JP2568707B2 - 超音波モータ - Google Patents
超音波モータInfo
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- JP2568707B2 JP2568707B2 JP1300509A JP30050989A JP2568707B2 JP 2568707 B2 JP2568707 B2 JP 2568707B2 JP 1300509 A JP1300509 A JP 1300509A JP 30050989 A JP30050989 A JP 30050989A JP 2568707 B2 JP2568707 B2 JP 2568707B2
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Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、圧電体により励振した弾性振動を駆動力と
する超音波モータに関する。
する超音波モータに関する。
従来の技術 近年、圧電セラミック等の圧電体により構成した振動
体に弾性振動を励振し、これを駆動力とする超音波モー
タが注目されている。
体に弾性振動を励振し、これを駆動力とする超音波モー
タが注目されている。
以下、図面を参照しながら従来の超音波モータについ
て説明を行う。
て説明を行う。
第７図は円環型超音波モータの斜視図であり、円環形
の弾性体１の主面の一方に、円環形の圧電体２を貼り合
わせて振動体３を構成している。４は耐摩耗性材料の、
摩擦材、５は弾性体であり、互いに貼合わせられて移動
体６を構成している。移動体６は、摩擦材４を介して、
振動体３に加圧接触している（加圧手段は図示せず）。
圧電体２に電界を印加すると振動体３の周方向に曲げ振
動の進行波が励振され、移動体６が図中の矢印方向に摩
擦力により駆動される。
の弾性体１の主面の一方に、円環形の圧電体２を貼り合
わせて振動体３を構成している。４は耐摩耗性材料の、
摩擦材、５は弾性体であり、互いに貼合わせられて移動
体６を構成している。移動体６は、摩擦材４を介して、
振動体３に加圧接触している（加圧手段は図示せず）。
圧電体２に電界を印加すると振動体３の周方向に曲げ振
動の進行波が励振され、移動体６が図中の矢印方向に摩
擦力により駆動される。
第８図は上記超音波モータにおける圧電体２の電極構
造の一例を示すもので、円周方向に９波の曲げ振動を励
振する構成である。同図において、斜線を施したA0、B0
は、それぞれ２分の１波長相当の小領域からなる電極群
である。C0は４分３波長、D0は４分の１波長の長さの電
極である。従って、A0の電極群とB0の電極群とは互い
に、位置的に４分の１波長（＝90度）の位相差を持つ。
また電極群A0、B0内の隣合う小電極部は、互いに反対に
厚み方向に分極されている。圧電体２の弾性体１との接
着面は、同図に示された面と反対の面であり、電極はベ
タ電極である。使用時には、同図に斜線で示したように
それぞれ短絡して用いられる。
造の一例を示すもので、円周方向に９波の曲げ振動を励
振する構成である。同図において、斜線を施したA0、B0
は、それぞれ２分の１波長相当の小領域からなる電極群
である。C0は４分３波長、D0は４分の１波長の長さの電
極である。従って、A0の電極群とB0の電極群とは互い
に、位置的に４分の１波長（＝90度）の位相差を持つ。
また電極群A0、B0内の隣合う小電極部は、互いに反対に
厚み方向に分極されている。圧電体２の弾性体１との接
着面は、同図に示された面と反対の面であり、電極はベ
タ電極である。使用時には、同図に斜線で示したように
それぞれ短絡して用いられる。
この電極群A0、B0に V1＝V0sin（ωｔ） …（１） V2＝V0cos（ωｔ） …（２） ただし、V0：電圧の瞬時値 ω：角周波数 t:時間 で表される電圧V1及びV2をそれぞれ印加すれば、振動体
３には ξ＝ξ0（cos（ωｔ）cos（kx）＋sin（ωｔ）sin（k
