JP3088666U - 清掃処理ラインにおける噴射式液状物除去装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 搬送するワークに付着している液状物を残置
させることなく除去し、除去時にはワークの振動等によ
る騒音、エアの噴出に伴う噴出音も発生させないように
する。 【解決手段】 搬送ラインＬ上で搬送しているワークＷ
に付着している液状物をエア噴射によって除去するもの
で、ほぼ直方体ボックス状に形成したエアボックス本体
１における噴射側壁面に、搬送方向に対してやや斜交さ
せたスリット状の多数のエア噴出孔３Ａ，３Ｂを開穿配
列する。エア噴出孔３Ａ，３Ｂは、互いに搬送方向に対
して逆方向に傾斜状に向けられて千鳥状に配列し、一側
方に向けたエア噴出孔３Ａのほぼ半ば位置に他側方に向
けたエア噴出孔３Ｂの一端を位置し、エア噴出孔３Ｂの
他端近傍位置にエア噴出孔３Ａの一端が位置し、夫々の
エア噴出孔３Ａ，３Ｂは非連続にして配置する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【考案の属する技術分野】

この考案は例えば各種電子回路を構成する基板表面に対するフォトレジスト液 の塗布、その後の洗浄等に際し、使用したレジスト液、洗浄液等を基板表面から 強制的な送風作用で除去し、清浄にする清掃処理ラインにおける噴射式液状物除 去装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来から、各種電子回路を基板上に構成するために、基材表面の酸化、窒化膜 の形成、フォトレジスト液の塗布、露光、現像、焼きしめ、エッチング、アッシ ング、洗浄等の各処理が行われ、その後のエッチング、酸化その他によって所定 の回路パターンを形成するものとしている。こうした工程で行われている洗浄工 程では、搬送ライン上で搬送されているワークに対して洗浄水噴射機構によって 適宜な水圧で洗浄水を噴射させることでワーク上に残存されている不要物、夾雑 物等を除去し、その後にその洗浄水をエアナイフと称される噴射除去機構によっ てワーク面から吹き飛ばすようにして除去している。

【０００３】 また同様にワークに対して供給されるレジスト液、洗浄液、メッキ液等は、そ れらの工程を経た後にそれらを除去する除去工程が実施されるも、いずれも前記 のエアナイフによる吹き飛ばしによって行われているのである。

【０００４】 こうした洗浄水、レジスト液、洗浄液、メッキ液等の液状物の噴射除去工程に おけるエアナイフとしては、図６に示すようなほぼボックス状に形成された筐体 状の噴射エアボックス１０が使用されている。この噴射エアボックス１０は、所 定のエア供給源から所定圧力で送風給気されるエアを取り入れるよう上部が開口 されている細長い直方体ボックス状の筐体１１を形成し、この筐体１１自体を搬 送方向に対してほぼ直交させて搬送ラインＬ上に支持固定する取付部１２を筐体 １１の両側に設けると共に、ワークＷに対して洗浄水除去用のエアを噴出させる エア噴出口１３を筐体１１の噴射側壁である底部に搬送方向に対してほぼ直交さ せてスリット状に開穿して成るものである。そしてこの噴射エアボックス１０は 搬送ラインＬの上下に搬送方向に沿って交互に配されていて、搬送ラインＬ上で 搬送されているワーＷクに対して、その上下から交互にエアを噴射して液状物を 除去するようにしている。なお図中符号１４は、搬送ラインＬ上でワークＷを案 内搬送させるための回転している搬送ローラーＲを組み入れるために、底部の前 後縁に形成した挿通切欠であり、必要に応じて形成されている。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】

