JP3099503B2 - ノイズフィルタ - Google Patents

ノイズフィルタ

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JP3099503B2
JP3099503B2 JP04061274A JP6127492A JP3099503B2 JP 3099503 B2 JP3099503 B2 JP 3099503B2 JP 04061274 A JP04061274 A JP 04061274A JP 6127492 A JP6127492 A JP 6127492A JP 3099503 B2 JP3099503 B2 JP 3099503B2
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和敬 中村
晃慶 中山
康信 米田
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Murata Manufacturing Co Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、バリスタ特性,コンデ
ンサ特性,及び抵抗特性を兼ね備えた3端子型のノイズ
フィルタに関し、特に電圧抑制御能力を向上して半導体
デバイスの破壊,誤動作を確実に防止でき、かつ部品点
数,実装コストを低減できるとともに、寿命特性の悪化
を回避できるようにした構造に関する。
【0002】
【従来の技術】コンピュータ機器に採用されるIC,L
SIをはじめとする半導体デバイスにおいては、静電気
サージ等のトランジェントノイズの侵入によって破壊,
誤動作するのを防止することが重要な課題となってい
る。このようなトランジェントノイズの侵入から防御す
る方法として、従来、セットや基板のグランドの設定や
基板内の電子部品素子の配列を工夫したり,あるいはデ
ィスク型バリスタやLCフィルタを回路に付加すること
によりノイズを吸収するのが一般的である。なかでも上
記バリスタは、回路に加えることが比較的簡単であり、
しかも低電圧,低容量であることから他の方法に比べて
ノイズ吸収素子として適している。またノイズ吸収素子
としてバリスタを採用する場合、これのバリスタ電圧は
できるだけ回路電圧に近づける必要があることから、低
電圧化が要求される。
【0003】また、近年、コンピュータ機器の小型化,
薄型化が進むなかで、上記バリスタにおいても小型化,
SMT(表面実装)化への対応が要請されている。しか
し、上記ディスク型バリスタではその構造からして小型
化,SMT化に対応できない。このようなディスク型バ
リスタに代わるものとして、従来、積層型バリスタが提
案されている(例えば、特公昭58-23921号公報参照) 。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の積層型バリスタでは、小型化,SMT化には対応で
きるものの、電圧抑制能力は従来のディスク型バリスタ
とほとんど変わらないことから、ノイズの侵入から半導
体デバイスを保護しきれない場合があり、この点での向
上が要請されている。また、上記半導体デバイスの破壊
電圧はその種類によって異なるが、MOS−IC等では
40〜60V で破壊するものが多い。一方、上記積層型バリ
スタの電圧抑制能力はバリスタ電圧の2〜3倍であり、
このバリスタ電圧が低いほど比率は大きくなることか
ら、静電気等のインパルスでは抑制電圧はさらに高くな
り、その結果上記積層型バリスタ単独では保護できない
場合がある。
【0005】ここで、上記積層型バリスタに抵抗を付加
することによって、実力値以上の電圧抑制能力を得るこ
とが可能である。この場合、上記積層型バリスタに抵抗
素子を別途外付けすると、この素子が増える分だけコス
トが上昇するとともに、実装スペースが拡大するという
問題が生じる。また、上記積層型バリスタの表面に抵抗
膜を被覆形成することも考えられるが、このようにする
と外部からの機械的負荷により抵抗膜が損傷し易く、そ
の結果電気的特性が悪化し、寿命特性が低下するという
問題が生じる。
【0006】本発明は、上記従来の状況に鑑みてなされ
たもので、電圧抑制能力を向上してノイズによる半導体
デバイスの破壊,誤動作を確実に防止でき、さらにはコ
ストの上昇や実装スペースの拡大を回避できるととも
に、寿命特性の悪化を回避できるノイズフィルタを提供
することを目的としている。
【0007】
【課題を解決するための手段】そこで本発明は、電圧非
直線特性を有する半導体磁器の互いに対向する第1,第
2側面に第1,第2側面電極を形成するとともに、互い
に対向する第3,第4側面に第3,第4側面電極を形成
し、上記半導体磁器の内部に第1内部電極を埋設し、該
第1内部電極の一端縁を上記第1,第2側面電極の一方
に接続し、上記半導体磁器の内部にセラミック層を挟ん
で上記第1内部電極と重なり合う第2内部電極を埋設す
るとともに、該第2内部電極の両端縁を上記第3,第4
側面電極に接続し、さらに上記半導体磁器の内部にセラ
ミック層を挟んで上記第1内部電極と重なり合う抵抗体
を埋設し、該抵抗体の両端縁を導出電極を介して上記第
1,第2側面電極に接続したことを特徴とするノイズフ
ィルタである。
【0008】ここで、上記半導体磁器の各電極を除く表
面部分にガラス膜を被覆形成するのが望ましい。これに
より耐湿性,及び耐酸化性を向上できるとともに、もれ
電流を低減でき、寿命特性を向上できるからである。
【0009】また、上記抵抗体を構成する材料として
は、Ruを主成分とするのが適当であり、特にRuO2
にPb2 Ru2 7 又はBi2 Ru2 7 のいずれかを
混合するのが望ましい。これにより抵抗値の制御が容易
にでき、またこれと合わせて抵抗体の長さ,面積,及び
積層数を適宜変えることによって所望の抵抗値に設定で
きるからである。また上記Pb2 Ru2 7 ,Bi2
2 7 の添加量は60wt%までにするのが望ましい。こ
れを越えると抵抗値にばらつきが生じるからである。さ
らに、上記半導体磁器を構成するセラミック材料として
は、焼成時の温度を考慮するとZnOを主成分としたも
のを採用するのが適当である。
【0010】
【作用】本発明に係るノイズフィルタによれば、半導体
磁器の第1,第2側面電極間に導出電極を介在させて抵
抗体を接続したので、第1,第2内部電極間で電圧非直
線特性を得ながら、上記抵抗体で該バリスタの実力値以
上の電圧抑制能力が得られることとなり、トランジェン
トノイズの侵入による半導体デバイスの破壊や誤動作を
確実に防止できる。また、上記抵抗体を半導体磁器の内
部に埋設したので、抵抗部品を別途外付けする場合のコ
ストの上昇,及び実装スペースの拡大を回避でき、さら
には半導体磁器の表面に抵抗膜を被覆形成する場合の、
外部からの機械的負荷による損傷を回避でき、寿命特性
を向上できる。さらに、本発明では、上記抵抗体を半導
体磁器内に封入し、該抵抗体を導出電極を介して端面の
第1,第2側面電極に接続したので、半導体磁器にガラ
ス膜を形成する場合に、該ガラスが抵抗体に拡散するの
を防止できる。その結果、抵抗値の変動を回避でき、ひ
いては設計どおりの抵抗値を得ることができる。
【0011】
【実施例】以下、本発明の実施例を図について説明す
る。図1ないし図4は本発明の一実施例によるノイズフ
ィルタを説明するための図である。図において、1は本
実施例の電圧非直線特性,コンデンサ特性,及び抵抗特
性を兼ね備えた3端子型のノイズフィルタである。この
ノイズフィルタ1の半導体磁器3は、ZnOを主成分と
する複数のセラミック層2を積層し、この積層体を一体
焼結してなる直方体状のものである。この半導体磁器3
の左, 右端面(第1,第2側面)3a,3bにはAgか
らなる外部回路接続用の端面電極(第1,第2側面電
極)4,4が形成されており、上記半導体磁器3の前,
後側面(第3,第4側面)3c,3dの中央部には同じ
くAgからなる外部回路接続用の側面電極(第3,第4
側面電極)5,5が形成されている。
【0012】また、上記半導体磁器3の内部にはAg−
Pd合金からなる第1内部電極6が埋設されている。こ
の第1内部電極6の一端縁6aは半導体磁器3の左側端
面3aに露出して端面電極4に接続されており、他端縁
6bは半導体磁器3の右側端面3bの内方に位置して半
導体磁器3内に封入されている。
【0013】さらに、上記半導体磁器3の内部には上記
セラミック層2を挟んで上記第1内部電極6と平行に重
なり合う第2内部電極7が埋設されている。この第2内
部電極7の両端縁7a,7bは半導体磁器3の前,後側
面3c,3dに露出して側面電極5,5に接続されてお
り、これにより上記第1,第2内部電極6,7で挟まれ
たセラミック部分が電圧非直線特性を発現するセラミッ
ク層2となっている。さらに、図示していないが、上記
半導体磁器3の左,右端面電極4,前,後側面電極5を
除く外表面にはガラス膜が被覆形成されている。
【0014】そして、上記半導体磁器3の内部には、R
uO2 にPb2 Ru2 7 及びBi2 Ru2 7 を所定
量混合してなる抵抗体8が埋設されている。この抵抗体
8は1つのセラミック層2を挟んで上記第2内部電極7
と平行に重なり合うよう配置されている。またこの抵抗
体8の全ての端縁は端面3a,3b側面3c,3dの内
方に位置し、該半導磁気3内に封入されている。そして
この抵抗体8はこれの厚さ,幅を選定することにより所
定の抵抗値に設定されている。
【0015】また、上記抵抗体8が形成されたセラミッ
ク層2の左, 右外縁部2a,2bには導出電極9が形成
されている。この導出電極9の一端は上記端面電極4に
接続されており、他端は上記抵抗体8の左, 右端縁8
a,8bが接続されている。これにより上記抵抗体8は
上記導出電極9を介して上記左,右端面電極4に接続さ
れている。
【0016】次に本実施例のノイズフィルタ1の一製造
方法について説明する。まず、純度99%以上のZnOを
主成分とし、これにBi2 3 ,CoCO3 ,MnO2
及びSb2 2 をそれぞれ98mol %,0.5mol %,0.5mol
%,0.5mol %,及び0.5 mol %の割合で秤量し、これに
純水を加えてボールミルで24時間混合してスラリーを形
成する。次にこのスラリーを濾過乾燥して造粒した後、
800 ℃の温度で2時間仮焼成する。
【0017】次に、上記仮焼成物をパルベライザーによ
り粗粉砕した後、これに純水を加えてボールミルで微粉
砕する。次いで、この微粉末を濾過乾燥させた後、有機
バインダーとともに溶媒中に分散させてスラリーを形成
する。この後、このスラリーを、ドクターブレード法に
より厚さ50μm のセラミックグリーンシートを形成し、
このグリーンシートを所定寸法の大きさに打ち抜いて複
数枚のセラミック層2を形成する。
【0018】次に、Ag−Pd(7:3)合金からなる
導電ペーストを上記セラミック層2の上面にスクリーン
印刷して第1内部電極6を形成する。この第1内部電極
6はこれの一端縁6aのみがセラミック層2の外縁に位
置し、他端縁6b及び残りの端縁はセラミック層2の内
方に位置するように形成する。また、別のセラミック層
2の上面に同じく導電ペーストを印刷して第2内部電極
7を形成する。この内部電極7はこれの両端縁7a,7
bがセラミック層2の長手方向両外縁に位置し、残りの
端縁がセラミック層2の内方に位置するように形成す
る。さらに、別のセラミック層2の上面の左, 右外縁2
a,2bに、同じく導電ペーストを印刷して導出電極9
を形成する。
【0019】次いで、RuO2 にPb2 Ru2 7 及び
Bi2 Ru2 7 を0〜60wt%混合し、これにワニスを
加えて抵抗ペーストを作成し、この抵抗ペーストを上記
導出電極9が形成されたセラミック層2の上面にスクリ
ーン印刷して抵抗体8を形成する。この抵抗体8は、こ
れの両端縁8a,8bが上記両導出電極9に少し重なる
ように形成する。
【0020】そして、図3に示すように、第1内部電極
6と第2内部電極7とがセラミック層2’を挟んで対向
するよう上記各セラミック層2を重ね、上記第1内部電
極6の上面にダミー用セラミック層2を介在させて抵抗
体8が形成されたセラミック層2を重ねるとともに、こ
れの上面,下面にダミー用セラミック層2を複数枚重ね
る。次に、これの積層方向に2t/cm2 の圧力を加えて圧
着し、積層体を形成する。
【0021】次に、上記積層体を所定寸法にカットし、
これを900 ℃の温度で2時間焼成して半導体磁器3を得
る。次いで、上記半導体磁器3を磁器ポット内に収容す
るとともに、該ポット内にホウケイ酸亜鉛ガラスを添加
し、上記磁器ポットを回転させながら600 〜900 ℃の温
度で熱処理を施す。これにより上記半導体磁器3の外表
面部分にガラス膜を形成する。そして最後に、この半導
体磁器3の左, 右端面3a,3b及び前,後側面3c,
3dの中央部にAgペーストを塗布した後、800 ℃で10
分間焼き付けて端面電極4及び側面電極5を形成する。
【0022】本実施例のノイズフィルタ1は、図4の等
価回路図に示すように、一方の端面電極4と側面電極5
との間に電源を接続し、他方の端面電極4と側面電極5
との間に半導体デバイスAを接続する。これにより半導
体デバイスAに異常電圧が加わるのを防止するととも
に、バリスタ部Zの電圧抑制能力を越える過電圧エネル
ギーを抵抗体8でもって吸収することとなる。
【0023】このように本実施例によれば、半導体磁器
の端面電極4間に導出電極9を介して抵抗体8を付加す
るとともに、該抵抗体8を半導体磁器3内に埋設したの
で、半導体デバイスAの破壊電圧より大きいノイズが侵
入しても抵抗体8で抑制することができ、その結果IC
やLSI等の半導体デバイスの破壊や誤動作を確実に回
避できる。また、上記抵抗体8を半導体磁器3に内蔵し
た構造であるから、抵抗部品を別途外付けする場合に比
べて部品コストを低減できるとともに、実装スペースを
縮小でき、ひいてはコンピュータ機器の小型化に対応で
きる。さらに、半導体磁器の表面に抵抗膜を被覆形成す
る場合に比べて外力による損傷を回避でき、寿命特性を
向上できる。
【0024】さらに、本実施例では、上記半導体磁器3
内に封入した抵抗体8を導出電極9を介して端面電極4
に接続したので、半導体磁器3にガラス膜を形成する際
に、該ガラスが抵抗体8に拡散するのを防止でき、抵抗
値の変動を回避できる。
【0025】
【表1】
【0026】表1は、本実施例のノイズフィルタ1の効
果を確認するために行った試験結果を説明するためのも
のである。この試験は、上述した製造方法により、ガラ
ス膜を被覆していないサンプルNo. 1と、ガラス膜を被
覆したサンプルNo. 2を作成し、この両サンプルの抵抗
値(Ω),バリスタ電圧(V1mA ),非直線係数
(α),及び静電容量値(pF)を測定するとともに、
それぞれのばらつきを調べた。また、ばらつきは3CV
=σ×3/平均×100 %で求めた(σは標準偏差を示
す)。
【0027】表1からも明らかなように、本実施例によ
れば、両サンプル No.1,2ともバリスタ電圧,非直線
係数,静電容量のいずれも満足できる値が得られてい
る。また、抵抗値は232 、235 Ωが得られており、しか
もばらつきは4.3 、4.7 %と小さい。この結果、半導体
磁器内に抵抗体を埋設して一体焼結することによって、
バリスタ特性及び誘電率の変化がなく、しかも抵抗のば
らつきが小さく、かつ結合安定性の良いノイズフィルタ
が得られることがわかる。また、半導体磁器にガラス膜
を被覆形成したサンプルNo. 2の場合、湿度,及び酸化
に対する耐環境性が向上し、寿命特性の向上がみられ
た。ちなみに、上記各サンプルの抵抗体にノイズシミュ
レーションを用いて2KV・200nSEC の方形波を印加した
ところ、いずれも抵抗体の変化は2%未満であった。
【0028】図5は、上記サンプルを採用して、図4に
示すような回路を構成し、これに高電圧パルスを印加し
たときのパルス波形を示す。同図からも明らかなよう
に、本実施例サンプルでは40V 程度となっており、従来
バリスタの略1/5 に低減できている。この点からも抵抗
体を内蔵したものは電圧抑制能力が高く半導体デバイス
の保護に有効であることがわかる。
【0029】図6は、上記サンプルの周波数特性を示す
図であり、この図からも明らかなように、優れた周波数
特性が得られており、内部電極による浮遊容量の発生が
少ないことがわかる。
【0030】
【発明の効果】以上のように本発明に係るノイズフィル
タによれば、半導体磁器の内部に第1内部電極を埋設す
るとともに、セラミック層を挟んで重なり合う第2内部
電極を埋設し、上記半導体磁器の内部に抵抗体を埋設
し、該抵抗体の両端縁をセラミック層の外縁に形成され
た導出電極を介して端面電極(第1,第2側面電極)に
接続したので、電圧抑制能力を向上して半導体デバイス
の破壊,誤動作を確実に防止でき、また部品点数,実装
コストを低減できるとともに、寿命特性の悪化を回避で
きる効果があるとともに、ガラスを拡散させる際の抵抗
値の変動を回避でき、設計どおりの抵抗値が得られる効
果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】請求項1の発明の一実施例によるノイズフィル
タを説明するための断面図である。
【図2】上記実施例のノイズフィルタを示す斜視図であ
る。
【図3】上記実施例のノイズフィルタの製造方法を示す
分解斜視図である。
【図4】上記実施例のノイズフィルタの等価回路図であ
る。
【図5】上記実施例のノイズフィルタの効果を示す特性
図である。
【図6】上記実施例のノイズフィルタの効果を示す特性
図である。
【符号の説明】
1 ノイズフィルタ 2 セラミック層 3 半導体磁器 3a,3b 左, 右端面(第1,第2側面) 3c,3d 前,後側面(第2,第3側面) 4 端面電極(第1,第2側面電極) 5 側面電極(第3,第4側面電極) 6 第1内部電極 6a 一端縁 7 第2内部電極 7a,7b 両端縁 8 抵抗体 8a,8b 両端縁 9 導出電極
フロントページの続き (72)発明者 坂部 行雄 京都府長岡京市天神2丁目26番10号 株 式会社村田製作所内 (56)参考文献 特開 平1−152704(JP,A) 特開 平3−173402(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01C 7/02 - 7/22 H01G 4/00 - 4/40

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 電圧非直線特性を有する半導体磁器の互
    いに対向する第1,第2側面に第1,第2側面電極を形
    成するとともに、互いに対向する第3,第4側面に第
    3,第4側面電極を形成し、上記半導体磁器の内部に第
    1内部電極を埋設し、該第1内部電極の一端縁を上記第
    1,第2側面電極の一方に接続し、上記半導体磁器の内
    部にセラミック層を挟んで上記第1内部電極と重なり合
    う第2内部電極を埋設するとともに、該第2内部電極の
    両端縁を上記第3,第4側面電極に接続し、さらに上記
    半導体磁器の内部にセラミック層を挟んで上記第1内部
    電極と重なり合う抵抗体を埋設し、該抵抗体の両端縁を
    導出電極を介して上記第1,第2側面電極に接続したこ
    とを特徴とするノイズフィルタ。
  2. 【請求項2】 請求項1において、上記半導体磁器の第
    1〜第4側面電極を除く表面部分をガラス膜で覆ったこ
    とを特徴とするノイズフィルタ。
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