JP3123794B2

JP3123794B2 - 油中金属粒子の検出装置及び導電性粒子検出方法

Info

Publication number: JP3123794B2
Application number: JP31841291A
Authority: JP
Inventors: 彰森; 郁夫内野; 敦彦広沢; 国博山崎
Original assignee: Komatsu Ltd
Current assignee: Komatsu Ltd
Priority date: 1991-11-06
Filing date: 1991-11-06
Publication date: 2001-01-15
Anticipated expiration: 2016-01-15
Also published as: US5596266A; JPH05128332A; WO1993009425A1

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、潤滑油中の金属摩耗粉
等を検出するに好適な金属粒子検出技術に係わり、殊
に、簡単な構成で、インラインで、しかも粒径毎にその
粒子数量までも高精度に推定又は検出し得る、全く新た
な油中金属粒子の検出装置及び導電性粒子検出方法に関
する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の代表的金属粒子検出技術
には、ラボ用（分析室用）又はインライン用として、分
光式、照射光減衰式、電気抵抗式、磁気抵抗式等があ
る。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで上記従来技術
の特徴は、大略列挙すれば、次のとおりである。（１）分光式は、ほとんどの種類の粒子量を該種類毎に
検出することができるが、その検出装置が大掛かりとな
るためにインラインでの使用に不向きであり、また粒径
毎の粒子数量までも推定又は検出することができない。（２）照射光減衰式は、ほとんどの種類の粒子量を検出
でき、しかもインラインでの使用も好適であるが、粒径
毎の粒子数量までも推定又は検出することができない。（３）電気抵抗式は、インラインでの使用に好適である
が、検出誤差が大きく、また粒径毎の粒子数量までも推
定又は検出することができない。（４）磁気抵抗式は、インラインでの使用に好適である
が、強磁性体粉Ｆｅ、Ｎｉの粒子以外は検出できず、ま
た粒径毎の粒子数量までも推定又は検出することができ
ない。

【０００４】上述のとおり、上記従来技術に共通する欠
点は、流体中の金属粒子を粒径毎の粒子数量までも推定
又は検出することができない点である。もっとも上記従
来技術を、複雑化し、かつ、専門化すれば、この共通点
を克服できないわけではなかろう。

【０００５】本発明は、上記従来技術の欠点に着目し、
流体中の導電性金属粒子を、簡単な構成で、インライン
で、しかも粒径毎にその粒子数量までも高精度に推定又
は検出し得る、全く新たな油中金属粒子の検出装置及び
導電性粒子検出方法を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明に係る油中金属粒子の検出装置は、第１に、
金属フィルム１と絶縁フィルム２とを交互に積層し、該
積層断面が櫛形電極となるように、２本のリード線３
ａ、３ｂの各々に対し、各金属フィルム１をひとつおき
に並列接続し、該積層端面を金属粒子存在流体４内に浸
漬させてなる構成とした。また、第２に、金属フィルム
１と絶縁フィルム２とを交互に積層し、該積層断面が櫛
形となる櫛形電極を油等の非極性溶媒中に配置し、電極
間に高電圧を印加した時に生じる電圧パルスを測定する
ことにより、金属粒子などの導電性粒子を測定する構成
としてもよい。

【０００７】他方、導電性粒子検出方法は、油等の非極
性溶媒中に電極を浸してその電極間に電圧を印加し、溶
媒中の導電性粒子が該電極間に存在するときに発生する
パルス状電圧を測定することにより前記導電性粒子の粒
径を計測する方法において、所定時間内に発生するパル
ス状電圧を所定レベル範囲毎に計数し、パルス状電圧発
生の原因となった導電性粒子径の自乗が該電圧値に比例
すること及び所定レベル範囲内の電圧パルス発生頻度が
該所定レベル範囲内の電圧パルス発生の原因となった所
定範囲内の粒径を有する導電性粒子の濃度に比例するこ
とを利用して導電性粒子の粒径分布を得ることを特徴と
する導電性粒子検出方法である。

【０００８】

【作用】溶媒中に導電性粒子が存在するとき上記油中金
属粒子の検出装置及び上記導電性粒子検出方法のいずれ
によっても、導電性粒子の粒径分布を得ることができ
る。そしてこれら油中金属粒子の検出装置及び導電性粒
子検出方法は、詳細を次の〔実施例〕の欄で述べる実施
例及びその実験成績によって特定したものである。尚、
上記特定された油中金属粒子の検出装置及び導電性粒子
検出方法と、上記作用との因果関係は説明が長くなるに
ので次の〔実施例〕の欄で詳述する。

【０００９】

【実施例】以下本発明の好ましい実施例を、図１〜図６
を参照し、説明する。図１は、本発明に係る金属粒子検
出部１０の構成図である。同図において、１は厚さ１０
μｍの金属フィルム、２は厚さ１０μｍの絶縁フィルム
であり、これら１、２が交互に積層されている。そし
て、該積層断面は櫛形電極となるように、２本のリード
線３ａ、３ｂの各々に対し、各金属フィルム１をひとつ
おきに並列接続してある。そして、図示しないが、該積
層端面が金属粒子存在流体内に浸漬するように構成して
ある。

【００１０】図２は、上記金属粒子検出部１０のインラ
イン用としての第１具体例であって、同図（ａ）に示す
ように、ねじ込みプラグ形金属粒子検出センサ６として
構成した。同図において、金属粒子検出センサ６は、絶
縁体５に包埋されてその櫛形状なる積層断面１、２だけ
を露出し、かつ、リード線３ａ、３ｂが外部に取り出さ
れている。この一部拡大断面図を同図（ｂ）に、当該ね
じ込みプラグ形金属粒子検出センサ６のインラインへの
使用例を同図（ｃ）に示す。同図（ｃ）において、ねじ
込みプラグ形金属粒子検出センサ６は、流体４が流れる
チューブ７の外壁に螺合され、その金属粒子検出部１０
の櫛形積層面は流体上流側に面するようになっている。

【００１１】図３は、上記金属粒子検出部１０のインラ
イン用としての第２具体例であって、同図（ａ）、
（ｂ）に示すように、ボルト取付け形金属粒子検出セン
サ８である。同図において、金属粒子検出部１０は、絶
縁体５に包埋されてその櫛形状なる積層断面１、２だけ
を露出し、リード線３ａ、３ｂが外部に取り出されてい
る。この一部拡大断面図を同図（ｃ）に示す。

【００１２】尚、上記金属粒子検出部１０の金属フィル
ム１と絶縁フィルム２との厚さは各々１０μｍとした
が、実際粒径Ｒによって自在に変更するのがよい。即
ち、検出可能粒径ｒ（詳細を後述する「みなし粒径ｒ」
である）を制約するのは、基本的には、絶縁フィルム２
の厚さであり、金属フィルム１の厚さではないからであ
る。例えば、絶縁フィルム２の厚さを１０μｍとしたま
ま、金属フィルム１の厚さを１０〜３０μｍまで各種変
更して実験してみたが、この範中での成績（即ち、検出
粒径ｒと検出粒子数ｆ（Ｖ）との検出分布と、実際分布
との関係）における有違差はほとんど認められなかっ
た。

【００１３】次に油中金属粒子の検出方法の実施例を、
図４のフローチャートを参照し説明する。上記金属粒子
検出部１０により、パルス電圧Ｖを検出し（ステップ
（０１））、次に各検出パルス電圧Ｖについて、同一電
圧Ｖ毎にそのパルス数ｆ（ｖ）を積算し（ステップ（０
２））、次に同一電圧Ｖ毎に、式（ｋ_１×Ｖ^１／２＝
ｒ）と、式（ｋ_２×ｆ（ｖ）×Ｖ^１／２＝Ｐｎ）とを
演算し（ステップ（０３）、但しｋ_１とｋ_２とは所定定
数）、最後に各結果ｒ毎（みなし粒径ｒ毎）の結果Ｐｎ
（詳細を後述する「みなし粒子数Ｐｎ」である）と、被
検出流体４内の金属粒子の各実際粒径Ｒ毎の実際粒子数
Ｎとは相似又は同一であるとみなしている（ステップ
（０４））。

【００１４】次に油中金属粒子の検出装置の実施例を、
図５及び図６を参照し説明する。図５は金属粒子検出部
１０と、処理器２０と、出力器３０との接続ブロックで
ある。詳しくは、処理器２０は検出パルスを波高値別に
集計し、これをマイコン２１で処理して出力器３０でグ
ラフィック表示をさせるため、検出パルスのピーク値を
保持するピークホールド回路２２と検出時間特定のため
のトリガー回路２３とをＡ／Ｄコンバータ２４を介して
前記マイコン２１（ＰＣ９８０１）に取り込んでいる。
尚、金属粒子検出部１０の櫛形電極には５０Ｖの電圧を
印加している。ところで本実施例での前記Ａ／Ｄコンバ
ータ２４は最大変換電圧が１０Ｖであるため、前記金属
粒子検出部１０で発生するパルス電圧を１／５とするよ
うにしている。尚、抵抗は単なる電流制限用である。

【００１５】以上のように構成とすると、該金属粒子検
出部１０からパルス波が観察される。そこで処理器２０
は、図６のフローチャートに示す処理を実施する。即
ち、少なくとも金属粒子検出部１０に合わせて予め設定
した定数ｋ_１と、少なくとも金属粒子検出部１０と検出
時間とに合わせて予め設定した定数ｋ_２とを記憶し（ス
テップ（１１））、次に金属粒子検出部１０からパルス
電圧Ｖを入力し（ステップ（１２））、次に各検出パル
ス電圧Ｖについて、同一電圧Ｖ毎にそのパルス数ｆ
（ｖ）を積算し（ステップ（１３））、次に同一電圧Ｖ
毎に、上記式（ｋ_１×Ｖ^１／２＝ｒ）と、上記式
（ｋ_２×ｆ（ｖ）×Ｖ^１／２＝Ｐｎ）とを演算し（ステ
ップ（１４））、最後に各結果ｒ毎の結果Ｐｎと、被検
出流体４内の金属粒子の各実際粒径Ｒ毎の実際粒子数Ｎ
とは相似又は同一であるとみなす旨を出力器３０により
出力させる（ステップ（１５））。このようにすると、
図７（ｃ）に示す結果が得られる。。

【００１６】尚、上記出力器３０とは漠然とした表現で
あるが、これは例えば単なるデータ出力器だけを指す場
合（例えば、単なる数字の羅列出力）、また例えばこれ
に画像処理器を伴った画像表示器をセットしたもの（図
７（ｃ）の画像出力はこの例による）等、適宜選択する
ことができる。

【００１７】また本実施例なる油中金属粒子の検出装置
自体をインラインで使用する際は、出力器３０は何もグ
ラフィック表示器である必要はないから、また処理器２
０は例えば所定のみなし粒径ｒにおける検出粒子数Ｐｎ
に対してならば閾値ｒ_０を、又は検出粒子数Ｐｎのみに
対してならば閾値Ｐ_ｎ０を予め処理器２０内に記憶させ
ておき、入力された検出パルスを逐次演算して、ｒ＝ｒ
_０かつＰｎ＝Ｐ_ｎ０となったとき又はＰｎ＝Ｐ_ｎ０とな
ったとき、新たな出力器なる警報器３０で警報を発する
だけでよい。即ち、インライン式の油中金属粒子の検出
装置では、何も上記実施例のＰＣ９８０１のような大袈
裟なマイコンを使用する必要はない。

【００１８】上記実施例の作用効果を次の〔００１９〕
〜〔００３５〕に述べる。尚、前記「特許請求の範囲」
に記載の発明は、上記実施例と、その下記実験結果とに
基づきなされたものである。以下、図７の実験成績グラ
フを参照し、帰納的に説明する。

【００１９】実験は次の手順で実施した。先ず導電性金
属粉を顕微鏡で眺めながら、手作業で同一粒径Ｒ毎に粒
子数Ｎを選り分けた。この層別結果を図７（ａ）に示
す。同図の横軸は実際粒径Ｒ〔単位：μｍ〕、縦軸は各
粒径Ｒ毎の実際粒子数Ｎ〔単位：個〕である。

【００２０】次に上記金属粉を潤滑油中に投入し、超音
波で懸濁しつつ、またさらにこの懸濁をより効果的に持
続させるため、かつエンジン等の実機稼働に合わせるた
め、該潤滑油容器をホットプレート上に乗せて８０°Ｃ
に一定加熱し、次の検出を行った。

【００２１】金属粉入り潤滑油内に金属粒子検出部１０
を浸漬し、金属粒子検出部１０によってパルス電圧Ｖを
検出する。図７（ｂ）は５０分間における検出結果のグ
ラフであり、横軸は検出パルス電圧Ｖ〔単位：Ｖ〕、縦
軸は同一電圧Ｖ毎の検出パルス数ｆ（ｖ）〔単位：個〕
である。

【００２２】ところで上記図７（ａ）、（ｂ）は外観
上、相関関係を認め難いが、前記「特許請求の範囲」に
記載の発明は、これら図７（ａ）、（ｂ）の相関関係を
明らかにした上で、利用し、実用に耐え得るものであ
る。

【００２３】即ち発明者等は「電流が導体断面積の二乗
に比例して流れる」ことに着目し、所定の関係式を構築
すれば、図７（ｂ）の検出パルス電圧Ｖを同図（ａ）の
実際粒径Ｒに変換でき、かつ同図（ｂ）の検出パルス数
ｆ（ｖ）を同図（ａ）の実際粒子数Ｎに変換できるので
はないかと考え、その末に導き出した式が、ｋ_１×Ｖ
^１／２＝ｒ（上記式）と、ｋ_２×ｆ（ｖ）×Ｖ^１／２
＝Ｐｎ（上記式）とである。これら関係式、は、
下記するように、上記の相関関係を明らかにしている。

【００２４】即ち図７（ｃ）は、関係式、に従って
得られたグラフであり、図７（ｂ）の検出パルス電圧Ｖ
を式によって補正した値が同図（ｃ）の横軸のみなし
粒径ｒ、他方図７（ｂ）の検出パルス数ｆ（ｖ）を式
によって補正した値が同図（ｃ）の縦軸のみなし粒子数
Ｐｎである。即ち、図７（ｃ）と同図（ａ）とのグラフ
の形状は、誰が見ても、相似又は同一であると（即ち、
ほぼ有違差のない相関関係を有すると）判定することが
できる。

【００２５】尚、上記「相似又は同一」を説明する。
「相似」とは本発明の目的で掲げた「粒径毎にその粒子
数量までも高精度に推定し得る」こと、他方「同一」と
は本発明の目的で掲げた「粒径毎にその粒子数量までも
高精度に検出し得る」ことを意味する。もっとも、「同
一」といっても、全く同一ということは、一切有り得な
いのであるから、ここで言う「同一」とは、少なくと
も、粒径の単位と粒子数とを特定できる程度に該粒子の
分布を検出できる程度を言い（勿論、粒径と粒子数とに
は多少の誤差が含まれるが、これは止むを得ないことで
ある）、他方「相似」とは、粒径の単位までは特定でき
ないが、粒径毎の粒子数の分布が判明できる程度を指す
ものとする（勿論、これも、粒径と粒子数とには多少の
誤差が含まれるが、これも止むを得ないことである）。

【００２６】これを具体的に示す。図７（ｃ）は、定数
ｋ_１を２．５５、定数ｋ_２を２．３３として得たグラフ
である。このように定数ｋ_１、ｋ_２を設定すると、同図
（ｃ）は同図（ａ）と同一となる。即ち、図７（ｂ）の
検出パルス電圧Ｖを式によって補正した図７（ｃ）の
みなし粒径ｒは、その単位〔Ｖ〕を単に〔μｍ〕とする
だけで、図７（ａ）の横軸の実際粒径Ｒに、単位まで一
致している。他方図７（ｂ）の検出パルス数ｆ（ｖ）を
式によって補正した図７（ｃ）のみなし粒子数Ｐｎ
は、図７（ａ）の縦軸の実際粒子数Ｎと一致している。
即ち、図７（ｃ）と図７（ａ）とは同一であると考えて
よい。繰り返すが、かかる場合が、上記「同一」であ
り、「粒径毎にその粒子数量までも高精度に検出し得
る」と言う本発明の目的の達成となる。

【００２７】他方、仮にｋ_１とｋ_２とを上記以外の他の
値（例えばｋ_１＝０．２５５、ｋ_２＝０．２３３、その
他の数）とした場合、図７（ｃ）は図７（ａ）に単に相
似するだけであって、粒径ｒ毎の粒子数Ｐｎの分布状況
は判明するが、実際粒径Ｒも実際粒子数Ｎも分からな
い。即ち、かかる場合が上記「相似」であり、「粒径毎
にその粒子数量までも高精度に推定し得る」と言う本発
明の目的の達成となる。

【００２８】従って「相似」又は「同一」（別言すれ
ば、「推定」又は「検出」）であるかは、定数ｋ_１、ｋ
_２の設定値如何に係わる。そこでこの定数ｋ_１、ｋ_２の
設定について、これも図７を利用し、以下説明する。
尚、これに先立ち、関係式、の成り立ちについて予
め説明しておく。

【００２９】式は、上記「電流が導体断面積の二乗に
比例して流れる」により、Ｖ^１／２が不可欠と考えられ
た。これに対し、式は次のとおりである。Ｖ
^１／２は、図７（ａ）、（ｂ）のグラフの外観類似から
判断し、「式は式（即ち、はＶ^１／２）の関数であ
る」と考え、これも当然に式に折り込むこととした。
またｆ（Ｖ）は検出パルス数自体であるから、これも当
然に式に折り込むこととした。尚、思考錯誤では、そ
の他幾多の近似式で試行したが、結果として、上記
式、式に落ち着いたのが本音である。

【００３０】次に定数ｋ_１、ｋ_２の決定を、上述のｋ_１
＝２．５５及びｋ_２＝２．３３の決定過程を元に説明す
る。即ち、上記実験において、金属粒子の実際分布は、
図７（ａ）に示すとおり、手作業により、予め実際粒径
Ｒ毎の実際粒子数Ｎが判明していた。そこで、この各
Ｒ、Ｎと、図７（ｂ）の検出値Ｖ、ｆ（Ｖ）とを対応比
較し、上記定数ｋ_１、ｋを決定したものである。

【００３１】これを分かり易く説明する。図７（ａ）の
座標（Ｒ、Ｎ）におけるＡ_１点（１．１、３００）とＢ
_１点（１．４、２８０）とは、図７（ｂ）の座標（Ｖ、
ｆ（Ｖ））において、Ａ_１点はＡ_２点（０．１８、２７
０）に、Ｂ_１点はＢ_２点（０．３１、２４５）に対応す
る。そこで式をｒ＝Ｒとして、Ａ_１点とＡ_２点とから
の１．１＝ｋ，×０．１８^１／２によるｋ_１≒２．５９
と、Ｂ_１点とＢ_２点とからの１．４＝ｋ_１×０．３１
^１／２によるｋ_１≒２．５１とを平均し、ｋ_１≒２．５
５を得た。他方式をＰｒ＝Ｎとして、Ａ_１点とＡ_２点
とからの３００＝ｋ_２×２７０×０．１８^１／２による
ｋ_２≒２．６２と、Ｂ_１点とＢ_２点とからの２８０＝ｋ
_２×２４５×０．３１^１／２によるｋ_２≒２．０５とを
平均し、ｋ_２≒２．３３を得た。尚、上記Ａ_１点とＡ_２
点及びＢ_１点とＢ_２点の対応抽出の仕方自体について
は、概ね、図７（ａ）と同図（ｂ）とのグラフの形状を
参酌すると、容易に求めることができる。

【００３２】上記説明から分かるとおり、上記実施例で
の関係式、自体は変更し難いが、その定数ｋ_１、ｋ
_２は極めて自由度の高い値である。即ち、上述のよう
に、予め試料を元に厳格に決定しておけば、「同一」検
出することができるようになる。尚、これら定数ｋ_１、
ｋ_２は、金属粒子検出部の仕様（主に絶縁フィルム２の
厚さ）によって必然的に決定されてしまう値であり、同
一仕様の金属粒子検出部に対しては、例えば仕様表に記
載しておけば、その後の使用（即ち、本発明又は本実施
例の使用）では、その値を使用するだけである。これに
対し、「推定」の場合は、極端には、ｋ_１＝ｋ_２＝１と
してもよい。即ち「推定」にしろ、「同一」にしろ、そ
の定数ｋ_１、ｋ_２の設定は検出要求精度如何によって適
宜決定することができる値である。

【００３３】付記すれば、定数ｋ_１は、少なくとも上述
したとおり、金属粒子検出部を考慮して設定する必要が
あり、他方定数ｋ_２は、少なくとも、上記同様に金属粒
子検出部のほか、検出時間をも考慮して設定する必要が
ある。この検出時間とは、上記実験では５０分間であっ
たが、仮に１分間とすれば、単純計算によれば、ｋ_２＝
２．３３×５０＝１１６．５とすべきだからである。も
っともこの場合、定数ｋ_１にも前記検出時間と言う要素
を加味してもよいが、かかる加減の有無は、上記定数ｋ
_１、ｋ_２の設定条件における「少なくとも」に含まれる
ものである。

【００３４】即ち「少なくとも」との用語は、「相似
（＝推定）」であれ、「同一（検出）」であれ、それな
りの値を設定できるのであるから、上記金属粒子検出部
及び／又は検出時間のほか、自在に他の因子をも加味で
きる趣旨を含んだものである。

【００３５】上記は主として、上記各実施例についての
説明であるが、金属粒子検出部自体について、述べてお
く必要がある。本発明者等は先に特願平２−８３１５０
号（特許第２５６１５５１号）で本金属粒子検出部に類
似する金属粒子検出センサを提案している。ところが、
この金属粒子検出センサにおける櫛形電極は、蒸着法等
によって成形された薄膜パターン電極であり、本発明の
目的、作用及び効果を得られないのが実情である。即ち
上記実施例での金属粒子検出部は、上記先に提案の金属
粒子検出センサと同じく櫛形の電極ではあっても、金属
フィルム１と絶縁フィルム２との積層断面が櫛形であ
り、飽くまでフィルム間はコンデンサの機能を有してい
ると考えられる。従って、上記実施例（即ち本願発明）
は金属粒子検出部自体には特徴があり、この金属粒子検
出部を使用して初めて、油中金属粒子の検出装置及び導
電性粒子検出方法における上記目的、作用及び効果を達
成できる。

【００３６】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係わる油
中金属粒子の検出装置及び導電性粒子検出方法によれ
ば、流体中の導電性金属粒子を、簡単な構成で、インラ
インで、しかも粒径毎にその粒子数量までも高精度に推
定又は検出することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る金属粒子検出部の一実施例を示す
図である。

【図２】本発明の金属粒子検出部の使用例を示す図であ
り、（ａ）は全体外観図、（ｂ）は部分拡大断面図、
（ｃ）は装着例を示す図である。

【図３】本発明の金属粒子検出部の他の使用例を示す図
であり、（ａ）は全体断面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）
は部分拡大断面図である。

【図４】本発明の導電性粒子検出方法の一実施例を示す
フローチャートである。

【図５】本発明の油中金属粒子の検出装置の一実施例の
全体ブロック図である。

【図６】本発明の油中金属粒子の検出装置の一実施例を
示すフローチャートである。

【図７】本発明の目的、作用及び効果を説明する実験成
績図であって、（ａ）は実際粒径毎の実際粒子数の分布
グラフ、（ｂ）は金属粒子検出部によって得られる検出
パルス電圧毎の検出パルス数の分布グラフ、（ｃ）は本
発明の実施例によって得られるみなし粒径毎のみなし粒
子数の分布グラフである。

【符号の説明】

１：金属フィルム、２：絶縁フィルム、３ａ：リード線
３ｂ：リード線、４：金属粒子存在流体、１０：金属粒
子検出部、２０：処理器、３０：表示器、Ｖ：パルス電
圧、ｆ（ｖ）：パルス数、ｋ_１：定数、ｋ_２：定数、
ｒ：みなし粒径、Ｒ：実際粒径、Ｐｎ：みなし粒子数、
Ｎ：実際粒子数。

フロントページの続き (56)参考文献特開昭59−42441（ＪＰ，Ａ) 特開平３−282246（ＪＰ，Ａ) 実開昭60−68464（ＪＰ，Ｕ) 特公昭49−9799（ＪＰ，Ｂ１) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01N 15/02

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】金属フィルム１と絶縁フィルム２とを交
互に積層し、該積層断面が櫛形電極となるように、２本
のリード線３ａ、３ｂの各々に対し、各金属フィルム１
をひとつおきに並列接続し、該積層端面を金属粒子存在
流体４内に浸漬させてなる構成を特徴とする油中金属粒
子の検出装置。
【請求項２】金属フィルム１と絶縁フィルム２とを交
互に積層し、該積層断面が櫛形となる櫛形電極を油等の
非極性溶媒中に配置し、電極間に高電圧を印加した時に
生じる電圧パルスを測定することにより、金属粒子など
の導電性粒子を測定する油中金属粒子の検出装置。
【請求項３】油等の非極性溶媒中に電極を浸してその
電極間に電圧を印加し、溶媒中の導電性粒子が該電極間
に存在するときに発生するパルス状電圧を測定すること
により前記導電性粒子の粒径を計測する方法において、
所定時間内に発生するパルス状電圧を所定レベル範囲毎
に計数し、パルス状電圧発生の原因となった導電性粒子
径の自乗が該電圧値に比例すること及び所定レベル範囲
内の電圧パルス発生頻度が該所定レベル範囲内の電圧パ
ルス発生の原因となった所定範囲内の粒径を有する導電
性粒子の濃度に比例することを利用して導電性粒子の粒
径分布を得ることを特徴とする導電性粒子検出方法。