x）） ＝ξ0cos（ωｔ−kx） …（３） ただし、ξ：曲げ振動の振幅値 ξ0：曲げ振動の瞬時値 k:波数（２π／λ） λ：波長 x:位置 で表せる、円周方向に進行する曲げ振動の進行波が励起
される。
３には ξ＝ξ0（cos（ωｔ）cos（kx）＋sin（ωｔ）sin（k
x）） ＝ξ0cos（ωｔ−kx） …（３） ただし、ξ：曲げ振動の振幅値 ξ0：曲げ振動の瞬時値 k:波数（２π／λ） λ：波長 x:位置 で表せる、円周方向に進行する曲げ振動の進行波が励起
される。
第９図は振動体３の表面のＡ点が進行波の励起によっ
て、長軸2w、短軸2uの楕円運動をし、振動体３上に加圧
して設置された移動体６が、楕円の頂点近傍で接触する
ことにより、摩擦力により波の進行方向とは逆方向にｖ
＝ω・ｕの速度で運動する様子を示している。
て、長軸2w、短軸2uの楕円運動をし、振動体３上に加圧
して設置された移動体６が、楕円の頂点近傍で接触する
ことにより、摩擦力により波の進行方向とは逆方向にｖ
＝ω・ｕの速度で運動する様子を示している。
発明が解決しようとする課題 従来の電極構造を有した圧電体から成る振動体の場
合、使用振動モードに対する共振周波数近傍に、多数の
不要共振が出易く、使用振動モードに対する共振周波数
の交流電圧を印加しても、振動体の非線形及び駆動電圧
のわずかな歪によって、励振している振動モード以外の
不要振動が励振される。このため駆動時に雑音が発生
し、加えてモータの駆動効率も低下させるという課題が
ある。
合、使用振動モードに対する共振周波数近傍に、多数の
不要共振が出易く、使用振動モードに対する共振周波数
の交流電圧を印加しても、振動体の非線形及び駆動電圧
のわずかな歪によって、励振している振動モード以外の
不要振動が励振される。このため駆動時に雑音が発生
し、加えてモータの駆動効率も低下させるという課題が
ある。
更に、通常は圧電体２と弾性体１の接着後に、第８図
に示した２組の電極群のそれぞれの小電極をの結線と言
う煩雑な工程を必要とした。
に示した２組の電極群のそれぞれの小電極をの結線と言
う煩雑な工程を必要とした。
本発明は上記課題を解決することを目的とするもので
ある。
ある。
課題を解決するための手段 超音波モータの振動体を構成する圧電体の弾性体に接
着する面と異なる面である第１面（以下第１面）に設け
られた２組の駆動電極を、それぞれ進行波の２分の１波
長相当の小電極部で構成すると共に、小電極の形状を、
進行波の進行方向に直角な方向に測った前記小電極の幅
が小電極の中央部の前後で漸次減少する形状もしくは小
電極の一端部から他端部に向かうにつれ減少する形状と
なし、また前記小電極はその両端で隣接する小電極に接
続する構造とするものである。
着する面と異なる面である第１面（以下第１面）に設け
られた２組の駆動電極を、それぞれ進行波の２分の１波
長相当の小電極部で構成すると共に、小電極の形状を、
進行波の進行方向に直角な方向に測った前記小電極の幅
が小電極の中央部の前後で漸次減少する形状もしくは小
電極の一端部から他端部に向かうにつれ減少する形状と
なし、また前記小電極はその両端で隣接する小電極に接
続する構造とするものである。
また、圧電体の弾性体に接着する面である第２面（以
下第２面）に設けられた２組の駆動電極を、第１面に設
けられた２組の駆動電極に対応し、それぞれの駆動電極
は進行波の２分の１波長または１波長相当の小電極部か
ら構成する。
下第２面）に設けられた２組の駆動電極を、第１面に設
けられた２組の駆動電極に対応し、それぞれの駆動電極
は進行波の２分の１波長または１波長相当の小電極部か
ら構成する。
作用 圧電体の第１面に設けられた２組の駆動電極が、それ
ぞれ進行波の２分の１波長相当の小電極部から成り、小
電極の形状を上記の形状となして電極形状を振動モード
の基準関数に近づけることで不要共振の励振を抑制する
ことが可能となる。
ぞれ進行波の２分の１波長相当の小電極部から成り、小
電極の形状を上記の形状となして電極形状を振動モード
の基準関数に近づけることで不要共振の励振を抑制する
ことが可能となる。
その結果、駆動時の雑音が減少し、駆動効率が良く、
しかも動作の安定した超音波モータが実現できる。
しかも動作の安定した超音波モータが実現できる。
また、小電極の構造は上記の様に、既に両端で隣接す
る小電極に接続された構造となされているため配線工程
を簡略化できる。
る小電極に接続された構造となされているため配線工程
を簡略化できる。
実施例 以下、図面に従って本発明の実施例について詳細な説
明を行う。
明を行う。
第１図は本発明の一実施例における円環型超音波モー
タの圧電体の第１面の電極構造図であり、円環形振動体
は、径方向１次・周方向９次の撓み振動を励振する。同
図において、圧電体２の第１面には位置的に90度（４分
の１波長相当）の位相差を持つ電極群Ａ、Ｂが構成され
ている。電極群Ａはそれぞれ励振する振動モードの進行
波の２分の１波長相当の底辺Laを有する小電極部a1、
a2、…から成る。また、同様に電極群Ｂはそれぞれ励振
する振動モードの進行波の２分の１波長相当の底辺Lbを
有する小電極部b1、b2、…から成る。
タの圧電体の第１面の電極構造図であり、円環形振動体
は、径方向１次・周方向９次の撓み振動を励振する。同
図において、圧電体２の第１面には位置的に90度（４分
の１波長相当）の位相差を持つ電極群Ａ、Ｂが構成され
ている。電極群Ａはそれぞれ励振する振動モードの進行
波の２分の１波長相当の底辺Laを有する小電極部a1、
a2、…から成る。また、同様に電極群Ｂはそれぞれ励振
する振動モードの進行波の２分の１波長相当の底辺Lbを
有する小電極部b1、b2、…から成る。
小電極部a1、a2、…及び小電極部b1、b2、…は、それ
ぞれの底辺部La及びLbの両端部で隣接する小電極部に電
気的に接続された構造となされている。
ぞれの底辺部La及びLbの両端部で隣接する小電極部に電
気的に接続された構造となされている。
第２図は第１図に示した圧電体２の第２面の電極構造
の１例を示す。同図において、小電極c1、c2、…は上記
進行波の１波長相当の長さを有し、第１図における電極
群Ａ、Ｂを構成する小電極部のうち隣合う１組の電極a1
とb1、a2とb2、…に対応している。すなわち、第２図を
裏返して第１図に重ねた場合、例えば、c1はa1とb1に、
c2はa2とb2に対向している。
の１例を示す。同図において、小電極c1、c2、…は上記
進行波の１波長相当の長さを有し、第１図における電極
群Ａ、Ｂを構成する小電極部のうち隣合う１組の電極a1
とb1、a2とb2、…に対応している。すなわち、第２図を
裏返して第１図に重ねた場合、例えば、c1はa1とb1に、
c2はa2とb2に対向している。
振動体に励振できる振動モードは、駆動電極構造によ
って決まる。従って、振動モードが決まれば、その振動
モードが強勢に励振され、その周波数近傍に不要共振が
励振されないようにする最適な駆動電極構造がある。着
目振動モードによって圧電体の電極に誘起される電荷量
を大きくし、不要振動モードによって圧電体の電極に誘
起される電荷量を出来る限り小さくすればよい。通常
は、電極構造を振動モードの基準関数に近づけるように
する。
って決まる。従って、振動モードが決まれば、その振動
モードが強勢に励振され、その周波数近傍に不要共振が
励振されないようにする最適な駆動電極構造がある。着
目振動モードによって圧電体の電極に誘起される電荷量
を大きくし、不要振動モードによって圧電体の電極に誘
起される電荷量を出来る限り小さくすればよい。通常
は、電極構造を振動モードの基準関数に近づけるように
する。
第１図に示した電極構造は、この様な観点から設計さ
れたものであり、径方向１次・周方向９次の撓み振動の
みを強勢に励振するものである。すなわち、実施例で
は、電極形状は、進行波の進行方向と直角な方向に測っ
た幅が、中央部の前後で減少する略３角形状で、振動モ
ードの基準関数に近づけたので、使用する振動モード以
外の不要振動の励振を抑制することができ、雑音の発生
が少く、駆動効率が良く、しかも安定に駆動する超音波
モータを実現することができる。その上、従来の電極構
造に比べて、駆動面に対して電極総面積を大きくとれる
ので、駆動力を大きくできる。
れたものであり、径方向１次・周方向９次の撓み振動の
みを強勢に励振するものである。すなわち、実施例で
は、電極形状は、進行波の進行方向と直角な方向に測っ
た幅が、中央部の前後で減少する略３角形状で、振動モ
ードの基準関数に近づけたので、使用する振動モード以
外の不要振動の励振を抑制することができ、雑音の発生
が少く、駆動効率が良く、しかも安定に駆動する超音波
モータを実現することができる。その上、従来の電極構
造に比べて、駆動面に対して電極総面積を大きくとれる
ので、駆動力を大きくできる。
第３図は第１図に示した圧電体２の第２面の電極構造
の別の例を示す。同図において、小電極d1、d2、d3、
d4、…は上記進行波の２分の１波長相当の長さを有し、
第１図における電極群Ａ、Ｂを構成する小電極部b1、
a1、b2、a2、…にそれぞれ対応している。
の別の例を示す。同図において、小電極d1、d2、d3、
d4、…は上記進行波の２分の１波長相当の長さを有し、
第１図における電極群Ａ、Ｂを構成する小電極部b1、
a1、b2、a2、…にそれぞれ対応している。
圧電体２を分極するときは、第１面を金属などの導電
体の上に置くことにより共通電極として、第２面の小電
極を第２図または第３図に示した符号の様に分極する。
分極後の圧電体２は第２面を接着面として弾性体と接着
され、円環形振動体を構成する。通常は圧電体２と弾性
体の接着後に、第１図に示した第１面の２組の電極群の
それぞれの小電極は結線しなくてはならないが、本実施
例では小電極は既に配線されているので、それぞれの電
極群からリード線を取り出すだけで超音波モータを容易
に構成することができる。従って、圧電体の分極後の配
線工程を簡略化し、超音波モータの信頼性を向上するこ
とができる。
体の上に置くことにより共通電極として、第２面の小電
極を第２図または第３図に示した符号の様に分極する。
分極後の圧電体２は第２面を接着面として弾性体と接着
され、円環形振動体を構成する。通常は圧電体２と弾性
体の接着後に、第１図に示した第１面の２組の電極群の
それぞれの小電極は結線しなくてはならないが、本実施
例では小電極は既に配線されているので、それぞれの電
極群からリード線を取り出すだけで超音波モータを容易
に構成することができる。従って、圧電体の分極後の配
線工程を簡略化し、超音波モータの信頼性を向上するこ
とができる。
以上、円環型の超音波モータについて説明を行なった
が、円板の撓み振動を利用した円板型超音波モータの場
合でも同様の効果が得られる。以下、円板型の超音波モ
ータの実施例に基づき説明を行なう。
が、円板の撓み振動を利用した円板型超音波モータの場
合でも同様の効果が得られる。以下、円板型の超音波モ
ータの実施例に基づき説明を行なう。
第４図は本発明の円板型超音波モータの一実施例にお
ける圧電体の第１面の電極構造図であり、径方向２次・
周方向４次の撓み振動のみを強勢に励振するものであ
る。
ける圧電体の第１面の電極構造図であり、径方向２次・
周方向４次の撓み振動のみを強勢に励振するものであ
る。
同図において、圧電体２の第１面には位置的に90度
（４分の１波長相当）の位相差を持つ電極群Ｅ、Ｆが構
成されている。電極群Ｅはそれぞれ励振する振動モード
の進行波の２分の１波長相当の底辺Leを有する小電極部
e1、e2、…から成る。また、同様に電極群Ｆはそれぞれ
励振する振動モードの進行波の２分の１波長相当の底辺
Lfを有する小電極部f1、f2、…から成る。小電極部e1、
e2、…の両端及び小電極部f1、f2、…の両端はそれぞ隣
接する小電極部に電気的に接続されている。
（４分の１波長相当）の位相差を持つ電極群Ｅ、Ｆが構
成されている。電極群Ｅはそれぞれ励振する振動モード
の進行波の２分の１波長相当の底辺Leを有する小電極部
e1、e2、…から成る。また、同様に電極群Ｆはそれぞれ
励振する振動モードの進行波の２分の１波長相当の底辺
Lfを有する小電極部f1、f2、…から成る。小電極部e1、
e2、…の両端及び小電極部f1、f2、…の両端はそれぞ隣
接する小電極部に電気的に接続されている。
第５図は第４図に示した圧電体２の第２面の電極構造
の１例を示すものである。同図において、小電極g1、
g2、…は上記進行波の１波長相当の長さを有し、第４図
における電極群Ｅ、Ｆを構成する小電極部のうち隣合う
１組の電極e1とf1、e2とf2、…に対応している。
の１例を示すものである。同図において、小電極g1、
g2、…は上記進行波の１波長相当の長さを有し、第４図
における電極群Ｅ、Ｆを構成する小電極部のうち隣合う
１組の電極e1とf1、e2とf2、…に対応している。
第６図は第４図に示した圧電体２の第２面の電極構造
の別の例を示す。同図において、小電極h1、h2、h3、
h4、…は上記進行波の２分の１波長相当の長さを有し、
第４図における電極群Ｅ、Ｆを構成する小電極部e1、
f1、e2、f2、…に対応している。
の別の例を示す。同図において、小電極h1、h2、h3、
h4、…は上記進行波の２分の１波長相当の長さを有し、
第４図における電極群Ｅ、Ｆを構成する小電極部e1、
f1、e2、f2、…に対応している。
上記電極構造によって、上記円環型超音波モータの場
合と同様に、駆動周波数以外の不要振動の励振を抑制す
るため、雑音の発生が減少し、しかも駆動効率良く、動
作が安定した高信頼性の超音波モータを実現することが
できる。
合と同様に、駆動周波数以外の不要振動の励振を抑制す
るため、雑音の発生が減少し、しかも駆動効率良く、動
作が安定した高信頼性の超音波モータを実現することが
できる。
なお、上記実施例では、径方向１次・周方向９次、お
よび径方向２次・周方向４次の撓み振動について説明し
たが、その他の振動モードにも本発明が有効であること
は勿論である。
よび径方向２次・周方向４次の撓み振動について説明し
たが、その他の振動モードにも本発明が有効であること
は勿論である。
発明の効果 本発明は、上記構成により、使用する振動モード振動
以外の不要振動による雑音が抑制され、駆動効率がよ
く、しかも動作が安定した超音波モータを提供できる。
以外の不要振動による雑音が抑制され、駆動効率がよ
く、しかも動作が安定した超音波モータを提供できる。
また、圧電体の分極後の配線工程を大幅に簡略化する
事が可能である。
事が可能である。
第１図は、本発明の一実施例における円環型超音波モー
タの圧電体の第１面の電極構造を示す平面図、第２図及
び第３図は第１図の圧電体の第２面の電極構造を示す平
面図、第４図は、本発明の他の実施例における円板型超
音波モータの圧電体の第１面の電極構造を示す平面図、
第５図および第６図は第４図の圧電体の第２面の電極構
造を示す平面図、第７図は円環型超音波モータの切り欠
き斜視図、第８図は従来の圧電体の電極構造を示す平面
図、第９図は超音波モータの動作原理の説明図である。 １……弾性体、２……圧電体、３……振動体、４……摩
擦材、５……弾性体、６……移動体。
タの圧電体の第１面の電極構造を示す平面図、第２図及
び第３図は第１図の圧電体の第２面の電極構造を示す平
面図、第４図は、本発明の他の実施例における円板型超
音波モータの圧電体の第１面の電極構造を示す平面図、
第５図および第６図は第４図の圧電体の第２面の電極構
造を示す平面図、第７図は円環型超音波モータの切り欠
き斜視図、第８図は従来の圧電体の電極構造を示す平面
図、第９図は超音波モータの動作原理の説明図である。 １……弾性体、２……圧電体、３……振動体、４……摩
擦材、５……弾性体、６……移動体。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 川崎 修 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (56)参考文献 特開 昭62−196084（ＪＰ，Ａ) 実開 昭60−44496（ＪＰ，Ｕ)
Claims (1)
- 【請求項１】圧電体を交流電圧で駆動して、前記圧電体
と弾性体とから構成される振動体に弾性進行波を励振す
ることにより、前記振動体上に接触して設置された移動
体を移動させる超音波モータにおいて、前記圧電体の前
記弾性体に接着する面と異なる面である第１面に設けら
れた２組の駆動電極が、それぞれ前記進行波の２分の１
波長相当の小電極部から成ると共に、前記小電極の形状
は、前記進行波の進行方向に直角な方向に測った前記小
電極の幅が前記小電極の中央部の前後で漸次減少する形
状もしくは前記小電極の一端部から他端部に向かうにつ
れ減少する形状であり、かつ前記小電極はその両端で隣
接する小電極に接続されており、前記圧電体の弾性体に
接着する面である第２面に設けられた２組の駆動電極
が、前記第１面に設けられた２組の駆動電極に対応し、
それぞれの前記駆動電極は前記進行波の２分の１波長ま
たは１波長相当の小電極部から成ることを特徴とする超
音波モータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1300509A JP2568707B2 (ja) | 1989-11-17 | 1989-11-17 | 超音波モータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1300509A JP2568707B2 (ja) | 1989-11-17 | 1989-11-17 | 超音波モータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03164077A JPH03164077A (ja) | 1991-07-16 |
| JP2568707B2 true JP2568707B2 (ja) | 1997-01-08 |
Family
ID=17885673
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1300509A Expired - Fee Related JP2568707B2 (ja) | 1989-11-17 | 1989-11-17 | 超音波モータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2568707B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2626162B2 (ja) * | 1990-05-08 | 1997-07-02 | 松下電器産業株式会社 | 超音波モータ |
| JP2006352984A (ja) * | 2005-06-15 | 2006-12-28 | Tdk Corp | 圧電薄膜振動子およびその製造方法、並びにそれを用いた駆動装置および圧電モータ |
| CN103166501B (zh) * | 2013-02-01 | 2015-01-28 | 东南大学 | 一种变结构三电源空间调相行波超声波电机 |
| JP6406386B2 (ja) * | 2017-05-01 | 2018-10-17 | 株式会社ニコン | 振動アクチュエータ、レンズ鏡筒及びカメラ |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6044496U (ja) * | 1983-08-31 | 1985-03-28 | セイコーインスツルメンツ株式会社 | 圧電モ−タ用圧電素子 |
| JPS62196084A (ja) * | 1986-02-20 | 1987-08-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波モ−タ |
-
1989
- 1989-11-17 JP JP1300509A patent/JP2568707B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
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| JPH03164077A (ja) | 1991-07-16 |
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