JP3094349B2 - ロータリーエンコーダ - Google Patents

ロータリーエンコーダ

Info

Publication number
JP3094349B2
JP3094349B2 JP04002603A JP260392A JP3094349B2 JP 3094349 B2 JP3094349 B2 JP 3094349B2 JP 04002603 A JP04002603 A JP 04002603A JP 260392 A JP260392 A JP 260392A JP 3094349 B2 JP3094349 B2 JP 3094349B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
rotary encoder
cylindrical portion
main body
magnetic
holder
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP04002603A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH05187886A (ja
Inventor
健次郎 副島
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Koyo Electronics Industries Co Ltd
Original Assignee
Koyo Electronics Industries Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Koyo Electronics Industries Co Ltd filed Critical Koyo Electronics Industries Co Ltd
Priority to JP04002603A priority Critical patent/JP3094349B2/ja
Publication of JPH05187886A publication Critical patent/JPH05187886A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3094349B2 publication Critical patent/JP3094349B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Optical Transform (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、回転角や回転速度或い
は移動距離等の変位量をそれに対応した電気信号に変換
するロータリーエンコーダに関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来のこの種のロータリーエンコーダ
が、図4に示されている。図4において、2はロータリ
ーエンコーダ1の本体、5は磁気円板、6は軸受け、7
は回転軸である。磁気円板5の外周には細かいN極とS
極の着磁面53が形成されている。8は本体2に固定さ
れた磁気検出器である。磁気検出器8には磁場の変化を
感知する磁気抵抗素子80が設けられ、この磁気抵抗素
子80を磁気円板5の着磁面53に狭い磁場間隙Gを隔
てて対向させている。
【0003】このような構成のロータリーエンコーダ1
の回転軸7は、被検体に連結される。そして、被検体の
回転に連れて回転軸7を介して磁気円板5が回転する
と、着磁面53に磁気抵抗素子80が磁場の周期的な変
化を検出する。磁気抵抗素子80の検出した磁気的な変
化は磁気円板5の回転角に対応するので、この回転角か
ら被検体の回転角や回転速度に比例した電気信号を磁気
検出器8から取り出すことができるようになっている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】従来のロータリーエン
コーダ1は上記のように、磁気検出器8の磁気抵抗素子
80を回転する磁気円板5の着磁面53に近接させて被
検体の回転角や回転速度に比例した信号を取り出すよう
に構成されている。図5の(A)に示すようなパルス幅
やパルス間隔が均一で適性な磁気検出器8の出力波形を
得るためには、磁気抵抗素子80と着磁面53の磁場間
隙Gを通常0.5〜0.05mm程度以内の精度に保持
することが要求される。磁場間隙Gが狭いときは(B)
図のように出力波形が不均一になり、磁場間隙Gが広す
ぎると図(C)に示すような縦長のパルス波形になるこ
とがある。
【0005】一方、回転軸7を被検体側の軸に連結する
場合に、両方の軸を正確に同一軸心上に結合することに
困難を伴う。このため、図6の(A),(B)に示され
たような連結機構を利用して、回転軸7と被検体側の軸
を連結することが行われることもある。図6の(A)は
回転軸7と被検体側の軸11とを、カップリング12で
連結したものである。また、(B)は回転軸7と軸11
とをカップリング12で連結すると共に、ロータリーエ
ンコーダの本体2と被検体とを2枚のS字バネ13で連
結して半固定的な構成が採用されている。図6の(A)
と(B)の構成により回転軸7と軸11の軸心のズレを
補償するようにしているが、ズレに伴う回転軸7及び軸
11の軸ブレを防止することが難しかった。この結果、
磁場間隙Gが変化して検出精度が低下するばかりでな
く、磁気円板5か本体に接触して故障が発生することが
あった。
【0006】また、軸ブレを防止するために被検体側の
軸11を延長し、この延長軸11にロータリーエンコー
ダ1の磁気円板5を連結することも考えられる。しかし
ながら、磁気円板5が延長軸11の回転に応じて回転す
るので、磁気円板5の外周の着磁面53と磁気検出器8
で形成する磁場間隙Gが変化して上述した出力波形に悪
影響を与えることがある等の問題点があった。
【0007】本発明は上記のような従来の問題点を解消
するためになされたもので、磁気円板の外周の着磁面と
磁気検出器で形成する磁場間隙Gを常時均一に保持して
適切な波形のパルス出力が得られるように構成すると共
に、軸ブレを吸収して磁気円板の接触に基づく故障の発
生を防止したロータリーエンコーダを実現することを目
的としたものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明は、円筒部を有す
る本体内に設けられ回転軸を介して被検体に連結された
回転円盤の回転変位量を変位信号変換器で電気信号に変
換するロータリーエンコーダにおいて、本体の円筒部内
に同心的に配置されて変位信号変換器の検出部を取付け
た円筒部を有する保持体を設け、保持体の円筒部を周辺
に設けられた複数の弾性体により本体の円筒部に変位可
能に連結すると共に、保持体の内周面に回転円盤を一対
の軸受けにより両側から保持して、軸心に設けられた回
転軸を介して被検体に回転可能に連結したロータリーエ
ンコーダを構成したものである。
【0009】また、本発明は、円筒部を有する本体内に
設けられ回転軸を介して被検体に連結されて外周に着磁
面を設けた磁気円板と、磁気円板の着磁面に磁場間隙を
介して対向する磁気感知素子を配置した磁気検出器とを
備え、磁気検出器により磁気円板の回転変位量を磁気的
に検出して電気信号に変換するロータリーエンコーダに
おいて、本体の円筒部内に同心的に配置されて磁気検出
器を取付けた円筒部を有する保持体を設け、保持体の円
筒部を周辺に設けられた複数の弾性体により本体の円筒
部内に変位可能に連結すると共に、保持体の内周面に磁
気円板を一対の軸受けにより両側から保持して、軸心に
設けられた回転軸を介して被検体に回転可能に連結した
ロータリーエンコーダを構成したものである。
【0010】また、本発明は、円筒部を有する本体内に
設けられ回転軸を介して被検体に連結されて半径方向の
スリットを設けた回転円板と、回転円板のスリットを介
して投光素子に対向する受光素子を配置した光検出器と
を備え、光検出器により回転円板の回転変位量を光学的
に検出して電気信号に変換するロータリーエンコーダに
おいて、本体の円筒部内に同心的に配置されて回転間隙
を挟んで両側に投光素子と受光素子を取付けた円筒部を
有する保持体を設け、保持体の円筒部を周辺に設けられ
た複数の弾性体により本体の円筒部内に変位可能に連結
すると共に、保持体の内周面に回転間隙にスリットを介
入させた回転円板を一対の軸受けにより両側から保持し
て、軸心に設けられた回転軸を介して被検体に回転可能
に連結したロータリーエンコーダを構成したものであ
る。
【0011】さらに、上記において、回転円板と回転軸
とをスプライン結合したロータリーエンコーダを構成し
たものである。
【0012】
【作用】ロータリーエンコーダの本体の円筒部内には、
この円筒部とほぼ同心的な円筒部を有する保持体が設け
られている。保持体と本体の両円筒部はU字状やC字状
の板バネのような複数の弾性対で連結され、保持体があ
る程度自由に変位できるように構成されている。一方、
磁気円板は厚さがやや厚く作られ、着磁面を形成した大
径部を挟んで両側に小径部が設けられている。磁気円板
の両側の小径部には、外輪を保持体の内周面に圧入した
2個のベアリングの内輪側がそれぞれ固く嵌め合わされ
て回転可能に固定している。また、磁気円板における大
径部の外周面のN.S極を連続形成した着磁面は、磁場
間隙Gを隔てて保持体内面に取付けられた磁気検出器の
磁気抵抗素子に対向している。
【0013】そして、回転軸を経て磁気円板を連結した
被検体の回転に連れて磁気円板が回転すると、着磁面が
一定に保たれた磁場間隙Gを介して周期的な磁場の変化
を磁気抵抗素子に与えて、磁気検出器から被検体の回転
に対応するパルス信号が導出される。万一、回転軸に軸
ブレが発生すると、保持体を本体に連結した弾性体が変
形して、磁気円板を保持体と共に揺動させながら回転軸
に追随させて軸ブレが吸収される。
【0014】
【実施例】 実施例1.図1は本発明の実施例1の構成説明図で、従
来装置と同じ部分に同一符号を付し、一部説明が重複す
るがやや詳しく説明する。図1において、1はロータリ
ーエンコーダである。2はロータリーエンコーダ1の本
体、21は本体2の円筒部、3は保持体、31は保持体
