JP3124351B2 - 光学装置 - Google Patents
光学装置Info
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- JP3124351B2 JP3124351B2 JP04007065A JP706592A JP3124351B2 JP 3124351 B2 JP3124351 B2 JP 3124351B2 JP 04007065 A JP04007065 A JP 04007065A JP 706592 A JP706592 A JP 706592A JP 3124351 B2 JP3124351 B2 JP 3124351B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、温度変化によるフォー
カスずれ等を補正するようにした光学装置に関する。
カスずれ等を補正するようにした光学装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】温度変化によるフォーカスずれを補正す
るようにした光学装置の第１の従来例としては、図４に
示すような温度センサを用いたフィードバック制御型の
ものがある。同図において、１は発光器及びコリメータ
レンズ等の第１の光学部品、２はフォーカス合わせレン
ズ等の第２の光学部品、３はミラー及び受光器等の第３
の光学部品であり、第１、第３の光学部品１，３は装置
基体（装置筐体）５に固定して設置され、第２の光学部
品２は駆動機構２３を介して装置基体５に取付けられて
いる。２１は環境温度検出用の温度センサであり、ドラ
イバ２２を介して駆動機構２３に接続されている。
るようにした光学装置の第１の従来例としては、図４に
示すような温度センサを用いたフィードバック制御型の
ものがある。同図において、１は発光器及びコリメータ
レンズ等の第１の光学部品、２はフォーカス合わせレン
ズ等の第２の光学部品、３はミラー及び受光器等の第３
の光学部品であり、第１、第３の光学部品１，３は装置
基体（装置筐体）５に固定して設置され、第２の光学部
品２は駆動機構２３を介して装置基体５に取付けられて
いる。２１は環境温度検出用の温度センサであり、ドラ
イバ２２を介して駆動機構２３に接続されている。
【０００３】そして、温度センサ２１で検出された温度
変化に応じてドライバ２２及び駆動機構２３により補正
用の第２の光学部品２を光路方向に移動させ、温度変化
によるフォーカスずれが補正されるようになっている。
しかし、第１の従来例は、温度センサ、ドライバ及び駆
動機構を含むフィードバック機構を必要とするため、装
置が複雑で大型化しコスト高となってしまう。
変化に応じてドライバ２２及び駆動機構２３により補正
用の第２の光学部品２を光路方向に移動させ、温度変化
によるフォーカスずれが補正されるようになっている。
しかし、第１の従来例は、温度センサ、ドライバ及び駆
動機構を含むフィードバック機構を必要とするため、装
置が複雑で大型化しコスト高となってしまう。
【０００４】図５は、第２の従来例であるフォーカスず
れ検知器を用いたフィードバック制御型の光学装置を示
している。この従来例は、温度センサに代えてフォーカ
スずれ検知器２４が用いられている点を除いては、第１
の従来例とほぼ同じ構成となっている。
れ検知器を用いたフィードバック制御型の光学装置を示
している。この従来例は、温度センサに代えてフォーカ
スずれ検知器２４が用いられている点を除いては、第１
の従来例とほぼ同じ構成となっている。
【０００５】しかし、この第２の従来例においても、フ
ォーカスずれ検知器、ドライバ及び駆動機構を含むフィ
ードバック機構を必要とするため、装置が複雑で大型化
しコスト高になってしまう。
ォーカスずれ検知器、ドライバ及び駆動機構を含むフィ
ードバック機構を必要とするため、装置が複雑で大型化
しコスト高になってしまう。
【０００６】図６は、第３の従来例である手動のフォー
カス合わせ部と温度変化に応じて熱膨張する補正部材利
用の温度変化フォーカス補正部とを備えた光学装置を示
している。手動のフォーカス合わせ部は、第２の光学部
品２がフォーカス合わせ部２５を介して装置基体５に取
付けられている。また、温度変化フォーカス補正部は、
装置基体５に固定された基体部保持具６とフォーカス合
わせレンズ等の第４の光学部品４に固定された光学部品
保持具７との間に、温度変化に応じて熱膨張する補正部
材２６が取付けられている。
カス合わせ部と温度変化に応じて熱膨張する補正部材利
用の温度変化フォーカス補正部とを備えた光学装置を示
している。手動のフォーカス合わせ部は、第２の光学部
品２がフォーカス合わせ部２５を介して装置基体５に取
