JP3090521B2 - 薄膜の製造方法 - Google Patents
薄膜の製造方法Info
- Publication number
- JP3090521B2 JP3090521B2 JP04038995A JP3899592A JP3090521B2 JP 3090521 B2 JP3090521 B2 JP 3090521B2 JP 04038995 A JP04038995 A JP 04038995A JP 3899592 A JP3899592 A JP 3899592A JP 3090521 B2 JP3090521 B2 JP 3090521B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substance
- film
- thin film
- pigments
- photo
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P20/00—Technologies relating to chemical industry
- Y02P20/50—Improvements relating to the production of bulk chemicals
- Y02P20/584—Recycling of catalysts
Landscapes
- Manufacture Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は薄膜の製造方法に関し、
詳しくは各種の製膜物質のミセル溶液あるいは分散液に
光照射を行うだけで、所望する被製膜物質上に自在に薄
膜を形成することのできる薄膜の製造方法に関するもの
である。
詳しくは各種の製膜物質のミセル溶液あるいは分散液に
光照射を行うだけで、所望する被製膜物質上に自在に薄
膜を形成することのできる薄膜の製造方法に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】従来、
薄膜の製造法としては、蒸着法，スピンコート法，ＣＶ
Ｄ法，スパッタ法，ＬＢ膜法，ディップ法，電着法，ミ
セル電解法，印刷法，分散法，染色法等が知られてい
る。その中でも、ミセル電解法による薄膜の製造につい
ては、その精度も良く、工業的利用が期待されている。
しかし、ミセル電解法や電着法では、電気を用いて製膜
するため、被製膜物質が導電体である必要があった。ま
た、カラーフィルタの場合、ＩＴＯ（Indium Tin Oxid
e）をフォトリソグラフィー法でパターニングするた
め、露光工程やエッチング工程が必要であるとともに、
エッチング条件の制限のため、ギャップ５μｍ以下のパ
ターン精度を得ることは難しかった。そこで本発明者ら
は、電気を用いることなく、またエッチング工程を行う
ことなく、自在に薄膜を形成することのできる全く新た
な薄膜の製造法を開発すべく鋭意研究を重ねた。
薄膜の製造法としては、蒸着法，スピンコート法，ＣＶ
Ｄ法，スパッタ法，ＬＢ膜法，ディップ法，電着法，ミ
セル電解法，印刷法，分散法，染色法等が知られてい
る。その中でも、ミセル電解法による薄膜の製造につい
ては、その精度も良く、工業的利用が期待されている。
しかし、ミセル電解法や電着法では、電気を用いて製膜
するため、被製膜物質が導電体である必要があった。ま
た、カラーフィルタの場合、ＩＴＯ（Indium Tin Oxid
e）をフォトリソグラフィー法でパターニングするた
め、露光工程やエッチング工程が必要であるとともに、
エッチング条件の制限のため、ギャップ５μｍ以下のパ
ターン精度を得ることは難しかった。そこで本発明者ら
は、電気を用いることなく、またエッチング工程を行う
ことなく、自在に薄膜を形成することのできる全く新た
な薄膜の製造法を開発すべく鋭意研究を重ねた。
【０００３】
【課題を解決するための手段】その結果、各種の製膜物
質を含みかつ特定濃度の光酸化触媒と光酸化触媒再生物
質とを一定範囲の混合比で添加してなるミセル溶液ある
いは分散液に、液のｐＨを５以下に調整した後、被製膜
物質を挿入し、液と被製膜物質との接触面に光照射を行
うことにより、目的を達成できることを見出した。本発
明はかかる知見に基いて完成したものである。