3の円筒部である。保持体3は本体2内に配置され、保
持体3の円筒部31が本体2の円筒部21とほぼ同心的
に設けられている。4は円筒部21と31を連結した複
数個の板バネである。板バネ4は図示のようにU字状に
折り曲げられ、両端が本体2と保持体3に固定されてい
る。
【0015】5は中空状の磁気円板、50は磁気円板5
の基板である。基板50の幅はやや厚く作られ、中央の
大径部51を挟んで両側に小径部52が形成されてい
る。53は着磁面で、大径部51の外周面に設けられて
いる。磁気円板5の基板50には、例えば非磁性材のア
ルミニウムが用いられて外周に高保磁力の針状鉄粉系磁
性材料を塗布し、乾燥後パルスモータで回転してパルス
数で等分割して着磁面53が形成される。着磁面53は
図示のように、N極とS極同志が交互に隣り合わせにな
って円周方向に連続的に形成されている。6はボールを
用いたラジアル型の一対の軸受け、7は軸心に設けられ
た回転軸である。一対の軸受け6の外輪61はそれぞれ
保持体3の内周面に圧入され、内輪62は磁気円板5の
両側の小径部52に締まり嵌めで共に回転自在に固く嵌
め合わされている。
【0016】8は保持体3に設けられた磁気検出器、8
0は磁気抵抗素子である。磁気抵抗素子80には、例え
ば磁気抵抗効果によって電気抵抗が磁束密度に比例する
強磁性金属薄膜抵抗素子が用いられ、磁気円板5の着磁
面53と同心的な円弧状に形成されて前述のような狭い
磁場間隙Gを隔てて対向している。
【0017】9はプリント基板、91はプリント基板9
に実装されたコンデンサや抵抗等の電子部品、92は導
出用の導線である。図示されていないがプリント基板9
にはリード線により磁気検出器8が接続されて、磁気抵
抗素子80が検出した磁気円板5の回転に伴う磁気的変
化に関連する検出信号が導線92により外部に導出され
る。また、10は蓋体である。蓋体10は本体2の前面
を包囲して、内部の磁気円板5や磁気検出器8等を保護
する。
【0018】上述のように構成された本発明実施例1の
動作を、次に説明する。ロータリーエンコーダ1の回転
軸7が、例えば原動機の弾み車等の被検体に連結され
る。連結された被検体の弾み車が回転すると、この回転
に連れて回転軸7が回転する。そして、図2の(A)に
示すように、円周方向にN極とS極を交互に隣り合わせ
に連続形成した着磁面53を設けた磁気円板5が、回転
軸7と一体に回転する。このため、磁気円板5の周辺の
磁場の磁束密度が周期的に変化し〔(B)〕、着磁面5
3と磁場間隙Gを隔てて配置された磁気抵抗素子80が
この磁束密度の変化を電気抵抗の変化として検出する。
磁気検出器8の検出した電気的な変化は磁気円板5の回
転角に対応するので、この回転角から(C)のような被
検体の回転角に比例したパルス信号をプリント基板9を
介して取り出すことができる。
【0019】この場合、保持体3の円筒部31は複数の
板バネ4により本体2の円筒部21内でほぼ同心的に揺
動可能に保持されている。このため、回転軸7と被検体
の軸(図示せず)のズレ等によって回転軸7が傾斜する
と、複数の板バネ4が変形して保持体3が回転軸7の傾
きに追随して揺動しながら軸ブレが吸収される。一方、
磁気円板5は上述のように、軸受け6により保持体3の
円筒部31内に嵌合して固定されている。また、磁気検
出器8は、保持体3の円筒部31に一体に設けられてい
る。したがって、磁気円板5と磁気検出器8との相対的
な位置が不変で、着磁面53と磁気抵抗素子80で形成
する磁場間隙Gを軸ブレに無関係に常時一定に保持され
ることになる。
【0020】実施例2. 図3は本発明の実施例2の構成説明図である。図3の実
施例2では、実施例1と異なり被検体の回転角の検出手
段に光学的な検出器が用いられている。図3において、
5は保持体3に一対の軸受け6で両側が保持された中空
の回転円板である。回転円板5は回転軸7にスプランイ
55で着脱自在に連結され、周辺部には放射状に多数の
スリット56が穿設されている。8は保持体3に設けら
れた光検出器、84は回転円板5のスリット56が介入
する回転間隙、85と86は光検出器8の投光素子と受
光素子、87は固定スリットである。投光素子85には
例えば発光ダイオードが用いられ、受光素子86にはフ
ォトトランジスタが使用される。また、固定スリット8
7は回転円板5上のスリット56が同一直線上に一致し
たときに、投光素子85から投射された光を受光素子8
6に受光させるようになっている。そして、この実施例
2の場合も実施例1と同様に、保持体3が複数個の板バ
ネ4によって本体2の円筒部21に揺動可能に保持され
ている。15はオイルシールである。
【0021】図3に示された実施例2において被検体が
回転すると、回転軸7に回転トルクが伝達されて回転間
隙84にスリット56を介入させた回転円板5が回転す
る。回転する回転円板5のスリット56が固定スリット
87からズレているときは、受光素子86の入射光がな
く出力は0である。回転円板5が回転して上記のように
回転円板5上のスリット56が固定スリット87と同一
直線上に一致すると、投光素子85から出た光が受光素