ところがこの従来の噴射エアボックス１０の構造によると、そのエア噴出口１ ３は搬送されるワークＷの搬送方向に対してほぼ直交しているためにそのエアの 噴射はワークＷの表面で搬送方向の後縁側に液状物を移動させるよう除去させる から、その後縁部分位置で液状物が反対側に回り込み、その端縁面に付着残置さ せてしまうことがある。そればかりでなくワークＷ自身にはスルーホールと称さ れる小さな孔が多数で開穿されているためにその孔を経てエアが反対面側に挿通 噴出され、噴射面側では負圧となり、反対面側では加圧されるようになる結果に よってワークＷが浮き上がろうとし、同時にそれを阻止しようとする噴射される エアとの相互の干渉、繰り返し等でワークＷが搬送ラインＬ上で上下に振動し、 騒音を発生しているのである。しかもこの騒音は、長いスリット状のエア噴出口 １３から強制的に噴出送気される噴出音によっても生じ、その甲高い騒音は作業 者にとって非常に耳障りとなるものである。

【０００６】 特にワークＷの後端縁面に液状物を付着残置させないようにする意図で、この エア噴射ボックス１０をその全体で搬送方向に対して斜交するように配置するこ とが考えられる。ただ、そうすると噴射エアボックス１０全体の長さを長く形成 せざるを得ないばかりでなく、搬送のための搬送ローラーＲを組み入れる挿通切 欠１４の形成がやや困難となると共に、噴射エアボックス１０自体の搬送ライン Ｌ上への配置構成も複雑にならざるを得ないものである。

【０００７】 そこでこの考案は叙上のような従来存した諸事情に鑑み案出されたもので、噴 射エアボックス自体に開穿形成されるエア噴出孔の構成に若干の改良を施すこと で、液状物のワークの後端縁面への付着残置を防止できるばかりでなく、スルー ホールを挿通するエアに起因するワークの上下面相互間で生じるエア圧力の相違 による振動等を阻止して騒音が発生しないようにし、しかもエアの噴出に伴う甲 高い噴出音も生じないようにした清掃処理ラインにおける噴射式液状物除去装置 を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】

上述した課題を解決するため、この考案にあっては、搬送ラインＬ上で搬送さ れるワークＷに付着している液状物を強制的なエアの噴射によって除去する噴射 式液状物除去装置であって、ほぼ直方体ボックス状に形成されたエアボックス本 体１における噴射側壁面に、搬送方向に対してやや斜交させたスリット状の多数 のエア噴出孔３Ａ，３Ｂを開穿形成したものである。 エア噴出孔３Ａ，３Ｂは、互いに搬送方向に対して逆方向に、例えば僅かに傾 斜状に向けられて千鳥状に配列して構成することができ、また一側方に向けられ たエア噴出孔３Ａのほぼ半ば位置に他側方に向けられたエア噴出孔３Ｂの一端が 位置し、この他側方に向けられたエア噴出孔３Ｂの他端近傍位置に一側方に向け られたエア噴出孔３Ａの一端が位置するようにして、夫々のエア噴出孔３Ａ，３ Ｂは非連続にして配置して構成することができる。

【０００９】 以上のように構成されたこの考案に係る清掃処理ラインにおける噴射式液状物 除去装置にあって、搬送ラインＬ上で搬送されているワークＷに対してエア噴出 孔３Ａ，３Ｂから噴射される強制的なエアは、ワークＷに付着されている洗浄液 、メッキ液、レジスト液等の液状物を吹き飛ばし、除去させる。 このときワークＷの搬送方向に対して斜交させたスリット状を呈する多数のエ ア噴出孔３Ａ，３Ｂは、ワークＷに対する搬送方向の後縁部位では液状物を反対 面側にまわり込ませずに分離除去させる。またワークＷの搬送方向に沿ったある 程度の幅員でワークＷにエアを噴射させることで、ワークＷに対する例えばスル ーホールを経た反対側面に挿通させたエアとの干渉を少なくさせ、ワークＷの振 動を防止させる。 多数のエア噴出孔３Ａ，３Ｂを経たエアの噴出は、その噴出音の発生を抑制さ せ、エア噴出に伴う騒音を周囲に生じさせない。

【００１０】

【考案の実施の形態】

以下図面を参照してこの考案の一実施の形態を説明すると、図において示され る符号１は例えば電子回路部材・部品等として所定の加工処理が施されるよう搬 送ラインＬ上で搬送される板状のワークＷに対して、これに付着したレジスト液 、メッキ液、洗浄液等の液状物を除去するよう搬送ラインＬに配置されて、強制 的な一定圧力のエアを噴射するエアボックス本体である。このエアボックス本体 １は図示のように、搬送ラインＬに対してほぼ直交させた状態で搬送ラインＬの 上下方に夫々配置され、上方に位置されるものでは上方が、下方に位置されるも のでは下方が夫々開放された直方体ボックス状に形成されている。そして、搬送 ラインＬの所定位置に配置固定させるための取付部２がエアボックス本体１の開 放縁における両側に翼状にして突設形成されている（図４参照）。

【００１１】 なおこのエアボックス本体１は、後述するエア噴出孔３Ａ，３Ｂからのエアの 噴出作用を増大させるように、噴出側ではその幅員をやや小さくするように前後 側壁を内方側に絞り込むようにすると共に噴出側の側壁部分の前後縁はエアボッ クス本体１内方から外方に翼状に突出しているものとしてある（図２参照）。

【００１２】 またこのエアボックス本体１の奥底壁である搬送ラインＬに対して対向する側 壁、すなわち上方に配置されるものではその底壁部分に、下方に配置されるもの ではその上壁部分に、搬送方向に対してやや斜交させたスリット状の多数のエア 噴出孔３Ａ，３Ｂを開穿配列してある。図例にあってのエア噴出孔３Ａ，３Ｂは 互いに僅かに搬送方向に対して逆方向に傾斜状に向けられて千鳥状に配列すると 共に、一側方に向けられたエア噴出孔３Ａのほぼ半ば位置に他側方に向けられた エア噴出孔３Ｂの一端が位置し、この他側方に向けられたエア噴出孔３Ｂの他端 近傍位置に一側方に向けられたエア噴出孔３Ａの一端が位置するようにして、夫 々のエア噴出孔３Ａ，３Ｂは非連続なものとして配置してある（図１参照）。

【００１３】 なお図例のようにエア噴出孔３Ａ，３Ｂはエアボックス本体１の長さ方向に対 してほぼ１０〜１５°の角度で斜交しているも、その角度はこれに限定されるも のでない。そればかりでなく、配列形態も図例に限定されるものでなく、共に他 方のものの半ば位置に端部が位置していたり、一方の端部位置と他方の端部位置 とが接近しているものとしたりでき、必要があれば相互に交差するようになって いたり、連続させていたりしてもよいのである。ただ搬送方向に直交する方向で はエアの非噴射範囲が生じないように考慮されるものとなっている。

【００１４】 また図中符号４は、エアボックス本体１に組み入れられる搬送ローラＲを挿通 案内させるよう、必要に応じて、噴出側の側壁部分における突出部分である前後 縁に切り欠き形成された挿通切欠であり、この挿通切欠４自体は奥底壁、前後側 壁相互間の角部分に形成されることもある。なお図示を省略したが、奥底壁から 搬送方向の前後に櫛状に突設させることで形成されることもある。

【００１５】 次にこれの使用の一例を説明すると図５に示すように、例えばワークＷを搬送 する搬送ラインＬ上で所定の処理が行われることでワークＷに残存する液状物を 除去するように、液状物の使用後の後流側に配置されるものであり、図例にあっ ては洗浄部Ｓの後方位置である洗浄液等を除去すべき位置に配置されている。そ して適当な圧縮エア源（図示せず）から強制的に供給送気されるエアをエアボッ クス本体１の開放部から取り入れ、エア噴出孔３Ａ，３ＢからワークＷに対して 噴射させるのであり、搬送されているワークＷ面から例えば噴射によって洗浄液 等を除去するのである。

【００１６】

【考案の効果】

この考案は以上のように構成されているから、搬送されるワークＷに対してエ アを噴射することでワークＷに付着している各種の液状物を除去させるとき、液 状物のワークＷの後端縁面への付着残置を防止でき、ワークＷに形成されている スルーホールを挿通するエアに起因するワークＷの上下面相互間で生じるエア圧 力の相違による振動等を阻止して騒音が発生しないようにし、しかもエアの噴出 に伴う甲高い噴出音も生じることがないのである。

【００１７】 すなわちこれはこの考案において、搬送ラインＬ上で搬送されるワークＷに付 着している液状物をエアの噴射によって除去するとき、ほぼ直方体ボックス状に 形成されたエアボックス本体１における噴射側壁面に、搬送方向に対してやや斜 交させたスリット状の多数のエア噴出孔３Ａ，３Ｂを開穿配列したからであり、 これによって、液状物の付着残置、搬送振動に伴う騒音やエアの噴射音による騒 音等の防止等を図ることができる。

【００１８】 またエア噴出孔３Ａ，３Ｂは、互いに搬送方向に対して逆方向に傾斜状に向け られて千鳥状に配列してあるから、搬送されているワークＷに対して、搬送方向 の後縁部位では液状物を噴射面側と反対面側にまわり込ませることがなく、後縁 部位でワークＷから液状物を分離できることでほぼ完全に除去できるのである。

【００１９】 しかもエア噴出孔３Ａ，３Ｂは、ワークＷの搬送方向に対して斜交させたスリ ット状を呈する多数のものとしてあるから、またワークＷの搬送方向に沿ってあ る程度の幅員でワークＷにエアを噴射させることになり、そのためワークＷに開 穿形成されている例えばスルーホールを経てエアが反対側面に挿通されたとして も、その上下面相互間でのエア圧の差は小さく、それらの間でのエアの干渉を少 なくできることで、搬送中に生じ得るワークＷの振動を防止できるのである。

【００２０】 そればかりでなくエア噴出孔３Ａ，３Ｂは多数にしてエアボックス本体１の噴 射側壁に開穿配列してあるから、それらから噴出されるエアによる噴出音は小さ く、またその発生を抑制させるものとなり、エア噴出に伴う騒音を周囲に発散さ せないのである。

【図面の簡単な説明】

【図１】この考案の一実施の形態を示す使用状態の平面
図である。

【図２】同じく側面図である。

【図３】同じく要部拡大平面図である。

【図４】同じく一部切欠斜視図である。

【図５】同じく処理、洗浄ラインの概略側面図である。

【図６】従来例における使用状態の側面図である。

【符号の説明】

Ｌ…搬送ライン Ｓ…洗浄部 Ｒ…搬送ローラー １…エアボックス本体 ２…取付部 ３Ａ，３Ｂ…エア噴出孔 ４…挿通切欠 １０…噴射エアボックス １１…筐体 １２…取付部 １３…エア噴出
口 １４…挿通切欠

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 搬送ライン上で搬送されるワークに付着
   している液状物を強制的なエアの噴射によって除去する
   噴射式液状物除去装置であって、ほぼ直方体ボックス状
   に形成されたエアボックス本体における噴射側壁面に、
   搬送方向に対してやや斜交させたスリット状の多数のエ
   ア噴出孔を開穿配列したことを特徴とする清掃処理ライ
   ンにおける噴射式液状物除去装置。
2. 【請求項２】 エア噴出孔は、互いに搬送方向に対して
   逆方向に傾斜状に向けられて千鳥状に配列してある請求
   項１に記載の清掃処理ラインにおける噴射式液状物除去
   装置。
3. 【請求項３】 一側方に向けられたエア噴出孔のほぼ半
   ば位置に他側方に向けられたエア噴出孔の一端が位置
   し、この他側方に向けられたエア噴出孔の他端近傍位置
   に一側方に向けられたエア噴出孔の一端が位置するよう
   にして、夫々のエア噴出孔は非連続にして配置してある
   請求項２に記載の清掃処理ラインにおける噴射式液状物
   除去装置。