質を含みかつ特定濃度の光酸化触媒と光酸化触媒再生物
質とを一定範囲の混合比で添加してなるミセル溶液ある
いは分散液に、液のｐＨを５以下に調整した後、被製膜
物質を挿入し、液と被製膜物質との接触面に光照射を行
うことにより、目的を達成できることを見出した。本発
明はかかる知見に基いて完成したものである。
【０００４】すなわち、無機物質あるいは疎水性有機物
質を水性媒体中でフェロセン誘導体からなる界面活性剤
を用いて分散あるいは可溶化するとともに、１〜１００
ｍＭの範囲の光酸化触媒と１〜１００ｍＭの範囲の光酸
化触媒再生物質とを１：５〜５：１の範囲で添加して得
られるミセル溶液あるいは分散液に、そのｐＨを５以下
に調整したのち、被製膜物質を挿入し、前記ミセル溶液
あるいは分散液と前記被製膜物質との接触面に光照射を
行うことにより、該被製膜物質上の非露光部分に前記無
機物質あるいは疎水性有機物質の薄膜を形成することを
特徴とする薄膜の製造方法を提供するものである。
質を水性媒体中でフェロセン誘導体からなる界面活性剤
を用いて分散あるいは可溶化するとともに、１〜１００
ｍＭの範囲の光酸化触媒と１〜１００ｍＭの範囲の光酸
化触媒再生物質とを１：５〜５：１の範囲で添加して得
られるミセル溶液あるいは分散液に、そのｐＨを５以下
に調整したのち、被製膜物質を挿入し、前記ミセル溶液
あるいは分散液と前記被製膜物質との接触面に光照射を
行うことにより、該被製膜物質上の非露光部分に前記無
機物質あるいは疎水性有機物質の薄膜を形成することを
特徴とする薄膜の製造方法を提供するものである。
【０００５】本発明において使用される製膜物質（薄膜
素材）は、様々なものがあり、大きく無機物質および疎
水性有機物質に分けることができる。ここで疎水性有機
物質としては、各種のものがあるが、例えばフタロシア
ニン，フタロシアニンの金属錯体およびこれらの誘導
体、ナフタロシアニン，ナフタロシアニンの金属錯体お
よびこれらの誘導体、ポルフィリン，ポルフィリンの金
属錯体およびこれらの誘導体、ペリレン，ペリレンの誘
導体、キナクリドン，イソインドリノン，ジスアゾ，ジ
オキサジン，ビオロゲン，スーダンおよびこれらの誘導
体などのカラーフィルタ顔料や有機色素をはじめ１，
１’−ジヘプチル−４，４’−ビピリジニウムジブロマ
イド，１，１’−ジドデシル−４，４’−ビピリジニウ
ムジブロマイドなどのエレクトロクロミック材料，６−
ニトロ−１，３，３−トリメチルスピロ−（２’Ｈ−
１’−ベンゾピラン−２，２’−インドリン）（通称ス
ピロピラン）などの感光材料（フォトクロミック材料）
や光センサー材料，ｐ−アゾキシアニソールなどの液晶
表示用色素、更に「カラーケミカル事典」株式会社シー
エムシー，１９８８年３月２８日発行の第５４２〜７１
７頁に列挙されているエレクトロニクス用色素，記録用
色素，環境クロミズム用色素，写真用色素，エネルギー
用色素，バイオメディカル用色素，食品・化粧用色素，
染料，顔料，特殊着色用色素のうちの疎水性の化合物な
どがあげられる。また、７，７，８，８−テトラシアノ
キノンジメタン（ＴＣＮＱ）とテトラチアフルバレン
（ＴＴＦ）との１：１錯体などの有機導電材料やガスセ
ンサー材料，ペンタエリスリトールジアクリレートなど
の光硬化性塗料，ステアリン酸などの絶縁材料，１−フ
ェニルアゾ−２−ナフトールなどのジアゾタイプの感光
材料や塗料等をあげることができる。さらには、水に不
溶性のポリマー、例えばポリカーボネート，ポリスチレ
ン，ポリエチレン，ポリプロピレン，ポリアミド，ポリ
フェニレンサルファイド（ＰＰＳ），ポリフェニレンオ
キサイド（ＰＰＯ），ポリアクリロニトリル（ＰＡＮ）
などの汎用ポリマー、またポリフェニレン，ポリピロー
ル，ポリアニリン，ポリチオフェン，アセチルセルロー
ス，ポリビニルアセテート，ポリビニルブチラールをは
じめ、各種各様のポリマー（ポリビニルピリジンなど）
あるいはコポリマー（メタクリル酸メチルとメタクリル
酸とのコポリマーなど）をあげることができる。
素材）は、様々なものがあり、大きく無機物質および疎
水性有機物質に分けることができる。ここで疎水性有機
物質としては、各種のものがあるが、例えばフタロシア
ニン，フタロシアニンの金属錯体およびこれらの誘導
体、ナフタロシアニン，ナフタロシアニンの金属錯体お
よびこれらの誘導体、ポルフィリン，ポルフィリンの金
属錯体およびこれらの誘導体、ペリレン，ペリレンの誘
導体、キナクリドン，イソインドリノン，ジスアゾ，ジ
オキサジン，ビオロゲン，スーダンおよびこれらの誘導
体などのカラーフィルタ顔料や有機色素をはじめ１，
１’−ジヘプチル−４，４’−ビピリジニウムジブロマ
イド，１，１’−ジドデシル−４，４’−ビピリジニウ
ムジブロマイドなどのエレクトロクロミック材料，６−
ニトロ−１，３，３−トリメチルスピロ−（２’Ｈ−
１’−ベンゾピラン−２，２’−インドリン）（通称ス
ピロピラン）などの感光材料（フォトクロミック材料）
や光センサー材料，ｐ−アゾキシアニソールなどの液晶
表示用色素、更に「カラーケミカル事典」株式会社シー
エムシー，１９８８年３月２８日発行の第５４２〜７１
７頁に列挙されているエレクトロニクス用色素，記録用
色素，環境クロミズム用色素，写真用色素，エネルギー
用色素，バイオメディカル用色素，食品・化粧用色素，
染料，顔料，特殊着色用色素のうちの疎水性の化合物な
どがあげられる。また、７，７，８，８−テトラシアノ
キノンジメタン（ＴＣＮＱ）とテトラチアフルバレン
（ＴＴＦ）との１：１錯体などの有機導電材料やガスセ
ンサー材料，ペンタエリスリトールジアクリレートなど
の光硬化性塗料，ステアリン酸などの絶縁材料，１−フ
ェニルアゾ−２−ナフトールなどのジアゾタイプの感光
材料や塗料等をあげることができる。さらには、水に不
溶性のポリマー、例えばポリカーボネート，ポリスチレ
ン，ポリエチレン，ポリプロピレン，ポリアミド，ポリ
フェニレンサルファイド（ＰＰＳ），ポリフェニレンオ
キサイド（ＰＰＯ），ポリアクリロニトリル（ＰＡＮ）
などの汎用ポリマー、またポリフェニレン，ポリピロー
ル，ポリアニリン，ポリチオフェン，アセチルセルロー
ス，ポリビニルアセテート，ポリビニルブチラールをは
じめ、各種各様のポリマー（ポリビニルピリジンなど）
あるいはコポリマー（メタクリル酸メチルとメタクリル
酸とのコポリマーなど）をあげることができる。
【０００６】一方、無機物質としては、無機酸化物，無
機硫化物など各種のものがあるが、例えばＴｉＯ2 ，
Ｃ，ＣｄＳ，ＦｅＯ3 ，Ｙ2 Ｏ3 −ＺｒＯ2 ，Ｚｒ
Ｏ2 ，Ａl2Ｏ3 ，ＣｕＳ，ＺｎＳ，ＴｅＯ2 ，ＬｉＮｂ
Ｏ3 ，Ｓi3Ｎ4 ，ＳｒＣｅＯ3 ，ＷＯ3 ，ＰＬＺＴさら
には各種の超電導酸化物などをあげることができる。こ
れらの各種無機物質または疎水性有機物質の内、赤色，
緑色，青色の三原色の分光特性を有する顔料あるいは染
料、すなわち、赤色，緑色及び青色の疎水性色素を使用
するれば、カラーフィルターの製造に利用できる。赤色
色素としては、ペリレン系顔料，レーキ顔料，アゾ系顔
料，キナクリドン系顔料，アントラキノン系顔料あるい
はアントラセン系顔料等があり、例えばペリレン顔料，
レーキ顔料（Ｃa,Ｂa,Ｓr,Ｍn)，キナクリドン，ナフト
ールＡＳ，シコミン顔料，アントラキノン（Sudan Ｉ，
II，III,Ｒ），ジスアゾ，ベンゾピラン，硫化カドミウ
ム系顔料，Ｆｅ（III)酸化物系顔料などがあり、そのう
ちペリレン顔料やレーキ顔料が好ましい。また、緑色色
素としては、ハロゲン多置換フタロシアニン系顔料，ハ
ロゲン多置換銅フタロシアニン系顔料あるいはトリフェ
ニルメタン系塩基性染料等があり、例えばクロロ多置換
フタロシアニン，その銅錯体あるいはバリウム−トリフ
ェニルメタン染料などがあり、青色色素としては、銅フ
タロシアニン系顔料，インダンスロン系顔料，インドフ
ェノール系顔料あるいはシアニン系顔料などがあり、例
えばクロロ銅フタロシアニン，クロロアルミニウムフタ
ロシアニン，バナジン酸フタロシアニン，マグネシウム
フタロシアニン，亜鉛フタロシアニン，鉄フタロシアニ
ン，コバルトフタロシアニンなどのフタロシアニン金属
錯体，フタロシアニン，メロシアニンあるいはインドフ
ェノールブルーなどがある。また、色度調整用の黄色顔
料として、ジスアゾ顔料，イソインドリノン顔料が挙げ
られ、紫色顔料として、ジオキサジン顔料が挙げられ
る。
機硫化物など各種のものがあるが、例えばＴｉＯ2 ，
Ｃ，ＣｄＳ，ＦｅＯ3 ，Ｙ2 Ｏ3 −ＺｒＯ2 ，Ｚｒ
