JP3139951B2 - ピッチ切替形ウェハ移載機 - Google Patents
ピッチ切替形ウェハ移載機Info
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- JP3139951B2 JP3139951B2 JP32454395A JP32454395A JP3139951B2 JP 3139951 B2 JP3139951 B2 JP 3139951B2 JP 32454395 A JP32454395 A JP 32454395A JP 32454395 A JP32454395 A JP 32454395A JP 3139951 B2 JP3139951 B2 JP 3139951B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はピッチ切替形ウェハ移載
機に関し、とくにキャリア・カセット（以下、カセット
という。）内のウェハを倍密度で移送ボートへ移載する
ピッチ切替形ウェハ移載機に関する。
機に関し、とくにキャリア・カセット（以下、カセット
という。）内のウェハを倍密度で移送ボートへ移載する
ピッチ切替形ウェハ移載機に関する。
【０００２】
【従来の技術】図１〜図４を参照するに半導体ウェハ10
を各種処理ステーションの間に移送するため、移載機１
によりステーション内のカセット２と移送ボート３との
相互間でウェハ10を移し替えることが行われている。カ
セット２はその対向側壁15に複数の溝16を有し、その隣
接溝間の間隔に等しいウェハ保持ピッチ（以下、ピッチ
という。）で複数枚のウェハ10を保持する。移送ボート
３では、一対の横部材31によって長い２本の側杆32が平
行に保持され、平行側杆32に穿たれた溝33の対に各ウェ
ハ10の周縁上の２点が嵌入して保持され、保持されるウ
ェハ10のピッチが溝33の間隔によって定まる。
を各種処理ステーションの間に移送するため、移載機１
によりステーション内のカセット２と移送ボート３との
相互間でウェハ10を移し替えることが行われている。カ
セット２はその対向側壁15に複数の溝16を有し、その隣
接溝間の間隔に等しいウェハ保持ピッチ（以下、ピッチ
という。）で複数枚のウェハ10を保持する。移送ボート
３では、一対の横部材31によって長い２本の側杆32が平
行に保持され、平行側杆32に穿たれた溝33の対に各ウェ
ハ10の周縁上の２点が嵌入して保持され、保持されるウ
ェハ10のピッチが溝33の間隔によって定まる。
【０００３】カセット２のピッチと移送ボート３のピッ
チが等しい場合には、両者間におけるウェハ10の移載は
比較的簡単である。処理ステーション側の必要により、
標準的な移送ボート３のピッチより広いピッチのカセッ
ト２を使う場合のピッチ切替形移載機を、本出願人は実
公平2ー25236号公報に開示した。
チが等しい場合には、両者間におけるウェハ10の移載は
比較的簡単である。処理ステーション側の必要により、
標準的な移送ボート３のピッチより広いピッチのカセッ
ト２を使う場合のピッチ切替形移載機を、本出願人は実
公平2ー25236号公報に開示した。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】移送ボート３は石英等
の耐熱性材料によって製作され、加熱炉内での熱処理時
にウェハ10を保持するために使われる場合がある。この
場合には、移送ボート３上にウェハ10を高密度で、即ち
標準的なピッチよりも短いピッチで保持すれば熱処理の
効率を挙げることができる。しかし、標準的なピッチの
カセット２に保持されたウェハ10を、標準より短いピッ
チの移送ボート３に移し替える機能を有する実用的な移
載機はなかった。
の耐熱性材料によって製作され、加熱炉内での熱処理時
にウェハ10を保持するために使われる場合がある。この
場合には、移送ボート３上にウェハ10を高密度で、即ち