付けられている。また、温度変化フォーカス補正部は、
装置基体５に固定された基体部保持具６とフォーカス合
わせレンズ等の第４の光学部品４に固定された光学部品
保持具７との間に、温度変化に応じて熱膨張する補正部
材２６が取付けられている。
【０００７】そして、フォーカス合わせ部２５を手動調
整することにより光学部品等のばらつきによる初期のフ
ォーカスずれを補正し、その後の温度変化によるフォー
カスずれを補正部材２６の熱膨張により第４の光学部品
４を移動させて補正するようになっている。しかし、第
３の従来例は、移動する光学部品が２個あり、さらに手
動のフォーカス合わせ部を必要とするため、装置が大型
化してコスト高となってしまう。
整することにより光学部品等のばらつきによる初期のフ
ォーカスずれを補正し、その後の温度変化によるフォー
カスずれを補正部材２６の熱膨張により第４の光学部品
４を移動させて補正するようになっている。しかし、第
３の従来例は、移動する光学部品が２個あり、さらに手
動のフォーカス合わせ部を必要とするため、装置が大型
化してコスト高となってしまう。
【０００８】これに対し、図７は、温度変化フォーカス
補正部で初期のフォーカスずれ補正も行うようにした第
４の従来例を示している。即ち、この従来例では、光学
部品保持具７が補正部材２６に対して移動調整可能にな
っている。
補正部で初期のフォーカスずれ補正も行うようにした第
４の従来例を示している。即ち、この従来例では、光学
部品保持具７が補正部材２６に対して移動調整可能にな
っている。
【０００９】そして、補正部材２６に対し、第４の光学
部品４を手動で移動させることにより、光学部品等のば
らつきによる初期のフォーカスずれを補正し、その後の
温度変化によるフォーカスずれは補正部材２６の熱膨張
により補正するようになっている。
部品４を手動で移動させることにより、光学部品等のば
らつきによる初期のフォーカスずれを補正し、その後の
温度変化によるフォーカスずれは補正部材２６の熱膨張
により補正するようになっている。
【００１０】しかし、第４の従来例は、補正部材２６上
に第４の光学部品４を移動させて光学部品等のばらつき
による初期のフォーカスずれを補正するようにしていた
ため、この初期補正により第４の光学部品４と装置基体
５との間の補正部材２６の長さが変り、その後の温度変
化によるフォーカスずれ補正を精度よく行うことが困難
になる。
に第４の光学部品４を移動させて光学部品等のばらつき
による初期のフォーカスずれを補正するようにしていた
ため、この初期補正により第４の光学部品４と装置基体
５との間の補正部材２６の長さが変り、その後の温度変
化によるフォーカスずれ補正を精度よく行うことが困難
になる。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】第１の従来例は、温度
センサ、ドライバ及び駆動機構を含むフィードバック機
構を必要としていたため、装置が複雑で大型化しコスト
高になってしまうという問題があった。第２の従来例
は、フォーカスずれ検知器、ドライバ及び駆動機構を含
むフィードバック機構を必要としていたため、第１の従
来例と同様の問題があった。
センサ、ドライバ及び駆動機構を含むフィードバック機
構を必要としていたため、装置が複雑で大型化しコスト
高になってしまうという問題があった。第２の従来例
は、フォーカスずれ検知器、ドライバ及び駆動機構を含
むフィードバック機構を必要としていたため、第１の従
来例と同様の問題があった。
【００１２】第３の従来例は、移動する光学部品が２個
あり、また手動のフォーカスずれ合わせ部を必要として
いたため、装置が大型化してコスト高になってしまうと
いう問題があった。
あり、また手動のフォーカスずれ合わせ部を必要として
いたため、装置が大型化してコスト高になってしまうと
いう問題があった。
【００１３】また、第４の従来例は、補正部材上に第４
の光学部品を移動させて光学部品等のばらつきによる初
期のフォーカスずれを補正するようにしていたため、こ
の初期補正により第４の光学部品と装置基体との間の補
正部材の長さが変り、その後の温度変化によるフォーカ
スずれ補正を精度よく行うことが困難になるという問題
があった。
の光学部品を移動させて光学部品等のばらつきによる初
期のフォーカスずれを補正するようにしていたため、こ
の初期補正により第４の光学部品と装置基体との間の補
正部材の長さが変り、その後の温度変化によるフォーカ
スずれ補正を精度よく行うことが困難になるという問題
があった。
【００１４】そこで、本発明は、光学部品等のばらつき
による初期のフォーカスずれを補正しても、その後の温
度変化によるフォーカスずれを、装置を大型化すること