Ｏ2 ，Ａl2Ｏ3 ，ＣｕＳ，ＺｎＳ，ＴｅＯ2 ，ＬｉＮｂ
Ｏ3 ，Ｓi3Ｎ4 ，ＳｒＣｅＯ3 ，ＷＯ3 ，ＰＬＺＴさら
には各種の超電導酸化物などをあげることができる。こ
れらの各種無機物質または疎水性有機物質の内、赤色，
緑色，青色の三原色の分光特性を有する顔料あるいは染
料、すなわち、赤色，緑色及び青色の疎水性色素を使用
するれば、カラーフィルターの製造に利用できる。赤色
色素としては、ペリレン系顔料，レーキ顔料，アゾ系顔
料，キナクリドン系顔料，アントラキノン系顔料あるい
はアントラセン系顔料等があり、例えばペリレン顔料，
レーキ顔料（Ｃa,Ｂa,Ｓr,Ｍn)，キナクリドン，ナフト
ールＡＳ，シコミン顔料，アントラキノン（Sudan Ｉ，
II，III,Ｒ），ジスアゾ，ベンゾピラン，硫化カドミウ
ム系顔料，Ｆｅ（III)酸化物系顔料などがあり、そのう
ちペリレン顔料やレーキ顔料が好ましい。また、緑色色
素としては、ハロゲン多置換フタロシアニン系顔料，ハ
ロゲン多置換銅フタロシアニン系顔料あるいはトリフェ
ニルメタン系塩基性染料等があり、例えばクロロ多置換
フタロシアニン，その銅錯体あるいはバリウム−トリフ
ェニルメタン染料などがあり、青色色素としては、銅フ
タロシアニン系顔料，インダンスロン系顔料，インドフ
ェノール系顔料あるいはシアニン系顔料などがあり、例
えばクロロ銅フタロシアニン，クロロアルミニウムフタ
ロシアニン，バナジン酸フタロシアニン，マグネシウム
フタロシアニン，亜鉛フタロシアニン，鉄フタロシアニ
ン，コバルトフタロシアニンなどのフタロシアニン金属
錯体，フタロシアニン，メロシアニンあるいはインドフ
ェノールブルーなどがある。また、色度調整用の黄色顔
料として、ジスアゾ顔料，イソインドリノン顔料が挙げ
られ、紫色顔料として、ジオキサジン顔料が挙げられ
る。
【０００７】なお、上記各物質のうち、特にフタロシア
ニン金属錯体（銅錯体，クロロアルミニウム錯体，バナ
ジン酸クロロインジウム錯体，インジウム錯体など），
ペリレン顔料，ジアゾ顔料，硫化カドミウム系顔料等
は、電荷発生物質として作用するので、電子写真感光体
を製造する際の素材として有効である。また、これらの
無機物質または疎水性有機物質は、その形状や大きさ等
に関しては特に制限はないが、好ましくは粒径１０μｍ
以下の粉末が用いられる。
ニン金属錯体（銅錯体，クロロアルミニウム錯体，バナ
ジン酸クロロインジウム錯体，インジウム錯体など），
ペリレン顔料，ジアゾ顔料，硫化カドミウム系顔料等
は、電荷発生物質として作用するので、電子写真感光体
を製造する際の素材として有効である。また、これらの
無機物質または疎水性有機物質は、その形状や大きさ等
に関しては特に制限はないが、好ましくは粒径１０μｍ
以下の粉末が用いられる。
【０００８】次に、本発明において、薄膜形成の際に用
いる水性媒体としては、水をはじめ、水とアルコールの
混合液，水とアセトンの混合液など様々な媒体をあげる
ことができる。
いる水性媒体としては、水をはじめ、水とアルコールの
混合液，水とアセトンの混合液など様々な媒体をあげる
ことができる。
【０００９】また、本発明の方法で用いる界面活性剤
は、フェロセン誘導体を有効成分として含有する界面活
性剤であり、非イオン性，カチオン性，アニオン性等各
種のものがある。具体的には、特開昭６３−２４３２９
８号公報に示されるようなアンモニウム型のフェロセン
誘導体、国際公開ＷＯ８９／０１９３９号明細書に示さ
れるようなエーテル型のフェロセン誘導体やエステル型
のフェロセン誘導体、特開平１−２２６８９４号公報に
示されるようなピリジニウム型のフェロセン誘導体、さ
らには特開平２−８８３８７号公報，同１−４５３７０
号公報，同２−９６５８５号公報，同２−２５０８９２
号公報に示されるような各種のフェロセン誘導体を挙げ
ることができる。
は、フェロセン誘導体を有効成分として含有する界面活
性剤であり、非イオン性，カチオン性，アニオン性等各
種のものがある。具体的には、特開昭６３−２４３２９
８号公報に示されるようなアンモニウム型のフェロセン
誘導体、国際公開ＷＯ８９／０１９３９号明細書に示さ
れるようなエーテル型のフェロセン誘導体やエステル型
のフェロセン誘導体、特開平１−２２６８９４号公報に
