JP3080750B2 - シャドウマスクの欠陥検査装置 - Google Patents
シャドウマスクの欠陥検査装置Info
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- JP3080750B2 JP3080750B2 JP04009674A JP967492A JP3080750B2 JP 3080750 B2 JP3080750 B2 JP 3080750B2 JP 04009674 A JP04009674 A JP 04009674A JP 967492 A JP967492 A JP 967492A JP 3080750 B2 JP3080750 B2 JP 3080750B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はシャドウマスクの欠陥検
査装置に関する。
査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、シャドウマスクを挟んで光源とＣ
ＣＤラインセンサとを対向配置し、光源から光を照射し
たときのシャドウマスクの透過光像をＣＣＤラインセン
サで撮影し、そのときの画像信号から欠陥を検出する装
置が提案されている。
ＣＤラインセンサとを対向配置し、光源から光を照射し
たときのシャドウマスクの透過光像をＣＣＤラインセン
サで撮影し、そのときの画像信号から欠陥を検出する装
置が提案されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ＣＣＤラインセンサに
よりシャドウマスクの透過光像を撮影した画像信号から
欠陥を検出する装置において、シャドウマスクの孔の配
列が曲線を描いていると、センサの画素ピッチとシャド
ウマスクの孔のピッチの間の干渉により生ずるモアレに
より検出感度が低下する。
よりシャドウマスクの透過光像を撮影した画像信号から
欠陥を検出する装置において、シャドウマスクの孔の配
列が曲線を描いていると、センサの画素ピッチとシャド
ウマスクの孔のピッチの間の干渉により生ずるモアレに
より検出感度が低下する。
【０００４】また、従来より提案されているラインセン
サを用いる装置は、カメラの仰角が固定されているた
め、ブラウン管の電子ビーム方向からの検査が行えなか
った。本発明は、上記課題を解決するためのもので、検
査精度の向上及び電子ビーム方向からの検査が可能なシ
ャドウマスクの欠陥検査装置を提供することを目的とす
る。
サを用いる装置は、カメラの仰角が固定されているた
め、ブラウン管の電子ビーム方向からの検査が行えなか
った。本発明は、上記課題を解決するためのもので、検
査精度の向上及び電子ビーム方向からの検査が可能なシ
ャドウマスクの欠陥検査装置を提供することを目的とす
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明のシャドウマスク
の欠陥検査装置は、シャドウマスクを照明する線状光源
と、シャドウスクに対して線状光源と反対側に配置さ
れ、線状光源より照明されたシャドウマスクからの透過
光を検出する線状領域撮影手段と、線状領域撮影手段の
中心と撮影領域の中心を結ぶ直線を中心に線状領域撮影
手段を回転させる回転角制御手段と、線状領域撮影手段
を駆動するとともに、検出映像信号を取り込むコントロ
ーラと、線状領域撮影手段から取り込んだ映像信号を処
理して欠陥を検査する信号処理手段と、回転角制御手
段、コントローラ、信号処理手段を統括制御し、マンマ
シンインターフェイス機能を有する制御コンピュータと
から構成され、シャドウマスクの位置を変えながら、シ
ャドウマスクの孔の配列の接線方向と線状領域撮影手段
で撮影する線状領域との傾き角が最小になる線状領域撮
影手段の回転角を取り込んだ映像信号から算出し、算出
結果に基づき回転角制御手段によって線状領域撮影手段
を回転制御しつつ、またはシャドウマスクの孔の配列の
接線方向と線状領域撮影手段で撮影する線状領域との傾
き角が最小になる線状領域撮影手段の回転角をシャドウ
マスクの規格値から算出し、算出結果に基づき回転角制
御手段によって線状領域撮影手段を回転制御しつつ、線
状領域撮影手段でシャドウマスクからの透過光を検出し
て欠陥検査することを特徴とする。
の欠陥検査装置は、シャドウマスクを照明する線状光源
と、シャドウスクに対して線状光源と反対側に配置さ
れ、線状光源より照明されたシャドウマスクからの透過
光を検出する線状領域撮影手段と、線状領域撮影手段の
中心と撮影領域の中心を結ぶ直線を中心に線状領域撮影
手段を回転させる回転角制御手段と、線状領域撮影手段
を駆動するとともに、検出映像信号を取り込むコントロ
ーラと、線状領域撮影手段から取り込んだ映像信号を処
理して欠陥を検査する信号処理手段と、回転角制御手
段、コントローラ、信号処理手段を統括制御し、マンマ
シンインターフェイス機能を有する制御コンピュータと
から構成され、シャドウマスクの位置を変えながら、シ
ャドウマスクの孔の配列の接線方向と線状領域撮影手段
で撮影する線状領域との傾き角が最小になる線状領域撮
影手段の回転角を取り込んだ映像信号から算出し、算出
結果に基づき回転角制御手段によって線状領域撮影手段
を回転制御しつつ、またはシャドウマスクの孔の配列の
接線方向と線状領域撮影手段で撮影する線状領域との傾
き角が最小になる線状領域撮影手段の回転角をシャドウ
マスクの規格値から算出し、算出結果に基づき回転角制
御手段によって線状領域撮影手段を回転制御しつつ、線
状領域撮影手段でシャドウマスクからの透過光を検出し
て欠陥検査することを特徴とする。
【０００６】さらに、線状領域撮影手段によるシャドウ
マスクを見込む仰角を制御する仰角制御手段を備え、仰
角可変機構によりシャドウマスクを見込む仰角を変えな
がら線状領域撮影手段でシャドウマスクの透過光を検出
することを特徴とする。
マスクを見込む仰角を制御する仰角制御手段を備え、仰
角可変機構によりシャドウマスクを見込む仰角を変えな
がら線状領域撮影手段でシャドウマスクの透過光を検出
することを特徴とする。
【０００７】
【作用】本発明は、線状領域撮影手段を回転制御するこ
とにより、シャドウマスクの孔の配列方向と線状領域の
方向の間の角度を最小限にし、また線状領域撮影手段で
シャドウマスクを見込む仰角を制御することにより、シ
ャドウマスクを見込む角度が常にシャドウマスクに対す
る電子ビームの入射角度になるようにして、検査精度の
向上及び電子ビーム方向からの検査が可能になる。
とにより、シャドウマスクの孔の配列方向と線状領域の
方向の間の角度を最小限にし、また線状領域撮影手段で
シャドウマスクを見込む仰角を制御することにより、シ
ャドウマスクを見込む角度が常にシャドウマスクに対す
る電子ビームの入射角度になるようにして、検査精度の
向上及び電子ビーム方向からの検査が可能になる。
【０００８】
【実施例】図１は本発明の一実施例を示す図、図２は仰
角調節を説明するための図、図３はカメラ回転角の調節
を説明するための図である。図中、１、３は端部をカバ
ーするラインセンサカメラ、２は中央部をカバーするラ
インセンサカメラ、４は仰角可変装置、５はシャドウマ
スク移動装置、６は直流点灯蛍光灯、７、８、９はカメ
ラを回転させる回転装置、１０は回転装置の駆動制御装
置、１１はラインセンサカメラのコントローラ、１２は
信号処理装置、１３は仰角可変装置の駆動制御装置、１
４はシャドウマスク移動装置の駆動制御装置、１５は全
体を統括制御するコンピュータ、１６は検査対象のシャ
ドウマスクである。
角調節を説明するための図、図３はカメラ回転角の調節
を説明するための図である。図中、１、３は端部をカバ
ーするラインセンサカメラ、２は中央部をカバーするラ
インセンサカメラ、４は仰角可変装置、５はシャドウマ
スク移動装置、６は直流点灯蛍光灯、７、８、９はカメ
ラを回転させる回転装置、１０は回転装置の駆動制御装
置、１１はラインセンサカメラのコントローラ、１２は
信号処理装置、１３は仰角可変装置の駆動制御装置、１
４はシャドウマスク移動装置の駆動制御装置、１５は全
体を統括制御するコンピュータ、１６は検査対象のシャ
ドウマスクである。
【０００９】図１において、検査対象であるシャドウマ
スク１６は移動装置５により矢印で示すシャドウマスク
長手方向に移動し、順次ラインセンサカメラ１〜３の下
方へもたらされる。ラインセンサカメラ１〜３は、シャ
ドウマスク１６を見込む角度が常に電子ビームの方向に
なるように、駆動制御装置１３により駆動制御される仰
角可変装置４により仰角θ1 が調節制御されている。
スク１６は移動装置５により矢印で示すシャドウマスク
長手方向に移動し、順次ラインセンサカメラ１〜３の下
方へもたらされる。ラインセンサカメラ１〜３は、シャ
ドウマスク１６を見込む角度が常に電子ビームの方向に
なるように、駆動制御装置１３により駆動制御される仰
角可変装置４により仰角θ1 が調節制御されている。
【００１０】仰角θ1 の制御は、図２に示すようにシャ
ドウマスク１６上のそれぞれの位置、例えば図のＰ１、
Ｐ２、Ｐ３で、ブラウン管において電子銃２１からシャ
ドウマスク１６に電子ビーム２２が入射する角度になる
ように調節するものであり、各位置での仰角は、あらか
じめ制御コンピュータ１５に図示しないユーザインタフ
ェースより入力しておいたものに合わせるように行われ
る。
ドウマスク１６上のそれぞれの位置、例えば図のＰ１、
Ｐ２、Ｐ３で、ブラウン管において電子銃２１からシャ
ドウマスク１６に電子ビーム２２が入射する角度になる
ように調節するものであり、各位置での仰角は、あらか
じめ制御コンピュータ１５に図示しないユーザインタフ
ェースより入力しておいたものに合わせるように行われ
る。
【００１１】また、ラインセンサカメラ１、２、３は、
シャドウマスクの孔の配列の接線方向とラインセンサで
読み取る方向の間の角度が最小になるように回転駆動制
御装置１０によりそれぞれ独立に制御可能である回転装
置７、８、９により回転角θ2 が調節されている。
シャドウマスクの孔の配列の接線方向とラインセンサで
読み取る方向の間の角度が最小になるように回転駆動制
御装置１０によりそれぞれ独立に制御可能である回転装
置７、８、９により回転角θ2 が調節されている。
【００１２】回転角θ2 の制御は、シャドウマスク１６
の孔の配列方向が、例えば、図３の実線３１で示すよう
になっていた場合、撮影領域を孔の配列方向に合わせる
ために、カメラ７、９による撮影領域が図の３２、３３
になるように、カメラ８による撮影領域が図の３４にな
るように行われる。
の孔の配列方向が、例えば、図３の実線３１で示すよう
になっていた場合、撮影領域を孔の配列方向に合わせる
ために、カメラ７、９による撮影領域が図の３２、３３
になるように、カメラ８による撮影領域が図の３４にな
るように行われる。
【００１３】なお、回転角θ2 は、シャドウマスクの規
格値より求めるか、カメラでシャドウマスクの透過光を
取り込んだ映像信号から決定するようにする。規格値よ
り求める場合は、図４（ａ）に示すように、撮影領域３
２、３３、３４の中央にくる孔配列の接線４０の角度と
一致するようにするか、図４（ｂ）に示すように撮影領
域内の孔配列の各接線ｋ1 〜ｋn の角度の平均または中
央値をとる直線ｋa と一致するようにする。映像信号か
ら求める場合は、図４（ｃ）に示すように撮影領域と孔
配列間に傾きがある場合は、孔配列４１のように傾きの
角度が大きいと、孔配列４２のように傾きの角度が小さ
い場合に比して映像信号に現れる正弦波状のモアレの波
長が短くなるので、図４（ｄ）に示すようにシャドウマ
スクの移動方向の一定おきに（Ｓ１、Ｓ２……）映像信
号を取り込み、カメラを回転させながら各位置でその正
弦波の波長が最も大きくなる角度を求めることにより撮
影領域と孔配列の角度を一致させるようにする。なお、
測定位置以外、例えば図の位置Ｓｘの傾き角は、位置Ｓ
１、Ｓ２においた求めた角度から補間して求めるように
すればよい。
格値より求めるか、カメラでシャドウマスクの透過光を
取り込んだ映像信号から決定するようにする。規格値よ
り求める場合は、図４（ａ）に示すように、撮影領域３
２、３３、３４の中央にくる孔配列の接線４０の角度と
一致するようにするか、図４（ｂ）に示すように撮影領
域内の孔配列の各接線ｋ1 〜ｋn の角度の平均または中
央値をとる直線ｋa と一致するようにする。映像信号か
ら求める場合は、図４（ｃ）に示すように撮影領域と孔
配列間に傾きがある場合は、孔配列４１のように傾きの
角度が大きいと、孔配列４２のように傾きの角度が小さ
い場合に比して映像信号に現れる正弦波状のモアレの波
長が短くなるので、図４（ｄ）に示すようにシャドウマ
スクの移動方向の一定おきに（Ｓ１、Ｓ２……）映像信
号を取り込み、カメラを回転させながら各位置でその正
弦波の波長が最も大きくなる角度を求めることにより撮
影領域と孔配列の角度を一致させるようにする。なお、
測定位置以外、例えば図の位置Ｓｘの傾き角は、位置Ｓ
１、Ｓ２においた求めた角度から補間して求めるように
すればよい。
【００１４】こうして、ラインセンサカメラの仰角
θ1 、回転角θ2 を調節しながら、ラインセンサカメラ
１，２，３で細長い直流点灯蛍光灯６からのシャドウマ
スクの透過光を撮影し、その映像信号をコントローラ１
１を介して取り込み、信号処理装置１２でシャドウマス
クの欠陥を検査する。光源として直流点灯蛍光灯６を使
用しているのは、交流点灯では輝度が時間的に変動し、
検出側でその影響を除去するために同期検出回路等の装
置を必要とするからであり、変動成分の除去手段が設け
られている場合は交流点灯式でもよい。また、検査する
シャドウマスクは、製造ライン上で移動しているシャド
ウマスクでもよい。
θ1 、回転角θ2 を調節しながら、ラインセンサカメラ
１，２，３で細長い直流点灯蛍光灯６からのシャドウマ
スクの透過光を撮影し、その映像信号をコントローラ１
１を介して取り込み、信号処理装置１２でシャドウマス
クの欠陥を検査する。光源として直流点灯蛍光灯６を使
用しているのは、交流点灯では輝度が時間的に変動し、
検出側でその影響を除去するために同期検出回路等の装
置を必要とするからであり、変動成分の除去手段が設け
られている場合は交流点灯式でもよい。また、検査する
シャドウマスクは、製造ライン上で移動しているシャド
ウマスクでもよい。
【００１５】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、シャドウ
マスクの検査精度の向上、実情に則した検査、すなわち
ブラウン管におけるビーム方向からの検査を行うことが
できるので、製品の信頼性を向上させることができる。
マスクの検査精度の向上、実情に則した検査、すなわち
ブラウン管におけるビーム方向からの検査を行うことが
できるので、製品の信頼性を向上させることができる。
【図１】 本発明の一実施例を示す図である。
【図２】 仰角調節を説明するための図である。
【図３】 カメラ回転角の調節を説明するための図であ
る。
る。
【図４】 カメラ回転角の調節方法を説明するための図
である。
である。
１、３…端部をカバーするラインセンサカメラ、２…中
央部をカバーするラインセンサカメラ、４…仰角可変装
置、５…シャドウマスク移動装置、６…直流点灯蛍光
灯、７、８、９…回転装置、１０…回転駆動制御装置、
１１…コントローラ、１２…信号処理装置、１３…仰角
駆動制御装置、１４…移動制御装置、１５…コンピュー
タ、１６…シャドウマスク。
央部をカバーするラインセンサカメラ、４…仰角可変装
置、５…シャドウマスク移動装置、６…直流点灯蛍光
灯、７、８、９…回転装置、１０…回転駆動制御装置、
１１…コントローラ、１２…信号処理装置、１３…仰角
駆動制御装置、１４…移動制御装置、１５…コンピュー
タ、１６…シャドウマスク。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01B 11/00 - 11/30 102 G01N 21/84 - 21/958 G01M 11/00 - 11/08
Claims (11)
- 【請求項１】 シャドウマスクを照明する線状光源と、
シャドウマスクに対して線状光源と反対側に配置され、
線状光源より照明されたシャドウマスクからの透過光を
検出する線状領域撮影手段と、線状領域撮影手段の中心
と撮影領域の中心を結ぶ直線を中心に線状領域撮影手段
を回転させる回転角制御手段と、線状領域撮影手段を駆
動するとともに、検出映像信号を取り込むコントローラ
と、線状領域撮影手段から取り込んだ映像信号を処理し
て欠陥を検査する信号処理手段と、回転角制御手段、コ
ントローラ、信号処理手段を統括制御し、マンマシンイ
ンターフェイス機能を有する制御コンピュータとから構
成されることを特徴とするシャドウマスクの欠陥検査装
置。 - 【請求項２】 さらに線状領域撮影手段によるシャドウ
マスクを見込む仰角を制御する仰角制御手段を有するこ
とを特徴とする請求項１記載のシャドウマスクの欠陥検
査装置。 - 【請求項３】 設置場所がシャドウマスクの製造ライン
上であることを特徴とする請求項１記載のシャドウマス
