６２１内に装備されている。圧力部材６４０はアク
チュエ−タ６２６内のピストン６２８に連結扞６２５を
介して連結する。そして、ピストン６２８の移動によっ
て支持本体６２０の中空部分６２１内を矢印Ｘで示す水
平方向に往復摺動する。圧力部材６４０のアクチュエ−
タ６２６との連結面の反対面は、支持するインゴット５
０の曲面に合わせた湾曲面６４２を形成している。湾曲
面６４２には支持本体６２０の誘導溝６２２のピッチと
同一ピッチの圧力部溝６４４が穿孔されており、圧力部
材６４０の湾曲面６４２側には両側縁側に長く中央部分
を短くする第２の案内板６４６が櫛歯状に形成されてい
る。回転台７０に対して水平方向に取り付けられた切断
刃７５は、回転台７０の回転によって支持装置６０の周
縁を回転し、回転しながら矢印Ｙ方向に水平移動する。
ウエハを切断する切断装置に実施した実施例を、図面を
参照して説明する。図１は切断装置の一部の断面図、図
２は図１の線Ａ−Ａの断面図を示す。切断装置は被切断
物であるインゴット５０を支持する支持装置６０と、支
持装置６０の周りを回転してインゴット５０を切断する
切断刃７５を内周に固着した回転台７０とよりなる。支
持装置６０は長手方向に貫通する中空部分６２１を有す
る柱状体をなす支持本体６２０と、中空部分６２１に装
備される圧力部材６４０を備えている。支持本体６２０
の中空部分６２１の周縁は、水平方向に長さ寸法Ｌ4の
深さの誘導溝６２２が複数穿孔されており、長さを寸法
Ｌ4とする第１の案内板６２４が櫛歯状に形成されてい
る。誘導溝６２２のピッチは、インゴット５０を切断し
て形成する所望のウエハ５０１の厚さとなっている。圧
力部材６４０は圧力源に連結して支持本体６２０の中空
部分６２１内に装備されている。圧力部材６４０はアク
チュエ−タ６２６内のピストン６２８に連結扞６２５を
介して連結する。そして、ピストン６２８の移動によっ
て支持本体６２０の中空部分６２１内を矢印Ｘで示す水
平方向に往復摺動する。圧力部材６４０のアクチュエ−
タ６２６との連結面の反対面は、支持するインゴット５
０の曲面に合わせた湾曲面６４２を形成している。湾曲
面６４２には支持本体６２０の誘導溝６２２のピッチと
同一ピッチの圧力部溝６４４が穿孔されており、圧力部
材６４０の湾曲面６４２側には両側縁側に長く中央部分
を短くする第２の案内板６４６が櫛歯状に形成されてい
る。回転台７０に対して水平方向に取り付けられた切断
刃７５は、回転台７０の回転によって支持装置６０の周
縁を回転し、回転しながら矢印Ｙ方向に水平移動する。
【０００８】このように構成された切断装置の作用を説
明する。先ず、アクチュエ−タ６２６のピストン６２８
を後退させて圧力部材６４０を中空部分６２１の側壁側
に後退させ、中空部分６２１の容積を最大にする。中空
部分６２１に被切断物であるインゴット５０を挿入す
る。そして、ピストン６２８を作動させて圧力部材６４
０をインゴット５０の側壁面を押圧する位置まで摺動進
出させる。インゴット５０は支持本体６２０の内周面と
圧力部材６４０の湾曲面６４２とで把持される。この状
態で回転台７０を回転させながら、切断刃７５を水平移
動させる。切断刃７５は回転しながら支持装置６０側に
移動して支持本体６２０の案内板６２４に案内されて誘
導溝６２２内に進行する。その途上、インゴット５０を
薄板状に切断する。切断刃７５はインゴット５０を完全
に切断した後も圧力部材６４０の第２の案内板６４６に
案内されて圧力溝６４４内に進入し、圧力溝６４４の途
中で進行を停止した後、回転台７０と共に後退する。そ
して、回転台７０を１ピッチ分上昇させ、矢印Ｙ方向へ
の進入、後退運動を繰返し、インゴット５０を完全に薄
板状に切断したウエハ５０１に形成して行く。切断して
形成されたウエハ５０１は圧力部材６４０と支持本体６
２０とに挾持されて、支持装置６０内に残留する。支持
本体６２０の最も上部の案内溝６２２に沿ってインゴッ
ト５０の最上部まで切断した後、アクチュエ−タ６２６
のピストン６２８を後退させ、圧力部材６４０を後退さ
せる。圧力部材６４０と支持本体６２０とで把持されて
いたウエハ５０１は圧力部材６４０の把持をとかれて下
方に落下する。
明する。先ず、アクチュエ−タ６２６のピストン６２８
を後退させて圧力部材６４０を中空部分６２１の側壁側
に後退させ、中空部分６２１の容積を最大にする。中空
部分６２１に被切断物であるインゴット５０を挿入す
る。そして、ピストン６２８を作動させて圧力部材６４
０をインゴット５０の側壁面を押圧する位置まで摺動進
出させる。インゴット５０は支持本体６２０の内周面と
圧力部材６４０の湾曲面６４２とで把持される。この状
態で回転台７０を回転させながら、切断刃７５を水平移
動させる。切断刃７５は回転しながら支持装置６０側に
移動して支持本体６２０の案内板６２４に案内されて誘
導溝６２２内に進行する。その途上、インゴット５０を
薄板状に切断する。切断刃７５はインゴット５０を完全
に切断した後も圧力部材６４０の第２の案内板６４６に
案内されて圧力溝６４４内に進入し、圧力溝６４４の途
中で進行を停止した後、回転台７０と共に後退する。そ
して、回転台７０を１ピッチ分上昇させ、矢印Ｙ方向へ
の進入、後退運動を繰返し、インゴット５０を完全に薄
板状に切断したウエハ５０１に形成して行く。切断して
形成されたウエハ５０１は圧力部材６４０と支持本体６
２０とに挾持されて、支持装置６０内に残留する。支持
本体６２０の最も上部の案内溝６２２に沿ってインゴッ
ト５０の最上部まで切断した後、アクチュエ−タ６２６
のピストン６２８を後退させ、圧力部材６４０を後退さ
せる。圧力部材６４０と支持本体６２０とで把持されて
いたウエハ５０１は圧力部材６４０の把持をとかれて下
方に落下する。
【０００９】以上のように本発明を実施した切断装置に
より形成されるウエハ５０１は、切断装置から取り出さ
れたとき、完全に切断された円形の薄板形状となってい
る。また、インゴット５０の切断装置内での支持は、イ
ンゴット５０の長さ方向に全長にわたって支持本体６２
０と圧力部材６４０とで、その外周側面を押圧、挾持し
ているので、インゴット最上部分まで切断することが可
能となり、インゴット５０の全体を無駄なくウエハ５０
１に形成できる。なお、この実施例では切断刃は内周刃
を使用しているが、外周刃であっても同一の作用が達成
できる。
より形成されるウエハ５０１は、切断装置から取り出さ
れたとき、完全に切断された円形の薄板形状となってい
る。また、インゴット５０の切断装置内での支持は、イ
ンゴット５０の長さ方向に全長にわたって支持本体６２
０と圧力部材６４０とで、その外周側面を押圧、挾持し
ているので、インゴット最上部分まで切断することが可
能となり、インゴット５０の全体を無駄なくウエハ５０
１に形成できる。なお、この実施例では切断刃は内周刃
を使用しているが、外周刃であっても同一の作用が達成
できる。
【００１０】
【発明の効果】本発明の切断方法および切断装置によっ
て形成する切断物は、所望する厚さに完全に切断されて
いるので、例えば、半導体のウエハ形成等に用いると、
切断面にバリを生ずることなく、１回の切断操作で１
枚、１枚が切り離されて完成したウエハができ、ウエハ
は被切断物の横断面の全体を活用でき、使用効率が向上
する。
て形成する切断物は、所望する厚さに完全に切断されて
いるので、例えば、半導体のウエハ形成等に用いると、
切断面にバリを生ずることなく、１回の切断操作で１
枚、１枚が切り離されて完成したウエハができ、ウエハ
は被切断物の横断面の全体を活用でき、使用効率が向上
する。
【００１１】また、被切断物は切断装置の支持本体と圧
力部材とにより、被切断物の側面全体を把持されている
ので、被切断物の全体を無駄なく切断することができ、
さらに、多数の切断刃を有するマルチカッタ−のような
加工抵抗が大きい加工も可能となり、切断の能率が向上
できる。
力部材とにより、被切断物の側面全体を把持されている
ので、被切断物の全体を無駄なく切断することができ、
さらに、多数の切断刃を有するマルチカッタ−のような
加工抵抗が大きい加工も可能となり、切断の能率が向上
できる。
【図１】本発明を実施した切断装置の一部断面図。
【図２】図１線Ａ−Ａの断面図。
【図３】従来の切断装置の説明図。
【図４】従来の切断装置で形成したウエハの平面図。
５０ インゴット ５０１ ウエハ ６０ 支持装置 ６２０ 支持本体 ６２１ 中空部分 ６２２ 誘導溝 ６２４ 第１の案内板 ６４０ 圧力部材 ６４６ 第２の案内板 ７０ 回転台 ７５ 切断刃
Claims (2)
- 【請求項１】 被切断物の切断方向に櫛刃状の切断刃の
案内板を有する固定した把持手段と、固定した把持手段
の切断刃の案内板と同一水平面に案内板を有する被切断
物の切断方向に進退自在な移動する把持手段との間に、
被切断物の側面を長手方向全長にわたって把持させる支
持工程と、回転する切断刃を固定した把持手段の案内板
に案内させて、移動する把持手段の案内板まで進行さ
せ、両把持手段の内部に支持された被切断物を切断する
切断工程とからなる切断方法。 - 【請求項２】 垂直方向に貫通した中空部分と、中空部
分に対して水平方向に一定長さの櫛刃状に設ける案内板
を有する支持本体と、一側面に支持本体の案内板と同一
ピッチの櫛刃状の案内板を有し、中空部分内を水平方向
に摺動自在に装着する圧力部材とを備えた支持装置と、
切断刃を有し、支持装置の周縁を回転、水平移動自在な
回転台とを有し、 被切断物を支持本体の中空部分内面と圧力部材とで把持
