JP3138027B2 - Ｓｒ−ｘ線ミラーの位置決め装置 - Google Patents
Ｓｒ−ｘ線ミラーの位置決め装置Info
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70058—Mask illumination systems
- G03F7/702—Reflective illumination, i.e. reflective optical elements other than folding mirrors, e.g. extreme ultraviolet [EUV] illumination systems
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Particle Accelerators (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ウエハ等の基板にマス
クパターンを転写、焼付けするためのシンクロトロン放
射Ｘ線（ＳＲ−Ｘ線）露光装置におけるＳＲ−Ｘ線ミラ
ーの位置決め装置に関し、特に一括露光方式に使用され
るシリンドリカルミラー（以下、「ミラー」という。）
を高精度で位置決めすることを可能にするＳＲ−Ｘ線ミ
ラーの位置決め装置に関するものである。
クパターンを転写、焼付けするためのシンクロトロン放
射Ｘ線（ＳＲ−Ｘ線）露光装置におけるＳＲ−Ｘ線ミラ
ーの位置決め装置に関し、特に一括露光方式に使用され
るシリンドリカルミラー（以下、「ミラー」という。）
を高精度で位置決めすることを可能にするＳＲ−Ｘ線ミ
ラーの位置決め装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年半導体の高集積化とともに、１００
メガビット以上のＤＲＡＭのための最小線幅１／４μｍ
の微細パターンを転写、焼付けすることの可能なシンク
ロトロン放射Ｘ線（ＳＲ−Ｘ線）露光装置が開発され、
その実用化は、ＳＯＲ（Ｓｙｎｃｈｒｏｔｒｏｎ Ｏｒ
ｂｉｔａｌ Ｒａｄｉａｔｉｏｎ）リングから引出され
たシートビーム状のＳＲ−Ｘ線を、ミラーによって、上
記ＳＯＲリングの軌道面に対して垂直方向に発散させる
一括露光方式の改良によって大きく前進した。
メガビット以上のＤＲＡＭのための最小線幅１／４μｍ
の微細パターンを転写、焼付けすることの可能なシンク
ロトロン放射Ｘ線（ＳＲ−Ｘ線）露光装置が開発され、
その実用化は、ＳＯＲ（Ｓｙｎｃｈｒｏｔｒｏｎ Ｏｒ
ｂｉｔａｌ Ｒａｄｉａｔｉｏｎ）リングから引出され
たシートビーム状のＳＲ−Ｘ線を、ミラーによって、上
記ＳＯＲリングの軌道面に対して垂直方向に発散させる
一括露光方式の改良によって大きく前進した。
【０００３】一括露光方式においては、ＳＯＲリングか
ら引き出されたシートビーム状のＳＲ−Ｘ線に対するミ
ラーの相対位置および姿勢（回動および傾斜状態）を高
精度で制御することが必要である。すなわち、シートビ
ーム状ＳＲ−Ｘ線の進行方向をｚ軸方向、厚さ方向をｙ
軸方向、幅方向をｘ軸方向とした場合に、ミラーの反射
面を、上記３軸の軸方向（ｘ，ｙ，ｚ）および上記３軸
のそれぞれの軸のまわりの回動方向（ωｘ，ωｙ，ω
ｚ）に高精度で位置決めすることが要求される。
ら引き出されたシートビーム状のＳＲ−Ｘ線に対するミ
ラーの相対位置および姿勢（回動および傾斜状態）を高
精度で制御することが必要である。すなわち、シートビ
ーム状ＳＲ−Ｘ線の進行方向をｚ軸方向、厚さ方向をｙ
軸方向、幅方向をｘ軸方向とした場合に、ミラーの反射
面を、上記３軸の軸方向（ｘ，ｙ，ｚ）および上記３軸
のそれぞれの軸のまわりの回動方向（ωｘ，ωｙ，ω
ｚ）に高精度で位置決めすることが要求される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】一括露光方式によるＳ
Ｒ−Ｘ線露光装置には前述のような位置制御を可能とす
るミラーが不可欠であるが、従来の装置においては、Ｓ
Ｒ−Ｘ線に対するミラーの姿勢を、高精度で制御するこ
とは困難であった。また、装置全体が大型かつ複雑であ
り、さらに放射線による作業者の被爆も未解決の課題で
あった。
Ｒ−Ｘ線露光装置には前述のような位置制御を可能とす
るミラーが不可欠であるが、従来の装置においては、Ｓ
Ｒ−Ｘ線に対するミラーの姿勢を、高精度で制御するこ
とは困難であった。また、装置全体が大型かつ複雑であ
り、さらに放射線による作業者の被爆も未解決の課題で
あった。
【０００５】本発明の目的は、ミラーの位置決めの際
に、Ｘ線の光路に対するミラーの反射面の姿勢（Ｘ線の
光路に沿った軸（ｚ軸）のまわりの回動角度および傾斜
角度）を検出しながら、これらを調整することを可能に
することにより、極めて容易にかつ高精度でミラーの姿
勢を調整することができるＳＲ−Ｘ線ミラーの位置決め
装置を提供することにある。
に、Ｘ線の光路に対するミラーの反射面の姿勢（Ｘ線の
光路に沿った軸（ｚ軸）のまわりの回動角度および傾斜
角度）を検出しながら、これらを調整することを可能に
することにより、極めて容易にかつ高精度でミラーの姿
勢を調整することができるＳＲ−Ｘ線ミラーの位置決め
装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明のＳＲ−Ｘ線ミラーの位置決め装置は、ＳＲ
−Ｘ線を所望の方向に拡大する反射面を備えたミラーを
支持するミラー支持手段と、前記ミラー支持手段を前記
ＳＲ−Ｘ線の光路に沿った軸のまわりに回動させる第１
の駆動手段と、前記ミラー支持手段を前記反射面に垂直
な軸のまわりに回動させる第２の駆動手段と、前記ミラ
ー支持手段によって支持されたＸ線検出手段を着脱自在
に搭載するディテクターテーブルとを備え、前記ディテ
クターテーブルが、第３の駆動手段によって前記光路を
横切る方向に往復移動されることを特徴とする。
めに本発明のＳＲ−Ｘ線ミラーの位置決め装置は、ＳＲ
−Ｘ線を所望の方向に拡大する反射面を備えたミラーを
支持するミラー支持手段と、前記ミラー支持手段を前記
ＳＲ−Ｘ線の光路に沿った軸のまわりに回動させる第１
の駆動手段と、前記ミラー支持手段を前記反射面に垂直
な軸のまわりに回動させる第２の駆動手段と、前記ミラ
ー支持手段によって支持されたＸ線検出手段を着脱自在
に搭載するディテクターテーブルとを備え、前記ディテ
クターテーブルが、第３の駆動手段によって前記光路を
横切る方向に往復移動されることを特徴とする。
【０００７】 ミラー支持手段が、ミラーを支持するミ
ラー支持体と、前記ミラー支持体を、ＳＲ−Ｘ線の光路
に沿った軸のまわりに傾斜自在に支持する基準フレーム
とを備え、前記ミラー支持体が、前記光路の一部分を選
択的に遮断するＸ線検出補助具を取付け自在であり、前
記基準フレームによって、ディテクターテーブルが支持
されているとよい。
ラー支持体と、前記ミラー支持体を、ＳＲ−Ｘ線の光路
に沿った軸のまわりに傾斜自在に支持する基準フレーム
とを備え、前記ミラー支持体が、前記光路の一部分を選
択的に遮断するＸ線検出補助具を取付け自在であり、前
記基準フレームによって、ディテクターテーブルが支持
されているとよい。
【０００８】また前記Ｘ線検出手段が変位センサーと交
換可能であるとよい。
換可能であるとよい。
【０００９】
【作用】Ｘ線検出手段によってＳＲ−Ｘ線の入射方向を
検出しながら、第１および第２の駆動手段によるミラー
支持手段の姿勢調整を行う。Ｘ線検出手段を搭載するデ
ィテクターテーブルがミラー支持手段の基準フレームに
支持されており、かつＸ線検出補助具がミラー支持体に
着脱自在に支持されていれば、ＳＲ−Ｘ線の光路の方向
および傾斜角度の検出が容易であり、従ってミラーの姿
勢調整が容易である。加えて、装置全体の簡略化、小形
化が実現される。
検出しながら、第１および第２の駆動手段によるミラー
支持手段の姿勢調整を行う。Ｘ線検出手段を搭載するデ
ィテクターテーブルがミラー支持手段の基準フレームに
支持されており、かつＸ線検出補助具がミラー支持体に
着脱自在に支持されていれば、ＳＲ−Ｘ線の光路の方向
および傾斜角度の検出が容易であり、従ってミラーの姿
勢調整が容易である。加えて、装置全体の簡略化、小形
化が実現される。
【００１０】また、損傷したミラーを交換したときは、
Ｘ線検出手段を変位センサーと交換して、ディテクター
テーブルをｘ軸方向に走行させることにより、チルト板
の調整のためのミラー反射面の傾斜角度を測定すること
ができる。
Ｘ線検出手段を変位センサーと交換して、ディテクター
テーブルをｘ軸方向に走行させることにより、チルト板
の調整のためのミラー反射面の傾斜角度を測定すること
ができる。
【００１１】
【実施例】本発明の一実施例を図面に基づいて説明す
る。
る。
【００１２】図１は本実施例を示す一部破断斜視図、図
２は本実施例のディテクターユニットおよびシャッター
ユニットを取りはずした状態を示す側面図である。
２は本実施例のディテクターユニットおよびシャッター
ユニットを取りはずした状態を示す側面図である。
【００１３】円筒面の一部を下向きの反射面とする凸面
ミラー（以後「ミラー」と称する）１０１はミラー保持
器１０２に保持され、ミラー保持器１０２は保持器支持
板１０３に着脱自在に固着される。保持器支持板１０３
は、ミラー保持手段であるミラー支持棒１０４の下端に
固着され、ミラー支持棒１０４は、真空チャンバー１０
５の上壁に設けられた開口を経て、真空チャンバー１０
５の上方に配置されたミラー支持体１０６に連結され
る。またミラー１０１の一端に隣接するシャッターユニ
ットＳの駆動部は、真空チャンバー１０５の上壁によっ
て支持される。真空チャンバー１０５の開口の周辺部と
ミラー支持棒１０４のフランジ部の間にはベローズ１０
７が設けられ、ミラー支持棒１０４は、真空チャンバー
１０５の超高真空雰囲気を損うことなく上下動および傾
斜自在である。すなわち、ミラー支持体１０４と真空チ
ャンバー１０５の開口との間隙はベローズ１０７によっ
て密封されている。
ミラー（以後「ミラー」と称する）１０１はミラー保持
器１０２に保持され、ミラー保持器１０２は保持器支持
板１０３に着脱自在に固着される。保持器支持板１０３
は、ミラー保持手段であるミラー支持棒１０４の下端に
固着され、ミラー支持棒１０４は、真空チャンバー１０
５の上壁に設けられた開口を経て、真空チャンバー１０
５の上方に配置されたミラー支持体１０６に連結され
る。またミラー１０１の一端に隣接するシャッターユニ
ットＳの駆動部は、真空チャンバー１０５の上壁によっ
て支持される。真空チャンバー１０５の開口の周辺部と
ミラー支持棒１０４のフランジ部の間にはベローズ１０
７が設けられ、ミラー支持棒１０４は、真空チャンバー
１０５の超高真空雰囲気を損うことなく上下動および傾
斜自在である。すなわち、ミラー支持体１０４と真空チ
ャンバー１０５の開口との間隙はベローズ１０７によっ
て密封されている。
【００１４】真空チャンバー１０５は両端にビーム接続
ベローズ１１１ａ、１１１ｂを備えており、ビーム接続
ベローズ１１１ａ、１１１ｂはそれぞれＳＲ−Ｘ線のビ
ームダクト（図示せず）に接続され、ＳＯＲリングから
照射室に導入されるＳＲ−Ｘ線をその経路の途中で真空
チャンバー１０５に導く。
ベローズ１１１ａ、１１１ｂを備えており、ビーム接続
ベローズ１１１ａ、１１１ｂはそれぞれＳＲ−Ｘ線のビ
ームダクト（図示せず）に接続され、ＳＯＲリングから
照射室に導入されるＳＲ−Ｘ線をその経路の途中で真空
チャンバー１０５に導く。
【００１５】ミラー支持体１０６の上部にはカウンター
ベローズ１０８の下端が固着され、カウンターベローズ
１０８の上端は、壁板１０５ａによって真空チャンバー
１０５と一体的に連結された天板１０９の下面に固着さ
れており、カウンターベローズ１０８の内部は真空発生
源に連通された真空配管１０８ａによって真空に減圧さ
れる。
ベローズ１０８の下端が固着され、カウンターベローズ
１０８の上端は、壁板１０５ａによって真空チャンバー
１０５と一体的に連結された天板１０９の下面に固着さ
れており、カウンターベローズ１０８の内部は真空発生
源に連通された真空配管１０８ａによって真空に減圧さ
れる。
【００１６】ミラー支持体１０６は、ｙ駆動モータ１１
０によって駆動されるボールねじとボールナット（図示
せず）により、ミラー１０１の反射面に対して垂直方向
（ｙ軸方向）に往復移動される。チルト板２０１はハウ
ジング２０２に対して一体的に固着され、ハウジング２
０２は冷媒流路をもつｙ直動ガイド２０３によって、ミ
ラー支持体１０６をｙ軸方向に直動可能に支持する。チ
ルト板２０１は３個のωｘωｚ調節ねじ２０４によって