標準的なピッチよりも短いピッチで保持すれば熱処理の
効率を挙げることができる。しかし、標準的なピッチの
カセット２に保持されたウェハ10を、標準より短いピッ
チの移送ボート３に移し替える機能を有する実用的な移
載機はなかった。
【０００５】従って、本発明の目的は、標準ピッチのカ
セットとその半分のピッチの移送ボートとの間でウェハ
を移載する小型のピッチ切替形ウェハ移載機を提供する
にある。
セットとその半分のピッチの移送ボートとの間でウェハ
を移載する小型のピッチ切替形ウェハ移載機を提供する
にある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】図１〜図５を参照する
に、本発明のピッチ切替形ウェハ移載機１は、ウェハ・
ピッチが２ｐのカセット２と前記ピッチがｐの移送ボー
ト３とが順次載置される移載位置6A、及び移載位置6Aか
ら距離Ｓだけ隔たった軸受け41を有する支持台６；軸受
け41に枢支される水平割出しボード５、ボード５の前記
枢支される部位に在る回転の中心Ｃ、ボード５上で前記
中心Ｃを通る第１半径方向に該中心Ｃから距離Ｓの位置
に移送ボート３を該第１半径方向に沿って保持するボー
ト保持手段11B、ボード５上で前記中心Ｃを通る第２半
径方向に該中心Ｃから距離Ｓの位置にカセット２を該第
２半径方向に沿って保持するカセット第１保持手段11
R、ボード５上で前記中心Ｃを通る第３半径方向に該中
心Ｃから距離（Ｓ−ｐ）の位置にカセット２を該第３半
径方向に沿って保持するカセット第２保持手段11R、及
び割出しボード５を前記中心Ｃの周りに回転する回転装
置(40〜44）からなる割出し機構４；移載位置6Aの上方
に移送ボート３及びカセット２の高い方の高さ以上隔て
て支持台６に固定され、ピッチ２ｐの対向保持溝60と隣
接する該保持溝60の間におけるピッチ２ｐのウェハ通過
用対向深溝62とが穿たれた１対の可動平行挟持腕53A、5
4Aを有する下部挟持ユニット51、ピッチｐの対向保持溝
60が穿たれた１対の可動平行挟持腕53B、54Bを有する上
部挟持ユニット52、及び各可動平行挟持腕対53A・54A、
53B・54Bの挟持腕間隔を調整する間隔調整ユニット56A
・57A、56B・57Bからなるウェハ挟持機構８；並びに支
持台６の移載位置6Aに設けられ、移載位置6Aにおける移
送ボート３又はカセット２とウェハ挟持機構８との間に
ｐ以上のピッチのウェハ10の列を昇降させる押上げ機構
９を備えてなる。
に、本発明のピッチ切替形ウェハ移載機１は、ウェハ・
ピッチが２ｐのカセット２と前記ピッチがｐの移送ボー
ト３とが順次載置される移載位置6A、及び移載位置6Aか
ら距離Ｓだけ隔たった軸受け41を有する支持台６；軸受
け41に枢支される水平割出しボード５、ボード５の前記
枢支される部位に在る回転の中心Ｃ、ボード５上で前記
中心Ｃを通る第１半径方向に該中心Ｃから距離Ｓの位置
に移送ボート３を該第１半径方向に沿って保持するボー
ト保持手段11B、ボード５上で前記中心Ｃを通る第２半
径方向に該中心Ｃから距離Ｓの位置にカセット２を該第
２半径方向に沿って保持するカセット第１保持手段11
R、ボード５上で前記中心Ｃを通る第３半径方向に該中
心Ｃから距離（Ｓ−ｐ）の位置にカセット２を該第３半
径方向に沿って保持するカセット第２保持手段11R、及
び割出しボード５を前記中心Ｃの周りに回転する回転装
置(40〜44）からなる割出し機構４；移載位置6Aの上方
に移送ボート３及びカセット２の高い方の高さ以上隔て
て支持台６に固定され、ピッチ２ｐの対向保持溝60と隣
接する該保持溝60の間におけるピッチ２ｐのウェハ通過
用対向深溝62とが穿たれた１対の可動平行挟持腕53A、5
4Aを有する下部挟持ユニット51、ピッチｐの対向保持溝
60が穿たれた１対の可動平行挟持腕53B、54Bを有する上
部挟持ユニット52、及び各可動平行挟持腕対53A・54A、