示されるようなピリジニウム型のフェロセン誘導体、さ
らには特開平２−８８３８７号公報，同１−４５３７０
号公報，同２−９６５８５号公報，同２−２５０８９２
号公報に示されるような各種のフェロセン誘導体を挙げ
ることができる。
【００１０】本発明の方法では、光酸化触媒と光酸化触
媒再生物質を併用することが必要である。また、ミセル
溶液あるいは分散液中における光酸化触媒とその再生物
質の濃度は、ともに１〜１００ｍＭの範囲に選定し、か
つ両者の混合比を１：５〜５：１の範囲で定めることが
必要である。ここで、濃度が１ｍＭ未満では、光酸化反
応や触媒の再生が充分に進行せず、逆に１００ｍＭを超
えると、これらの触媒や再生物質が、形成される薄膜に
混入して、薄膜の性能低下を引き起こすおそれがある。
この光酸化触媒としては、様々なものを使用することが
できるが、通常はルテニウム錯体等が好適に使用され
る。また、光酸化触媒再生物質は、劣化した前記光酸化
触媒を再生できるものであれば、各種のものが使用可能
であるが、通常はコバルト錯体が好適に使用される。
媒再生物質を併用することが必要である。また、ミセル
溶液あるいは分散液中における光酸化触媒とその再生物
質の濃度は、ともに１〜１００ｍＭの範囲に選定し、か
つ両者の混合比を１：５〜５：１の範囲で定めることが
必要である。ここで、濃度が１ｍＭ未満では、光酸化反
応や触媒の再生が充分に進行せず、逆に１００ｍＭを超
えると、これらの触媒や再生物質が、形成される薄膜に
混入して、薄膜の性能低下を引き起こすおそれがある。
この光酸化触媒としては、様々なものを使用することが
できるが、通常はルテニウム錯体等が好適に使用され
る。また、光酸化触媒再生物質は、劣化した前記光酸化
触媒を再生できるものであれば、各種のものが使用可能
であるが、通常はコバルト錯体が好適に使用される。
【００１１】本発明の方法では、まず水性媒体中に上記
の界面活性剤および無機物質及び／又は疎水性有機物質
を入れて、メカニカルホモジナイザー，超音波ホモジナ
イザー，パールミル，サンドミル，スターラー，三本ロ
ールミル等により充分攪拌する。この操作で無機物質や
疎水性有機物質は、界面活性剤の作用で、水性媒体中に
均一に分散あるいは可溶化して、分散液あるいは水溶液
（ミセル溶液）となる。なお、上述の光酸化触媒とその
再生物質は、予め水性媒体に添加して、上記無機物質や
疎水性有機物質とともに攪拌してもよく、また攪拌して
分散液あるいはミセル溶液を調製した後に、添加しても
よい。この際の界面活性剤の濃度は、特に制限はない
が、通常は上記フェロセン誘導体をはじめとする界面活
性剤を限界ミセル濃度以上、好ましくは１０μＭ〜１０
０ｍＭの範囲で選定する。また、無機物質や疎水性有機
物質の濃度についても、特に制限はないが、通常は１〜
１０ｍＭの範囲で定めればよい。本発明のおいては、さ
らに、必要に応じてＬｉＢｒ，Ｎａ2 ＳＯ4 等の支持塩
を適量加えることもできる。
の界面活性剤および無機物質及び／又は疎水性有機物質
を入れて、メカニカルホモジナイザー，超音波ホモジナ
イザー，パールミル，サンドミル，スターラー，三本ロ
ールミル等により充分攪拌する。この操作で無機物質や
疎水性有機物質は、界面活性剤の作用で、水性媒体中に
均一に分散あるいは可溶化して、分散液あるいは水溶液
（ミセル溶液）となる。なお、上述の光酸化触媒とその
再生物質は、予め水性媒体に添加して、上記無機物質や
疎水性有機物質とともに攪拌してもよく、また攪拌して
分散液あるいはミセル溶液を調製した後に、添加しても
よい。この際の界面活性剤の濃度は、特に制限はない
が、通常は上記フェロセン誘導体をはじめとする界面活
性剤を限界ミセル濃度以上、好ましくは１０μＭ〜１０
０ｍＭの範囲で選定する。また、無機物質や疎水性有機
物質の濃度についても、特に制限はないが、通常は１〜
１０ｍＭの範囲で定めればよい。本発明のおいては、さ
らに、必要に応じてＬｉＢｒ，Ｎａ2 ＳＯ4 等の支持塩
を適量加えることもできる。
【００１２】本発明の方法では、このようにして得たミ
セル溶液あるいは分散液を、塩酸等の鉱酸や有機酸を用
いてｐＨ５以下に調節することが必要である。ミセル溶
液や分散液のｐＨが５を超えると、光酸化反応は円滑に
進行せず、本発明の目的を達成することができない。な
お、本発明においては、鉱酸や有機酸を、予め水性媒体
に添加してｐＨを５以下に調整しておいてもよく、また
ミセル溶液や分散液を調製した後に、添加してもよい。
セル溶液あるいは分散液を、塩酸等の鉱酸や有機酸を用
いてｐＨ５以下に調節することが必要である。ミセル溶
液や分散液のｐＨが５を超えると、光酸化反応は円滑に
進行せず、本発明の目的を達成することができない。な
お、本発明においては、鉱酸や有機酸を、予め水性媒体
に添加してｐＨを５以下に調整しておいてもよく、また
ミセル溶液や分散液を調製した後に、添加してもよい。
【００１３】本発明の方法では、上記の如くｐＨを５以
下に調整したミセル溶液あるいは分散液に、被製膜物質
を挿入し、前記ミセル溶液あるいは分散液と前記被製膜
物質との接触面に光照射を行う。ここで用いる被製膜物
質は、各種のものが充当でき、導電性，絶縁性のいずれ
のものであってもよい。例えば、各種の金属，合金，無
機物質，プラスチック類の成形品をはじめ、青板ガラ
ス，白板ガラス，無アルカリガラス（コーニング社製：
７０５９，ＨＯＹＡ社製：ＮＡ４５），低膨張ガラス，
石英ガラス等のガラスなどを挙げることができる。本発
明では、これらの被製膜物質を、研磨，洗浄，乾燥等の
処理を行って、表面を清浄化してから使用に供すること
が望ましい。
下に調整したミセル溶液あるいは分散液に、被製膜物質
を挿入し、前記ミセル溶液あるいは分散液と前記被製膜
物質との接触面に光照射を行う。ここで用いる被製膜物
質は、各種のものが充当でき、導電性，絶縁性のいずれ
のものであってもよい。例えば、各種の金属，合金，無
機物質，プラスチック類の成形品をはじめ、青板ガラ
ス，白板ガラス，無アルカリガラス（コーニング社製：
７０５９，ＨＯＹＡ社製：ＮＡ４５），低膨張ガラス，
石英ガラス等のガラスなどを挙げることができる。本発
明では、これらの被製膜物質を、研磨，洗浄，乾燥等の
処理を行って、表面を清浄化してから使用に供すること
が望ましい。
【００１４】本発明の方法によれば、被製膜物質を挿入
したミセル溶液あるいは分散液、特に該被製膜物質とミ
セル溶液あるいは分散液との接触面に光照射を行う。照
射光は、ミセル溶液あるいは分散液中の無機物質あるい
は疎水性有機物質が吸収できる波長を有するもの、ある
いは添加した光酸化触媒を励起できるものであれば、特
に制限はなく、様々な光が適用できる。具体的には、２
ｋＷの高圧水銀灯２０〜５０００ｍＪ／ｃｍ2 を照射す
ることができる。なお、この光照射は、適当な露光マス
クを介して被製膜物質に行えば、該被製膜物質上の非露
光部分に、ミセル溶液あるいは分散液中の無機物質ある
いは疎水性有機物質が薄膜状に堆積し、その結果、マス
クパターンに対応したパターニングされた薄膜が形成さ
れる。このような光照射によって形成した薄膜には、必
要に応じて焼付け（ベーク），純水洗浄，電解洗浄等を
行うことが好ましい。
したミセル溶液あるいは分散液、特に該被製膜物質とミ
セル溶液あるいは分散液との接触面に光照射を行う。照
射光は、ミセル溶液あるいは分散液中の無機物質あるい
は疎水性有機物質が吸収できる波長を有するもの、ある
いは添加した光酸化触媒を励起できるものであれば、特
に制限はなく、様々な光が適用できる。具体的には、２
ｋＷの高圧水銀灯２０〜５０００ｍＪ／ｃｍ2 を照射す
ることができる。なお、この光照射は、適当な露光マス
クを介して被製膜物質に行えば、該被製膜物質上の非露
光部分に、ミセル溶液あるいは分散液中の無機物質ある
いは疎水性有機物質が薄膜状に堆積し、その結果、マス
クパターンに対応したパターニングされた薄膜が形成さ
れる。このような光照射によって形成した薄膜には、必
要に応じて焼付け（ベーク），純水洗浄，電解洗浄等を
行うことが好ましい。
【００１５】
【実施例】次に、本発明を実施例によりさらに詳しく説
明する。 実施例１ １リットルの純水に、下記式（Ｉ）で表されるフェロセ
ン誘導体ミセル化剤ＦＰＥＧ（同仁化学（株）製）２ｍ
Ｍおよびフタロシアニンを７ｍＭを加え、〔Ｒｕ（ｂｐ
ｙ）3 〕Ｃｌ2 （ここでｂｐｙは、ビピリジル基を示
す）を１０ｍＭ，〔Ｃｏ（ＮＨ3 ）5 Ｃｌ〕Ｃｌ2 を１
０ｍＭおよび１規定ＨＣｌを１００cc添加し、ｐＨ＝1.