なく、容易且つ精度よく補正することができる光学装置
を提供することを目的とする。
による初期のフォーカスずれを補正しても、その後の温
度変化によるフォーカスずれを、装置を大型化すること
なく、容易且つ精度よく補正することができる光学装置
を提供することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するために、光学系における光路方向の熱膨張率の値が
当該光路方向の長さが大になるにしたがって所定の比率
で低下する補正部材の一端側を装置基体に取付け、該補
正部材の他端側に前記光学系を構成する光学部品を取付
け、該光学部品は前記装置基体に対する前記補正部材の
取付け部又は該補正部材と当該光学部品の取付け部の少
なくとも何れかの部分で前記光路方向に移動調整可能に
構成してなることを要旨とする。
するために、光学系における光路方向の熱膨張率の値が
当該光路方向の長さが大になるにしたがって所定の比率
で低下する補正部材の一端側を装置基体に取付け、該補
正部材の他端側に前記光学系を構成する光学部品を取付
け、該光学部品は前記装置基体に対する前記補正部材の
取付け部又は該補正部材と当該光学部品の取付け部の少
なくとも何れかの部分で前記光路方向に移動調整可能に
構成してなることを要旨とする。
【００１６】
【作用】上記構成において、温度変化による補正部材の
長さの変化量は、その熱膨張率、そのときの補正部材の
長さ及び温度変化量を乗じたものとなる。いま、光学部
品のばらつきによる初期のフォーカスずれ補正のため、
装置基体と光学部品間の補正部材の長さが例えば長くな
る方向に光学部品を移動させたとする。このとき、光学
部品移動後の長さにおける補正部材の熱膨張率の平均値
は、移動前の長さにおける熱膨張率の平均値に比べて所
定値だけ低下する。したがって、初期のフォーカスずれ
補正のために補正部材の長さが長くなっても、その後の
温度変化による補正部材の長さの変化量、即ち光学部品
の補正移動量を初期のフォーカスずれ補正を行わなかっ
た場合と同じにすることができて精度のよい補正が可能
となる。
長さの変化量は、その熱膨張率、そのときの補正部材の
長さ及び温度変化量を乗じたものとなる。いま、光学部
品のばらつきによる初期のフォーカスずれ補正のため、
装置基体と光学部品間の補正部材の長さが例えば長くな
る方向に光学部品を移動させたとする。このとき、光学
部品移動後の長さにおける補正部材の熱膨張率の平均値
は、移動前の長さにおける熱膨張率の平均値に比べて所
定値だけ低下する。したがって、初期のフォーカスずれ
補正のために補正部材の長さが長くなっても、その後の
温度変化による補正部材の長さの変化量、即ち光学部品
の補正移動量を初期のフォーカスずれ補正を行わなかっ
た場合と同じにすることができて精度のよい補正が可能
となる。
【００１７】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図１及び図２は、本発明の第１実施例を示す図で
ある。本実施例は、基本的な構成を示している。
する。図１及び図２は、本発明の第１実施例を示す図で
ある。本実施例は、基本的な構成を示している。
【００１８】なお、図１及び後述の第２実施例を示す図
において前記図４ないし図７における部材等と同一ない
し均等のものは、前記と同一符号を以って示し、重複し
た説明を省略する。まず、光学装置の構成を説明する。
において前記図４ないし図７における部材等と同一ない
し均等のものは、前記と同一符号を以って示し、重複し
た説明を省略する。まず、光学装置の構成を説明する。
【００１９】本実施例は、前記図６の第３実施例に示し
たような光学部品等のばらつきによる初期のフォーカス
ずれを補正するための手動のフォーカス合わせ部はな
く、初期のフォーカスずれ補正は、温度変化フォーカス
補正部の中で行われるようになっている。
たような光学部品等のばらつきによる初期のフォーカス
ずれを補正するための手動のフォーカス合わせ部はな
く、初期のフォーカスずれ補正は、温度変化フォーカス
補正部の中で行われるようになっている。
【００２０】即ち、この実施例では、基体部保持具６と
光学部品保持具７との間に、図２に示すように、光路方
向の熱膨張率の値がその光路方向の長さが大になるにし
たがって所定の比率で低下する補正部材８が取付けられ
ている。なお、図２において補正部材８の長さゼロの基
準位置は基体部保持具６との取付け部６ａの点にとり、
それより左方向への長さを補正部材８の長さと考えるも
のとする。そして、第４の光学部品４は、その補正部材
８と基体部保持具６との取付け部６ａ又は補正部材８と
光学部品保持具７との取付け部７ａの少なくとも何れか
の部分で光路方向に移動調整可能となっている。この移
動調整により初期のフォーカスずれ補正が行われる。
光学部品保持具７との間に、図２に示すように、光路方
向の熱膨張率の値がその光路方向の長さが大になるにし
たがって所定の比率で低下する補正部材８が取付けられ
ている。なお、図２において補正部材８の長さゼロの基
準位置は基体部保持具６との取付け部６ａの点にとり、
それより左方向への長さを補正部材８の長さと考えるも
のとする。そして、第４の光学部品４は、その補正部材
８と基体部保持具６との取付け部６ａ又は補正部材８と
光学部品保持具７との取付け部７ａの少なくとも何れか
の部分で光路方向に移動調整可能となっている。この移
動調整により初期のフォーカスずれ補正が行われる。
【００２１】長さが大になるにしたがって熱膨張率の値
が所定の比率で低下する補正部材８は、熱膨張率の異な
る複数の材料を長さ方向に組合わせることによって実現
することが可能である。次に、上述のように構成された
光学装置の作用を説明する。温度変化によるフォーカス
ずれを補正するため、温度によるフォーカスずれを測定
し、第４の光学部品４を予め ａｔ …（１） （ａ：係数＝ｄｌ／ｄｔ、ｔ：基準温度との差）だけ移
動させる。このときの補正部材８の長さをｌ1 、この長
さにおける熱膨張率の平均値をε1 とすると、ａ＝ｌ1
・ε1 であるところから、 ｌ1 ＝ａ／ε1 …（２） として、長さｌ1 が決り、これにより、その後の温度変
化によるフォーカスずれを補正することが可能となる。
このあと、光学部品等のばらつきによる初期のフォーカ
スずれ補正が行われる。
が所定の比率で低下する補正部材８は、熱膨張率の異な
る複数の材料を長さ方向に組合わせることによって実現
することが可能である。次に、上述のように構成された
光学装置の作用を説明する。温度変化によるフォーカス
ずれを補正するため、温度によるフォーカスずれを測定
し、第４の光学部品４を予め ａｔ …（１） （ａ：係数＝ｄｌ／ｄｔ、ｔ：基準温度との差）だけ移
動させる。このときの補正部材８の長さをｌ1 、この長
さにおける熱膨張率の平均値をε1 とすると、ａ＝ｌ1
・ε1 であるところから、 ｌ1 ＝ａ／ε1 …（２） として、長さｌ1 が決り、これにより、その後の温度変
化によるフォーカスずれを補正することが可能となる。
このあと、光学部品等のばらつきによる初期のフォーカ
スずれ補正が行われる。
【００２２】この補正のため、第４の光学部品４をΔｌ
2 だけ移動させて補正部材８の長さが（ｌ1 ＋Δｌ2 ）
になったとする。この長さにおける補正部材８の熱膨張
率の平均値がε2 になったとすると、次式を満足すれば ε1 ・ｌ1 ＝ε2 ・（ｌ1 ＋Δｌ2 ） ε2 ＝ε1 ・ｌ1 ／（ｌ1 ＋Δｌ2 ） …（３）
2 だけ移動させて補正部材８の長さが（ｌ1 ＋Δｌ2 ）
になったとする。この長さにおける補正部材８の熱膨張
率の平均値がε2 になったとすると、次式を満足すれば ε1 ・ｌ1 ＝ε2 ・（ｌ1 ＋Δｌ2 ） ε2 ＝ε1 ・ｌ1 ／（ｌ1 ＋Δｌ2 ） …（３）
【００２３】初期のフォーカスずれ補正のため補正部材
８の長さがΔｌ2 だけ変ってもその後の温度変化による
フォーカスずれ補正が精度よく行われることになる。図
２に示す補正部材８の熱膨張率の傾斜特性は、このよう
に調整されている。
８の長さがΔｌ2 だけ変ってもその後の温度変化による
フォーカスずれ補正が精度よく行われることになる。図
２に示す補正部材８の熱膨張率の傾斜特性は、このよう
に調整されている。
【００２４】次いで、図３には、本発明の第２実施例を
示す。本実施例は、表面検査装置に適用されている。同
図において１１はレーザ光を出射する半導体レーザ、１
０はそのレーザ光をコリメートするコリメータレンズ系
であり、フォーカス補正部を備えたフォーカス合わせレ
ンズ１４を含んでいる。１２はレーザ光を集光して被検
査物１６上に照射するための集光レンズ、１３はハーフ
ミラー、１５は被検査物１６表面からの反射光を受光し
て電気信号に変換する光電変換器である。
示す。本実施例は、表面検査装置に適用されている。同
図において１１はレーザ光を出射する半導体レーザ、１
０はそのレーザ光をコリメートするコリメータレンズ系
であり、フォーカス補正部を備えたフォーカス合わせレ
ンズ１４を含んでいる。１２はレーザ光を集光して被検
査物１６上に照射するための集光レンズ、１３はハーフ
ミラー、１５は被検査物１６表面からの反射光を受光し
て電気信号に変換する光電変換器である。
【００２５】被検査物１６上にレーザ光が集光するよう
に、光学部品等のばらつきによる初期のフォーカスずれ
補正及び補正部材８によるその後の温度変化によるフォ
ーカスずれ補正が精度よく行われる作用は、前記第１実
施例の場合とほぼ同様である。
に、光学部品等のばらつきによる初期のフォーカスずれ
補正及び補正部材８によるその後の温度変化によるフォ
ーカスずれ補正が精度よく行われる作用は、前記第１実
施例の場合とほぼ同様である。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
装置基体と光学部品との間に、光路方向の熱膨張率の値
が当該光路方向の長さが大になるにしたがって所定の比
率で低下する補正部材を設けたため、光学部品等のばら
つきによる初期のフォーカスずれ補正のために、装置基
体と光学部品間の補正部材の長さが変っても、その後の
温度変化による補正部材の長さの変化量、即ち光学部品
の補正移動量を初期のフォーカスずれ補正を行わなかっ
た場合と同じにすることが可能となって、温度変化によ
るフォーカスずれ補正を、装置を特に大型化することな
く、容易且つ精度よく行うことができる。
装置基体と光学部品との間に、光路方向の熱膨張率の値
が当該光路方向の長さが大になるにしたがって所定の比
率で低下する補正部材を設けたため、光学部品等のばら
つきによる初期のフォーカスずれ補正のために、装置基
体と光学部品間の補正部材の長さが変っても、その後の
温度変化による補正部材の長さの変化量、即ち光学部品
の補正移動量を初期のフォーカスずれ補正を行わなかっ
た場合と同じにすることが可能となって、温度変化によ
るフォーカスずれ補正を、装置を特に大型化することな
く、容易且つ精度よく行うことができる。
【図１】本発明に係る光学装置の第１実施例を示す構成
図である。
図である。
【図２】図１における補正部材の熱膨張率特性を示す図
である。
である。
【図３】本発明の第２実施例の構成図である。
【図４】光学装置の第１の従来例を示す構成図である。
【図５】第２の従来例を示す構成図である。
【図６】第３の従来例を示す構成図である。
【図７】第４の従来例を示す構成図である。
１，３，４ 光学系を構成する光学部品 ５ 装置基体 ６ 基体部保持具 ６ａ 補正部材と基体部保持具との取付け部 ７ 光学部品保持具 ７ａ 補正部材と光学部品保持具との取付け部 ８ 補正部材
Claims (1)
- 【請求項１】 光学系における光路方向の熱膨張率の値
が当該光路方向の長さが大になるにしたがって所定の比
率で低下する補正部材の一端側を装置基体に取付け、該
補正部材の他端側に前記光学系を構成する光学部品を取
付け、該光学部品は前記装置基体に対する前記補正部材
の取付け部又は該補正部材と当該光学部品の取付け部の
少なくとも何れかの部分で前記光路方向に移動調整可能
に構成してなることを特徴とする光学装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04007065A JP3124351B2 (ja) | 1992-01-20 | 1992-01-20 | 光学装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04007065A JP3124351B2 (ja) | 1992-01-20 | 1992-01-20 | 光学装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05196544A JPH05196544A (ja) | 1993-08-06 |
| JP3124351B2 true JP3124351B2 (ja) | 2001-01-15 |
Family
ID=11655670
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04007065A Expired - Fee Related JP3124351B2 (ja) | 1992-01-20 | 1992-01-20 | 光学装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3124351B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4590914B2 (ja) * | 2004-04-21 | 2010-12-01 | ブラザー工業株式会社 | 画像表示装置 |
-
1992
- 1992-01-20 JP JP04007065A patent/JP3124351B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05196544A (ja) | 1993-08-06 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |