JP3078832B2 - 振動波モータの圧電振動体 - Google Patents
振動波モータの圧電振動体Info
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- JP3078832B2 JP3078832B2 JP02314407A JP31440790A JP3078832B2 JP 3078832 B2 JP3078832 B2 JP 3078832B2 JP 02314407 A JP02314407 A JP 02314407A JP 31440790 A JP31440790 A JP 31440790A JP 3078832 B2 JP3078832 B2 JP 3078832B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は振動波モータの圧電振動体に係り、特に、振
動波モータにおける振動発生源としての圧電振動体に形
成した電極の改良に関する。
動波モータにおける振動発生源としての圧電振動体に形
成した電極の改良に関する。
振動波モータは、圧電セラミック板に駆動電圧として
の周波数信号を印加したとき弾性体に生ずる回転楕円振
動を移動体を介して回転運動又は一次元運動として得る
もので、低速時にも高いトルクが得られる利点がある。
の周波数信号を印加したとき弾性体に生ずる回転楕円振
動を移動体を介して回転運動又は一次元運動として得る
もので、低速時にも高いトルクが得られる利点がある。
この振動波モータは、圧電セラミック板に例えば交互
に異なる厚み方向の分極処理の施された２つの分極グル
ープ領域を平面的にλ/4（符号λは後述する周波数電圧
の波長）ずらせて形成し、圧電セラミック板の片面には
各分極グループ領域に対応した共通電極を形成するとと
もに、対向面には各分極グループ領域にて各分極部分に
対応する独立電極を形成し、各独立電極を弾性体に接触
させるようにしてそれに貼りつけ、その弾性体に移動体
を圧接させた構成となっている。
に異なる厚み方向の分極処理の施された２つの分極グル
ープ領域を平面的にλ/4（符号λは後述する周波数電圧
の波長）ずらせて形成し、圧電セラミック板の片面には
各分極グループ領域に対応した共通電極を形成するとと
もに、対向面には各分極グループ領域にて各分極部分に
対応する独立電極を形成し、各独立電極を弾性体に接触
させるようにしてそれに貼りつけ、その弾性体に移動体
を圧接させた構成となっている。
なお、分極処理は圧電セラミック板に形成した上記共
通電極や独立電極を分極用に用いてなされる。
通電極や独立電極を分極用に用いてなされる。
そして、弾性体側を共通電位にして弾性体と各分極グ
ループ領域の共通電極間に、交流電源から一方の分極グ
ループには周波数電圧Ｖ〔Ｖ＝V0sinωｔ〕を、他方の
分極グループにはλ/4位相のずれた周波数電圧Ｖ′
〔Ｖ′＝V0sin（ωｔ±π/2）〕を印加することによ
り、圧電振動体が振動して弾性体の上面には進行性振動
波が生じるから、弾性体に圧接された移動体が移動す
る。
ループ領域の共通電極間に、交流電源から一方の分極グ
ループには周波数電圧Ｖ〔Ｖ＝V0sinωｔ〕を、他方の
分極グループにはλ/4位相のずれた周波数電圧Ｖ′
〔Ｖ′＝V0sin（ωｔ±π/2）〕を印加することによ
り、圧電振動体が振動して弾性体の上面には進行性振動
波が生じるから、弾性体に圧接された移動体が移動す
る。
しかしながら、このような振動波モータでは、良好な
モータトルクを得るために正確かつ十分な分極を圧電セ
ラミック板に施す必要があるが、分極は圧電セラミック
板に方向の異なる処理を狭い間隔で施すことから、未だ
十分な分極処理がなされているとは言い難く、改良すべ
き余地がある。
モータトルクを得るために正確かつ十分な分極を圧電セ
ラミック板に施す必要があるが、分極は圧電セラミック
板に方向の異なる処理を狭い間隔で施すことから、未だ
十分な分極処理がなされているとは言い難く、改良すべ
き余地がある。
そこで、本発明者は良好な分極状態を得るために種々
の実験検討を行なった結果、従来あまり着目されなかっ
た分極用電極としての銀ペースト材料が分極に大きく影
響する点を見出して本発明を完成させた。
の実験検討を行なった結果、従来あまり着目されなかっ
た分極用電極としての銀ペースト材料が分極に大きく影
響する点を見出して本発明を完成させた。
本発明はこのような状況の下になされたもので、狭い
間隔で交互に方向の異なる分極を正確かつ十分に施すこ
とが容易であり、高いモータトルクの得られる圧電振動
体を提供するものである。
間隔で交互に方向の異なる分極を正確かつ十分に施すこ
とが容易であり、高いモータトルクの得られる圧電振動
体を提供するものである。
このような課題を解決するために本発明は、圧電セラ
ミック板の両対向主面に銀粉末を混入した銀ペーストを
焼きつけて形成した電極を有し、片面側を弾性体を貼り
つけるとともにその電極を介して互いに異なる位相の第
１および第２の周波数信号の印加によって振動して弾性
体に進行性振動波を発生させる振動波モータの圧電振動
体であり、それらの電極が粒径0.01〜0.1μｍの粒度分
布をもつ銀粉末と粒径0.5〜５μｍの粒度分布をもつ銀
粉末をガラスフリットに混入させた銀ペーストで形成さ
れている。
ミック板の両対向主面に銀粉末を混入した銀ペーストを
焼きつけて形成した電極を有し、片面側を弾性体を貼り
つけるとともにその電極を介して互いに異なる位相の第
１および第２の周波数信号の印加によって振動して弾性
体に進行性振動波を発生させる振動波モータの圧電振動
体であり、それらの電極が粒径0.01〜0.1μｍの粒度分
布をもつ銀粉末と粒径0.5〜５μｍの粒度分布をもつ銀
粉末をガラスフリットに混入させた銀ペーストで形成さ
れている。
また、本発明は、上記電極として粒径0.01〜0.1μｍ
の粒度分布をもつ銀粉末を２〜５重量部、粒径0.5〜５
μｍの粒度分布をもつ銀粉末を８〜５重量部の重量比で
混入させた銀ペーストを用いることが好ましい。
の粒度分布をもつ銀粉末を２〜５重量部、粒径0.5〜５
μｍの粒度分布をもつ銀粉末を８〜５重量部の重量比で
混入させた銀ペーストを用いることが好ましい。
このような手段を備えた本発明では、電極が粒径0.01
〜0.1μｍの粒度分布をもつ銀粉末と粒径0.5〜５μｍの
粒度分布をもつ銀粉末を混在した銀ペーストで圧電セラ
ミック板に形成されているから、粒径0.5〜５μｍの粒
度分布をもつ銀粉末の間に粒径0.01〜0.1μｍの粒度分
布をもつ銀粉末が介在して圧電セラミック板に接触し、
圧電セラミック板と電極との接触むらが少ない。
〜0.1μｍの粒度分布をもつ銀粉末と粒径0.5〜５μｍの
粒度分布をもつ銀粉末を混在した銀ペーストで圧電セラ
ミック板に形成されているから、粒径0.5〜５μｍの粒
度分布をもつ銀粉末の間に粒径0.01〜0.1μｍの粒度分
布をもつ銀粉末が介在して圧電セラミック板に接触し、
圧電セラミック板と電極との接触むらが少ない。
特に、平均粒径0.05μｍと３μｍの銀粉末を3:7の重
量比で混入させた銀ペーストで電極を形成する構成で
は、電極の機械的強度および半田付け性も良好である。
量比で混入させた銀ペーストで電極を形成する構成で
は、電極の機械的強度および半田付け性も良好である。
以下本発明の実施例を図面を参照して説明する。
第１図〜第３図は本発明に係る圧電振動体の一実施例
を示す上面図、裏面図および断面図（第１図中III−III
間断面）である。
を示す上面図、裏面図および断面図（第１図中III−III
間断面）である。
圧電振動体１は、第１の分極グループ領域3aとこれに
λ/4ずれた第２の分極グループ領域3bを有するリング板
状の圧電セラミック板５と、この圧電セラミック板５の
片面に形成された第１および第２の電極7a、7bと（第１
図）、その圧電セラミック板５の対向面に円弧状に形成
された第３および第４の電極9a、9b（第２図）を有して
いる。
λ/4ずれた第２の分極グループ領域3bを有するリング板
状の圧電セラミック板５と、この圧電セラミック板５の
片面に形成された第１および第２の電極7a、7bと（第１
図）、その圧電セラミック板５の対向面に円弧状に形成
された第３および第４の電極9a、9b（第２図）を有して
いる。
第１および第２の電極7a、7bは、第１および第２の分
極グループ領域3a、3bにおいてλ/2ピッチ（λは後述す
る駆動電圧の周波数）で互いに狭い間隔を置いて形成さ
れている。
極グループ領域3a、3bにおいてλ/2ピッチ（λは後述す
る駆動電圧の周波数）で互いに狭い間隔を置いて形成さ
れている。
第３および第４の電極9a、9bは、圧電セラミック板５
を二分するように第１および第２の分極グループ領域3
a、3bにおいて第１および第２の電極7a、7bに対面する
ように圧電セラミック板５に形成されており、第３の電
極9a、9bの各先端間は一方が他方より広くなっている。
を二分するように第１および第２の分極グループ領域3
a、3bにおいて第１および第２の電極7a、7bに対面する
ように圧電セラミック板５に形成されており、第３の電
極9a、9bの各先端間は一方が他方より広くなっている。
これら第１〜第４の電極7a、7b、9a、9bは、銀粉末、
ガラスフリット、合成樹脂および溶剤を混入したいわゆ
る銀ペーストを圧電セラミック板５に塗布するとともに
焼きつけて形成されている。
ガラスフリット、合成樹脂および溶剤を混入したいわゆ
る銀ペーストを圧電セラミック板５に塗布するとともに
焼きつけて形成されている。
特に、銀粉末は平均粒径0.05μｍと平均粒径３μｍの
ものを混合したものであり、平均粒径0.05μｍの銀粉末
と平均粒径３μｍの銀粉末は3:7の重量比で混合される
ことが好ましい。
ものを混合したものであり、平均粒径0.05μｍの銀粉末
と平均粒径３μｍの銀粉末は3:7の重量比で混合される
ことが好ましい。
圧電セラミック板５における第１および第２の分極グ
ループ領域3a、3bは、第１〜第４の電極7a、7b、9a、9b
を分極用電極として用い、後述する第６図に示すよう
に、λ/2ピッチで交互に方向を異ならせて厚み方向に分
極されている。
ループ領域3a、3bは、第１〜第４の電極7a、7b、9a、9b
を分極用電極として用い、後述する第６図に示すよう
に、λ/2ピッチで交互に方向を異ならせて厚み方向に分
極されている。
次に、本発明に係る圧電振動体の製造方法を第４図を
用いて簡単に説明する。
用いて簡単に説明する。
まず、セラミック粉末を調合、成形、焼成および整形
してリング板状の圧電セラミック板５を形成し（第４図
ＡおよびＢ）、この圧電セラミック板５の片面および対
向面に上述した銀ペーストを印刷にて第１〜第４の電極
7a、7b、9a、9bのような形状に均一に形状し（第４図
Ｃ）、その後ピーク温度600℃〜700℃の焼付炉で銀ペー
ストを焼きつけて第１〜第４の電極7a、7b、9a、9bを形
成し（第４図Ｄ）、それら第１〜第４の電極7a、7b、9
a、9bを分極用電極として分極処理が施され（第４図
Ｅ）、圧電振動体１が形成される。
してリング板状の圧電セラミック板５を形成し（第４図
ＡおよびＢ）、この圧電セラミック板５の片面および対
向面に上述した銀ペーストを印刷にて第１〜第４の電極
7a、7b、9a、9bのような形状に均一に形状し（第４図
Ｃ）、その後ピーク温度600℃〜700℃の焼付炉で銀ペー
ストを焼きつけて第１〜第４の電極7a、7b、9a、9bを形
成し（第４図Ｄ）、それら第１〜第４の電極7a、7b、9
a、9bを分極用電極として分極処理が施され（第４図
Ｅ）、圧電振動体１が形成される。
分極処理は、高温オイル中において、第５図のように
第３および第４の電極9a、9bを共通電極とし、第１およ
び第２の電極7a、7b中の１個置きにプラスの数KV/mmの
高電圧を電源11から印加して厚み方向に分極し、続いて
１個ずらせた第１および第２の電極7a、7bにマイナスの
高電圧を印加して逆厚み方向に分極する。
第３および第４の電極9a、9bを共通電極とし、第１およ
び第２の電極7a、7b中の１個置きにプラスの数KV/mmの
高電圧を電源11から印加して厚み方向に分極し、続いて
１個ずらせた第１および第２の電極7a、7bにマイナスの
高電圧を印加して逆厚み方向に分極する。
このように分極することにより、第６図に示すよう
に、第１および第２の分極グループ領域3a、3bには交互
に異なる厚み方向の分極が施される。第６図中の符号＋
は例えば紙面の表面から裏面方向への分極を、符号−は
その反対方向の分極を示している。
に、第１および第２の分極グループ領域3a、3bには交互
に異なる厚み方向の分極が施される。第６図中の符号＋
は例えば紙面の表面から裏面方向への分極を、符号−は
その反対方向の分極を示している。
このような本発明の圧電振動体では、分極用の第１〜
第４の電極7a、7b、9a、9bが平均粒径0.05μｍと３μｍ
の銀粉末で混合された銀ペーストで形成されているの
で、第７図に示すように、圧電セラミック板５の表面に
対する第１〜第４の電極7a、7b、9a、9bの電極接触密度
が高くなって接触むらが少なくなるから、十分な電界が
圧電セラミック板５に加わり、十分かつ正確な分極が交
互に異なる方向で施される。
第４の電極7a、7b、9a、9bが平均粒径0.05μｍと３μｍ
の銀粉末で混合された銀ペーストで形成されているの
で、第７図に示すように、圧電セラミック板５の表面に
対する第１〜第４の電極7a、7b、9a、9bの電極接触密度
が高くなって接触むらが少なくなるから、十分な電界が
圧電セラミック板５に加わり、十分かつ正確な分極が交
互に異なる方向で施される。
そのため、本発明の圧電振動体を用いた振動波モータ
のトクルが向上する。
のトクルが向上する。
しかも、平均粒径0.05μｍと３μｍの銀粉末を3:7程
度の重量比で混合させた銀ペーストで形成すれば、第１
〜第４の電極7a、7b、9a、9bの機械的強度も良好で、フ
レキシブル・リードパターン等を半田付けする際も半田
の乗りが良好である。反対に平均粒径0.05μｍの銀粉末
を多くすると機械的強度が低下し易く、平均粒径３μｍ
の銀粉末を多くすると半田付け性が低下し易い。
度の重量比で混合させた銀ペーストで形成すれば、第１
〜第４の電極7a、7b、9a、9bの機械的強度も良好で、フ
レキシブル・リードパターン等を半田付けする際も半田
の乗りが良好である。反対に平均粒径0.05μｍの銀粉末
を多くすると機械的強度が低下し易く、平均粒径３μｍ
の銀粉末を多くすると半田付け性が低下し易い。
本発明者の実験によると、外径60mm、内径45mm、厚み
0.5mmのチタン酸ジルコン酸鉛を主成分とした圧電セラ
ミック板５に対して銀粉末、ガラスフリット量およびガ
ラスフリット軟化点を種々に変えた銀ペーストを印刷し
て焼きつけ、分極前後の比誘電率の変化（増加）を解析
した。
0.5mmのチタン酸ジルコン酸鉛を主成分とした圧電セラ
ミック板５に対して銀粉末、ガラスフリット量およびガ
ラスフリット軟化点を種々に変えた銀ペーストを印刷し
て焼きつけ、分極前後の比誘電率の変化（増加）を解析
した。
具体的には、次表のように銀粉末、ガラスフリット量
およびガラスフリット軟化点を３要因（水準）として公
知の３水準の直交配列表L9による実験計画法で解析を行
なった。
およびガラスフリット軟化点を３要因（水準）として公
知の３水準の直交配列表L9による実験計画法で解析を行
なった。
ガラスフリットはSiO2を５〜20wt％、PbOを45〜90wt
％、B2O3を５〜20wt％、M2Oを０〜5wt％、NOを０〜10wt
％の組成範囲とした。ただし、ここで符号Ｍはアルカリ
金属であり、符号Ｎはアルカリ土類金属である。
％、B2O3を５〜20wt％、M2Oを０〜5wt％、NOを０〜10wt
％の組成範囲とした。ただし、ここで符号Ｍはアルカリ
金属であり、符号Ｎはアルカリ土類金属である。
さらに、銀粉末については、各々粒径範囲の最小およ
び最大の粒径を有する粉末を3:7（重量比）の割合で混
合したものとを用いた。
び最大の粒径を有する粉末を3:7（重量比）の割合で混
合したものとを用いた。
この解析によると、９種類の銀ペーストについて各々
10個の試料で電極を形成した圧電振動体１について分極
前後の比誘電率の変化（増加率）は第８図のようになっ
た。
10個の試料で電極を形成した圧電振動体１について分極
前後の比誘電率の変化（増加率）は第８図のようになっ
た。
第８図の各銀ペースト１〜９における縦線は下端が10
個中の最低変化率で、上端が最高変化率、縦線中の黒点
が10個の平均である。
個中の最低変化率で、上端が最高変化率、縦線中の黒点
が10個の平均である。
この第８図によると、平均粒径が0.3と３μｍである
銀ペースト１〜３や平均粒径が0.5と５μｍの銀ペース
ト７〜９に比べ、平均粒径が0.05と３μｍである銀ペー
スト４〜６の比誘電率の変化（増加率）が大きいことが
分る。
銀ペースト１〜３や平均粒径が0.5と５μｍの銀ペース
ト７〜９に比べ、平均粒径が0.05と３μｍである銀ペー
スト４〜６の比誘電率の変化（増加率）が大きいことが
分る。
第９図は粒径0.01〜0.1μｍの粒度分布をもつ銀粉末
と粒径0.5〜５μｍの粒度分布をもつ銀粉末との重量比
を変化させる観点から、比誘電率の増加を調べた結果を
示しており、上述したようなことが分かる。
と粒径0.5〜５μｍの粒度分布をもつ銀粉末との重量比
を変化させる観点から、比誘電率の増加を調べた結果を
示しており、上述したようなことが分かる。
第10図は上述した本発明の圧電振動体を用いた振動波
モータの一例を示す半断面図である。
モータの一例を示す半断面図である。
金属製の基台13の中央部の貫通孔にはラジアル型ベア
リング15が固定されており、ベアリング15を囲むように
環状の凹部17が形成されている。
リング15が固定されており、ベアリング15を囲むように
環状の凹部17が形成されている。
基台13には金属性導電材料例えば燐青銅からなる円盤
状の導電性弾性体19が載置され、図示しないねじによっ
てその振動に支障のないように基台13に固定されてい
る。
状の導電性弾性体19が載置され、図示しないねじによっ
てその振動に支障のないように基台13に固定されてい
る。
この弾性体19はその片端面側（図示上側）に一体的に
突出する環状の凸部21を有し、この凸部21は放射状方向
の切込みによって周方向に多数に分割されており、弾性
体19の下面には凸部21と重合う位置に上述した圧電振動
体１が貼付けられるとともに、この圧電振動体１の第３
および第４の電極9a、9bには可撓性プリント基板23が貼
付けられている。
突出する環状の凸部21を有し、この凸部21は放射状方向
の切込みによって周方向に多数に分割されており、弾性
体19の下面には凸部21と重合う位置に上述した圧電振動
体１が貼付けられるとともに、この圧電振動体１の第３
および第４の電極9a、9bには可撓性プリント基板23が貼
付けられている。
基台13にはカップ状の金属製のケース25が被せられて
おり、ケース25の中央部が凸状に突出し、突部内側に配
置された軸受27と、この軸受27とケース25にて外輪を支
持したスラスト型のベアリング29が固定されている。
おり、ケース25の中央部が凸状に突出し、突部内側に配
置された軸受27と、この軸受27とケース25にて外輪を支