クの欠陥検査装置。 - 【請求項４】 さらにシャドウマスクを移動させる位置
移動制御手段を有することを特徴とする請求項１記載の
シャドウマスクの欠陥検査装置。 - 【請求項５】 請求項３または４記載の装置において、
シャドウマスクの位置を変えながら、シャドウマスクの
孔の配列の接線方向と線状領域撮影手段で撮影する線状
領域との傾き角が最小になる線状領域撮影手段の回転角
を、取り込んだ映像信号から算出し、算出結果に基づき
回転角制御手段によって線状領域撮影手段を回転制御し
つつ線状領域撮影手段でシャドウマスクからの透過光を
検出することを特徴とするシャドウマスク欠陥検査装
置。 - 【請求項６】 請求項３または４記載の装置において、
シャドウマスクの孔の配列の接線方向と線状領域撮影手
段で撮影する線状領域との傾き角が最小になる線状領域
撮影手段の回転角を、シャドウマスクの規格値から算出
し、算出結果に基づき回転角制御手段によって線状領域
撮影手段を回転制御しつつ線状領域撮影手段でシャドウ
マスクからの透過光を検出することを特徴とするシャド
ウマスクの欠陥検査装置。 - 【請求項７】 請求項６記載の装置において、撮影領域
の角度を、撮影領域中央の孔配列方向の接線と一致させ
る、または撮影領域内の孔配列の接線の角度の平均値ま
たは中央値に一致させるように回転角制御手段で制御す
ることを特徴とするシャドウマスクの欠陥検査装置。 - 【請求項８】 請求項５記載の装置において、取り込ん
だ映像信号中に現れる正弦波状のモアレ信号の波長が最
も長くなるように回転角を制御することを特徴とするシ
ャドウマスク欠陥検査装置。 - 【請求項９】 請求項６、７または８記載の装置におい
て、一定間隔毎に回転角を求め、一定間隔内の位置の回
転角は求めた隣接位置の回転角より補間して求めること
を特徴とするシャドウマスクの欠陥検査装置。 - 【請求項１０】 線状領域撮影手段は、異なる領域をカ
バーするように配置された各々に回転駆動機構を有する
複数のラインセンサからなり、各ラインセンサの見る領
域に合わせてそれぞれ回転角を制御するようにしたこと
を特徴とする請求項１記載のシャドウマスクの欠陥検査
装置。 - 【請求項１１】 仰角可変機構によりシャドウマスクを
見込む仰角を変えながら線状領域撮影手段でシャドウマ
スクの透過光を検出することを特徴とする請求項１記載
のシャドウマスクの欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04009674A JP3080750B2 (ja) | 1992-01-23 | 1992-01-23 | シャドウマスクの欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04009674A JP3080750B2 (ja) | 1992-01-23 | 1992-01-23 | シャドウマスクの欠陥検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05196443A JPH05196443A (ja) | 1993-08-06 |
| JP3080750B2 true JP3080750B2 (ja) | 2000-08-28 |
Family
ID=11726764
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04009674A Expired - Fee Related JP3080750B2 (ja) | 1992-01-23 | 1992-01-23 | シャドウマスクの欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3080750B2 (ja) |
-
1992
- 1992-01-23 JP JP04009674A patent/JP3080750B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05196443A (ja) | 1993-08-06 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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