JP2626162B2 - 超音波モータ - Google Patents
超音波モータInfo
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 4
- 230000006870 function Effects 0.000 description 11
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、圧電セラミック等の圧電体により励振した
弾性波を駆動力とする超音波モータに関し、時に弾性波
を励振する振動体を構成する圧電体の電極構造に関する
ものである。
弾性波を駆動力とする超音波モータに関し、時に弾性波
を励振する振動体を構成する圧電体の電極構造に関する
ものである。
従来の技術 近年圧電体を組み合わせて構成した振動体に励振した
弾性振動を駆動力とした超音波モータが注目されてい
る。
弾性振動を駆動力とした超音波モータが注目されてい
る。
以下、図面を参照しながら超音波モータの従来技術に
ついて説明を行う。
ついて説明を行う。
第3図は従来の円環形超音波モータの切り欠き斜視図
である。同図において、複数個の突起体7を上面に有す
る金属等の円環形弾性基板1の底面円環形圧電体2を接
着して振動体3を構成している。圧電体2に構成された
2組の駆動電極(後述)に所定の位相差を有する2つの
交流電圧を印加することで振動体3に撓み振動と進行波
を励振する。
である。同図において、複数個の突起体7を上面に有す
る金属等の円環形弾性基板1の底面円環形圧電体2を接
着して振動体3を構成している。圧電体2に構成された
2組の駆動電極(後述)に所定の位相差を有する2つの
交流電圧を印加することで振動体3に撓み振動と進行波
を励振する。
振動体3に励振された撓み振動の進行波は突起体の先
端に伝えられ、突起体先端は第6図に示すように楕円軌
跡を描いて運動する。この楕円軌跡は摩擦材4を介して
移動体6を駆動し、移動体6は回転運動を行う。
端に伝えられ、突起体先端は第6図に示すように楕円軌
跡を描いて運動する。この楕円軌跡は摩擦材4を介して
移動体6を駆動し、移動体6は回転運動を行う。
第4図は従来の圧電体2に形された電極構造の1例であ
る。圧電体2には4つの電極部が構成されている。Aと
Bはそれぞれ周方向に1/2波長相当の長さを持つ小電極
から成る駆動電極である。Cは周方向に3/4波長相当の
長さを持つ電極であり、は周方向に1/4波長相当の長さ
を持つ電極である。電極CとDは駆動電極AとBに所定
の位置(1/4波長相当)だけずらせるために構成したも
のであり省略することも出来る。2組の駆動電極AとB
に、所定の位相差(π/2)を有する2つの交流電圧をそ
ぞれ印加すると振動体3に2つの撓み振動の定在波が励
振されている。
る。圧電体2には4つの電極部が構成されている。Aと
Bはそれぞれ周方向に1/2波長相当の長さを持つ小電極
から成る駆動電極である。Cは周方向に3/4波長相当の
長さを持つ電極であり、は周方向に1/4波長相当の長さ
を持つ電極である。電極CとDは駆動電極AとBに所定
の位置(1/4波長相当)だけずらせるために構成したも
のであり省略することも出来る。2組の駆動電極AとB
に、所定の位相差(π/2)を有する2つの交流電圧をそ
ぞれ印加すると振動体3に2つの撓み振動の定在波が励
振されている。
第5図(a),(b)はそれぞれ振動体3に励振され
る撓み振動の振動姿態と振動振幅の半径方向の変位分布
を模式的に描いたものである。2つの所在波が重畳され
ることにより、振動体3の周方向に進行する撓み振動の
進行波が励振される。
る撓み振動の振動姿態と振動振幅の半径方向の変位分布
を模式的に描いたものである。2つの所在波が重畳され
ることにより、振動体3の周方向に進行する撓み振動の
進行波が励振される。
以上説明したように、超音波モータは振動体に励振さ
れる変形によって移動体を摩擦駆動するモータである
が、この変形は数ミクロン程度の小さなものである。従
って、移動体に励振された振動の進行波の波頭近傍のみ
で振動体に接触することにより、振動体の変形によって
発生する駆動力が完全に移動体に伝えられるものであり
あり、その接触を一定に保つことが特性のばらつきを押
えるうえで重要である。そして振動体と移動体の均一接
触を保つためには、移動体と振動体の接触面を均一にす
ることと共に、振動体に励振される弾性波が定在波成分
の小さい均一な進行波であることが必要である。
れる変形によって移動体を摩擦駆動するモータである
が、この変形は数ミクロン程度の小さなものである。従
って、移動体に励振された振動の進行波の波頭近傍のみ
で振動体に接触することにより、振動体の変形によって
発生する駆動力が完全に移動体に伝えられるものであり
あり、その接触を一定に保つことが特性のばらつきを押
えるうえで重要である。そして振動体と移動体の均一接
触を保つためには、移動体と振動体の接触面を均一にす
ることと共に、振動体に励振される弾性波が定在波成分
の小さい均一な進行波であることが必要である。
発明が解決しようとする課題 従来の超音波モータは、図5に示したように、圧電体
の2つの駆動電極のそれぞれが半径方向に2分割された
面上に局在して構成されていたため、負荷の不均一性の
影響を受けて定在波成分の大きな不安定な進行波しか得
られなかった。また、円周方向に1/2波長相当の小駆動
電極から成る電極構造であるため、振動体の駆動電極か
ら見たアドミッタンスの周波数特性特性は第7図に2示
すように、基本次数の振動モード(主要モード)の近傍
にその前後の次数の共振が現れ、基本次数の振動モード
だけでなく、その前後の振動モードを励振して、上記と
同様に振動体に励振する進行波の定在波成分を大きくし
ていた。
の2つの駆動電極のそれぞれが半径方向に2分割された
面上に局在して構成されていたため、負荷の不均一性の
影響を受けて定在波成分の大きな不安定な進行波しか得
られなかった。また、円周方向に1/2波長相当の小駆動
電極から成る電極構造であるため、振動体の駆動電極か
ら見たアドミッタンスの周波数特性特性は第7図に2示
すように、基本次数の振動モード(主要モード)の近傍
にその前後の次数の共振が現れ、基本次数の振動モード
だけでなく、その前後の振動モードを励振して、上記と
同様に振動体に励振する進行波の定在波成分を大きくし
ていた。
その結果、振動体面と移動体面の接触状況が劣化し
て、振動体の変形によって発生する駆動力は移動体に完
全に伝わらず、モータ効率の低下や特性ばらつき、また
可聴音発生の原因になっていた。
て、振動体の変形によって発生する駆動力は移動体に完
全に伝わらず、モータ効率の低下や特性ばらつき、また
可聴音発生の原因になっていた。
本発明は、この様な課題を解決することを目的とす
る。
る。
課題を解決するための手段。
上記の課題を解決するための技術的手段は、振動体を
構成する圧電体に形成された駆動電極の構造を、振動体
に励振する弾性進行波を構成する定在波の規準関数にほ
ぼ等しく構成することである。
構成する圧電体に形成された駆動電極の構造を、振動体
に励振する弾性進行波を構成する定在波の規準関数にほ
ぼ等しく構成することである。
作用 振動体を構成する圧電体の駆動電極の構造を、振動体
に励振する弾性進行派を構成する定在波の規準関数にほ
ぼ等しく構成することにより、負荷の不均一の影響の少
ない、定在波成分の少ない進行波を振動体に励振するこ
とができ、もって振動体と移動体との均一な接触や、振
動体に励振された撓み振動の進行波の波頭近傍のみで振
動体に接触する事が確実に実現できる。その結果、振動
体の変形にて発生する駆動力が効率良く移動体に伝達さ
れてモータ効率が向上し、また移動体と振動体の接触を
良好に保つことが可能となり、特性のばらつき、可聴音
の発生を抑制する事が出来る。
に励振する弾性進行派を構成する定在波の規準関数にほ
ぼ等しく構成することにより、負荷の不均一の影響の少
ない、定在波成分の少ない進行波を振動体に励振するこ
とができ、もって振動体と移動体との均一な接触や、振
動体に励振された撓み振動の進行波の波頭近傍のみで振
動体に接触する事が確実に実現できる。その結果、振動
体の変形にて発生する駆動力が効率良く移動体に伝達さ
れてモータ効率が向上し、また移動体と振動体の接触を
良好に保つことが可能となり、特性のばらつき、可聴音
の発生を抑制する事が出来る。
実施例 以下、図面に従って本発明の実施例について詳細な説
明を行う。
明を行う。
本実施例は円環型超音波モータについて述べるが、他
の超音波モータについても同様に実施することが出来る
ことは言うまでもない。
の超音波モータについても同様に実施することが出来る
ことは言うまでもない。
円環型超音波モータは円環形弾性板の撓み振動を使用
し、撓み振動の振幅ξは、 ξ=K(r)・sin(nθ) で表わせる。
し、撓み振動の振幅ξは、 ξ=K(r)・sin(nθ) で表わせる。
ここで、Z(r)、sin(nθ)は規準関数、Kは定
数、nは振動の次数、r、θはそれぞれ半径方向、円周
方向の円柱座標を表わす。
数、nは振動の次数、r、θはそれぞれ半径方向、円周
方向の円柱座標を表わす。
第1図は本発明の超音波モータの一実施例において、
その振動体を構成する圧電セラミック等の圧電体の面上
に形成された駆動電極を示すものである。同図(a)、
(b)は、それぞれ圧電体11の第1面および第2面の駆
動電極構造を示すものである。第1面には2組の駆動電
極が内外周に分割される構造で形成されている。外周側
に形成された第1駆動電極8、内周側に形成された第2
駆動電極9ともに、振動体に例振する9次の撓み振動の
進行波の円周方向の規準関数である三角関数(sin(9
θ))でその境界部を構成し、その両端は電気的に隣の
電極部分と接続されている。ここで三角関数の正負は分
極方向と対応しているので、上記三角関数は絶対値をと
って、 |sin(9θ)| としている。従って、2組の駆動電極8と9は共に1/2
波長周期となっており、お互いに位置的に1/4波長だけ
ずれた2組の駆動電極と8と9を構成している。圧電体
11の第2面には、第1面の2組の駆動電極に8と9に対
応して、周方向に1/2波長相当の長さを持つ小駆動電極
から成る第3作銅電極10が形成されている。
その振動体を構成する圧電セラミック等の圧電体の面上
に形成された駆動電極を示すものである。同図(a)、
(b)は、それぞれ圧電体11の第1面および第2面の駆
動電極構造を示すものである。第1面には2組の駆動電
極が内外周に分割される構造で形成されている。外周側
に形成された第1駆動電極8、内周側に形成された第2
駆動電極9ともに、振動体に例振する9次の撓み振動の
進行波の円周方向の規準関数である三角関数(sin(9
θ))でその境界部を構成し、その両端は電気的に隣の
電極部分と接続されている。ここで三角関数の正負は分
極方向と対応しているので、上記三角関数は絶対値をと
って、 |sin(9θ)| としている。従って、2組の駆動電極8と9は共に1/2
波長周期となっており、お互いに位置的に1/4波長だけ
ずれた2組の駆動電極と8と9を構成している。圧電体
11の第2面には、第1面の2組の駆動電極に8と9に対
応して、周方向に1/2波長相当の長さを持つ小駆動電極
から成る第3作銅電極10が形成されている。
第1図に示された駆動電極が形成された圧電体11は、
第2面に示されたような符号で分極される。その分極工
程は第1面を金属等の導電体の上に設置して第1駆動電
極8と第2駆動電極9を共通にし、第2面の小電極にそ
れぞれ同図に示されたように、唱利上う小電極に交互に
符号を変えた高圧の直流電圧を一定時間だけ印加して行
う。
第2面に示されたような符号で分極される。その分極工
程は第1面を金属等の導電体の上に設置して第1駆動電
極8と第2駆動電極9を共通にし、第2面の小電極にそ
れぞれ同図に示されたように、唱利上う小電極に交互に
符号を変えた高圧の直流電圧を一定時間だけ印加して行
う。
分極を終えた圧電体11は、第2面を金属等の円環形弾
性体1の底面に第2面を結合されるかたちで接着され
る。円環形弾性体1が導電体の場合は、圧電体11の第2
面の小駆動電極は短絡されて共通になる。円環形弾性体
1が絶縁体の場合は、圧電体11の第2面の小駆動電極を
短絡して共通にするために、円環形弾性体1の底面また
は圧電体11の第2面にに導電被膜を形成するか、円環形
弾性体1の底面と圧電体11の第2の間に金属箔などを挟
んで接着する必要がある。
性体1の底面に第2面を結合されるかたちで接着され
る。円環形弾性体1が導電体の場合は、圧電体11の第2
面の小駆動電極は短絡されて共通になる。円環形弾性体
1が絶縁体の場合は、圧電体11の第2面の小駆動電極を
短絡して共通にするために、円環形弾性体1の底面また
は圧電体11の第2面にに導電被膜を形成するか、円環形
弾性体1の底面と圧電体11の第2の間に金属箔などを挟
んで接着する必要がある。
圧電体11の第3駆動電極10を共通電極として、第1駆
動電極8と第2駆動電極9に、位相がπ/2異なる振動体
の共振周波数近傍の交流電圧を印加すれば、振動体に撓
み振動の進行波を例振することができる。
動電極8と第2駆動電極9に、位相がπ/2異なる振動体
の共振周波数近傍の交流電圧を印加すれば、振動体に撓
み振動の進行波を例振することができる。
第2図は第1図の電極構造の圧電体11を使用した振動
体の第1駆動電極8または第2駆動電極9から見たアド
ミッタンスの周波数特性である。同図から明らかなよう
に、本実施例の振動体では2組の駆動電極が、それぞれ
振動体に励振する弾性進行波を構成する2つの定在波の
円周方向の規準関数である三角関数になっているので、
着目している次の撓み振動モード(主要モード)のみを
励振することが出来る。また、駆動電極が周方向に不均
一に分散して形成されているので、負荷の不均一の影響
を第1駆動電極8または第2駆動電極9が同様に受けて
常に定在波成分の少ない進行波が得られる。
体の第1駆動電極8または第2駆動電極9から見たアド
ミッタンスの周波数特性である。同図から明らかなよう
に、本実施例の振動体では2組の駆動電極が、それぞれ
振動体に励振する弾性進行波を構成する2つの定在波の
円周方向の規準関数である三角関数になっているので、
着目している次の撓み振動モード(主要モード)のみを
励振することが出来る。また、駆動電極が周方向に不均
一に分散して形成されているので、負荷の不均一の影響
を第1駆動電極8または第2駆動電極9が同様に受けて
常に定在波成分の少ない進行波が得られる。
本実施例では、振動体に励振する弾性進行波を構成す
る2つの定在波の円周方向の規準関数のみを考慮に入れ
たが、半径方向の規準関数も同時に考慮して、駆動電極
を設計すればより大きな効果が得られる。しかし、規準
関数を近似して駆動電極を形成しても、従来の電極構造
に対して高効率、安定性などの効果を得ることが出来
る。
る2つの定在波の円周方向の規準関数のみを考慮に入れ
たが、半径方向の規準関数も同時に考慮して、駆動電極
を設計すればより大きな効果が得られる。しかし、規準
関数を近似して駆動電極を形成しても、従来の電極構造
に対して高効率、安定性などの効果を得ることが出来
る。
また、本実施例では2組の駆動電極を圧電体の1周に
わたってそれぞれ形成しているが、動作安定性との兼ね
合いであるが、部分的に形成しても同様の効果が得られ
る。
わたってそれぞれ形成しているが、動作安定性との兼ね
合いであるが、部分的に形成しても同様の効果が得られ
る。
発明の効果 振動体を構成する圧電体の駆動電極が、振動体に励振
する弾性進行波を構成する定在波の規準関数とほぼ等し
くなっているので、基本次数の撓み振動のみを励振する
ことができ、また駆動電極が円周方向に均一に分散して
形成されているので、負荷の不均一の影響を第1駆動電
極または第2駆動電極ぎ同様に受けるので、常に定在波
成分の少ない進行波が得られる。従って、振動体と移動
体の均一な接触が実現されて、振動体の変形にて発生す
る駆動力を効率良く移動体に伝達でき、その結果モータ
効率が向上し、特性のばらつきを押えることができる。
する弾性進行波を構成する定在波の規準関数とほぼ等し
くなっているので、基本次数の撓み振動のみを励振する
ことができ、また駆動電極が円周方向に均一に分散して
形成されているので、負荷の不均一の影響を第1駆動電
極または第2駆動電極ぎ同様に受けるので、常に定在波
成分の少ない進行波が得られる。従って、振動体と移動
体の均一な接触が実現されて、振動体の変形にて発生す
る駆動力を効率良く移動体に伝達でき、その結果モータ
効率が向上し、特性のばらつきを押えることができる。
第1図は本発明の超音波モータの一実施例における圧電
体の平面図、第2図は第1図の圧電体を用いた振動体の
アドミッタンスの周波数特性図、第3図は従来の超音波
のモータ切り欠き斜視図、第4図は従来の超音波モータ
の圧電体の平面図、第5図は振動体の径方向の撓み振動
の変位図、第6図は超音波モータの動作原理の説明図、
第7図は従来の超音波モータの振動体のアドミッタンス
の周波数特性図である。 8……第1駆動電極、 9……第2駆動電極、 10……第3駆動電極、 11……圧電体。
体の平面図、第2図は第1図の圧電体を用いた振動体の
アドミッタンスの周波数特性図、第3図は従来の超音波
のモータ切り欠き斜視図、第4図は従来の超音波モータ
の圧電体の平面図、第5図は振動体の径方向の撓み振動
の変位図、第6図は超音波モータの動作原理の説明図、
第7図は従来の超音波モータの振動体のアドミッタンス
の周波数特性図である。 8……第1駆動電極、 9……第2駆動電極、 10……第3駆動電極、 11……圧電体。
フロントページの続き (72)発明者 武田 克 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (56)参考文献 特開 昭62−196084(JP,A) 特開 平3−164077(JP,A) 実開 昭60−44496(JP,U)
Claims (1)
- 【請求項1】弾性基板と圧電体を組み合わせて構成した
振動体と、前記弾性基板に加圧接触される移動体とを具
備し、前記圧電体に設置された駆動電極に所定の位相差
を持った駆動電圧を印加して前記振動体に弾性進行波を
励振して前記移動体を移動させる円環型超音波モータに
おいて、 圧電体の第1面に設置される駆動電極の構造を、振動体
に励振する撓みの振動の弾性進行波を構成する撓み振動
の定在波の基準関数である三角関数にほぼ等しくすると
ともに、両端で電極パターンで接続し、 前記圧電体の第2面に設置される駆動電極の構造を、前
記圧電体の第1面の駆動電極に対応し、前記撓み振動の
半波長相当の周方向の長さを持つ小電極から成り、 前期圧電体の第2面を弾性基板に接着することにより振
動体を構成することを特徴とする超音波モータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2118902A JP2626162B2 (ja) | 1990-05-08 | 1990-05-08 | 超音波モータ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2118902A JP2626162B2 (ja) | 1990-05-08 | 1990-05-08 | 超音波モータ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0417581A JPH0417581A (ja) | 1992-01-22 |
JP2626162B2 true JP2626162B2 (ja) | 1997-07-02 |
Family
ID=14747999
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2118902A Expired - Fee Related JP2626162B2 (ja) | 1990-05-08 | 1990-05-08 | 超音波モータ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2626162B2 (ja) |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6044496U (ja) * | 1983-08-31 | 1985-03-28 | セイコーインスツルメンツ株式会社 | 圧電モ−タ用圧電素子 |
JPS62196084A (ja) * | 1986-02-20 | 1987-08-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波モ−タ |
JP2638856B2 (ja) * | 1987-11-11 | 1997-08-06 | 松下電器産業株式会社 | 超音波モータ |
JP2568707B2 (ja) * | 1989-11-17 | 1997-01-08 | 松下電器産業株式会社 | 超音波モータ |
-
1990
- 1990-05-08 JP JP2118902A patent/JP2626162B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0417581A (ja) | 1992-01-22 |
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