平形中空枠状の基準フレーム３０１に固着されており、
基準フレーム３０１に対するチルト板２０１の傾斜方向
および傾斜角度はωｘωｚ調節ねじ２０４によって微調
節自在である。
０によって駆動されるボールねじとボールナット（図示
せず）により、ミラー１０１の反射面に対して垂直方向
（ｙ軸方向）に往復移動される。チルト板２０１はハウ
ジング２０２に対して一体的に固着され、ハウジング２
０２は冷媒流路をもつｙ直動ガイド２０３によって、ミ
ラー支持体１０６をｙ軸方向に直動可能に支持する。チ
ルト板２０１は３個のωｘωｚ調節ねじ２０４によって
平形中空枠状の基準フレーム３０１に固着されており、
基準フレーム３０１に対するチルト板２０１の傾斜方向
および傾斜角度はωｘωｚ調節ねじ２０４によって微調
節自在である。
【００１７】基準フレーム３０１は、両端に設けられた
１対の軸受装置３０２によってミラーの縦軸方向（ｚ軸
方向）のまわりに回動可能に支持され、各軸受装置３０
２はそれぞれＬ字棒３０３の中央に固定され、Ｌ字棒３
０３の両端は中空立体枠状の大枠フレーム４０１の頂部
に螺着される。
１対の軸受装置３０２によってミラーの縦軸方向（ｚ軸
方向）のまわりに回動可能に支持され、各軸受装置３０
２はそれぞれＬ字棒３０３の中央に固定され、Ｌ字棒３
０３の両端は中空立体枠状の大枠フレーム４０１の頂部
に螺着される。
【００１８】また、基準フレーム３０１のｚ軸のまわり
の回動角度は、第１の駆動手段であるωｚ駆動モータ３
０４によって駆動されるカム機構により調節され、回動
調整終了の後、ロックねじ３０５を締めつけて、基準フ
レーム３０１を大枠フレーム４０１に対して固定する。
さらに、基準フレーム３０１のｚ軸方向前方下面には、
ＳＲ−Ｘ線の位置を検出するためのディテクターユニッ
ト８０１が着脱自在に取付けられる。
の回動角度は、第１の駆動手段であるωｚ駆動モータ３
０４によって駆動されるカム機構により調節され、回動
調整終了の後、ロックねじ３０５を締めつけて、基準フ
レーム３０１を大枠フレーム４０１に対して固定する。
さらに、基準フレーム３０１のｚ軸方向前方下面には、
ＳＲ−Ｘ線の位置を検出するためのディテクターユニッ
ト８０１が着脱自在に取付けられる。
【００１９】大枠フレーム４０１は、１対のＬ型金具４
０２によって真空チャンバー１０５の底部を支持する。
Ｌ型金具４０２は剛性の小さい材料で作られており、真
空ポンプによって真空チャンバー１０５を常圧から超高
真空雰囲気に降圧させる際に、真空チャンバー１０５の
変形を吸収して、大枠フレーム４０１に歪が発生するの
を防ぐ。
０２によって真空チャンバー１０５の底部を支持する。
Ｌ型金具４０２は剛性の小さい材料で作られており、真
空ポンプによって真空チャンバー１０５を常圧から超高
真空雰囲気に降圧させる際に、真空チャンバー１０５の
変形を吸収して、大枠フレーム４０１に歪が発生するの
を防ぐ。
【００２０】図２から判るように、真空チャンバー１０
５は大枠フレーム４０１の底部に固着されたＬ型金具４
０２によって大枠フレーム４０１の内部に保持され、他
方、ミラー１０１は、ミラー支持棒１０４を介して大枠
フレーム４０１の頂部に載置された基準フレーム３０
１、チルト板２０１およびミラー支持体１０６からなる
ミラー支持手段であるミラー支持装置Ａによって支持さ
れる。
５は大枠フレーム４０１の底部に固着されたＬ型金具４
０２によって大枠フレーム４０１の内部に保持され、他
方、ミラー１０１は、ミラー支持棒１０４を介して大枠
フレーム４０１の頂部に載置された基準フレーム３０
１、チルト板２０１およびミラー支持体１０６からなる
ミラー支持手段であるミラー支持装置Ａによって支持さ
れる。
【００２１】すなわち、真空チャンバー１０５とミラー
支持装置Ａは、それぞれ個別の手段を介して大枠フレー
ム４０１に連結されるため、ミラー１０１のミラー支持
体１０６によるｙ軸方向の位置調整（ｙ調整）、基準フ
レーム３０１によるｚ軸のまわりの回動調整（ωｚ調
整）およびチルト板２０１による傾斜調整（ωｘ、ωｙ
調整）を真空チャンバー１０５の重さ、変形等の影響を
受けることなく、高精度で行うことが可能であり、ま
た、各調整手段の伝動部分が極めて簡略かつ小形化が可
能である。
支持装置Ａは、それぞれ個別の手段を介して大枠フレー
ム４０１に連結されるため、ミラー１０１のミラー支持
体１０６によるｙ軸方向の位置調整（ｙ調整）、基準フ
レーム３０１によるｚ軸のまわりの回動調整（ωｚ調
整）およびチルト板２０１による傾斜調整（ωｘ、ωｙ
調整）を真空チャンバー１０５の重さ、変形等の影響を
受けることなく、高精度で行うことが可能であり、ま
た、各調整手段の伝動部分が極めて簡略かつ小形化が可
能である。
【００２２】次に、大枠フレーム４０１を支持する架台
構造体Ｂについて説明する。
構造体Ｂについて説明する。
【００２３】架台構造体Ｂは、平枠状の架台上５０１お
よび立体枠状の架台下６０１からなり、大枠フレーム４
０１は架台上５０１に設けられた一対のｘガイドレール
５０２ａ，５０２ｂに沿ってミラー１０１の横軸方向
（ｘ軸方向）に往復移動可能である。大枠フレーム４０
１のｘ軸方向の移動は、架台上５０１に保持されたｘ送
りねじ５０３を手動で回動させることによって行われ
る。
よび立体枠状の架台下６０１からなり、大枠フレーム４
０１は架台上５０１に設けられた一対のｘガイドレール
５０２ａ，５０２ｂに沿ってミラー１０１の横軸方向
（ｘ軸方向）に往復移動可能である。大枠フレーム４０
１のｘ軸方向の移動は、架台上５０１に保持されたｘ送
りねじ５０３を手動で回動させることによって行われ
る。
【００２４】架台上５０１は架台下６０１の上に垂直方
向の中心軸（ｙ軸）のまわりに回動可能に支持され、ｙ
軸のまわりの回動角度は、第２の駆動手段である、ωｙ
駆動モータ６０２によって駆動されるカム機構により調
節される。さらに架台下６０１の足６０３は長さの調節
が可能であり、各足の長さを調節することによって架台
下６０１の傾斜方向および傾斜角度、すなわち床面に対
する架台構造体Ｂおよび大枠フレーム４０１の傾斜を調
整することができる。また架台上５０１および架台下６
０１からなる架台構造体Ｂの内部には、真空チャンバー
１０５の直下に配置されたイオンポンプ７０１、ＮＥＧ
ポンプ７０２が保持される。
向の中心軸（ｙ軸）のまわりに回動可能に支持され、ｙ
軸のまわりの回動角度は、第２の駆動手段である、ωｙ
駆動モータ６０２によって駆動されるカム機構により調
節される。さらに架台下６０１の足６０３は長さの調節
が可能であり、各足の長さを調節することによって架台
下６０１の傾斜方向および傾斜角度、すなわち床面に対
する架台構造体Ｂおよび大枠フレーム４０１の傾斜を調
整することができる。また架台上５０１および架台下６
０１からなる架台構造体Ｂの内部には、真空チャンバー
１０５の直下に配置されたイオンポンプ７０１、ＮＥＧ
ポンプ７０２が保持される。
【００２５】大枠フレーム４０１に保持されたミラー支
持装置Ａおよび真空チャンバー１０５は、架台構造体Ｂ
を上述のように調整することによって、床面に対する傾
斜の調整、ｙ軸のまわりの回動角度調整（ωｙ調整）、
ｘ軸方向の位置調整（ｘ調整）を高精度で行うことがで
き、かつ調整された位置および姿勢（回動角度、傾斜方
向および傾斜角度）に安定して保持される。
持装置Ａおよび真空チャンバー１０５は、架台構造体Ｂ
を上述のように調整することによって、床面に対する傾
斜の調整、ｙ軸のまわりの回動角度調整（ωｙ調整）、
ｘ軸方向の位置調整（ｘ調整）を高精度で行うことがで
き、かつ調整された位置および姿勢（回動角度、傾斜方
向および傾斜角度）に安定して保持される。
【００２６】次に、ディテクターユニットについて説明
する。
する。
【００２７】図３に示すように、ディテクターユニット
８０１は、後述する平行四辺形のフレームおよびディテ
クターテーブル８０２からなり、ディテクターテーブル
８０２は真空チャンバー１０５の側壁に設けられた開口
から、該真空チャンバー１０５内に挿入されるテーブル
支持棒８０３に固着される。テーブル支持棒８０３は真
空チャンバー１０５を貫通しており、その両端はそれぞ
れ保持棒８０４の下端に連結される。保持棒８０４の上
端は、真空チャンバー１０５の上方をテーブル支持棒８
０３に対して平行に横断する支持アーム８０５の両端に
連結され、テーブル支持棒８０３、保持棒８０４および
支持アーム８０５によって平行四辺形のフレームが形成
される。支持アーム８０５はボールナット支持部材８０
６に一体的に固着され、ボールナット支持部材８０６は
ボールねじ８０７に螺合するボールナット８０８を保持
しており、かつ基準フレーム３０１に一体的に設けられ
たガイドレール８０９に沿ってＳＲ−Ｘ線の光路を横切
る方向（ｘ軸方向）に摺動可能である。
８０１は、後述する平行四辺形のフレームおよびディテ
クターテーブル８０２からなり、ディテクターテーブル
８０２は真空チャンバー１０５の側壁に設けられた開口
から、該真空チャンバー１０５内に挿入されるテーブル
支持棒８０３に固着される。テーブル支持棒８０３は真
空チャンバー１０５を貫通しており、その両端はそれぞ
れ保持棒８０４の下端に連結される。保持棒８０４の上
端は、真空チャンバー１０５の上方をテーブル支持棒８
０３に対して平行に横断する支持アーム８０５の両端に
連結され、テーブル支持棒８０３、保持棒８０４および
支持アーム８０５によって平行四辺形のフレームが形成
される。支持アーム８０５はボールナット支持部材８０
６に一体的に固着され、ボールナット支持部材８０６は
ボールねじ８０７に螺合するボールナット８０８を保持
しており、かつ基準フレーム３０１に一体的に設けられ
たガイドレール８０９に沿ってＳＲ−Ｘ線の光路を横切
る方向（ｘ軸方向）に摺動可能である。
【００２８】基準フレーム３０１に支持された第３の駆
動手段であるｘ駆動モータ８１０によってボールねじ８
０７が回転すると、支持アーム８０５は、真空チャンバ
ー１０５を貫通するテーブル支持棒８０３と共にガイド
レール８０９に沿ってｘ軸方向に移動する。ディテクタ
ーテーブル８０２は、Ｘ線ディテクター８１１または変
位センサー８１２（図６に示す）を着脱自在に搭載す
る。また支持アーム８０５と真空チャンバー１０５の側
壁に設けられた開口との間隙はディテクターベローズ８
１３ａ，８１３ｂによって密封される。さらにテーブル
支持棒８０３の内部には冷却手段である冷媒流路８０３
ａが設けられる。
動手段であるｘ駆動モータ８１０によってボールねじ８
０７が回転すると、支持アーム８０５は、真空チャンバ
ー１０５を貫通するテーブル支持棒８０３と共にガイド
レール８０９に沿ってｘ軸方向に移動する。ディテクタ
ーテーブル８０２は、Ｘ線ディテクター８１１または変
位センサー８１２（図６に示す）を着脱自在に搭載す
る。また支持アーム８０５と真空チャンバー１０５の側
壁に設けられた開口との間隙はディテクターベローズ８
１３ａ，８１３ｂによって密封される。さらにテーブル
支持棒８０３の内部には冷却手段である冷媒流路８０３
ａが設けられる。
【００２９】Ｘ線検出手段であるＸ線ディテクター８１
１をディテクターテーブル８０２に搭載して、前述のω
ｙおよびωｚ調整を行う際には、検出補助具である一対
のスリットエッジ８１４ａおよび８１４ｂが使用される
（図４に示す）。前記スリットエッジ８１４ａおよび８
１４ｂはそれぞれ板状の本体８００１、本体８００１の
下端に固着された左スリット部材８００２および右スリ
ット部材８００３、両者の間に配置されたすき間部材８
００４からなり、すき間部材８００４によって左右スリ
ット部材の間隙Ｌが設定される。また左スリット部材８
００２および右スリット部材８００３の下端のエッジ８
００２ａおよび８００３ａは高精度の仕上げ処理が施さ
れる。
１をディテクターテーブル８０２に搭載して、前述のω
ｙおよびωｚ調整を行う際には、検出補助具である一対
のスリットエッジ８１４ａおよび８１４ｂが使用される
（図４に示す）。前記スリットエッジ８１４ａおよび８
１４ｂはそれぞれ板状の本体８００１、本体８００１の
下端に固着された左スリット部材８００２および右スリ
ット部材８００３、両者の間に配置されたすき間部材８
００４からなり、すき間部材８００４によって左右スリ
ット部材の間隙Ｌが設定される。また左スリット部材８
００２および右スリット部材８００３の下端のエッジ８
００２ａおよび８００３ａは高精度の仕上げ処理が施さ
れる。
【００３０】次に、Ｘ線ディテクター８１１およびスリ
ットエッジ８１４ａおよび８１４ｂを用いてωｙ調整を
行う方法を説明する。
ットエッジ８１４ａおよび８１４ｂを用いてωｙ調整を
行う方法を説明する。
【００３１】ミラー１０１を保持するミラー保持器１０
２を保持器支持板１０３から取りはずして、保持器支持
板１０３の前端および後端にそれぞれスリットエッジ８
１４ａおよび８１４ｂをボルトによって取付ける。次に
ｘ駆動モーター８１０を駆動して、Ｘ線ディテクター８
１１を搭載するディテクターテーブル８０２を、スリッ
トエッジ８１４ａ，８１４ｂのスリットを結ぶ直線上で
停止させる（図５の（ａ）に示す）。真空チャンバー１
０５を減圧してＳＲ−Ｘ線を導入し、ωｙ駆動モーター
６０２を駆動して架台上５０１を回動させて、Ｘ線ディ
テクター８１１の出力が最大になったときにωｙ駆動モ
ーター６０２を停止させる。
２を保持器支持板１０３から取りはずして、保持器支持
板１０３の前端および後端にそれぞれスリットエッジ８
１４ａおよび８１４ｂをボルトによって取付ける。次に
ｘ駆動モーター８１０を駆動して、Ｘ線ディテクター８
１１を搭載するディテクターテーブル８０２を、スリッ
トエッジ８１４ａ，８１４ｂのスリットを結ぶ直線上で
停止させる（図５の（ａ）に示す）。真空チャンバー１
０５を減圧してＳＲ−Ｘ線を導入し、ωｙ駆動モーター
６０２を駆動して架台上５０１を回動させて、Ｘ線ディ
テクター８１１の出力が最大になったときにωｙ駆動モ
ーター６０２を停止させる。
【００３２】ωｚ調整は次のように行われる。
【００３３】図５の（ｂ）に示すように、ｙ駆動モータ
ー１１０を駆動して保持器支持板１０３に保持されたス
リットエッジ８１４ａ，８１４ｂを上昇させ、Ｘ線ディ
テクター８１１の受光面の上半分がスリットエッジ８１
４ａ，８１４ｂによってＸ線から遮蔽される位置で停止
させる。次にｘ駆動モーター８１０を駆動して、Ｘ線デ
ィテクター８１１を搭載するディテクターテーブル８０
２をｘ軸方向に往復移動させて、Ｘ線ディテクター８１
１の出力の変動をモニターしつつ、ωｚ駆動モーター３
０４を駆動して基準フレーム３０１を回動させる。基準
フレーム３０１の回動によってｘ軸方向へ移動するＸ線
ディテクター８１１の出力変動がゼロになったとき、ω
ｚ駆動モーター３０４を停止させ、基準フレーム３０１
をロックねじ３０５によって大枠フレーム４０１に固定
する。こうすることによって、ＳＲ−Ｘ線のωｚ方向
が、基準フレームのωｚ方向つまりディテクターテーブ
ル８０２の走行方向にうつしとられる。よって、新たに
ωｚを測定する必要はなくなる。
ー１１０を駆動して保持器支持板１０３に保持されたス
リットエッジ８１４ａ，８１４ｂを上昇させ、Ｘ線ディ
テクター８１１の受光面の上半分がスリットエッジ８１
４ａ，８１４ｂによってＸ線から遮蔽される位置で停止
させる。次にｘ駆動モーター８１０を駆動して、Ｘ線デ
ィテクター８１１を搭載するディテクターテーブル８０
２をｘ軸方向に往復移動させて、Ｘ線ディテクター８１
１の出力の変動をモニターしつつ、ωｚ駆動モーター３
０４を駆動して基準フレーム３０１を回動させる。基準
フレーム３０１の回動によってｘ軸方向へ移動するＸ線
ディテクター８１１の出力変動がゼロになったとき、ω
ｚ駆動モーター３０４を停止させ、基準フレーム３０１
をロックねじ３０５によって大枠フレーム４０１に固定
する。こうすることによって、ＳＲ−Ｘ線のωｚ方向
が、基準フレームのωｚ方向つまりディテクターテーブ
ル８０２の走行方向にうつしとられる。よって、新たに
ωｚを測定する必要はなくなる。
【００３４】さらに、Ｘ線露光によって損傷したミラー
をミラー保持器ごと新たなミラーに交換した際のチルト
板のωｚ調整は、Ｘ線ディテクター８１１の代りに変位
センサー８１２をディテクターテーブル８０２に搭載し
て行われる（図６に示す）。この場合は、真空チャンバ
ー１０５を大気圧に開放し、ミラー１０１を保持するミ
ラー保持器１０２を保持器１０３に固着して、ミラー１
０１の反射面の下方に配置された変位センサー８１２を
ｘ軸方向へ移動させつつ、ミラー１０１の下向きの反射
面との距離の変動を測定し、該変動がゼロになるように
チルト板２０１のωｘωｚ調整ねじ２０４を回動する。
この調整はＳＲ−Ｘ線の入射を必要としない。
をミラー保持器ごと新たなミラーに交換した際のチルト
板のωｚ調整は、Ｘ線ディテクター８１１の代りに変位
センサー８１２をディテクターテーブル８０２に搭載し
て行われる（図６に示す）。この場合は、真空チャンバ
ー１０５を大気圧に開放し、ミラー１０１を保持するミ
ラー保持器１０２を保持器１０３に固着して、ミラー１
０１の反射面の下方に配置された変位センサー８１２を
ｘ軸方向へ移動させつつ、ミラー１０１の下向きの反射
面との距離の変動を測定し、該変動がゼロになるように
チルト板２０１のωｘωｚ調整ねじ２０４を回動する。
この調整はＳＲ−Ｘ線の入射を必要としない。
【００３５】次に、Ｘ線露光開始前のミラーの初期位置
決め手順を説明する。
決め手順を説明する。
【００３６】架台下６０１の足６０３による傾斜調整、
およびｘ送りねじ５０３による大枠フレーム４０１のｘ
調整を行った後に、ビーム接続ベローズ１１１ａ，１１
１ｂをＳＲ−Ｘ線のビームダクト（図示せず）に接続す
る。この状態で再び架台下の足６０３による傾斜調節を
行い、ミラー１０１の反射面を所定の反射角に設定す
る。
およびｘ送りねじ５０３による大枠フレーム４０１のｘ
調整を行った後に、ビーム接続ベローズ１１１ａ，１１
１ｂをＳＲ−Ｘ線のビームダクト（図示せず）に接続す
る。この状態で再び架台下の足６０３による傾斜調節を
行い、ミラー１０１の反射面を所定の反射角に設定す
る。
【００３７】次に、ＳＲ−Ｘ線を真空チャンバー１０５
へ導入して、ディテクターユニット８０１を用いて、ω
ｙ駆動モータ６０２による架台上５０１の回動調整およ
びωｚ駆動モータ３０４による基準フレーム３０１の回
動調整を行う。最後にＸ線ポジションセンサー１１２に
よってミラー反射面のｙ方向の位置ずれを検出し、ｙ駆
動モータ１１０を駆動してミラー支持体１０６のｙ調整
を行い、ロツク装置によって、ミラー支持体１０６をチ
ルト板２０１に固定する。
へ導入して、ディテクターユニット８０１を用いて、ω
ｙ駆動モータ６０２による架台上５０１の回動調整およ
びωｚ駆動モータ３０４による基準フレーム３０１の回
動調整を行う。最後にＸ線ポジションセンサー１１２に
よってミラー反射面のｙ方向の位置ずれを検出し、ｙ駆
動モータ１１０を駆動してミラー支持体１０６のｙ調整
を行い、ロツク装置によって、ミラー支持体１０６をチ
ルト板２０１に固定する。
【００３８】このようにして初期位置決めを完了した後
に、ディテクターユニット８０１を取りはずしてＸ線露
光を開始する。
に、ディテクターユニット８０１を取りはずしてＸ線露
光を開始する。
【００３９】Ｘ線露光によってミラーの反射面の損傷が
進んだときはミラーの交換が行われる。
進んだときはミラーの交換が行われる。
【００４０】ミラー交換に当っては、ミラー１０１をミ
ラー保持器１０２ごと交換した後、チルト板２０１の傾
斜をωｘωｚ調整ねじ２０４によって、ディテクターテ
ーブル８０２の走行方向とミラー反射面を、ディテクタ
ーユニット８０１を取り付けて、変位センサーによるω
ｚ調整量を測定することによって調整することにより、
位置決めを行う。
ラー保持器１０２ごと交換した後、チルト板２０１の傾
斜をωｘωｚ調整ねじ２０４によって、ディテクターテ
ーブル８０２の走行方向とミラー反射面を、ディテクタ
ーユニット８０１を取り付けて、変位センサーによるω
ｚ調整量を測定することによって調整することにより、
位置決めを行う。
【００４１】次に、本実施例の装置に付属するシャッタ
ーユニットＳ、および冷却水の供給系、真空排気系等に
ついて説明する。
ーユニットＳ、および冷却水の供給系、真空排気系等に
ついて説明する。
【００４２】シャッターユニットＳは、図７に示すよう
に、１対の板状部材９０１ａ，９０１ｂをボルト９０２
によって結合させた板状本体９０３を備え、板状部材９
０１ａ，９０１ｂはその接合面に形成された溝によって
冷却管９０４を保持する。冷却管９０４は、板状本体９
０３の周縁に沿って配置され、板状本体９０３の上端中
心部において上向きに曲折して中空支持棒９０５内に挿
入される。板状本体９０３は下端縁に隣接する長方形の
開口９０６を備え、開口９０６はＸ線露光時およびディ
テクターユニット８０１によるＸ線検出時にシートビー
ム状のＳＲ−Ｘ線を通過させる。中空支持棒９０５は、
その下端および上端において冷却管９０４を密封かつ固
着保持しており、真空チャンバー１０５の上壁に支持さ
れたモーター９０７駆動されるピニオンラック機構９０
７ａによって縦軸方向に移動される。中空支持棒９０５
と真空チャンバー１０５の開口との間隙はベローズ９０
８によって密封される。Ｘ線露光またはＸ線検出操作が
終了したときは、直ちにモーター９０７の駆動によって
板状本体９０３を下降させ、ＳＲ−Ｘ線を遮断すること
で、ミラーの損傷をできるだけ防止する。
に、１対の板状部材９０１ａ，９０１ｂをボルト９０２
によって結合させた板状本体９０３を備え、板状部材９
０１ａ，９０１ｂはその接合面に形成された溝によって
冷却管９０４を保持する。冷却管９０４は、板状本体９
０３の周縁に沿って配置され、板状本体９０３の上端中
心部において上向きに曲折して中空支持棒９０５内に挿
入される。板状本体９０３は下端縁に隣接する長方形の
開口９０６を備え、開口９０６はＸ線露光時およびディ
テクターユニット８０１によるＸ線検出時にシートビー
ム状のＳＲ−Ｘ線を通過させる。中空支持棒９０５は、
その下端および上端において冷却管９０４を密封かつ固
着保持しており、真空チャンバー１０５の上壁に支持さ
れたモーター９０７駆動されるピニオンラック機構９０
７ａによって縦軸方向に移動される。中空支持棒９０５
と真空チャンバー１０５の開口との間隙はベローズ９０
８によって密封される。Ｘ線露光またはＸ線検出操作が
終了したときは、直ちにモーター９０７の駆動によって
板状本体９０３を下降させ、ＳＲ−Ｘ線を遮断すること
で、ミラーの損傷をできるだけ防止する。
【００４３】冷却水の供給系は図８に示すとおりであっ
て、冷却水は、２３℃に温度調節された恒温水を用い
る。ミラー保持器、ディテクターユニットおよびシャッ
ターユニット、ｙ駆動系の３系統に対してストップバル
ブＶ1 、流量調整弁Ｖ2 、フローメーターＦが１組ずつ
設けられており、最適な流量を流すように調整可能とな
っている。
て、冷却水は、２３℃に温度調節された恒温水を用い
る。ミラー保持器、ディテクターユニットおよびシャッ
ターユニット、ｙ駆動系の３系統に対してストップバル
ブＶ1 、流量調整弁Ｖ2 、フローメーターＦが１組ずつ
設けられており、最適な流量を流すように調整可能とな
っている。
【００４４】真空排気系は図９に示す通りであって、真
空チャンバー１０５の下部には、１０の−９乗Ｔｏｒｒ
以下の圧力を達成するためのイオンポンプと非蒸着形の
ゲッターポンプ（ＮＥＧポンプ）が設置されている。ま
た、図１に示すように、真空チャンバー１０５下面の中
央にはビューポート９０９が設けられており、ＳＲ−Ｘ
線入射時等にミラー１０１の直接観察が可能となってい
る。また、ミラー１０１の姿勢を直接測定するためのオ
ートコリメータが取り付け可能となっている。
空チャンバー１０５の下部には、１０の−９乗Ｔｏｒｒ
以下の圧力を達成するためのイオンポンプと非蒸着形の
ゲッターポンプ（ＮＥＧポンプ）が設置されている。ま
た、図１に示すように、真空チャンバー１０５下面の中
央にはビューポート９０９が設けられており、ＳＲ−Ｘ
線入射時等にミラー１０１の直接観察が可能となってい
る。また、ミラー１０１の姿勢を直接測定するためのオ
ートコリメータが取り付け可能となっている。
【００４５】真空チャンバー１０５をＳＯＲリング側か
ら見て右側側面には、真空粗引き系が接続されている。
ターボ分子ポンプＴＭＰ、ロータリーポンプＲＰが接続
されており、ターボ分子ポンプＴＭＰとロータリーポン
プＲＰとの間にはピラニゲージＰＧが取り付けられてい
る。反対側側面には、イオンゲージＥＧ、真空用分圧計
ＱＧが取り付け可能となっている。また、後方側面に
は、リーク用の配管が取り付けられている。ポート、ス
トップバルブ、フィルター、安全弁、三方弁、窒素と大
気の順に接続されている。フィルターは、窒素や大気に
含まれる不純物によって真空チャンバー内が汚染される
のを防ぐためのもので、安全弁は真空チャンバー内が大
気圧以上の高圧力になることを防ぐためのものである。
ら見て右側側面には、真空粗引き系が接続されている。
ターボ分子ポンプＴＭＰ、ロータリーポンプＲＰが接続
されており、ターボ分子ポンプＴＭＰとロータリーポン
プＲＰとの間にはピラニゲージＰＧが取り付けられてい
る。反対側側面には、イオンゲージＥＧ、真空用分圧計
ＱＧが取り付け可能となっている。また、後方側面に
は、リーク用の配管が取り付けられている。ポート、ス
トップバルブ、フィルター、安全弁、三方弁、窒素と大
気の順に接続されている。フィルターは、窒素や大気に
含まれる不純物によって真空チャンバー内が汚染される
のを防ぐためのもので、安全弁は真空チャンバー内が大
気圧以上の高圧力になることを防ぐためのものである。
【００４６】各駆動モーター、ポンプを制御する電気系
はラックに納められる。少なくとも姿勢制御系は脱着可
能であり、ミラーの位置制御が遠隔操作で可能である。
操作部を放射線防護壁の外に置き、そこから制御を行う
ことによって、ＳＲ−Ｘ線、放射線に被爆することがな
い。また、ミラーの初期設定時のように組立調整時など
のＳＲ−Ｘ線が入射しないときは、本体と操作部は近い
方が作業効率が上がる。その時操作部は本体の近くに配
置されたラック内に納められる。
はラックに納められる。少なくとも姿勢制御系は脱着可
能であり、ミラーの位置制御が遠隔操作で可能である。
操作部を放射線防護壁の外に置き、そこから制御を行う
ことによって、ＳＲ−Ｘ線、放射線に被爆することがな
い。また、ミラーの初期設定時のように組立調整時など
のＳＲ−Ｘ線が入射しないときは、本体と操作部は近い
方が作業効率が上がる。その時操作部は本体の近くに配
置されたラック内に納められる。
【００４７】ＳＯＲリングとの接続、また、ミラーのＳ
Ｒ−Ｘ線による汚染防止のため、真空チャンバー１０５
は超高真空にする必要がある。そのため、真空チャンバ
ー１０５は装置立ち上げ時にはベーキングを行うが、真
空チャンバー１０５の外壁にヒーターを取り付け加熱し
ただけでは、ｙ駆動系のボールネジ部等の熱に弱い部分
を破損する恐れがある。そのため、ベーキング時は、冷
却水をミラーｙ駆動部、シャッター駆動部の中の流路に
流すことにより、駆動部を保護する。
Ｒ−Ｘ線による汚染防止のため、真空チャンバー１０５
は超高真空にする必要がある。そのため、真空チャンバ
ー１０５は装置立ち上げ時にはベーキングを行うが、真
空チャンバー１０５の外壁にヒーターを取り付け加熱し
ただけでは、ｙ駆動系のボールネジ部等の熱に弱い部分
を破損する恐れがある。そのため、ベーキング時は、冷
却水をミラーｙ駆動部、シャッター駆動部の中の流路に
流すことにより、駆動部を保護する。
【００４８】通常の使用時にＳＲ−Ｘ線が真空チャンバ
ー内に入射するが、その時に金属やミラーの表面に吸着
されている気体が励起され脱離し真空度を悪化させる可
能性がある。真空度が低い時にミラーに強いＳＲ−Ｘ線
が入射した場合、コンタミネーションが生じる可能性が
ある。また、真空度の低下は、ＳＲ光源に対しても悪影
響を与える。これを防ぐために、真空チャンバーにつな
がるビームポートに前後２つのゲートバルブを真空チャ
ンバー内の真空度が１０の−９乗Ｔｏｒｒ台より悪くな
った時に、自動的に閉める様になっている（図１０に示
す）。すなわち、真空チャンバーに取り付けられた真空
計によって真空度を測定し、その値は常にＣＰＵに送ら
れている。真空度が１０の−９乗Ｔｏｒｒ台より悪くな
った時、ＣＰＵはバルブ１、２の開閉を行うアクチュエ
ータにバルブを閉める指令信号を送信する。そして、真
空チャンバー内をビームラインから隔絶するとともにミ
ラーに入射するＳＲ−Ｘ線を止め、ミラーからの脱ガス
を抑え、コンタミネーションを防ぐ。
ー内に入射するが、その時に金属やミラーの表面に吸着
されている気体が励起され脱離し真空度を悪化させる可
能性がある。真空度が低い時にミラーに強いＳＲ−Ｘ線
が入射した場合、コンタミネーションが生じる可能性が
ある。また、真空度の低下は、ＳＲ光源に対しても悪影
響を与える。これを防ぐために、真空チャンバーにつな
がるビームポートに前後２つのゲートバルブを真空チャ
ンバー内の真空度が１０の−９乗Ｔｏｒｒ台より悪くな
った時に、自動的に閉める様になっている（図１０に示
す）。すなわち、真空チャンバーに取り付けられた真空
計によって真空度を測定し、その値は常にＣＰＵに送ら
れている。真空度が１０の−９乗Ｔｏｒｒ台より悪くな
った時、ＣＰＵはバルブ１、２の開閉を行うアクチュエ
ータにバルブを閉める指令信号を送信する。そして、真
空チャンバー内をビームラインから隔絶するとともにミ
ラーに入射するＳＲ−Ｘ線を止め、ミラーからの脱ガス
を抑え、コンタミネーションを防ぐ。
【００４９】
【発明の効果】本発明は上述のとおり構成されているの
で、以下に記載するような効果を奏する。
で、以下に記載するような効果を奏する。
【００５０】ＳＲ−Ｘ線の光路に対するミラーの反射面
の姿勢を検出しながらこれを調整することができるた
め、極めて容易に、かつ高精度でミラーの姿勢を調節す
ることができる。
の姿勢を検出しながらこれを調整することができるた
め、極めて容易に、かつ高精度でミラーの姿勢を調節す
ることができる。
【００５１】また、請求項２の発明によれば装置が簡単
かつ小形であり、省スペースおよび経済性の点からもす
ぐれている。
かつ小形であり、省スペースおよび経済性の点からもす
ぐれている。
【図１】本発明の一実施例を示す一部破断斜視図であ
る。
る。
【図２】ディテクターユニットおよびシャッターユニッ
トを取りはずした状態を示す側面図である。
トを取りはずした状態を示す側面図である。
【図３】ディテクターユニットを説明する一部断面部分
立面図である。
立面図である。
【図４】スリットエッジの立面図である。
【図５】スリットエッジを用いてωｙ，ωｚを説明する
説明図であって、（ａ）はωｙ調整、（ｂ）はωｚ調整
をそれぞれ説明する。
説明図であって、（ａ）はωｙ調整、（ｂ）はωｚ調整
をそれぞれ説明する。
【図６】変位センサーを用いたチルト板のωｚ調整を説
明する説明図である。
明する説明図である。
【図７】シャッターユニットを示すもので、（ａ）はシ
ャッターユニットの一部断面部分立面図、（ｂ）は
（ａ）のＡ−Ａ’線に沿ってとった断面図である。
ャッターユニットの一部断面部分立面図、（ｂ）は
（ａ）のＡ−Ａ’線に沿ってとった断面図である。
【図８】冷却水の供給源を示す配管図である。
【図９】真空排気系を示す配管図である。
【図１０】真空チャンバーの圧力制御回路を示すブロッ
ク線図である。
ク線図である。
Ａ ミラー支持装置 Ｂ 架台構造体 １０１ ミラー １０２ ミラー保持器 １０３ 保持器支持板 １０４ ミラー保持棒 １０５ 真空チャンバー １０６ ミラー支持体 １１０ ｙ駆動モーター ２０１ チルト板 ２０４ ωｘωｚ調整ねじ ３０１ 基準フレーム ３０４ ωｚ駆動モーター ４０１ 大枠フレーム ５０１ 架台上 ６０２ ωｙ駆動モーター ８０１ ディテクターユニット ８０２ ディテクターテーブル ８０３ａ 冷媒流路 ８１０ ｘ駆動モーター ８１１ ｘ線ディテクター ８１２ 変位センサー ８１３ａ，８１３ｂ ディテクターベローズ ８１４ａ，８１４ｂ スリットエッジ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平２−100311（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H05H 13/04 G21K 1/06
Claims (7)
- 【請求項１】 ＳＲ−Ｘ線を所望の方向に拡大する反射
面を備えたミラーを支持するミラー支持手段と、前記ミ
ラー支持手段を前記ＳＲ−Ｘ線の光路に沿った軸のまわ
りに回動させる第１の駆動手段と、前記ミラー支持手段
を前記反射面に垂直な軸のまわりに回動させる第２の駆
動手段と、前記ミラー支持手段によって支持されたＸ線
検出手段を着脱自在に搭載するディテクターテーブルと
を備え、前記ディテクターテーブルが、第３の駆動手段
によって前記光路を横切る方向に往復移動されることを
特徴とするＳＲ−Ｘ線ミラーの位置決め装置。 - 【請求項２】 ミラー支持手段が、ミラーを支持するミ
ラー支持体と、前記ミラー支持体を、ＳＲ−Ｘ線の光路
に沿った軸のまわりに傾斜自在に支持する基準フレーム
とを備え、前記ミラー支持体が、前記光路の一部分を選
択的に遮断するＸ線検出補助具を取付け自在であり、前
記基準フレームによって、ディテクターテーブルが支持
されていることを特徴とする請求項１記載のＳＲ−Ｘ線
ミラーの位置決め装置。 - 【請求項３】 第１の駆動手段が、基準フレームを回動
させるωｚ駆動モータを備え、第２の駆動手段が、基準
フレームを回動調整自在に支持する架台構造体のωｙ駆
動モータを備えたことを特徴とする請求項１または２記
載のＳＲ−Ｘ線ミラーの位置決め装置。 - 【請求項４】 Ｘ線検出補助具が、ＳＲ−Ｘ線の光路に
対して垂直であるスリットと、前記光路を横切るエッジ
を備えていることを特徴とする請求項２記載のＳＲ−Ｘ
線ミラーの位置決め装置。 - 【請求項５】 Ｘ線検出手段が、変位センサーと交換可
能であることを特徴とする請求項２記載のＳＲ−Ｘ線ミ
ラーの位置決め装置。 - 【請求項６】 ディテクターテーブルが、冷却手段を備
えていることを特徴とする請求項２または３記載のＳＲ
−Ｘ線ミラーの位置決め装置。 - 【請求項７】 ミラーおよびディテクターテーブルが真
空チャンバー内に配置されており、前記ディテクターテ
ーブルのテーブル支持棒と、真空チャンバーの一対の側
壁にそれぞれ設けられた開口との間隙がそれぞれディテ
クターベローズによって密封されていることを特徴とす
る請求項２または３記載のＳＲ−Ｘ線ミラーの位置決め
装置。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03289171A JP3138027B2 (ja) | 1991-10-08 | 1991-10-08 | Ｓｒ−ｘ線ミラーの位置決め装置 |
| CA002079562A CA2079562C (en) | 1991-09-30 | 1992-09-30 | X-ray exposure apparatus |
| SG1996009700A SG50723A1 (en) | 1991-09-30 | 1992-09-30 | X-ray exposure apparatus |
| DE69225378T DE69225378T2 (de) | 1991-09-30 | 1992-09-30 | Röntgenbelichtungsvorrichtung und Verfahren |
| EP92308909A EP0540178B1 (en) | 1991-09-30 | 1992-09-30 | X-ray exposure apparatus and method for using it |
| US08/275,661 US5448612A (en) | 1991-09-30 | 1994-07-15 | X-ray exposure apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03289171A JP3138027B2 (ja) | 1991-10-08 | 1991-10-08 | Ｓｒ−ｘ線ミラーの位置決め装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05100093A JPH05100093A (ja) | 1993-04-23 |
| JP3138027B2 true JP3138027B2 (ja) | 2001-02-26 |
Family
ID=17739685
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03289171A Expired - Fee Related JP3138027B2 (ja) | 1991-09-30 | 1991-10-08 | Ｓｒ−ｘ線ミラーの位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3138027B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004214480A (ja) * | 2003-01-07 | 2004-07-29 | Nikon Corp | 露光装置 |
| JP4682082B2 (ja) * | 2006-03-31 | 2011-05-11 | 株式会社ジェイテック | Ｘ線集光装置 |
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1991
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