53B・54Bの挟持腕間隔を調整する間隔調整ユニット56A
・57A、56B・57Bからなるウェハ挟持機構８；並びに支
持台６の移載位置6Aに設けられ、移載位置6Aにおける移
送ボート３又はカセット２とウェハ挟持機構８との間に
ｐ以上のピッチのウェハ10の列を昇降させる押上げ機構
９を備えてなる。
【０００７】カセット２から移送ボート３への移載時に
は、移載位置6Aに割出した第１保持手段11Rのカセット
２のピッチ２ｐのウェハ10を上昇させ下部挟持ユニット
51で挟持し、次に移載位置6Aに割出した第２保持手段11
Lのカセット２のピッチ２ｐのウェハ10を下部挟持ユニ
ット51の深溝62を通して上昇させ同時に該ユニット51の
保持溝60に挟持のウェハ10と共に上部挟持ユニット52の
保持溝60にピッチｐで挟持し、さらに移載位置6Aに割出
した移送ボート３へピッチｐで下降させて移載する。
は、移載位置6Aに割出した第１保持手段11Rのカセット
２のピッチ２ｐのウェハ10を上昇させ下部挟持ユニット
51で挟持し、次に移載位置6Aに割出した第２保持手段11
Lのカセット２のピッチ２ｐのウェハ10を下部挟持ユニ
ット51の深溝62を通して上昇させ同時に該ユニット51の
保持溝60に挟持のウェハ10と共に上部挟持ユニット52の
保持溝60にピッチｐで挟持し、さらに移載位置6Aに割出
した移送ボート３へピッチｐで下降させて移載する。
【０００８】ピッチｐの移送ボート３からピッチ２ｐの
カセット２への移載は、上記のカセット２から移送ボー
ト３への移載操作を逆順で行えばよい。こうして、本発
明の目的である「標準ピッチのカセットと半分のピッチ
の移送ボートとの間でウェハを移載する小型のピッチ切
替形ウェハ移載機の提供」を達成することができる。
カセット２への移載は、上記のカセット２から移送ボー
ト３への移載操作を逆順で行えばよい。こうして、本発
明の目的である「標準ピッチのカセットと半分のピッチ
の移送ボートとの間でウェハを移載する小型のピッチ切
替形ウェハ移載機の提供」を達成することができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】図１〜図５の実施例において、割
出し機構４は、支持台６の軸受け41に枢支される水平割
出しボード５を有し、ボード５の前記枢支される部位に
は回転の中心Ｃが在る。割出しボード５上で前記中心Ｃ
を通る第１半径方向に該中心Ｃから距離Ｓの位置に移送
ボート３を該第１半径方向に沿って保持するボート保持
孔11Bを設け、その形状を、移送ボート３を離脱可能に
保持すると共に移送ボート３内のウェハ・ピッチの方向
が前記第１半径方向になる如くする。このボート保持孔
11Bはボート保持手段であるが、本発明のボート保持手
段はこの様な孔に限定されない。また、ボード５上で前
記中心Ｃを通る第２半径方向に該中心Ｃから距離Ｓの位
置に移送カセット２を該第２半径方向に沿って保持する
第１カセット保持孔11Rを設け、その形状を、カセット
２を離脱可能に保持すると共にカセット２内のウェハ・
ピッチの方向が前記第２半径方向になる如くする。第１
カセット保持孔11Rは第１カセット保持手段であるが、
本発明の第１カセット保持手段はこの様な孔に限定され
ない。更にボード５上で前記中心Ｃを通る第３半径方向
に該中心Ｃから距離(Ｓ−ｐ）の位置にカセット２を該
第３半径方向に沿って保持する第２カセット保持孔11L
を設け、その形状を、カセット２を離脱可能に保持する
と共にカセット２内のウェハ・ピッチの方向が第３半径
方向になる如くする。第２カセット保持孔11Lは第２カ
セット保持手段であるが、第２カセット保持手段はこの
様な孔に限定されない。
出し機構４は、支持台６の軸受け41に枢支される水平割
出しボード５を有し、ボード５の前記枢支される部位に
は回転の中心Ｃが在る。割出しボード５上で前記中心Ｃ
を通る第１半径方向に該中心Ｃから距離Ｓの位置に移送
ボート３を該第１半径方向に沿って保持するボート保持
孔11Bを設け、その形状を、移送ボート３を離脱可能に
保持すると共に移送ボート３内のウェハ・ピッチの方向
が前記第１半径方向になる如くする。このボート保持孔
11Bはボート保持手段であるが、本発明のボート保持手
段はこの様な孔に限定されない。また、ボード５上で前
記中心Ｃを通る第２半径方向に該中心Ｃから距離Ｓの位
置に移送カセット２を該第２半径方向に沿って保持する
第１カセット保持孔11Rを設け、その形状を、カセット
２を離脱可能に保持すると共にカセット２内のウェハ・
ピッチの方向が前記第２半径方向になる如くする。第１
カセット保持孔11Rは第１カセット保持手段であるが、
本発明の第１カセット保持手段はこの様な孔に限定され
ない。更にボード５上で前記中心Ｃを通る第３半径方向
に該中心Ｃから距離(Ｓ−ｐ）の位置にカセット２を該
第３半径方向に沿って保持する第２カセット保持孔11L
を設け、その形状を、カセット２を離脱可能に保持する
と共にカセット２内のウェハ・ピッチの方向が第３半径
方向になる如くする。第２カセット保持孔11Lは第２カ
セット保持手段であるが、第２カセット保持手段はこの
様な孔に限定されない。
【００１０】図示例の割出し機構４は、割出しボード５
に対する回転機構を有する。割出しボード５に回転中心
Ｃと同心的に回転歯車40を取付け、これを軸受け装置41
によって支持台６に保持する。回転歯車40に駆動ピニオ
ン42を噛合させ、伝動装置43を介して割出しモータ44か
らピニオン42、回転歯車40及び割出しボード５を所望角
度位置へ回転して割出す。
に対する回転機構を有する。割出しボード５に回転中心
Ｃと同心的に回転歯車40を取付け、これを軸受け装置41
によって支持台６に保持する。回転歯車40に駆動ピニオ
ン42を噛合させ、伝動装置43を介して割出しモータ44か
らピニオン42、回転歯車40及び割出しボード５を所望角
度位置へ回転して割出す。
【００１１】図示例のウェハ挟持機構８は、図１(Ｃ)の
ブラケット7Aにより支持台６の上方に十分な間隔をおい
て固定され、支持台６とウェハ挟持機構８との間に移送
ボート３及びカセット２を選択的に載置できるようにす
る。図示してない案内部材により、下部挟持ユニット51
の１対の可動平行挟持腕53A、54Aを相互に平行に保持
し、また上部挟持ユニット52の可動平行挟持腕53B、54B
をも相互に平行に保持する。可動平行挟持腕の対53A、5
4A又は53B、54Bの対内の平行挟持腕の間には、挟持ばね
55A又は55Bの圧縮力が働き、それらの平行挟持腕の間隔
は、例えば空気圧シリンダ等の流体圧シリンダからなる
間隔調整ユニット56A、57Aの対又は56B、57Bの対によっ
てそれぞれ調整される。下部挟持ユニット51の腕53A、5
4Aには、図８に示すようにピッチ２ｐの対向保持溝60及
び隣接する保持溝60の間におけるピッチ２ｐのウェハ通
過用対向深溝62の穿たれた下部挟持溝部材58R、58Lがそ
れらの溝60、62を相互に対向させて取付けられる。さら
に、上部挟持ユニット52の腕53B、54Bには、図９に示す
ようにピッチｐの対向保持溝60の穿たれた上部挟持溝部
材59R、59Lがそれらの溝60を相互に対向させて取付けら
れる。
ブラケット7Aにより支持台６の上方に十分な間隔をおい
て固定され、支持台６とウェハ挟持機構８との間に移送
ボート３及びカセット２を選択的に載置できるようにす
る。図示してない案内部材により、下部挟持ユニット51
の１対の可動平行挟持腕53A、54Aを相互に平行に保持
し、また上部挟持ユニット52の可動平行挟持腕53B、54B
をも相互に平行に保持する。可動平行挟持腕の対53A、5
4A又は53B、54Bの対内の平行挟持腕の間には、挟持ばね
55A又は55Bの圧縮力が働き、それらの平行挟持腕の間隔