８とし、超音波ホモジナイザーで３０分間分散させてミ
セル分散液を調製した後、図１に示したセルにこのミセ
ル分散液を入れ、ＩＴＯ膜として１０Ω／ｃｍ2 の面抵
抗を持つＩＴＯ基板（青板ガラス：肉厚1.１ｍｍ）を気
泡が入らないようにセルに固定した。予め、ＩＴＯ基板
には取り出し電極を設置し、前記ＩＴＯ基板の裏面（上
面）をプロキシミティギャップ７０μｍ開け、ＩＴＯ面
の反対の裏面（上部）から図２に示した光学系のキセノ
ンランプで３０分間、マスクを露光した。マスクは図１
に示すものを用いた。その後、セルから取り外した基板
を洗浄し、スピンドライヤーで水切りし、オーブンにて
１８０℃で１時間ベークして、マスクで遮光した非露光
部分に薄膜を得た。
明する。 実施例１ １リットルの純水に、下記式（Ｉ）で表されるフェロセ
ン誘導体ミセル化剤ＦＰＥＧ（同仁化学（株）製）２ｍ
Ｍおよびフタロシアニンを７ｍＭを加え、〔Ｒｕ（ｂｐ
ｙ）3 〕Ｃｌ2 （ここでｂｐｙは、ビピリジル基を示
す）を１０ｍＭ，〔Ｃｏ（ＮＨ3 ）5 Ｃｌ〕Ｃｌ2 を１
０ｍＭおよび１規定ＨＣｌを１００cc添加し、ｐＨ＝1.
８とし、超音波ホモジナイザーで３０分間分散させてミ
セル分散液を調製した後、図１に示したセルにこのミセ
ル分散液を入れ、ＩＴＯ膜として１０Ω／ｃｍ2 の面抵
抗を持つＩＴＯ基板（青板ガラス：肉厚1.１ｍｍ）を気
泡が入らないようにセルに固定した。予め、ＩＴＯ基板
には取り出し電極を設置し、前記ＩＴＯ基板の裏面（上
面）をプロキシミティギャップ７０μｍ開け、ＩＴＯ面
の反対の裏面（上部）から図２に示した光学系のキセノ
ンランプで３０分間、マスクを露光した。マスクは図１
に示すものを用いた。その後、セルから取り外した基板
を洗浄し、スピンドライヤーで水切りし、オーブンにて
１８０℃で１時間ベークして、マスクで遮光した非露光
部分に薄膜を得た。
【００１６】
【化１】
【００１７】
【化２】
【００１８】実施例２ キセノンランプの照射時間を１０〜１２０分まで任意に
変化させ、そのとき得られた膜厚を触針式膜厚計で測定
した以外は、実施例１と同様の操作を行った。得られた
結果を図３に示す。
変化させ、そのとき得られた膜厚を触針式膜厚計で測定
した以外は、実施例１と同様の操作を行った。得られた
結果を図３に示す。
【００１９】
【発明の効果】本発明によれば、パターニングや導電性
基板の制限のない薄膜の製造法が確立され、より性能の
優れた薄膜を簡単な工程で得ることができる。したがっ
て、本発明の方法によって製造される薄膜は、ラップト
ップパソコン，ワープロ，ワークステーション，オーロ
ラビジョン，液晶プロジェクター，液晶テレビ，オーバ
ーヘッドプロジェクター（ＯＨＰ），車搭載インパネ，
機器モニター用のＬＣＤパネルのカラーフィルタ，電子
写真感光体を用いる機器（複写機，レーザープリン
タ），アルミニウムを電極として応用する電子デバイス
素子（ＥＬ，センサ，太陽電池，ＥＣ，ＬＣＤディスプ
レイ，ＰＤＰディスプレイ表示電極），機能性薄膜を利
用する素子（光メモリディスク，ＰＨＢ素子，超伝導素
子，２次非線型光学素子，３次非線型光学素子）などに
幅広くかつ有効に利用される。
基板の制限のない薄膜の製造法が確立され、より性能の
優れた薄膜を簡単な工程で得ることができる。したがっ
て、本発明の方法によって製造される薄膜は、ラップト
ップパソコン，ワープロ，ワークステーション，オーロ
ラビジョン，液晶プロジェクター，液晶テレビ，オーバ
ーヘッドプロジェクター（ＯＨＰ），車搭載インパネ，
機器モニター用のＬＣＤパネルのカラーフィルタ，電子
写真感光体を用いる機器（複写機，レーザープリン
タ），アルミニウムを電極として応用する電子デバイス
素子（ＥＬ，センサ，太陽電池，ＥＣ，ＬＣＤディスプ
レイ，ＰＤＰディスプレイ表示電極），機能性薄膜を利
用する素子（光メモリディスク，ＰＨＢ素子，超伝導素
子，２次非線型光学素子，３次非線型光学素子）などに
幅広くかつ有効に利用される。
【図１】図１は本発明の方法を実施するセルの構成の一
例を示す構成図である。
例を示す構成図である。
【図２】図２は光照射の方法の一例を示す図である。
【図３】図３は実施例２で得られた膜厚の経時変化の結
果を示すグラフである。
果を示すグラフである。
１：フォトマスク ２：基板 ３：スペーサー ４：セル ５：キセノンランプ ６：赤外線吸収フィルター ７：紫外線吸収フィルター ８：band pass フィルター ９：フィルター 10：レンズ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 半那 純一 神奈川県横浜市緑区長津田町4259 東京 工業大学内 (56)参考文献 特開 平３−224661（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−243298（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−226894（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−96585（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−250892（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B05D 1/00 - 7/26 B01J 19/12 B05D 7/04
Claims (2)
- 【請求項１】 無機物質あるいは疎水性有機物質を水性
媒体中でフェロセン誘導体からなる界面活性剤を用いて
分散あるいは可溶化するとともに、１〜１００ｍＭの範
囲の光酸化触媒と１〜１００ｍＭの範囲の光酸化触媒再
生物質とを１：５〜５：１の範囲で添加して得られるミ
セル溶液あるいは分散液に、そのｐＨを５以下に調整し
たのち、被製膜物質を挿入し、前記ミセル溶液あるいは
分散液と前記被製膜物質との接触面に光照射を行うこと
