JP3116791B2 - シロキサン除去装置 - Google Patents

シロキサン除去装置

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JP3116791B2 JP07305335A JP30533595A JP3116791B2 JP 3116791 B2 JP3116791 B2 JP 3116791B2 JP 07305335 A JP07305335 A JP 07305335A JP 30533595 A JP30533595 A JP 30533595A JP 3116791 B2 JP3116791 B2 JP 3116791B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は空気の清浄を行う為
のシロキサン除去装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ガス状シロキサンの発生は、クリーンル
ームの気密保持を目的として使用されているシリコンシ
ーラント、シリコンゲルなどのシール材からのものが最
も多く、クリーンルーム内で生産に用いられているウェ
ハーを親水性から疎水性に変えるという問題があるとい
われている。クリーンルームの清浄化には主に空気清浄
システムが用いられている。
【０００３】空気清浄システムは、清浄空間への送気を
目的とした送風機能と、塵埃を除去するための高性能フ
ィルター、気中の薬液成分を除去するためのケミカルフ
ィルターなどの不純物捕集機能とを有している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この従来の空気清浄シ
ステムでは、ガス状のシロキサン成分を除去すること
は、困難であった。
【０００５】シロキサンを吸着する物質としては特開昭
６０−２２２１４４号公報に記載されているように、硫
酸第一鉄や硫酸第二鉄が知られているが、これらを空気
清浄システムのフィルター内に保持して用いることは、
圧力損失等により送風が困難となる等の欠点があり、実
現は極めて困難である。
【０００６】本発明の目的は、空気中に含まれるシロキ
サンを容易に除去できるシロキサン除去装置を提供する
ことにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明のシロキサン除去
装置は、ガス状のシロキサンを微粒子状に変化させるた
めの網目状又は格子状又は平行に張られた複数の金属線
から構成された電極部と、変化した微粒子を除去するた
めの捕集部を備えている。
【０００８】
【発明の実施の形態】次に本発明について図面を参照し
て説明する。図１は本発明の第１の実施の形態を説明す
る為のシロキサン除去装置の断面図である。
【０００９】図１においてシロキサン除去装置は、架台
６に固定されシロキサンを含む空気を通過させる為の複
数の隙間を有し交流電源（図示せず）に接続された格子
状の電極本体１と、この電極本体１の下部に設けられた
針状の放電電極２（例えば直径約０．５ｍｍ，長さ３〜
５ｍｍ）と、放電電極からの放電により微粒子化された
シロキサンを捕集する為の高性能のフィルター３（例え
ば超ＵＬＰＡ，ＵＬＰＡ，ＨＥＰＡフィルタ）とから主
に構成されている。
【００１０】このように構成されたシロキサン除去装置
を、例えばクリーンルーム内に設置し、電極本体１に電
圧を印加し送風機４を回転させ空気５を送ることによ
り、クリーンルーム内で発生し循環されてきたガス状の
シロキサンが電極本体１を通過し、微粒子に変化し高性
能フィルター３で捕集される。これによりクリーンルー
ムのシロキサン成分を除去することができる。
【００１１】図２は本発明の第２の実施の形態を説明す
る為の断面図であり、本発明のシロキサン除去装置をク
リーンルームに組み込んだ場合を示す。
【００１２】クリーンルーム１０は清浄空間１２に空気
５を送るための送風機４Ａ、加圧された天井内からの未
処理空気のリークを防止するシステム天井７及びこの天
井に取付けられシロキサンや塵埃の除去を行う高性能フ
ィルター３とから主に構成されている。
【００１３】一方クリーンルーム１０内では、システム
天井７に充填されているシリコンゲル１１や、間仕切８
の接続部からのリークを防止するシリコンシール９より
ガス状のシロキサンが飛散している。このガス状シロキ
サンを微粒子状に変化させる放電電極２を有する電極本
体１が、送風機４Ａと高性能フィルター３の間に設置さ
れている。この為電極本体１に電圧を印加し、送風機を
回転させることによりクリーンルーム１０の内部を清浄
空間１２とすることができる。
【００１４】尚上記実施の形態においては電極本体を格
子状のもので説明したが、網状のものでもよく、又平行
に張られた複数の金属線で構成してもよい。
【００１５】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、ガス状の
シロキサンを微粒子状に変化させるための電極部と、変
化した微粒子を除去するための捕集部を備えることによ
り、シロキサン成分を容易に除去できるシロキサン除去
装置が得られるという効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第一の実施の形態を説明する為の断面
図。
【図２】本発明の第二の実施の形態を説明する為の断面
図。
【符号の説明】
１ 電極本体 ２ 放電電極 ３ フィルター ４，４Ａ 送風機 ５ 空気 ６ 架台 ７ システム天井 ８ 間仕切 ９ シリコンシール １０ クリーンルーム １１ シリコンゲル １２ 清浄空間
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B01D 51/00 B01D 53/32 B01D 53/72

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 シロキサンを含む空気を通過させる複数
    の隙間を有し、網目状又は格子状に構成されている電極
    本体と、この電極本体の下部に設けられた針状の放電電
    極と、前記電極本体に接続された交流電源と、前記放電
    電極からの放電により微粒子化されたシロキサンを捕集
    する為のフィルタとを含むことを特徴とするシロキサン
    除去装置。
  2. 【請求項２】 シロキサンを含む空気を通過させる複数
    の隙間を有し、平行に張られた複数の金属線から構成さ
    れている電極本体と、この電極本体の下部に設けられた
    針状の放電電極と、前記電極本体に接続された交流電源
    と、前記放電電極からの放電により微粒子化されたシロ
    キサンを捕集する為のフィルタとを含むことを特徴とす
    るシロキサン除去装置。
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