は、例えば空気圧シリンダ等の流体圧シリンダからなる
間隔調整ユニット56A、57Aの対又は56B、57Bの対によっ
てそれぞれ調整される。下部挟持ユニット51の腕53A、5
4Aには、図８に示すようにピッチ２ｐの対向保持溝60及
び隣接する保持溝60の間におけるピッチ２ｐのウェハ通
過用対向深溝62の穿たれた下部挟持溝部材58R、58Lがそ
れらの溝60、62を相互に対向させて取付けられる。さら
に、上部挟持ユニット52の腕53B、54Bには、図９に示す
ようにピッチｐの対向保持溝60の穿たれた上部挟持溝部
材59R、59Lがそれらの溝60を相互に対向させて取付けら
れる。
【００１２】図１０(Ａ)は、間隔調整ユニット56B、57B
の対により上部挟持ユニット52の可動平行挟持腕53B、5
4Bの間隔を広げた後押上げ機構９によりウェハ10を高位
置へ一旦押上げ、その間隔を狭めてウェハ10を保持溝60
の保持底61に保持した状態を示す。下部挟持ユニット51
の対向保持溝60も図１０(Ａ)に示す態様でウェハ10を保
持する。図１０(Ｂ)は、間隔調整ユニット56A、57Aの対
により下部挟持ユニット51の可動平行挟持腕53A、54Aの
間隔調整と押上げ機構９の押上げとによりウェハ10を上
記のように保持溝60で保持した時に、他のウェハ10が深
溝62の対向貫通底63の間を自由に通過できることを示
す。
の対により上部挟持ユニット52の可動平行挟持腕53B、5
4Bの間隔を広げた後押上げ機構９によりウェハ10を高位
置へ一旦押上げ、その間隔を狭めてウェハ10を保持溝60
の保持底61に保持した状態を示す。下部挟持ユニット51
の対向保持溝60も図１０(Ａ)に示す態様でウェハ10を保
持する。図１０(Ｂ)は、間隔調整ユニット56A、57Aの対
により下部挟持ユニット51の可動平行挟持腕53A、54Aの
間隔調整と押上げ機構９の押上げとによりウェハ10を上
記のように保持溝60で保持した時に、他のウェハ10が深
溝62の対向貫通底63の間を自由に通過できることを示
す。
【００１３】図５の押上げ機構９は、支持台６に取付け
られる固定枠19、この固定枠19上の駆動モータ21から伝
動装置22を介して駆動される可動枠20用の昇降装置23を
有する。可動枠20の上端には、昇降時に複数のウェハ10
を確実に保持するための把持ユニット24を設けることが
できる。
られる固定枠19、この固定枠19上の駆動モータ21から伝
動装置22を介して駆動される可動枠20用の昇降装置23を
有する。可動枠20の上端には、昇降時に複数のウェハ10
を確実に保持するための把持ユニット24を設けることが
できる。
【００１４】
【実施例】従来のカセット２における標準的なピッチは
4.76mmであるが、移送ボートのウェハ密度を倍加すると
ピッチは2.38mmと狭くなる。下部挟持ユニット51の対向
保持溝60に標準的ピッチで挟持されたウェハ10の間に別
のウェハ10を差込むためには後者のウェハ10を直立させ
ることが望ましい。図６、図７に示す把持ユニット24
は、可動枠20に設けた一対の垂直板20aの各々の頂部に
取付けた固定フォーク25及び可動の締付けフォーク26か
らなる。両フォーク25、26は、図７に示すようにそれぞ
れの頂部に形成された同一形状の溝39の列を有する。締
付けフォーク26は、垂直板20a上で固定フォーク25と並
行に往復するスライダー27に固定され、ばね28がスライ
ダー27を常時図７(Ｂ)の矢印Ｍの方向、即ち固定フォー
ク25の溝39の谷間に締付けフォーク26の溝39の山が重な
る向きに一定張力で引張る。ピン29がクランクプレート
35を枢支し、クランクプレート35上の第１ローラ36及び
第２ローラ37が、それぞれクランクプレート35の切欠き
27a及び操作杆38の頂面に係合する。適当な制御手段
（図示せず）により操作杆38が矢印Ｕのように押上げら
れると、クランクプレート35が矢印Ｒのように反時計方
