JP3082286B2 - ２値画化方法 - Google Patents
２値画化方法Info
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- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T1/00—General purpose image data processing
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
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- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
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- G06V10/00—Arrangements for image or video recognition or understanding
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- G06V10/28—Quantising the image, e.g. histogram thresholding for discrimination between background and foreground patterns
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
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- G06T2207/10—Image acquisition modality
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体プロセス設備等に
おいて基板上の位置補正用のマークや、基板上の回路パ
ターンの位置認識を画像処理装置により行う場合の前処
理機能としての２値画化方法に関する。
おいて基板上の位置補正用のマークや、基板上の回路パ
ターンの位置認識を画像処理装置により行う場合の前処
理機能としての２値画化方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、半導体プロセスにおける投影露光
装置等において、基板とマスクのアライメントを行う必
要があり、位置補正用のマークを非接触で画像等のパタ
ーンにより位置認識を行う方法が用いられている。
装置等において、基板とマスクのアライメントを行う必
要があり、位置補正用のマークを非接触で画像等のパタ
ーンにより位置認識を行う方法が用いられている。
【０００３】以下に上述した位置認識における従来の２
値画化方法を図面を参照して説明する。
値画化方法を図面を参照して説明する。
【０００４】図３は２値化方式の説明図で、テレビカメ
ラ等により取り込んだ画像に対して、濃度についての度
数分布をとり、表したものである。
ラ等により取り込んだ画像に対して、濃度についての度
数分布をとり、表したものである。
【０００５】例えば、対象物が基板上の位置補正用のマ
ークで位置補正用マークの濃度が背景面となる基板の濃
度より高いような場合、度数分布は図のように２つの山
をもつようになり、濃度値の高い山が主にマークの濃度
分布，濃度値の低い山が基板の濃度分布である。
ークで位置補正用マークの濃度が背景面となる基板の濃
度より高いような場合、度数分布は図のように２つの山
をもつようになり、濃度値の高い山が主にマークの濃度
分布，濃度値の低い山が基板の濃度分布である。
【０００６】図４は従来の位置認識装置の構成図であ
る。図において位置決めテーブル１上に置かれた認識す
べきパターンを有する対象物２の上方側方に照明装置３
が設置され、上方から撮像するように可動テレビカメラ
支持部４にテレビカメラ５が設置されている。テレビカ
メラ５には操作盤及びコントローラからの指令により判
定制御回路（ＣＰＵ）６を経てテレビカメラ５を制御す
るテレビカメラ制御回路７が接続されている。８は処理
する範囲を対象物に応じて任意に設定する窓枠制御回
路、９はテレビカメラ５より入力された映像信号をアナ
ログディジタル変換（以後、Ａ／Ｄ変換という）を行う
Ａ／Ｄ変換回路である。
る。図において位置決めテーブル１上に置かれた認識す
べきパターンを有する対象物２の上方側方に照明装置３
が設置され、上方から撮像するように可動テレビカメラ
支持部４にテレビカメラ５が設置されている。テレビカ
メラ５には操作盤及びコントローラからの指令により判
定制御回路（ＣＰＵ）６を経てテレビカメラ５を制御す
るテレビカメラ制御回路７が接続されている。８は処理
する範囲を対象物に応じて任意に設定する窓枠制御回
路、９はテレビカメラ５より入力された映像信号をアナ
ログディジタル変換（以後、Ａ／Ｄ変換という）を行う
Ａ／Ｄ変換回路である。
【０００７】点線で囲まれた部分１０が２値画装置であ
り、１１は２値化を行う画像の処理範囲の最大濃度値ｆ
max，最小濃度値ｆminを検出する最大，最小濃度検出回
路、１２は処理範囲内の濃度ヒストグラムを２つの領域
に分割する際の分割レベル比率αを記憶保持しておく分
割比率記憶回路、１３はこの分割レベル比率αより分割
レベルＩＮｉＴＢｉＮを算出する分割レベル算出回路で
ある。１４は分割レベルＩＮｉＴＢｉＮにより分割され
たヒストグラムの２つの領域のそれぞれの平均濃度Ｍ
ｌ，Ｍｕを算出する代表濃度算出回路、１５は２値化レ
ベルＢｉＮを決定する際の２値化レベル比率βを記憶し
ておく２値化レベル比率記憶回路、１６はこの２値化レ
ベル比率βより２値化レベルＢｉＮを算出する２値化レ
ベル算出回路、１８は決定された２値化レベルＢｉＮに
より画像の２値化を行い、その２値画像からテンプレー
トマッチング等により、画像のある特定パターンを検
出，位置認識を行う位置認識回路、１７はその認識が正
しく行われないときに所定濃度巾ずつ２値化レベルＢｉ
Ｎを変更設定する２値化レベル制御回路である。
り、１１は２値化を行う画像の処理範囲の最大濃度値ｆ
max，最小濃度値ｆminを検出する最大，最小濃度検出回
路、１２は処理範囲内の濃度ヒストグラムを２つの領域
に分割する際の分割レベル比率αを記憶保持しておく分
割比率記憶回路、１３はこの分割レベル比率αより分割
レベルＩＮｉＴＢｉＮを算出する分割レベル算出回路で
ある。１４は分割レベルＩＮｉＴＢｉＮにより分割され
たヒストグラムの２つの領域のそれぞれの平均濃度Ｍ
ｌ，Ｍｕを算出する代表濃度算出回路、１５は２値化レ
ベルＢｉＮを決定する際の２値化レベル比率βを記憶し
ておく２値化レベル比率記憶回路、１６はこの２値化レ
ベル比率βより２値化レベルＢｉＮを算出する２値化レ
ベル算出回路、１８は決定された２値化レベルＢｉＮに
より画像の２値化を行い、その２値画像からテンプレー
トマッチング等により、画像のある特定パターンを検
出，位置認識を行う位置認識回路、１７はその認識が正
しく行われないときに所定濃度巾ずつ２値化レベルＢｉ
Ｎを変更設定する２値化レベル制御回路である。
【０００８】以上の構成を有する位置認識装置における
２値画化方法について説明する。図５は２値画化方法を
示したフローチャートである。
２値画化方法について説明する。図５は２値画化方法を
示したフローチャートである。
【０００９】まず、テレビカメラ５により取り込んだ画
像に対して最大，最小濃度検出回路１１において処理を
行う範囲の最大濃度値ｆmax及び最小濃度値ｆminを検出
し（ステップ１）、分割レベル算出回路１３において濃
度についての度数分布（以降、濃度ヒストグラムと呼
ぶ）をとり、分割レベル比率記憶回路１２に記憶されて
いる所定の分割比αよりこの濃度ヒストグラムを２つの
領域に分割する（ステップ２）。ここで領域を分割する
際に用いるしきい値を分割レベルと呼ぶ。この分割レベ
ルＩＮｉＴＢｉＮは、
像に対して最大，最小濃度検出回路１１において処理を
行う範囲の最大濃度値ｆmax及び最小濃度値ｆminを検出
し（ステップ１）、分割レベル算出回路１３において濃
度についての度数分布（以降、濃度ヒストグラムと呼
ぶ）をとり、分割レベル比率記憶回路１２に記憶されて
いる所定の分割比αよりこの濃度ヒストグラムを２つの
領域に分割する（ステップ２）。ここで領域を分割する
際に用いるしきい値を分割レベルと呼ぶ。この分割レベ
ルＩＮｉＴＢｉＮは、
【００１０】
【数１】
【００１１】で求められる。この分割レベルＩＮｉＴＢ
ｉＮにより分割された領域のうち濃度の小さい方を領域
Ａ、大きい方を領域Ｂとし、代表濃度算出回路１４にお
いてそれぞれの領域の代表濃度となる平均濃度Ｍｌ，Ｍ
ｕを次式より算出する。ただしい、Ｎ（ｆ）は濃度レベ
ルｆの時の度数を示す（ステップ３）。
ｉＮにより分割された領域のうち濃度の小さい方を領域
Ａ、大きい方を領域Ｂとし、代表濃度算出回路１４にお
いてそれぞれの領域の代表濃度となる平均濃度Ｍｌ，Ｍ
ｕを次式より算出する。ただしい、Ｎ（ｆ）は濃度レベ
ルｆの時の度数を示す（ステップ３）。
【００１２】
【数２】
【００１３】この平均濃度Ｍｌ，Ｍｕおよび２値化レベ
ル比率記憶回路１５に予め設定され記憶されている２値
化レベル比率βを用いて
ル比率記憶回路１５に予め設定され記憶されている２値
化レベル比率βを用いて
【００１４】
【数３】
【００１５】により、２値化レベルＢｉＮを決定する
（ステップ４）。このように決定した２値化レベルＢｉ
Ｎを用い位置認識回路１８において２値画化を行い、位
置認識を行う（ステップ５）正しく認識すれば、その２
値化レベルＢｉＮは適正であるが、一方正しく認識しな
い場合、その２値化レベルＢｉＮは適正でないことにな
り、２値化レベル制御回路１７において所定の濃度巾ず
つ変更し（ステップ６）、正しく認識するまで繰り返し
行う。ただし、所定回数２値化レベルＢｉＮの変更を行
っても正しく認識しないときは２値化レベルＢｉＮの設
定が正しくないのではなく、対象物が不良であると判断
する。
（ステップ４）。このように決定した２値化レベルＢｉ
Ｎを用い位置認識回路１８において２値画化を行い、位
置認識を行う（ステップ５）正しく認識すれば、その２
値化レベルＢｉＮは適正であるが、一方正しく認識しな
い場合、その２値化レベルＢｉＮは適正でないことにな
り、２値化レベル制御回路１７において所定の濃度巾ず
つ変更し（ステップ６）、正しく認識するまで繰り返し
行う。ただし、所定回数２値化レベルＢｉＮの変更を行
っても正しく認識しないときは２値化レベルＢｉＮの設
定が正しくないのではなく、対象物が不良であると判断
する。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記し
たような従来の方法では、半導体プロセスのような化学
反応を行う装置の場合、ロットにより回路基板の状態が
変化し、位置認識のための任意のパターンやマーク等の
画像の濃度ヒストグラムの特性が非線形に変化するた
め、従来例の２値化レベルの変更が多回数行われ、処理
に時間がかかる。
たような従来の方法では、半導体プロセスのような化学
反応を行う装置の場合、ロットにより回路基板の状態が
変化し、位置認識のための任意のパターンやマーク等の
画像の濃度ヒストグラムの特性が非線形に変化するた
め、従来例の２値化レベルの変更が多回数行われ、処理
に時間がかかる。
【００１７】本発明はこのような位置認識などの前処理
としての２値化を行う際に、画像の濃度分布の特性が変
化しても処理時間が短くして済む、高速な２値画化方法
の提供を目的とする。
としての２値化を行う際に、画像の濃度分布の特性が変
化しても処理時間が短くして済む、高速な２値画化方法
の提供を目的とする。
【００１８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の２値画化方法は、２値化レベルを初期設定す
る際に使うパラメータを過去に２値化するのに有効であ
った２値化レベルより算出するものであり、２値化した
画像が正しく認識されないと２値化レベルを所定巾ずつ
変更して２値化認識試行を繰り返し、正しく認識される
とその際の２値化レベルを記憶保持しておくものであ
る。
に本発明の２値画化方法は、２値化レベルを初期設定す
る際に使うパラメータを過去に２値化するのに有効であ
った２値化レベルより算出するものであり、２値化した
画像が正しく認識されないと２値化レベルを所定巾ずつ
変更して２値化認識試行を繰り返し、正しく認識される
とその際の２値化レベルを記憶保持しておくものであ
る。
【００１９】
【作用】本発明によれば、認識等に有効であった２値化
レベルを用いて２値化に用いる２値化レベルの初期設定
に必要なパラメータを最適値に更新することにより、一
義的に決められたパラメータを用いる従来例に比べ、対
象物の状態が変化しその結果画像の濃度分布の特性が変
化しても、最初の時点で認識に有効な２値画化を行う２
値化レベルに、かなり近い値に設定できるため、２値化
レベルを多回数変更し試行することがなく、処理時間を
短縮できる。
レベルを用いて２値化に用いる２値化レベルの初期設定
に必要なパラメータを最適値に更新することにより、一
義的に決められたパラメータを用いる従来例に比べ、対
象物の状態が変化しその結果画像の濃度分布の特性が変
化しても、最初の時点で認識に有効な２値画化を行う２
値化レベルに、かなり近い値に設定できるため、２値化
レベルを多回数変更し試行することがなく、処理時間を
短縮できる。
【００２０】
【実施例】以下本発明の一実施例について図面を参照し
ながら説明する。
ながら説明する。
【００２１】図１は本発明の２値画化方法を位置認識の
前処理である２値画化に採用した位置認識装置の構成図
である。
前処理である２値画化に採用した位置認識装置の構成図
である。
【００２２】図において明らかなように構成は従来例と
同様であり、異なるのは、正しく認識した際の２値画化
に用いた２値化レベルを記憶保持する２値化レベル記憶
回路１９と、この２値化レベルより２値化レベル比率を
逆算し、２値化レベル比率記憶回路に登録し直す２値化
レベル比率学習更新回路２０とを備えた点である。
同様であり、異なるのは、正しく認識した際の２値画化
に用いた２値化レベルを記憶保持する２値化レベル記憶
回路１９と、この２値化レベルより２値化レベル比率を
逆算し、２値化レベル比率記憶回路に登録し直す２値化
レベル比率学習更新回路２０とを備えた点である。
【００２３】上記の構成を有する位置認識装置について
２値画化の方法を図面を参照して説明する。
２値画化の方法を図面を参照して説明する。
【００２４】図２は本発明の２値画化方法を示したフロ
ーチャートである。従来例と同様に、取り込んだ画像の
処理する範囲内の最大濃度ｆmax及び最小濃度ｆminを検
出し［最大，最小濃度検出］（ステップ１）、前記検出
した最大濃度ｆmaxと，最小濃度ｆmin分割レベル比率α
から（数１）により分割レベルを算出し［分割レベル算
出］（ステップ２）、次に濃度のヒストグラムを考え、
図３のように分割レベルＩＮｉＢｉＮを境界に領域Ａと
領域Ｂの各々平均濃度Ｍｌ，Ｍｕを（数２）のように算
出し［代表濃度算出］（ステップ３）、前記平均濃度と
２値化レベル比率βから（数３）により２値化レベルを
決定する［２値化レベル算出］（ステップ４）。この２
値化レベルを用いて２値画化を行い、次いでテンプレー
トマッチング等を行い［位置認識］（ステップ５）、も
し、テンプレートマッチングにより認識すべきパターン
の認識が行えなかった場合は、前記決定した２値化レベ
ルＢｉＮを変更して［２値レベル制御］（ステップ６）
テンプレートマッチングを行い、認識すべきパターンが
検出されるまで、あるいは所定回数（範囲）２値化レベ
ルＢｉＮを変更するまで繰り返す。
ーチャートである。従来例と同様に、取り込んだ画像の
処理する範囲内の最大濃度ｆmax及び最小濃度ｆminを検
出し［最大，最小濃度検出］（ステップ１）、前記検出
した最大濃度ｆmaxと，最小濃度ｆmin分割レベル比率α
から（数１）により分割レベルを算出し［分割レベル算
出］（ステップ２）、次に濃度のヒストグラムを考え、
図３のように分割レベルＩＮｉＢｉＮを境界に領域Ａと
領域Ｂの各々平均濃度Ｍｌ，Ｍｕを（数２）のように算
出し［代表濃度算出］（ステップ３）、前記平均濃度と
２値化レベル比率βから（数３）により２値化レベルを
決定する［２値化レベル算出］（ステップ４）。この２
値化レベルを用いて２値画化を行い、次いでテンプレー
トマッチング等を行い［位置認識］（ステップ５）、も
し、テンプレートマッチングにより認識すべきパターン
の認識が行えなかった場合は、前記決定した２値化レベ
ルＢｉＮを変更して［２値レベル制御］（ステップ６）
テンプレートマッチングを行い、認識すべきパターンが
検出されるまで、あるいは所定回数（範囲）２値化レベ
ルＢｉＮを変更するまで繰り返す。
【００２５】ただし従来の方法と異なるのは、ステップ
４においての２値化レベル比率βが予め設定されるもの
ではなく、過去のデータに基づき更新される点である。
４においての２値化レベル比率βが予め設定されるもの
ではなく、過去のデータに基づき更新される点である。
【００２６】それは過去に認識に有効であった２値化レ
ベルＢnewを用いて２値化レベル比率学習更新回路２０
において（数３）を式変形し、
ベルＢnewを用いて２値化レベル比率学習更新回路２０
において（数３）を式変形し、
【００２７】
【数４】
【００２８】より、２値化レベル比率βを算出，更新す
るものである。過去に認識に有効であった２値化レベル
Ｂnewとしては （１）１つ前の対象物を正しく認識した時の２値化レベ
ル （２）過去に対象物を正しく認識した時の２値化レベル
の平均値のいずれかを用いる。
るものである。過去に認識に有効であった２値化レベル
Ｂnewとしては （１）１つ前の対象物を正しく認識した時の２値化レベ
ル （２）過去に対象物を正しく認識した時の２値化レベル
の平均値のいずれかを用いる。
【００２９】この結果、過去に正しく認識した２値化レ
ベルを学習更新する形となり、対象物の状態が変化し画
像が変化しても２値化レベルを初期設定する時点で認識
に有効な２値化レベルにかなり近い値になる。したがっ
て、正しく認識するまでの２値化レベルを変更する回数
が少なくなる。
ベルを学習更新する形となり、対象物の状態が変化し画
像が変化しても２値化レベルを初期設定する時点で認識
に有効な２値化レベルにかなり近い値になる。したがっ
て、正しく認識するまでの２値化レベルを変更する回数
が少なくなる。
【００３０】
【発明の効果】以上のように本発明の２値画化方法によ
れば、２値化レベルを初期設定する際に用いる２値化レ
ベル比率を、過去に２値化するのに有効であった２値化
レベルより算出することにより、過去のデータを学習す
る形となり、対象物の状態が変化し画像の濃度分布の特
性が変化しても２値化レベルを初期設定する時点で認識
等に有効な２値化レベルにかなり近い値になる。
れば、２値化レベルを初期設定する際に用いる２値化レ
ベル比率を、過去に２値化するのに有効であった２値化
レベルより算出することにより、過去のデータを学習す
る形となり、対象物の状態が変化し画像の濃度分布の特
性が変化しても２値化レベルを初期設定する時点で認識
等に有効な２値化レベルにかなり近い値になる。
【００３１】その結果、正しく認識するまでに２値化レ
ベルを変更する回数が少なくなり、従来問題であった処
理時間を短縮できる。
ベルを変更する回数が少なくなり、従来問題であった処
理時間を短縮できる。
【図１】本発明の２値画化方法を採用した位置認識装置
の一実施例を示す構成図
の一実施例を示す構成図
【図２】本発明の実施例における２値画化方法の説明の
ためのフローチャート
ためのフローチャート
【図３】２値化方式の説明図
【図４】従来の位置認識装置の構成図
【図５】従来の２値画化方法の説明のためのフローチャ
ート
ート
１７ ２値化レベル制御回路 １８ 位置認識回路 １９ ２値化レベル記憶回路 ２０ ２値化レベル比率学習更新回路
Claims (3)
- 【請求項１】 テレビカメラにより撮像された画像をし
きい値である２値化レベルに基づいて２値画像に変換処
理する２値画化方法において、撮像画像に対して濃度の
最大値および最小値を求める第１のステップと、濃度に
関するヒストグラムを作成し、前記濃度の最大値および
最小値と予め設定された第１の分割比率より、前記ヒス
トグラムを２つの領域に分割する第２のステップと、前
記第２のステップで分割された第１の領域及び第２の領
域のそれぞれ平均濃度を算出する第３のステップと、前
記第１及び第２の領域の平均濃度と過去に画像を２値化
するのに有効であった２値化レベルを用いて、前記第１
及び第２の領域の平均濃度から２値レベルを決定する内
分比（第２の分割比率である２値レベル比率）を逆算し
て求め、前記２値レベル比率より、前記第１及び第２の
領域の平均濃度を二分する値として２値レベルを決定す
る第４のステップと、 第４のステップで得られた２値化レベルに基づいて２値
化を行う第５のステップと、第５のステップで得られた
２値画像によりパターン検出を行う第６のステップと、
第６のステップにおいて正しくパターン検出しない場合
には用いた２値化レベルを一定値巾をもって変更設定
し、再び第５以降のステップを行い、正しくパターン検
出すれば、その際の２値化レベルを記憶保持しておく第
７のステップとからなる２値画化方法。 - 【請求項２】 過去に撮像画像を２値化するのに有効で
あった２値化レベルとして、記憶保持している２値化レ
ベルのうち最新のものを用いる請求項１記載の２値画化
方法。 - 【請求項３】 過去に撮像画像を２値化するのに有効で
あった２値化レベルとして、記憶保持している２値化レ
ベルの平均値を用いる請求項１記載の２値画化方法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03097196A JP3082286B2 (ja) | 1991-04-26 | 1991-04-26 | ２値画化方法 |
| US07/873,212 US5400415A (en) | 1991-04-26 | 1992-04-24 | Binarizing method and apparatus therefor |
| KR1019920007046A KR960014193B1 (ko) | 1991-04-26 | 1992-04-25 | 2진화방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03097196A JP3082286B2 (ja) | 1991-04-26 | 1991-04-26 | ２値画化方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04326479A JPH04326479A (ja) | 1992-11-16 |
| JP3082286B2 true JP3082286B2 (ja) | 2000-08-28 |
Family
ID=14185845
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03097196A Expired - Fee Related JP3082286B2 (ja) | 1991-04-26 | 1991-04-26 | ２値画化方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5400415A (ja) |
| JP (1) | JP3082286B2 (ja) |
| KR (1) | KR960014193B1 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3046493B2 (ja) * | 1994-05-09 | 2000-05-29 | シャープ株式会社 | 画像処理装置 |
| JP3523705B2 (ja) | 1995-03-16 | 2004-04-26 | オリンパス株式会社 | 情報再生システム |
| JP3523710B2 (ja) * | 1995-04-04 | 2004-04-26 | オリンパス株式会社 | 情報再生システム、記録媒体、記録装置及び記録方法 |
| JPH0944592A (ja) * | 1995-05-23 | 1997-02-14 | Olympus Optical Co Ltd | 情報再生システム |
| JPH0981711A (ja) * | 1995-09-20 | 1997-03-28 | Olympus Optical Co Ltd | 情報記録媒体、情報再生システム、及び情報記録システム |
| JP6631360B2 (ja) * | 2016-03-29 | 2020-01-15 | ブラザー工業株式会社 | 画像処理装置および画像処理方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3650496T2 (de) * | 1985-04-17 | 1996-10-31 | Hitachi Ltd | Bildverarbeitungsgerät |
| JPH087785B2 (ja) * | 1989-05-16 | 1996-01-29 | 松下電器産業株式会社 | ２値化処理装置 |
-
1991
- 1991-04-26 JP JP03097196A patent/JP3082286B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1992
- 1992-04-24 US US07/873,212 patent/US5400415A/en not_active Expired - Fee Related
- 1992-04-25 KR KR1019920007046A patent/KR960014193B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04326479A (ja) | 1992-11-16 |
| US5400415A (en) | 1995-03-21 |
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