持したスラスト型のベアリング29が固定されている。
基台13に固定されたベアリング15とケース25側に固定
されたベアリング29にはシャフト31が回転自在に軸支さ
れており、ベアリング15側から一端が突出している。
されたベアリング29にはシャフト31が回転自在に軸支さ
れており、ベアリング15側から一端が突出している。
ベアリング15、29の間にあってシャフト31には移動体
としての円盤状回転体33が固定され、シャフト31に取付
けられたフランジ35によって皿ばね37が回転体33の周縁
部を弾性体19の凸部21に圧接させている。
としての円盤状回転体33が固定され、シャフト31に取付
けられたフランジ35によって皿ばね37が回転体33の周縁
部を弾性体19の凸部21に圧接させている。
このように構成された振動波モータは、互いに90゜位
相の異なる例えば40KHzの２種類の交流周波数電圧〔Ｖ
＝V0sinωｔ〕と〔Ｖ′＝V0sin（ωｔ±π/2）〕を第１
および第３の電極7a、9aの間と第２および第４の電極7
b、9bの間に印加することにより、弾性体19の凸部21部
分には周方向に進行する進行性振動波が生じ、凸部21に
圧接された回転体33が周方向に回転してシャフト31が回
転する。
相の異なる例えば40KHzの２種類の交流周波数電圧〔Ｖ
＝V0sinωｔ〕と〔Ｖ′＝V0sin（ωｔ±π/2）〕を第１
および第３の電極7a、9aの間と第２および第４の電極7
b、9bの間に印加することにより、弾性体19の凸部21部
分には周方向に進行する進行性振動波が生じ、凸部21に
圧接された回転体33が周方向に回転してシャフト31が回
転する。
なお、上述した振動波モータの構成は一例であり、従
来公知の振動波モータにおいて実施可能である。
来公知の振動波モータにおいて実施可能である。
以上説明したように本発明は、平均粒径0.05μｍと３
μｍの銀粉末の混在した銀ペーストで分極用の電極を圧
電セラミック板に形成したから、圧電セラミック板とそ
れらの電極との接触むらが少なくなり、狭い間隔で交互
に方向の異なる分極を正確かつ十分に施すことが容易で
ある。
μｍの銀粉末の混在した銀ペーストで分極用の電極を圧
電セラミック板に形成したから、圧電セラミック板とそ
れらの電極との接触むらが少なくなり、狭い間隔で交互
に方向の異なる分極を正確かつ十分に施すことが容易で
ある。
そのため、本発明の圧電振動体を振動波モータに用い
ると、高いモータトルクの得られる。
ると、高いモータトルクの得られる。
しかも、平均粒径0.05μｍと３μｍの銀粉末を3:7の
重量比で混入させた銀ペーストで電極を形成する構成で
は、機械的強度および半田付け性も良好となる利点があ
る。
重量比で混入させた銀ペーストで電極を形成する構成で
は、機械的強度および半田付け性も良好となる利点があ
る。
第１図〜第３図は本発明に係る圧電振動体の一実施例を
示す上面図、裏面図および断面図（第１図中のIII−III
間断面）、第４図は第１図中の圧電振動体の製法を示す
工程図、第５図は分極処理の方法を示す図、第６図は圧
電振動体の分極状態を示す図、第７図は本発明の圧電振
動体における圧電セラミック板と電極の要部概略拡大
図、第８図および第９図は銀ペーストと圧電振動体の比
誘電率の変化を示す図、第10図は圧電振動体を用いた振
動波モータの一例を示す半断面図である。 １……圧電振動体 3a、3b……第１および第２の分極グループ領域 ５……圧電セラミック板 7a、7b……電極（第１および第２の電極） 9a、9b……電極（第３および第４の電極） 11……電源 13……基台 25……ケース 31……シャフト 33……回転体（移動体）
示す上面図、裏面図および断面図（第１図中のIII−III
間断面）、第４図は第１図中の圧電振動体の製法を示す
工程図、第５図は分極処理の方法を示す図、第６図は圧
電振動体の分極状態を示す図、第７図は本発明の圧電振
動体における圧電セラミック板と電極の要部概略拡大
図、第８図および第９図は銀ペーストと圧電振動体の比
誘電率の変化を示す図、第10図は圧電振動体を用いた振
動波モータの一例を示す半断面図である。 １……圧電振動体 3a、3b……第１および第２の分極グループ領域 ５……圧電セラミック板 7a、7b……電極（第１および第２の電極） 9a、9b……電極（第３および第４の電極） 11……電源 13……基台 25……ケース 31……シャフト 33……回転体（移動体）
Claims (2)
- 【請求項１】圧電セラミック板の両対向主面に銀粉末を
混入した銀ペーストを焼きつけて形成した電極を有し、
片面側を弾性体に貼りつけるとともに前記電極を介して
互いに異なる位相の第１および第２の周波数信号の印加
によって振動して前記弾性体に進行性振動波を発生させ
る振動波モータの圧電振動体において、 前記電極は粒径0.01〜0.1μｍの粒度分布をもつ銀粉末
と粒径0.5〜５μｍの粒度分布をもつ銀粉末をガラスフ
リットに混入させた銀ペーストで形成されてなることを
特徴とする振動波モータの圧電振動体。 - 【請求項２】前記電極は粒径0.01〜0.1μｍの粒度分布
をもつ銀粉末を２〜５重量部、粒径0.5〜５μｍの粒度
分布をもつ銀粉末を８〜５重量部の重量比で混入させた
銀ペーストで形成された請求項１記載の振動波モータの
圧電振動体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02314407A JP3078832B2 (ja) | 1990-11-21 | 1990-11-21 | 振動波モータの圧電振動体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02314407A JP3078832B2 (ja) | 1990-11-21 | 1990-11-21 | 振動波モータの圧電振動体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04190682A JPH04190682A (ja) | 1992-07-09 |
| JP3078832B2 true JP3078832B2 (ja) | 2000-08-21 |
Family
ID=18052978
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP02314407A Expired - Fee Related JP3078832B2 (ja) | 1990-11-21 | 1990-11-21 | 振動波モータの圧電振動体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3078832B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003028927A1 (fr) * | 2001-09-28 | 2003-04-10 | Mitsubishi Materials Corporation | Poudre d'argent pour argile d'argent et argile d'argent en comportant |
| JP5717975B2 (ja) * | 2010-03-31 | 2015-05-13 | キヤノン株式会社 | 振動体及び振動波アクチュエータ |
-
1990
- 1990-11-21 JP JP02314407A patent/JP3078832B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04190682A (ja) | 1992-07-09 |
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