向に回転し、第１ローラ36と切欠き27aとの係合により
スライダー27及び締付けフォーク26をばね28に抗して図
７(Ａ)の矢印Ｈの方向、即ち固定フォーク25の溝39の谷
間と締付けフォーク26の溝39の谷間とが重なる向きに動
かす。
4.76mmであるが、移送ボートのウェハ密度を倍加すると
ピッチは2.38mmと狭くなる。下部挟持ユニット51の対向
保持溝60に標準的ピッチで挟持されたウェハ10の間に別
のウェハ10を差込むためには後者のウェハ10を直立させ
ることが望ましい。図６、図７に示す把持ユニット24
は、可動枠20に設けた一対の垂直板20aの各々の頂部に
取付けた固定フォーク25及び可動の締付けフォーク26か
らなる。両フォーク25、26は、図７に示すようにそれぞ
れの頂部に形成された同一形状の溝39の列を有する。締
付けフォーク26は、垂直板20a上で固定フォーク25と並
行に往復するスライダー27に固定され、ばね28がスライ
ダー27を常時図７(Ｂ)の矢印Ｍの方向、即ち固定フォー
ク25の溝39の谷間に締付けフォーク26の溝39の山が重な
る向きに一定張力で引張る。ピン29がクランクプレート
35を枢支し、クランクプレート35上の第１ローラ36及び
第２ローラ37が、それぞれクランクプレート35の切欠き
27a及び操作杆38の頂面に係合する。適当な制御手段
（図示せず）により操作杆38が矢印Ｕのように押上げら
れると、クランクプレート35が矢印Ｒのように反時計方
向に回転し、第１ローラ36と切欠き27aとの係合により
スライダー27及び締付けフォーク26をばね28に抗して図
７(Ａ)の矢印Ｈの方向、即ち固定フォーク25の溝39の谷
間と締付けフォーク26の溝39の谷間とが重なる向きに動
かす。
【００１５】使用時には、操作杆38を常時押上げて固定
フォーク25の溝39の谷間が締付けフォーク26の溝39の谷
間と重なった状態におき、ウェハ10の下縁が溝39の谷間
に入り込めるようにする。入り込んだウェハ10を把持す
るには、操作杆38を下げてクランクプレート35をばね28
の弾性で矢印Ｒと反対向きに回し、締付けフォーク26を
前記矢印Ｍの方向へ送り、固定フォーク25の溝39の谷間
に締付けフォーク26の溝39の山が重なるようにする。こ
の時、ウェハ10の下縁が２ヶ所で（図１０参照）固定フ
ォーク25の溝39の垂直壁39aと締付けフォーク26の溝39
の垂直壁39aとによって締付けられる。従って、ウェハ1
0は、把持ユニット24に確実に把持され、垂直壁39aが十
分に長ければウェハ10を直立させて把持することができ
る。
フォーク25の溝39の谷間が締付けフォーク26の溝39の谷
間と重なった状態におき、ウェハ10の下縁が溝39の谷間
に入り込めるようにする。入り込んだウェハ10を把持す
るには、操作杆38を下げてクランクプレート35をばね28
の弾性で矢印Ｒと反対向きに回し、締付けフォーク26を
前記矢印Ｍの方向へ送り、固定フォーク25の溝39の谷間
に締付けフォーク26の溝39の山が重なるようにする。こ
の時、ウェハ10の下縁が２ヶ所で（図１０参照）固定フ
ォーク25の溝39の垂直壁39aと締付けフォーク26の溝39
の垂直壁39aとによって締付けられる。従って、ウェハ1
0は、把持ユニット24に確実に把持され、垂直壁39aが十
分に長ければウェハ10を直立させて把持することができ
る。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように本発明のピッチ切替
形ウェハ移載機は、カセット及び移送ボートの割出し機
構とウェハ挟持機構と押上げ機構との組合わせにより、
ピッチを切替えながらウェハを移載するので、次の顕著
な効果を奏する。 (イ)ウェハを標準ピッチのカセットから移送ボートへ倍
密度で移載することができる。 (ロ)操作を完全に自動化して動作を確実にすることがで
きる。 (ハ)構造が比較的簡単で低コスト製作が可能である。
形ウェハ移載機は、カセット及び移送ボートの割出し機
構とウェハ挟持機構と押上げ機構との組合わせにより、
ピッチを切替えながらウェハを移載するので、次の顕著
な効果を奏する。 (イ)ウェハを標準ピッチのカセットから移送ボートへ倍
密度で移載することができる。 (ロ)操作を完全に自動化して動作を確実にすることがで
きる。 (ハ)構造が比較的簡単で低コスト製作が可能である。
【図１】は、本発明の一実施例の平面図、正面図、及び
側面図である。
側面図である。
【図２】は、カセットの一例の斜視図である。
【図３】は、移送ボートの一例の端面図である。
【図４】は、図３の移送ボートの平面図である。
【図５】は、本発明の移載機の分解斜視図である。
【図６】は、把持ユニットの斜視図である。
【図７】は、把持ユニットの要部拡大図である。
【図８】は、下部挟持ユニットの平面図である。
【図９】は、上部挟持ユニットの平面図である。
【図１０】は、上部及び下部挟持ユニットの動作時の断
面図である。
面図である。
１…移載機 ２…カセット ３…移送ボート ４…割出し機構 ５…割出しボード ６…支持台 ７…上部支持板 ８…ウェハ挟持機構 ９…押上げ機構 10…ウェハ 11R、11L…カセット保持孔 11B…ボート保持孔 15…対向側壁 16、33、39…溝 19…固定枠 20…可動枠 21…駆動モータ 22、43…伝動装置 24…把持ユニット 25…固定フォーク 26…締付けフォーク 27…スライダー 28…ばね 29…枢支ピン 31…横部材 32…側杆 35…クランクプレート 36…第１ローラ 37…第２ローラ 38…操作杆 40…回転歯車 41…軸受装置 42…ピニオン 44…割出しモータ 51…下部挟持ユニット 52…上部挟持ユニット 53、54…平行挟持腕 55…挟持ばね 56、57…間隔調整ユニット 58…下部挟持溝部材 59…上部挟持溝部材 60…保持溝 61…保持底 62…深溝 63…貫通底。
Claims (5)
- 【請求項１】ウェハ・ピッチが２ｐのカセットと前記ピ
ッチがｐの移送ボートとが順次載置される移載位置、及
び該移載位置から距離Ｓだけ隔たった軸受けを有する支
持台；前記軸受けに嵌合する水平割出しボード、該ボー
ドの前記嵌合する部位に在る回転の中心、前記ボード上
で前記中心を通る第１半径方向に該中心から距離Ｓの位
置に前記移送ボートを該第１半径方向に沿って保持する
ボート保持手段、前記ボード上で前記中心を通る第２半
径方向に該中心から距離Ｓの位置に前記カセットを該第
２半径方向に沿って保持するカセット第１保持手段、前
記ボード上で前記中心を通る第３半径方向に該中心から
距離（Ｓ−ｐ）の位置に前記カセットを該第３半径方向
に沿って保持するカセット第２保持手段、及び前記ボー
ドを前記中心の周りに回転する回転装置を有する割出し
機構；前記移載位置の上方に移送ボート及びカセットの
高い方の高さ以上隔てて支持台に固定され、ピッチ２ｐ
の対向保持溝と隣接する該保持溝の間におけるピッチ２
ｐのウェハ通過用対向深溝とが穿たれた１対の可動平行
挟持腕を有する下部挟持ユニット、ピッチｐの対向保持
溝が穿たれた１対の可動平行挟持腕を有する上部挟持ユ
ニット、及び前記各可動平行挟持腕対の挟持腕間隔を調
整する間隔調整ユニットからなるウェハ挟持機構；並び
に前記支持台の移載位置に設けられ、該移載位置におけ
る移送ボート又はカセットと前記ウェハ挟持機構との間
にｐ以上のピッチのウェハ列を昇降させる押上げ機構を
備え、前記ボードの回転により移載位置へ割出した前記
第１保持手段のカセットのウェハを上昇させ下部挟持ユ
ニットで挟持し、次に前記移載位置に割出した前記第２
保持手段のカセットのウェハを下部挟持ユニットの深溝
を通し上昇させ同時に該ユニットの保持溝に挟持のウェ
ハと共に上部挟持ユニットの保持溝にピッチｐで挟持
し、さらに移載位置に割出した移送ボートへピッチｐで
