JP3099424B2 - 枚葉式熱処理装置 - Google Patents
枚葉式熱処理装置Info
- Publication number
- JP3099424B2 JP3099424B2 JP03142844A JP14284491A JP3099424B2 JP 3099424 B2 JP3099424 B2 JP 3099424B2 JP 03142844 A JP03142844 A JP 03142844A JP 14284491 A JP14284491 A JP 14284491A JP 3099424 B2 JP3099424 B2 JP 3099424B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat treatment
- quartz tube
- wafer heat
- quartz
- processed
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、枚葉式熱処理装置に関
し、特に放射温度計を備えて温度制御を行なう枚葉式熱
処理装置に関する。
し、特に放射温度計を備えて温度制御を行なう枚葉式熱
処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図２は従来の一例を示す枚葉式熱処理装
置の模式断面図である。従来、この種の枚葉式熱処理装
置は、例えば、図２に示すように、被処理物２を搭載す
るトレイ３と、このトレイ３を収納するとともにガス導
入口９より処理用ガスを導入する石英チューブ１と、こ
の石英チューブ１の開口を閉じるドア６と、石英チュー
ブ１の外壁に配置されるとともに被処理物２を加熱する
ランプ１１と、石英チューブ１の外壁の一部を凹状に形
成してなる窓４及び他の外壁部分を通して被処理物２の
裏面の温度を測定する二つの放射温度計５と、この二つ
の放射温度計５の測定値により石英チューブ１の赤外線
吸収量を演算する演算部７と、これら放射温度計５及び
演算部７の出力によるランプ１１を制御する制御部８と
を備えていた。
置の模式断面図である。従来、この種の枚葉式熱処理装
置は、例えば、図２に示すように、被処理物２を搭載す
るトレイ３と、このトレイ３を収納するとともにガス導
入口９より処理用ガスを導入する石英チューブ１と、こ
の石英チューブ１の開口を閉じるドア６と、石英チュー
ブ１の外壁に配置されるとともに被処理物２を加熱する
ランプ１１と、石英チューブ１の外壁の一部を凹状に形
成してなる窓４及び他の外壁部分を通して被処理物２の
裏面の温度を測定する二つの放射温度計５と、この二つ
の放射温度計５の測定値により石英チューブ１の赤外線
吸収量を演算する演算部７と、これら放射温度計５及び
演算部７の出力によるランプ１１を制御する制御部８と
を備えていた。
【０００３】この枚葉式熱処理装置における被処理物２
の加熱するのに、次に述べる操作で行なわれていた。ま
ず、トレイ３に裁置された被処理物２をランプ１１で加
熱する。そして凹状に形成された窓４を通して被処理物
２の裏面の温度を測定する放射温度計５と石英チューブ
１の他の外壁部分を通して被処理物２の裏面の温度を測
定する放射温度計５のそれぞれ測定値の差及び石英シュ
ーブ１のその部分の厚みのデータを演算部７で演算し、
石英チューブ１の吸収する赤外線量を求めて被処理物２
の温度を算出し、被処理物２の温度が所定の温度に達し
ていなければ、制御部８によりランプ１１の光照射強度
を増加するように制御していた。
の加熱するのに、次に述べる操作で行なわれていた。ま
ず、トレイ３に裁置された被処理物２をランプ１１で加
熱する。そして凹状に形成された窓４を通して被処理物
２の裏面の温度を測定する放射温度計５と石英チューブ
１の他の外壁部分を通して被処理物２の裏面の温度を測
定する放射温度計５のそれぞれ測定値の差及び石英シュ
ーブ１のその部分の厚みのデータを演算部７で演算し、
石英チューブ１の吸収する赤外線量を求めて被処理物２
の温度を算出し、被処理物２の温度が所定の温度に達し
ていなければ、制御部８によりランプ１１の光照射強度
を増加するように制御していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の枚葉式
熱処理装置では、石英チューブの赤外線の吸収量の算出
する際に、石英チューブの凹状に薄く形成される部分の
厚みと他の通常の厚みをもつ部分の厚みとが一定である
ものとして算出しているので、製造時における石英チュ
ーブの厚みのばらつきにより、石英チューブ毎に算出さ
れる赤外線吸収量に差を生じさせ、被処理物の処理温度
と制御しようとする温度とが、石英チューブ毎に差を生
じ、同一条件で処理出来ないという問題がある。
熱処理装置では、石英チューブの赤外線の吸収量の算出
する際に、石英チューブの凹状に薄く形成される部分の
厚みと他の通常の厚みをもつ部分の厚みとが一定である
ものとして算出しているので、製造時における石英チュ
ーブの厚みのばらつきにより、石英チューブ毎に算出さ
れる赤外線吸収量に差を生じさせ、被処理物の処理温度
と制御しようとする温度とが、石英チューブ毎に差を生
じ、同一条件で処理出来ないという問題がある。
【０００５】本発明の目的は、かかる問題を解消すべ
く、石英チューブ毎の処理温度の差を少なくする枚葉式
熱処理装置を提供することである。
く、石英チューブ毎の処理温度の差を少なくする枚葉式
熱処理装置を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の枚葉式熱処理装
置は、被処理物と放射温度計との間に配置される所定厚
みで一様の厚さをもつ石英板を有している。
置は、被処理物と放射温度計との間に配置される所定厚
みで一様の厚さをもつ石英板を有している。
【０００７】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。
る。
【０００８】図１は本発明の一実施例を示す枚葉式熱処
理装置の模式断面図である。この枚葉式熱処理装置は、
図１に示すように、石英チューブ１における赤外線吸収
量を補正する石英板１２を被処理物２と放射温度計５と
の間に配置することである。それ以外は従来と同じであ
る。
理装置の模式断面図である。この枚葉式熱処理装置は、
図１に示すように、石英チューブ１における赤外線吸収
量を補正する石英板１２を被処理物２と放射温度計５と
の間に配置することである。それ以外は従来と同じであ
る。
【０００９】すなわち、この石英板１２は、複数の石英
チューブの中から基準となる石英チューブを選び、他の
石英チューブ１を使用するとき、この石英板１２の厚み
を変えることにより、算出される赤外線吸収量を補正
し、石英チューブ間の温度差を少なくしたことである。
また、もし基準とする石英チューブ１に対して、窓４の
厚みを薄くする方向に補正する必要が生じたとき、窓以
外の部分を通して測定する放射温度計５と被処理物２と
の間にこの石英板１２を配置して補正してやれば良いこ
とになる。
チューブの中から基準となる石英チューブを選び、他の
石英チューブ１を使用するとき、この石英板１２の厚み
を変えることにより、算出される赤外線吸収量を補正
し、石英チューブ間の温度差を少なくしたことである。
また、もし基準とする石英チューブ１に対して、窓４の
厚みを薄くする方向に補正する必要が生じたとき、窓以
外の部分を通して測定する放射温度計５と被処理物２と
の間にこの石英板１２を配置して補正してやれば良いこ
とになる。
【００１０】
【発明の効果】遺贈説明したように本発明は、放射温度
計と被処理物との間に、厚みの一様な石英板を配置する
ことにより、石英チューブの肉厚のばらつきによる赤外
線吸収量を補正し、石英チューブ毎に生ずる被処理物の
温度と制御温度の差を少なくする枚葉式熱処理装置が得
られるという効果がある。
計と被処理物との間に、厚みの一様な石英板を配置する
ことにより、石英チューブの肉厚のばらつきによる赤外
線吸収量を補正し、石英チューブ毎に生ずる被処理物の
温度と制御温度の差を少なくする枚葉式熱処理装置が得
られるという効果がある。
【図１】本発明の一実施例を示す枚葉式熱処理装置の模
式断面図である。
式断面図である。
【図２】従来の一例を示す枚葉式熱処理装置の模式断面
図である。
図である。
１ 石英チューブ ２ 被処理物 ３ トレイ ４ 窓 ５ 放射温度計 ６ ドア ７ 演算部 ８ 制御部 ９ ガス導入口 １０ ガス排気口 １１ ランプ １２ 石英板
Claims (1)
- 【請求項１】 被処理物を搭載するトレイと、このトレ
イを収納するとともに処理用ガスを導入する石英製チュ
ーブと、この石英製チューブの外壁の一部を凹状に形成
してなる窓及び他の外壁部分を通して前記被処理物の裏
面の温度を測定する二つの放射温度計と、この二つの放
射温度計の測定値により前記石英チューブの赤外線吸収
量を演算する演算部とを備える枚葉式熱処理装置におい
て、前記被処理物と前記放射温度計との間に配置される
所定厚みで一様の厚さをもつ石英板を有することを特徴
とする枚葉式熱処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03142844A JP3099424B2 (ja) | 1991-06-14 | 1991-06-14 | 枚葉式熱処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03142844A JP3099424B2 (ja) | 1991-06-14 | 1991-06-14 | 枚葉式熱処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04367223A JPH04367223A (ja) | 1992-12-18 |
| JP3099424B2 true JP3099424B2 (ja) | 2000-10-16 |
Family
ID=15324932
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03142844A Expired - Fee Related JP3099424B2 (ja) | 1991-06-14 | 1991-06-14 | 枚葉式熱処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3099424B2 (ja) |
-
1991
- 1991-06-14 JP JP03142844A patent/JP3099424B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04367223A (ja) | 1992-12-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20000718 |
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