により、該被製膜物質上の非露光部分に前記無機物質あ
るいは疎水性有機物質の薄膜を形成することを特徴とす
る薄膜の製造方法。 - 【請求項２】 光酸化触媒がルテニウム錯体であり、光
酸化触媒再生物質がコバルト錯体である請求項１記載の
薄膜の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04038995A JP3090521B2 (ja) | 1992-02-26 | 1992-02-26 | 薄膜の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04038995A JP3090521B2 (ja) | 1992-02-26 | 1992-02-26 | 薄膜の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05237442A JPH05237442A (ja) | 1993-09-17 |
| JP3090521B2 true JP3090521B2 (ja) | 2000-09-25 |
Family
ID=12540717
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04038995A Expired - Fee Related JP3090521B2 (ja) | 1992-02-26 | 1992-02-26 | 薄膜の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3090521B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19941753A1 (de) * | 1999-09-02 | 2001-05-10 | Nanogate Gmbh | Verfahren und Stoffe |
-
1992
- 1992-02-26 JP JP04038995A patent/JP3090521B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05237442A (ja) | 1993-09-17 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0340968A2 (en) | Thin film device and method of manufacturing the same | |
| US5248576A (en) | Method of producing color filter using a micellar disruption method | |
| TW574523B (en) | Color filter of liquid crystal display | |
| JP2989620B2 (ja) | エレクトロクロミックスイッチング系を使用したイメージバー | |
| US5169672A (en) | Process for producing thin films and color filters | |
| JP2007113059A (ja) | 金属微粒子分散物の製造方法、金属微粒子分散物、並びに、これを用いた着色組成物、感光性転写材料、遮光画像付き基板、カラーフィルターおよび液晶表示装置 | |
| JP3090521B2 (ja) | 薄膜の製造方法 | |
| US5242558A (en) | Method for forming a thin film device | |
| CN114957275B (zh) | 有机小分子电致变色材料、膜、器件及其制备方法 | |
| US5240797A (en) | Thin film device and method of manufacture | |
| JPH0578899A (ja) | 薄膜およびカラーフイルタの製造方法 | |
| JP3086361B2 (ja) | 薄膜およびカラーフィルタの製造方法 | |
| JPH04104101A (ja) | 薄膜およびカラーフィルタの製造方法 | |
| JP2659638B2 (ja) | ミセル分散液あるいはミセル可溶化溶液，薄膜およびカラーフィルタの製造方法 | |
| JP2634977B2 (ja) | 薄膜およびカラーフィルターの製造方法 | |
| JP3771409B2 (ja) | ブラックマトリックス形成用組成物、ブラックマトリックスの形成方法及びブラックマトリックスを付した液晶系ディスプレイ | |
| Mizuno et al. | A Novel Photo-Induced Patterned Film Formation of Organic Pigments Using Tris (2, 2'-bipyridine) ruthenium (II) and Surfactant with Ferrocenyl Moiety. | |
| JP3037511B2 (ja) | カラーフィルタの製造方法 | |
| JP3125621B2 (ja) | カラーフィルタの製造方法 | |
| KR960009734B1 (ko) | 컬러표시재료 및 컬러필터의 제조방법 | |
| JP3521172B2 (ja) | 電極の取り出し方法、薄膜の製造方法及びカラーフィルタ | |
| JPH0768156A (ja) | 分散液および薄膜の製造方法 | |
| JPH03102302A (ja) | カラーフィルタ及びその製造方法 | |
| JPH04122902A (ja) | カラーフィルタの製造方法 | |
| JPH02270993A (ja) | 薄膜の製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080721 Year of fee payment: 8 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |