JP3118788B2 - ガラス物品の徐冷炉 - Google Patents
ガラス物品の徐冷炉Info
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Description
関し、特に電子機器に用いられるガラス板を徐冷するの
に好適な徐冷炉に関するものである。
子機器、とりわけ液晶やエレクトロルミネセンス、プラ
ズマディスプレイといった表示装置あるいはイメージセ
ンサ等の基板ガラスとして、厚さ0.03〜1.5mm
のガラス板が多量に用いられるようになってきている。
その上に薄膜電気回路を形成するため、成膜熱処理、パ
ターニング等の処理を受ける。これらの処理は、基板ガ
ラスを高温下に曝す場合があり、そのため基板ガラスに
は、熱的寸法安定性の良いことが要求される。
ic)及びSTN(Super Twisted Ne
matic)モードの液晶ディスプレイにおける透明導
電膜回路、a−SiTFT(Amorphous−Si
Thin Film Transistor)、p−
SiTFT(Poly−Si Thin FilmTr
ansistor)やその他の各種金属膜や絶縁膜など
の組合せによって形成された液晶ディスプレイの薄膜電
気回路やエレクトロルミネッセンスの薄膜電気回路、プ
ラズマディスプレイの薄膜電気回路及びイメージセンサ
の薄膜電気回路等の製造工程において、基板ガラスが高
温度の熱処理を受けると、ガラスの寸法が変化して所定
寸法を維持できなくなったり、更には回路パターンが所
定の設計よりずれたりする虞れがある。この回路パター
ンのずれは、電気的な性能を維持できなくなるという致
命的な不良の原因となり、用途によっては、100mm
当たり1μm程度の寸法変化も許されないことがある。
りが少なく、ガラス表面の平坦性が良いことも要求され
る。すなわち基板ガラスの平坦性が悪いと露光距離が設
計どおりにならなくなったり、液晶の二枚の基板ガラス
の間隔に差が生じて表示性能を損なうという本質的な問
題から、自動化された製造工程での機械的操作に適合し
ないという付随的な問題まで様々な問題を引き起こし、
用途によっては、基板ガラス全面に亙って数μm〜数十
μmの平坦性が要求される。
て製造されたガラス板は、良好な熱的寸法安定性や平坦
性を有しておらず、そのためにガラス板を成形した後、
これを平坦性に優れた耐熱材料からなる下基板に載置し
た状態で、徐冷炉に入れ、歪点付近から軟化点付近の温
度まで加熱し、一定時間保持してから徐冷するという熱
処理を施す方法が一般に採られている。
なる内壁を備え、これによって内部が所定の温度、すな
わち歪点付近から軟化点付近の温度に設定されるように
なっている。
イズの温度、軟化点とは、ガラスの粘度が107.6 ポイ
ズの温度であり、通常、電子機器の基板ガラスとして使
用される無アルカリガラスの場合、歪点は、約630〜
750℃、軟化点は、約840〜950℃である。また
この用途に使用される硼珪酸ガラスの場合、歪点は、約
500〜550℃、軟化点は、約750〜800℃であ
る。
と、ガラス板の熱的寸法安定性があらかじめ飽和値近く
まで進行するため、熱的寸法安定性が改善されると共
に、ガラス板の表面が軟化変形することによって平坦性
が改善される。
うに内壁を発熱体が設けられた耐火物から形成している
ものの、熱処理を繰り返し、あるいは連続的に行うと、
耐火物が疲労によって劣化するため、劣化した部分が炉
内に落下してガラス板を傷付けたり、汚したりする虞れ
がある。
用している間に、徐々に酸化して微粉が発生し、この微
粉が炉内でガラス板と接触すると、その表面に焼き付い
て汚れの原因となる。
表面の傷や汚れは、外観的に透明性が損なわれるといっ
た問題のみならず、基板上に施される薄膜電気回路が設
計どおりに形成されなくなるため、所望の電気特性が得
られなかったり、断線したりするといった致命的な不良
を引き起こす。特に微細な薄膜電気回路の場合には、わ
ずか数μmの大きさの汚れでさえも問題となる。
することによって除去することが可能であるが、研磨コ
ストがガラス板の価格を大幅に上昇させるため好ましく
ない。
あり、その第一の目的は、ガラス物品を徐冷する際、内
壁から微粉等が発生し、表面に傷や汚れが付くのを防止
することが可能なガラス物品の徐冷炉を提供することで
ある。
ラス物品を徐冷することが可能なガラス物品の徐冷方法
を提供することである。
冷炉は、発熱体が設けられた内壁の内側に、熱線を透過
する耐熱性ガラスセラミック板からなる防塵壁が形成さ
れてなることを特徴とする。
ラス物品を搬送する搬送コンベアーを備え、ガラス物品
が入ってから出るまでの間に徐冷されるような温度分布
を有することを特徴とする。
ラミック板としては、30〜380℃の温度範囲におい
て、−20〜20×10-7/℃の熱膨張係数を有するも
のが適しており、より具体的には、重量百分率で、Si
O2 55〜70%、Al2O3 20〜35%、Li2
O 3〜5%、TiO2 1〜3%、ZrO2 1〜
4%、P2 O5 1〜5%、Na2 O 0〜4%、K2
O 0〜4%の組成を有し、内部にβ−石英固溶体結晶
を析出してなる透明材料が好適である。
性ガラスセラミック板で構成されるため、発熱体からの
熱線が効率良くガラス板に照射され、しかも熱処理を繰
り返し、あるいは連続的に行っても、防塵壁が錆付いた
り、疲労して劣化することがなく、さらに内壁から生じ
る微粉等が炉内に入らないような密閉構造にすることが
可能となる。
る搬送コンベヤーを備え、ガラス物品が入ってから出る
までの間に徐冷されるような温度分布にすると、ガラス
物品を連続的に徐冷することができるため、高い生産性
が得られる。
に基づいて詳細に説明する。
炉10の説明図である。
みの耐火物の所定箇所に複数のニクロム系発熱体12が
取り付けられた構造を有しており、その内側には、多数
の透明耐熱性ガラスセラミック板からなる防塵壁13が
形成されている。防塵壁13は、耐熱鋼からなる骨材
(図示せず)によって密閉構造となるように取り付けら
れ、また内壁11の外側には、所定の厚みの鉄板からな
る外壁14が形成されている。
送コンベヤー15が備え付けられており、駆動ローラー
16が回転することによって、徐冷炉10の長さ方向に
所定の速度で移動するようになっている。
ラミック板としては、日本電気硝子(株)製のネオセラ
ムN−0が使用され、徐冷炉10の内部は、複数の温度
域に熱仕切りされ、所定の温度分布となるように設定さ
れている。
ス物品を徐冷する方法の一例を説明する。
あり、熱的寸法安定性及び平坦性が悪く、350×45
0×1mmの寸法を有するガラス板を準備した。
mの寸法を有する透明耐熱性ガラスセラミック板(ネオ
セラムN−0)の上に載置してから、最高温度が730
℃になるように設定された徐冷炉10内を移動する搬送
コンベヤー15の上に載置し、所定の速度で徐冷炉10
内部を移動させてから取り出し、水で洗浄した後、乾燥
させた。
たところ、反りが50μm以内の良好な平坦性を有して
おり、またこれに500℃、3時間の熱処理を施して
も、100mm当たり1μm以内の変化しかなく、良好
な熱的寸法安定性を有していることが確認された。
ロゲン光を照射して目視で観察したところ、その表面に
は、問題となるように汚れがないことも確認された。
炉を使用すると、ガラス物品の表面に汚れを付着させる
ことなく徐冷することが可能であり、そのため表面を研
磨する必要がなく、しかも搬送コンベヤーに載せて移動
させるようにすると、効率良く生産することが可能とな
る。
ある。
Claims (2)
- 【請求項1】 発熱体が設けられた内壁の内側に、熱線
を透過する耐熱性ガラスセラミック板からなる防塵壁が
形成されてなることを特徴とするガラス物品の徐冷炉。 - 【請求項2】 ガラス物品を搬送する搬送コンベヤーを
備え、ガラス物品が入ってから出るまでの間に徐冷され
るような温度分布を有することを特徴とする請求項1の
ガラス物品の徐冷炉。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP04170271A JP3118788B2 (ja) | 1992-06-04 | 1992-06-04 | ガラス物品の徐冷炉 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP04170271A JP3118788B2 (ja) | 1992-06-04 | 1992-06-04 | ガラス物品の徐冷炉 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05330836A JPH05330836A (ja) | 1993-12-14 |
JP3118788B2 true JP3118788B2 (ja) | 2000-12-18 |
Family
ID=15901848
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP04170271A Expired - Fee Related JP3118788B2 (ja) | 1992-06-04 | 1992-06-04 | ガラス物品の徐冷炉 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3118788B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19956753A1 (de) * | 1999-11-25 | 2001-06-28 | Schott Glas | Verfahren und Vorrichtung zum Tempern von flachen Körpern |
-
1992
- 1992-06-04 JP JP04170271A patent/JP3118788B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH05330836A (ja) | 1993-12-14 |
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