子86を照射する。そして、更に回転円板5が回転して
スリット56が固定スリット87からズレると、再び受
光素子86の入射光がなくなって出力が0になる。この
結果、図2の(B)に示されたような正弦波状に周期的
に変化する断続光を受光素子86が受光して、光検出器
8の出力端に同図(C)のようなパルス信号を取り出す
ことができる。実施例2においても保持体3が複数の板
バネ4によって本体2に連結されているので、この板バ
ネ4の変形により軸ブレが吸収されることは実施例1と
変わりがない。
【0022】なお、上述の実施例1ではN極とS極の着
磁ピッチが粗く単一の着磁トラックの場合を例示して説
明したが、細かい着磁ピッチでパルス周波数の高い高分
解能形でもよく、2つの着磁トラックで90度位相をズ
ラせた正・逆方向型のロータリーエンコーダを構成する
こともできる。また、保持体3を開放端を固定したU字
形の板バネ4で連結したが、開放端を本体に固定して途
中を保持対側に固定してもよく、螺旋形のバネで連結し
てもよい。螺旋バネで保持体を本体に連結すれば、保持
体が三次元的に変位するので軸ブレの吸収が一層効果的
になる。
【0023】
【発明の効果】本発明は、円筒部を有する本体内に設け
られ回転軸を介して被検体に連結された回転円盤の回転
変位量を変位信号変換器で電気信号に変換するロータリ
ーエンコーダにおいて、本体の円筒部内に同心的に配置
されて変位信号変換器の検出部を取付けた円筒部を有す
る保持体を設け、保持体の円筒部を周辺に設けられた複
数の弾性体により本体の円筒部に変位可能に連結すると
共に、保持体の内周面に回転円盤を一対の軸受けにより
両側から保持して、軸心に設けられた回転軸を介して被
検体に回転可能に連結したロータリーエンコーダを構成
した。
【0024】また、本発明は、円筒部を有する本体内に
設けられ回転軸を介して被検体に連結されて外周に着磁
面を設けた磁気円板と、磁気円板の着磁面に磁場間隙を
介して対向する磁気感知素子を配置した磁気検出器とを
備え、磁気検出器により磁気円板の回転変位量を磁気的
に検出して電気信号に変換するロータリーエンコーダに
おいて、本体の円筒部内に同心的に配置されて磁気検出
器を取付けた円筒部を有する保持体を設け、保持体の円
筒部を周辺に設けられた複数の弾性体により本体の円筒
部内に変位可能に連結すると共に、保持体の内周面に磁
気円板を一対の軸受けにより両側から保持して、軸心に
設けられた回転軸を介して被検体に回転可能に連結した
ロータリーエンコーダを構成した。
【0025】また、本発明は、円筒部を有する本体内に
設けられ回転軸を介して被検体に連結されて半径方向の
スリットを設けた回転円板と、回転円板のスリットを介
して投光素子に対向する受光素子を配置した光検出器と
を備え、光検出器により回転円板の回転変位量を光学的
に検出して電気信号に変換するロータリーエンコーダに
おいて、本体の円筒部内に同心的に配置されて回転間隙
を挟んで両側に投光素子と受光素子を取付けた円筒部を
有する保持体を設け、保持体の円筒部を周辺に設けられ
た複数の弾性体により本体の円筒部内に変位可能に連結
すると共に、保持体の内周面に回転間隙にスリットを介
入させた回転円板を一対の軸受けにより両側から保持し
て、軸心に設けられた回転軸を介して被検体に回転可能
に連結したロータリーエンコーダを構成した。
【0026】さらに、上記において、回転円板と回転軸
とをスプライン結合したロータリーエンコーダを構成し
た。
【0027】上記のような構成上の特徴を有する本発明
では、本体の円筒部内には変位信号変換器の検出部を取
付けた円筒部を同心的に配置した保持体が設けられてい
る。そして、この保持体の内周面には一対の軸受けによ
って両側が保持された回転円盤が、軸心に設けられた回
転軸を介して被検体に回転可能に連結されている。この
ため、回転円盤と変位信号変換器の検出部が一対の軸受
けを介して一体化されて回転側と固定側の両者の相対的
な位置が不変になり、しかも回転円盤は両側が支持され
て変位信号変換器が対称構造になっているので安定して
回転することになる。この結果、保持体が弾性体で本体
に保持されて軸ブレが吸収されることは勿論のこと、保
持体の内部には変位信号変換器が内蔵されているので小
型且つコンパクトな構造にすることができる。
【0028】よって、本発明によれば故障がなくコンパ
クトで、精度の高いロータリーエンコーダを提供するこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例1の構成説明図である。
【図2】(A)〜(C)は本発明の実施例1の動作説明
図である。
【図3】本発明の実施例2の構成説明図である。
【図4】従来のロータリーエンコーダの構成説明図であ
る。
【図5】(A)〜(C)は図4の動作説明図である。
【図6】(A),(B)は従来装置の連結機構の説明図
である。
【符号の説明】
1 ロータリーエンコーダ 2 本体 3 保持体 4 弾性体(板バネ) 5 回転円板(磁気円板) 6 軸受け 7 回転軸 8 変位信号変換器(磁気検出器・光検出器) 21 円筒部 31 円筒部 53 着磁面 80 磁気抵抗素子 G 磁場間隙

Claims (4)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 円筒部を有する本体内に設けられ回転軸
    を介して被検体に連結された回転円盤の回転変位量を変
    位信号変換器で電気信号に変換するロータリーエンコー
    ダにおいて、前記本体の円筒部内に同心的に配置されて前記変位信号
    変換器の検出部を取付けた円筒部を有する保持体を設
    け、該保持体の円筒部を周辺に設けられた複数の弾性体
    により前記本体の円筒部に変位可能に連結すると共に、
    該保持体の内周面に前記回転円盤を一対の軸受けにより
    両側から保持して、軸心に設けられた前記回転軸を介し
    て被検体に回転可能に連結した ことを特徴とするロータ
    リーエンコーダ。
  2. 【請求項2】 円筒部を有する本体内に設けられ回転軸
    を介して被検体に連結されて外周に着磁面を設けた磁気
    円板と、該磁気円板の着磁面に磁場間隙を介して対向す
    る磁気感知素子を配置した磁気検出器とを備え、該磁気
    検出器により前記磁気円板の回転変位量を磁気的に検出
    して電気信号に変換するロータリーエンコーダにおい
    て、前記本体の円筒部内に同心的に配置されて前記磁気検出
    器を取付けた円筒部を有する保持体を設け、該保持体の
    円筒部を周辺に設けられた複数の弾性体により前記本体
    の円筒部内に変位可能に連結すると共に、該保持体の内
    周面に前記磁気円板を一対の軸受けにより両側から保持
    して、軸心に設けられた前記回転軸を介して被検体に回
    転可能に連結した ことを特徴とするロータリーエンコー
    ダ。
  3. 【請求項3】 円筒部を有する本体内に設けられ回転軸
    を介して被検体に連結されて半径方向のスリットを設け
    た回転円板と、該回転円板のスリットを介して投光素子
    に対向する受光素子を配置した光検出器とを備え、該光
    検出器により前記回転円板の回転変位量を光学的に検出
    して電気信号に変換するロータリーエンコーダにおい
    て、前記本体の円筒部内に同心的に配置されて回転間隙を挟
    んで両側に前記投光素子と受光素子を取付けた円筒部を
    有する保持体を設け、該保持体の円筒部を周辺に設けら
    れた複数の弾性体により前記本体の円筒部内に変位可能
    に連結すると共に、該保持体の内周面に前記回転間隙に
    スリットを介入させた回転円板を一対の 軸受けにより両
    側から保持して、軸心に設けられた前記回転軸を介して
    被検体に回転可能に連結した ことを特徴とするロータリ
    ーエンコーダ。
  4. 【請求項4】 前記回転円板と回転軸とをスプライン結
    合したことを特徴とする請求項3記載のロータリーエン
    コーダ。
JP04002603A 1992-01-10 1992-01-10 ロータリーエンコーダ Expired - Fee Related JP3094349B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP04002603A JP3094349B2 (ja) 1992-01-10 1992-01-10 ロータリーエンコーダ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP04002603A JP3094349B2 (ja) 1992-01-10 1992-01-10 ロータリーエンコーダ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH05187886A JPH05187886A (ja) 1993-07-27
JP3094349B2 true JP3094349B2 (ja) 2000-10-03

Family

ID=11533969

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP04002603A Expired - Fee Related JP3094349B2 (ja) 1992-01-10 1992-01-10 ロータリーエンコーダ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3094349B2 (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7956606B2 (en) * 2008-06-24 2011-06-07 Woodward Hrt, Inc. Position sensing assembly
DE102011118928B4 (de) * 2011-11-21 2017-12-07 Bourns, Inc. Drehwinkelsensor

Also Published As

Publication number Publication date
JPH05187886A (ja) 1993-07-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102472642B (zh) 多周期绝对位置传感器
US4851771A (en) Magnetic encoder for detection of incremental and absolute value displacement
JP4169536B2 (ja) アクチュエータ
WO2000046581A1 (en) Shaft sensor for angular velocity, torque, power
JP5041401B2 (ja) 回転センサ
WO2012063599A1 (ja) 非接触式角度センサ
JP3094349B2 (ja) ロータリーエンコーダ
JPH07134047A (ja) 多回転エンコーダ
JPH0350965B2 (ja)
JP5343592B2 (ja) エンコーダ
JPH10332732A (ja) レゾルバ内蔵型角加速度検出装置
JPH05307047A (ja) 慣性センサ
FR3118804A1 (fr) Capteur de position sans contact comportant un aimant permanent.
JP2550085B2 (ja) 絶対位置検出装置
JP4737372B2 (ja) 回転角度検出装置
JPH0943072A (ja) 力学量センサ
JP3305588B2 (ja) 回転角検出装置
JP3082056B2 (ja) ロータリーエンコーダ
JPH0381631A (ja) 回転センサ
JPH039414B2 (ja)
JP3673138B2 (ja) トルクセンサ
KR100458235B1 (ko) 각도 검출기
JPS61235723A (ja) ロ−タリ−エンコ−ダ
JPS6230461Y2 (ja)
JPH08129022A (ja) 回転速度センサー

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080804

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090804

Year of fee payment: 9

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees