JP3104745B2 - レチクルハンドラー - Google Patents
レチクルハンドラーInfo
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は，半導体素子，液晶
表示素子，撮像素子（ＣＣＤ等），又は薄膜磁気へッド
を製造するためのフォトリソグラフィ工程で，感光基板
上に転写露光するためのマスク及びレチクルに対するガ
スを利用したブロー洗浄治具及び／又は搬送治具等のレ
チクルハンドラーに関するものである。
表示素子，撮像素子（ＣＣＤ等），又は薄膜磁気へッド
を製造するためのフォトリソグラフィ工程で，感光基板
上に転写露光するためのマスク及びレチクルに対するガ
スを利用したブロー洗浄治具及び／又は搬送治具等のレ
チクルハンドラーに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年，半導体素子，液晶表示素子，撮像
素子（ＣＣＤ等），又は薄膜磁気ヘッド等を製造するた
めのフォトリソグラフィ工程で，感光基板上に転写露光
するためのマスク及びレチクルは，パターン面上にゴミ
等の付着を防ぐ目的でペリクルと呼ばれる薄膜をぺリク
ルフレームと呼ばれる枠でパターン面上から一定距離だ
け離して貼るようになってきた。
素子（ＣＣＤ等），又は薄膜磁気ヘッド等を製造するた
めのフォトリソグラフィ工程で，感光基板上に転写露光
するためのマスク及びレチクルは，パターン面上にゴミ
等の付着を防ぐ目的でペリクルと呼ばれる薄膜をぺリク
ルフレームと呼ばれる枠でパターン面上から一定距離だ
け離して貼るようになってきた。
【０００３】従来，ぺリクル無しレチクルにゴミ等が付
着した場合，純水等の洗浄液で洗浄を行っているが，ペ
リクル付きレチクルの場合，ゴミ等が付着しても純水等
で洗浄が行えない為，通常まず，図７のような治具５０
のアーム５３の一端部に設けられた夫々のレチクル押さ
え５１でレチクル２０をつかみ，ハンドル５４のレチク
ル固定用ネジ５２を締め，レチクル２０を固定してい
た。その後，所定の位置まで移動し，図８ようなブロー
ガン又はエアガンと呼ばれる圧力ガス吹き出し治具（以
下，ブローガンと呼ぶ）６０を用いて，ブローガン本体
６３の一端に設けられたチューブ６１から入ったドライ
エア，Ｎ2 等の圧力ガスをステッパーによるレチクル及
びペリクル表面検査で発見されたゴミめがけて，ブロー
ガン本体６３の他端に設けられたエアノズル６２から吹
き付け，付着したゴミを吹き飛ばす方法がとられてい
る。この従来の方法をブロー洗浄と呼んでいる。
着した場合，純水等の洗浄液で洗浄を行っているが，ペ
リクル付きレチクルの場合，ゴミ等が付着しても純水等
で洗浄が行えない為，通常まず，図７のような治具５０
のアーム５３の一端部に設けられた夫々のレチクル押さ
え５１でレチクル２０をつかみ，ハンドル５４のレチク
ル固定用ネジ５２を締め，レチクル２０を固定してい
た。その後，所定の位置まで移動し，図８ようなブロー
ガン又はエアガンと呼ばれる圧力ガス吹き出し治具（以
下，ブローガンと呼ぶ）６０を用いて，ブローガン本体
６３の一端に設けられたチューブ６１から入ったドライ
エア，Ｎ2 等の圧力ガスをステッパーによるレチクル及
びペリクル表面検査で発見されたゴミめがけて，ブロー
ガン本体６３の他端に設けられたエアノズル６２から吹
き付け，付着したゴミを吹き飛ばす方法がとられてい
る。この従来の方法をブロー洗浄と呼んでいる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の技術において，
ステッパーのレチクル及びペリクル表面検査にて発見さ
れたゴミを，ブロー洗浄する際，目視にてゴミを見つけ
ブローしていた。しかし，ゴミが微小なため，ゴミを目
視で見つけることも，そのゴミを除去することも作業者
の熟練が必要となるため，作業が困難であった。
ステッパーのレチクル及びペリクル表面検査にて発見さ
れたゴミを，ブロー洗浄する際，目視にてゴミを見つけ
ブローしていた。しかし，ゴミが微小なため，ゴミを目
視で見つけることも，そのゴミを除去することも作業者
の熟練が必要となるため，作業が困難であった。
【０００５】また，従来の技術において，図８のような
ブローガン６０では局所的に強いガスを吹き付けること
はできるが，除去したゴミを再付着しない程遠方まで吹
き飛ばすことができないために，ブロー洗浄によりレチ
クル及びぺリクル面から除去したゴミが，遠方まで吹き
飛ばされず，再び，レチクル及びペリクル面に付着して
しまうことがあった。
ブローガン６０では局所的に強いガスを吹き付けること
はできるが，除去したゴミを再付着しない程遠方まで吹
き飛ばすことができないために，ブロー洗浄によりレチ
クル及びぺリクル面から除去したゴミが，遠方まで吹き
飛ばされず，再び，レチクル及びペリクル面に付着して
しまうことがあった。
【０００６】また，図７の治具を用いてレチクル２０を
搬送する際に，レチクル２０がむき出しの状態となるた
め，浮遊塵が何の障害もなくレチクル２０に付着してし
まい，新たなゴミを付着させてしまうという欠点を有し
た。
搬送する際に，レチクル２０がむき出しの状態となるた
め，浮遊塵が何の障害もなくレチクル２０に付着してし
まい，新たなゴミを付着させてしまうという欠点を有し
た。
【０００７】さらに，レチクル押さえ５１が小さい上，
２ケ所でしか固定しないため，レチクル押さえ５１が無
い方向にレチクル２０が抜け落ちてしまうなど，レチク
ル固定をした時に非常に不安定で作業性が悪いという欠
点を有した。
２ケ所でしか固定しないため，レチクル押さえ５１が無
い方向にレチクル２０が抜け落ちてしまうなど，レチク
ル固定をした時に非常に不安定で作業性が悪いという欠
点を有した。
【０００８】そこで，本発明の技術的課題は，レチクル
をブロー洗浄する際の作業性を向上し，除去したゴミの
再付着の防止することができ，レチクル搬送中のゴミの
付着を防止することができるとともに，レチクルの落下
を防止できるレチクルハンドラーを提供することにあ
る。
をブロー洗浄する際の作業性を向上し，除去したゴミの
再付着の防止することができ，レチクル搬送中のゴミの
付着を防止することができるとともに，レチクルの落下
を防止できるレチクルハンドラーを提供することにあ
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明によれば，レチク
ルのみか又はペリクルを設けたレチクルを保持・搬送す
るためのレチクルハンドラーにおいて，前記レチクルを
上下より挟み込み固定する一対のアームを備えた固定手
段を有し、前記アームは，当該アームの中にガスを通過
させるためのガス流通手段を備え、前記ガス流通手段に
連絡し，前記アーム中を通ってきたガスで，前記レチク
ルの周辺にエアーカーテンを形成すると同時にブロー洗
浄を行うエアーカーテン生成洗浄手段を備えていること
を特徴とするレチクルハンドラーが得られる。
ルのみか又はペリクルを設けたレチクルを保持・搬送す
るためのレチクルハンドラーにおいて，前記レチクルを
上下より挟み込み固定する一対のアームを備えた固定手
段を有し、前記アームは，当該アームの中にガスを通過
させるためのガス流通手段を備え、前記ガス流通手段に
連絡し，前記アーム中を通ってきたガスで，前記レチク
ルの周辺にエアーカーテンを形成すると同時にブロー洗
浄を行うエアーカーテン生成洗浄手段を備えていること
を特徴とするレチクルハンドラーが得られる。
【００１０】
【００１１】
【００１２】また，本発明によれば，前記レチクルハン
ドラーにおいて，前記エアーカーテン生成洗浄手段は，
前記アームに設けられた前記エアーカーテン生成の為の
第１種のガス吹き出し孔と，前記ブロー洗浄するための
第２種のガス吹き出し孔とを備えていることを特徴とす
るレチクルハンドラーが得られる。
ドラーにおいて，前記エアーカーテン生成洗浄手段は，
前記アームに設けられた前記エアーカーテン生成の為の
第１種のガス吹き出し孔と，前記ブロー洗浄するための
第２種のガス吹き出し孔とを備えていることを特徴とす
るレチクルハンドラーが得られる。
【００１３】また，本発明によれば，前記レチクルハン
ドラーにおいて，前記第１種のガス吹き出し孔は，前記
アームの支持部から当該アーム先端方向に平行に前記エ
アーカーテンを形成できるような角度を有することを特
徴とするレチクルハンドラーが得られる。
ドラーにおいて，前記第１種のガス吹き出し孔は，前記
アームの支持部から当該アーム先端方向に平行に前記エ
アーカーテンを形成できるような角度を有することを特
徴とするレチクルハンドラーが得られる。
【００１４】また，本発明によれば，前記レチクルハン
ドラーにおいて，前記第２種のガス吹き出し孔は，前記
レチクル又は前記レチクルに設けられたぺリクルの少な
くとも一面全体をブロー洗浄できるような角度を有する
ことを特徴とするレチクルハンドラーが得られる。
ドラーにおいて，前記第２種のガス吹き出し孔は，前記
レチクル又は前記レチクルに設けられたぺリクルの少な
くとも一面全体をブロー洗浄できるような角度を有する
ことを特徴とするレチクルハンドラーが得られる。
【００１５】
【００１６】さらに，本発明によれば，前記いずれかの
レチクルハンドラーにおいて，前記一対のアームの夫々
は，前記レチクル又は前記ペリクルを設けたレチクルを
上下から挟み込めるようにコの字形状を有することを特
徴とするレチクルハンドラーが得られる。
レチクルハンドラーにおいて，前記一対のアームの夫々
は，前記レチクル又は前記ペリクルを設けたレチクルを
上下から挟み込めるようにコの字形状を有することを特
徴とするレチクルハンドラーが得られる。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下，本発明の実施の形態につい
て図面を参照しながら説明する。
て図面を参照しながら説明する。
【００１８】図１は，この発明の実施の形態によるレチ
クルハンドラーを示す斜視図である。図１に示すよう
に，レチクルハンドラー１０は，ハンドル７と，レチク
ル固定用レバー９と，レチクル２０を挟み込むための固
定手段として一対のペリクル面アーム及びグラス面アー
ム４ｂ（以下，単にアーム４ａ，４ｂと呼ぶ）と，外部
からのガスを送るためのチューブ３と，気流流量調整用
ネジ８とを備えている。一対アーム４ａ，４ｂは，コの
字形状で両端が互いに離間した形状を有し，その中にガ
スを通すことができる。レチクルハンドラー１０は，レ
チクル２０を一対のアーム４ａ，４ｂで間に挟み込んだ
状態でロックする，レチクル固定用レバー９を備えたロ
ック機構を有している。
クルハンドラーを示す斜視図である。図１に示すよう
に，レチクルハンドラー１０は，ハンドル７と，レチク
ル固定用レバー９と，レチクル２０を挟み込むための固
定手段として一対のペリクル面アーム及びグラス面アー
ム４ｂ（以下，単にアーム４ａ，４ｂと呼ぶ）と，外部
からのガスを送るためのチューブ３と，気流流量調整用
ネジ８とを備えている。一対アーム４ａ，４ｂは，コの
字形状で両端が互いに離間した形状を有し，その中にガ
スを通すことができる。レチクルハンドラー１０は，レ
チクル２０を一対のアーム４ａ，４ｂで間に挟み込んだ
状態でロックする，レチクル固定用レバー９を備えたロ
ック機構を有している。
【００１９】一対のアーム４ａ，４ｂは，このアーム４
ａ，４ｂ中にガスを通過させるためのガス流通手段とし
てのガス管１（図３及び図４で詳しく説明する）と，こ
のガス流通手段を通過したガスを吹出し，エアーカーテ
ンを形成するとともにブロー洗浄を行うエアーカーテン
生成洗浄手段として複数のエアーカーテン用気孔５（第
１種の吹き出し孔）と，ブロー洗浄を行う複数のブロー
洗浄用気孔６（第２種の吹き出し孔）とを有している。
ａ，４ｂ中にガスを通過させるためのガス流通手段とし
てのガス管１（図３及び図４で詳しく説明する）と，こ
のガス流通手段を通過したガスを吹出し，エアーカーテ
ンを形成するとともにブロー洗浄を行うエアーカーテン
生成洗浄手段として複数のエアーカーテン用気孔５（第
１種の吹き出し孔）と，ブロー洗浄を行う複数のブロー
洗浄用気孔６（第２種の吹き出し孔）とを有している。
【００２０】尚，符号２１はペリクルフレームであり，
符号２２はペリクルフレーム２１に設けられたペリクル
膜である。
符号２２はペリクルフレーム２１に設けられたペリクル
膜である。
【００２１】図２は図１のアーム４ａ，４ｂの一部を拡
大して図示したものである。図２に示すように，アーム
４ａ，４ｂには，エアーカーテン用気孔５とブロー洗浄
用気孔６とが，レチクル表面にブロー洗浄用気孔６の列
の方が，エアーカーテン用気孔５の列の方よりも近接す
るように，夫々２列に配置されている。
大して図示したものである。図２に示すように，アーム
４ａ，４ｂには，エアーカーテン用気孔５とブロー洗浄
用気孔６とが，レチクル表面にブロー洗浄用気孔６の列
の方が，エアーカーテン用気孔５の列の方よりも近接す
るように，夫々２列に配置されている。
【００２２】図３は，図２のアーム４ａのＡ−Ａ′面で
の断面図，図４は図２のアーム４ａをＢ−Ｂ′面での断
面図である。尚，図３及び図４には，示されてはいない
が，アーム４ｂもアーム４ａとは上下関係が逆になるが
同様の構成を有している。
の断面図，図４は図２のアーム４ａをＢ−Ｂ′面での断
面図である。尚，図３及び図４には，示されてはいない
が，アーム４ｂもアーム４ａとは上下関係が逆になるが
同様の構成を有している。
【００２３】図１乃至図４に示すように，チューブ３よ
り入ったガスは，ハンドル７の内部を通り，アーム４
ａ，４ｂ内のガス流通手段としてのガス管１を通り，ア
ーム４ａ，４ｂ先端まで到達できるようになっている。
アーム４ａ，４ｂ内に入ってきたガスは，これらアーム
４ａ，４ｂに配置されたブロー洗浄用気孔６とエアーカ
ーテン用気孔５より吹き出し，ブロー洗浄を行いまたエ
アーカーテンを形成する。
り入ったガスは，ハンドル７の内部を通り，アーム４
ａ，４ｂ内のガス流通手段としてのガス管１を通り，ア
ーム４ａ，４ｂ先端まで到達できるようになっている。
アーム４ａ，４ｂ内に入ってきたガスは，これらアーム
４ａ，４ｂに配置されたブロー洗浄用気孔６とエアーカ
ーテン用気孔５より吹き出し，ブロー洗浄を行いまたエ
アーカーテンを形成する。
【００２４】図３に良く示されているように，エアーカ
ーテン用気孔５は，アーム４ａ，４ｂに対してアーム先
端方向に角度αが付けられており，エアーカーテンを形
成しやすくなっている。
ーテン用気孔５は，アーム４ａ，４ｂに対してアーム先
端方向に角度αが付けられており，エアーカーテンを形
成しやすくなっている。
【００２５】一方，図４に良く示されているように，ア
ーム４ａ，４ｂのブロー洗浄用気孔６は，ペリクル面及
びレチクル全面にブローできるように，角度βが付けら
れて配置されている。これらの角度α及びβは，夫々全
ての空孔に対して同じ角度で設置する必要はない。ま
た，本レチクルハンドラー１０は，設備内のレチクル搬
送用アームとしても使用することができる。
ーム４ａ，４ｂのブロー洗浄用気孔６は，ペリクル面及
びレチクル全面にブローできるように，角度βが付けら
れて配置されている。これらの角度α及びβは，夫々全
ての空孔に対して同じ角度で設置する必要はない。ま
た，本レチクルハンドラー１０は，設備内のレチクル搬
送用アームとしても使用することができる。
【００２６】次に，本発明の実施の形態の動作について
図５及び図６を参照して詳細に説明する。図５はレチク
ル２０を挟み込み，ガスチューブ３よりガスを流し，ガ
ス流量調整ネジ８でガス流量を調整し，アーム４ａ，４
ｂよりガスを吹き出した時の断面図である。図６は図５
のアーム４ａの一部を拡大した図である。尚，図示すさ
れていないが，図５のアーム４ｂも，図６のアーム４ａ
とは上下関係が逆となるが，同様の構成を有している。
図５及び図６を参照して詳細に説明する。図５はレチク
ル２０を挟み込み，ガスチューブ３よりガスを流し，ガ
ス流量調整ネジ８でガス流量を調整し，アーム４ａ，４
ｂよりガスを吹き出した時の断面図である。図６は図５
のアーム４ａの一部を拡大した図である。尚，図示すさ
れていないが，図５のアーム４ｂも，図６のアーム４ａ
とは上下関係が逆となるが，同様の構成を有している。
【００２７】図５及び図６を参照すると，レチクル２０
をアーム４ａ，４ｂに固定し，アーム４ａ，４ｂ内にガ
ス管（図３及び図４を参照）を介して，ガスを送ること
でアーム４ａ，４ｂに取り付けられたエアーカーテン用
気孔５からガスが吹き出し，エアーカーテン用気孔５よ
り出たガスは，アーム４ａ，４ｂの先端方向に吹き出す
ため，レチクル２０の下側表面及びペリクル膜２２の表
面に平行にエアーカーテン１１ができる。また，エアー
カーテン１１の形成と同時に，ブロー洗浄用気孔６は，
レチクル全面及びぺリクル全面に吹き付けるよう角度を
付けて配置されているため，ブロー洗浄用気孔６より出
たガスは，レチクル２０の表面及びペリクル膜２２の表
面に向かって吹き出すため，レチクル２０の全面及びペ
リクル膜２２の全面をブロー洗浄することができる。
をアーム４ａ，４ｂに固定し，アーム４ａ，４ｂ内にガ
ス管（図３及び図４を参照）を介して，ガスを送ること
でアーム４ａ，４ｂに取り付けられたエアーカーテン用
気孔５からガスが吹き出し，エアーカーテン用気孔５よ
り出たガスは，アーム４ａ，４ｂの先端方向に吹き出す
ため，レチクル２０の下側表面及びペリクル膜２２の表
面に平行にエアーカーテン１１ができる。また，エアー
カーテン１１の形成と同時に，ブロー洗浄用気孔６は，
レチクル全面及びぺリクル全面に吹き付けるよう角度を
付けて配置されているため，ブロー洗浄用気孔６より出
たガスは，レチクル２０の表面及びペリクル膜２２の表
面に向かって吹き出すため，レチクル２０の全面及びペ
リクル膜２２の全面をブロー洗浄することができる。
【００２８】従って，レチクル２０の表面及びペリクル
膜２２の表面に付着したゴミの位置を特定せずブロー洗
浄できる。また，ブロー洗浄によりレチクル２０の表面
及びペリクル膜２２の表面から離れたゴミは，エアーカ
ーテン１１の気流に乗り，レチクル２０の表面及びペリ
クル膜２２の表面に再付着せず，遠方まで吹き飛ばされ
る。
膜２２の表面に付着したゴミの位置を特定せずブロー洗
浄できる。また，ブロー洗浄によりレチクル２０の表面
及びペリクル膜２２の表面から離れたゴミは，エアーカ
ーテン１１の気流に乗り，レチクル２０の表面及びペリ
クル膜２２の表面に再付着せず，遠方まで吹き飛ばされ
る。
【００２９】さらに，エアーカーテン１１により，レチ
クル２０の表面及びペリクル膜２２の表面が保護されて
いるため，本発明の実施の形態によるレチクルハンドラ
ー１０で搬送を行っても，浮遊塵は，レチクル２０の表
面及びペリクル膜２２の表面に付着することなくエアー
カーテン１１の気流に乗り，遠方まで吹き飛ばされる。
また，ゴミの位置を確認し，ブローガンにてブロー洗浄
する必要がないことは勿論である。
クル２０の表面及びペリクル膜２２の表面が保護されて
いるため，本発明の実施の形態によるレチクルハンドラ
ー１０で搬送を行っても，浮遊塵は，レチクル２０の表
面及びペリクル膜２２の表面に付着することなくエアー
カーテン１１の気流に乗り，遠方まで吹き飛ばされる。
また，ゴミの位置を確認し，ブローガンにてブロー洗浄
する必要がないことは勿論である。
【００３０】
【発明の効果】以上説明したように，本発明によれば，
アームにレチクル全面及びペリクル全面に向けてガスを
吹きだすように角度を付けられたブロー洗浄用気孔によ
り，レチクル面及びべリクル面全体をブロー洗浄するこ
とができるので，簡単なレチクルを挟み込むだけの操作
でゴミの箇所を特定することなくブロー洗浄することが
できるレチクルハンドラーを提供することができる。
アームにレチクル全面及びペリクル全面に向けてガスを
吹きだすように角度を付けられたブロー洗浄用気孔によ
り，レチクル面及びべリクル面全体をブロー洗浄するこ
とができるので，簡単なレチクルを挟み込むだけの操作
でゴミの箇所を特定することなくブロー洗浄することが
できるレチクルハンドラーを提供することができる。
【００３１】また，本発明によれば，アームに設けられ
たエアーカーテン用気孔によって，レチクル表面に作ら
れるエアーカーテンのため，ゴミはレチクル表面に付着
する前に吹き飛ばされ，レチクル搬送中又は，レチクル
ブロー洗浄中に新たなゴミの付着を防ぐことができるレ
チクルハンドラーを提供することができる。
たエアーカーテン用気孔によって，レチクル表面に作ら
れるエアーカーテンのため，ゴミはレチクル表面に付着
する前に吹き飛ばされ，レチクル搬送中又は，レチクル
ブロー洗浄中に新たなゴミの付着を防ぐことができるレ
チクルハンドラーを提供することができる。
【００３２】また，本発明によれば，レチクルブロー洗
浄と，レチクル周辺のエアーカーテン形成を同時に行え
るため，ブロー洗浄でレチクル面及びペリクル面より離
れたゴミは，エアーカーテンにより遠方まで吹き飛ばさ
れるので，レチクルブロー洗浄して除去したゴミの再付
着を防ぐことができるレチクルハンドラーを提供するこ
とができる。
浄と，レチクル周辺のエアーカーテン形成を同時に行え
るため，ブロー洗浄でレチクル面及びペリクル面より離
れたゴミは，エアーカーテンにより遠方まで吹き飛ばさ
れるので，レチクルブロー洗浄して除去したゴミの再付
着を防ぐことができるレチクルハンドラーを提供するこ
とができる。
【００３３】さらに，本発明によれば，アーム形状がコ
の字型で先端が開いた形状をしており，上下からレチク
ルを挟み込むように固定することができるので，レチク
ルを完全に固定することができ，レチクルの落下を防止
することができるレチクルハンドラーを提供することが
できる。
の字型で先端が開いた形状をしており，上下からレチク
ルを挟み込むように固定することができるので，レチク
ルを完全に固定することができ，レチクルの落下を防止
することができるレチクルハンドラーを提供することが
できる。
【図１】本発明の実施の形態によるレチクルハンドラー
の斜視図である。
の斜視図である。
【図２】図１のアームの一部を示す正面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ´面の断面図である。
【図４】図２のＢ−Ｂ´面の断面図である。
【図５】本発明の実施の形態によるレチクルハンドラー
の動作の説明に供せられる部分断面図である。
の動作の説明に供せられる部分断面図である。
【図６】図５のアーム４ａ部について拡大したときの部
分拡大図である。
分拡大図である。
【図７】従来技術によるレチクル用の治具を示す斜視図
である。
である。
【図８】従来技術によるブローガンを示す斜視図であ
る。
る。
１ ガス管 ３ チューブ ４ａ アーム（ペリクル面アーム） ４ｂ アーム（グラス面アーム） ５ エアーカーテン用気孔 ６ ブロー洗浄用気孔 ７ ハンドル ８ 気流流量調整用ネジ ９ レチクル固定用レバー １０ レチクルハンドラー １１ エアーカーテン １２ ブロー洗浄気流 ２０ レチクル ２１ ペリクルフレーム ２２ ペリクル膜 ５０ 治具 ５１ レチクル押さえ ５２ レチクル固定用ネジ ５３ アーム ６１ チューブ ６２ エアノズル ６３ ブローガン本体
Claims (5)
- 【請求項１】 レチクルのみか又はペリクルを設けたレ
チクルを保持・搬送するためのレチクルハンドラーにお
いて，前記レチクルを上下より挟み込み固定する一対の
アームを備えた固定手段を有し，前記アームは，当該ア
ームの中にガスを通過させるためのガス流通手段を備え
るとともに，前記ガス流通手段に連絡し，前記アーム中
を通ってきたガスで，前記レチクルの周辺にエアーカー
テンを形成すると同時にブロー洗浄を行うエアーカーテ
ン生成洗浄手段を備えていることを特徴とするレチクル
ハンドラー。 - 【請求項２】 請求項１記載のレチクルハンドラーにお
いて，前記エアーカーテン生成洗浄手段は，前記アーム
に設けられた前記エアーカーテン生成の為の第１種のガ
ス吹き出し孔と，前記ブロー洗浄するための第２種のガ
ス吹き出し孔とを備えていることを特徴とするレチクル
ハンドラー。 - 【請求項３】 請求項２記載のレチクルハンドラーにお
いて，前記第１種のガス吹き出し孔は，前記アームの支
持部から当該アーム先端方向に平行に前記エアーカーテ
ンを形成できるような角度を有することを特徴とするレ
チクルハンドラー。 - 【請求項４】 請求項２記載のレチクルハンドラーにお
いて，前記第２種のガス吹き出し孔は，前記レチクル又
は前記レチクルに設けられたぺリクルの少なくとも一面
全体をブロー洗浄できるような角度を有することを特徴
とするレチクルハンドラー。 - 【請求項５】 請求項１乃至４の内のいずれか一つに記
載のレチクルハンドラーにおいて，前記一対のアームの
夫々は，前記レチクル又は前記ペリクルを設けたレチク
ルを上下から挟み込めるようにコの字形状を有すること
を特徴とするレチクルハンドラー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27318397A JP3104745B2 (ja) | 1997-10-07 | 1997-10-07 | レチクルハンドラー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27318397A JP3104745B2 (ja) | 1997-10-07 | 1997-10-07 | レチクルハンドラー |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11109606A JPH11109606A (ja) | 1999-04-23 |
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