下降させてなるピッチ切替形ウェハ移載機。 - 【請求項２】請求項１のウェハ移載機において、前記割
出しボード上の前記第２半径方向及び第３半径方向を、
前記中心を通る直線上の反対向きに定め、前記第１半径
方向を前記直線と直角向きとしてなるピッチ切替形ウェ
ハ移載機。 - 【請求項３】請求項１又は２のウェハ移載機において、
前記押上げ機構にウェハの下方部分を解除可能に把持す
る把持ユニットを含めてなるピッチ切替形ウェハ移載
機。 - 【請求項４】請求項３のウェハ移載機において、前記押
上げ機構に、一対の垂直板を有し前記移載位置で昇降す
る可動枠、各垂直板の頂部に取付けられた固定フォーク
及び該固定フォークと平行に往復動する締付けフォーク
を有する把持ユニット、各固定フォーク及び各締付けフ
ォークの上端縁に形成され且つウェハが１枚づつ前記垂
直板部材と直角に入れられる上方開口保持溝の列、及び
前記固定及び締付けフォークの保持溝が重なるウェハ出
入位置と固定フォークの保持溝に締付けフォークの隣接
溝間の山が重なるウェハ締付け位置との間に前記締付け
フォークを動かすクランクプレート装置を含めてなるピ
ッチ切替形ウェハ移載機。 - 【請求項５】請求項１、２、３、又は４のウェハ移載機
において、前記間隔調整ユニットに各可動平行挟持腕対
内の各挟持腕へ結合した流体圧シリンダーを含めてなる
ピッチ切替形ウェハ移載機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32454395A JP3139951B2 (ja) | 1995-12-13 | 1995-12-13 | ピッチ切替形ウェハ移載機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32454395A JP3139951B2 (ja) | 1995-12-13 | 1995-12-13 | ピッチ切替形ウェハ移載機 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09162265A JPH09162265A (ja) | 1997-06-20 |
| JP3139951B2 true JP3139951B2 (ja) | 2001-03-05 |
Family
ID=18166987
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32454395A Expired - Fee Related JP3139951B2 (ja) | 1995-12-13 | 1995-12-13 | ピッチ切替形ウェハ移載機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3139951B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| KR101106100B1 (ko) * | 2009-08-28 | 2012-01-18 | 주식회사 포틱스 | 솔라 셀 웨이퍼 피치조절장치 |
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-
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- 1995-12-13 JP JP32454395A patent/JP3139951B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
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| JPH09162265A (ja) | 1997-06-20 |
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