すると共に、切断刃は支持本体の案内板および圧力部材
の案内板に案内されて、中空部内面に支持されている被
切断物を完全に切断する位置まで移動する構成とした切
断装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9730492A JP3147191B2 (ja) | 1992-03-25 | 1992-03-25 | 切断方法および切断装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9730492A JP3147191B2 (ja) | 1992-03-25 | 1992-03-25 | 切断方法および切断装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05269732A JPH05269732A (ja) | 1993-10-19 |
| JP3147191B2 true JP3147191B2 (ja) | 2001-03-19 |
Family
ID=14188753
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9730492A Expired - Fee Related JP3147191B2 (ja) | 1992-03-25 | 1992-03-25 | 切断方法および切断装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3147191B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102896705A (zh) * | 2012-09-21 | 2013-01-30 | 华中科技大学 | 一种单晶切割装置 |
-
1992
- 1992-03-25 JP JP9730492A patent/JP3147191B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05269732A (ja) | 1993-10-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4128028A (en) | Piercing apparatus | |
| WO1997018909A1 (fr) | Presse mecanique et son procede d'utilisation | |
| JP3147191B2 (ja) | 切断方法および切断装置 | |
| JPH11197968A (ja) | 複合加工機及びこの複合加工機を用いた板材加工方法 | |
| CN106881613B (zh) | 一种夹紧装置及其夹紧松开的方法 | |
| CN111224351B (zh) | 线材自动剥皮机 | |
| JP3604593B2 (ja) | 薄片試料作製装置 | |
| JP2001018238A (ja) | ロボットア−ムによる合成樹脂成形品のバリ取り方法及びその装置 | |
| JP2732800B2 (ja) | 丸鋸による溝切り切断加工装置 | |
| CN217453144U (zh) | 一种切削式汽车零部件加工装置 | |
| JP2963509B2 (ja) | 製品離型装置およびバリ取り装置 | |
| CN220718144U (zh) | 一种激光切割机的定位机构 | |
| JP2009022975A (ja) | パンチプレスおよび長孔加工方法 | |
| JP2002137114A (ja) | パイプ材の切断方法及び装置 | |
| CN216681354U (zh) | 一种精密模具加工用数控机床 | |
| JPH08267310A (ja) | パイプ切断装置 | |
| JPH07290395A (ja) | ロール表面切断装置 | |
| CN217798356U (zh) | 一种带有双面剪切结构模具设备 | |
| CN219966161U (zh) | 管件整形冲孔组件 | |
| CN213794561U (zh) | 一种铝型材裁料设备 | |
| CN218195523U (zh) | 一种记忆枕头生产用海绵切割装置 | |
| CN219427262U (zh) | 一种塑料螺母余料去除工装 | |
| CN213437497U (zh) | 一种机械零件切割装置 | |
| CN218170605U (zh) | 根茎切片机 | |
| JPH07132410A (ja) | 長尺形材の端部切断加工ユニット |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |