JP3075654U

JP3075654U - ダイサ

Info

Publication number: JP3075654U
Application number: JP2000005860U
Authority: JP
Inventors: 國華呉; 企健簡; 淑紋陳; 威群盛; 春成陳
Original assignee: 優力特科技股▲分▼有限公司
Priority date: 2000-08-14
Filing date: 2000-08-14
Publication date: 2001-02-27
Anticipated expiration: 2006-08-14

Abstract

(57)【要約】【課題】ダイシング作業台の各部位にわたって工作物
を載置するのに利用でき、その工作物をダイシング作業
台全てで支持し、作業効率を向上させると共に、ウェハ
ーテープを充分に利用し、経済性が高くする。【解決手段】定位装置を有するダイシング作業台１０
と、通し孔２１１を有するジグフレーム２１とウェハー
テープ２２とを固着しジグフレーム２１が囲繞する領域
のウェハーテープ２２の上面に工作物２３を接着定位す
るウェハーフレーム２０とを備え、該ウェハーフレーム
２０をダイシング作業台１０の上部に移動させ、ウェハ
ーフレーム２０がダイシング作業台１０上に定着して工
作物２３を定位させるダイサにおいて、ダイシング作業
台１０を略矩形状に形成し、ジグフレーム２１をダイシ
ング作業台１０より大きい矩形状に形成すると共に、通
し孔２１１を、長さ及び幅が共にダイシング作業台１０
の長さ及び幅より若干大きい略矩形状に形成する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【考案の属する技術分野】

本考案はダイサに関し、特に、全シートマトリクス方式でダイシングを行うダイサに用いるダイシング作業台及びジグフレームの改良に関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来、例えば、ＣＰＵ、ＲＡＭ、ＤＲＡＭなどの一般の半導体製品は、全シートマトリクス方式でダイシングが行われ、矩形状のユニットに製造されている。しかし、これらの半導体製品をダイシングする専用の装置はない。

【０００３】そこで、半導体メーカーの中には、ダイシング方式がウェハーのチップブレーキング方式に似ていることから、ウェハーブレーカを代用してダイシングを行っている者が存在する。

【０００４】このウェハーブレーカは、図３及び図４に示すように、滑動座１、ダイシング作業台２、視覚認識器３、及び、カットブレード４などの主要部材からなる。

【０００５】上記滑動座１は、横向きに移動可能としたもので、その上部に上記ダイシング作業台２が設けられている。ダイシング作業台２は円形状をなし、例えば、真空吸着ノズルからなる複数の定位装置７が周囲に配設されている。そして、このダイシング作業台２には、上面にウェハーフレーム５を載置した後、上記定位装置７によりウェハーフレーム５を該ダイシング作業台２上に固定させる。上記ウェハーフレーム５は、円形状の通し孔５０３を設けたジグフレーム５０１と、該ジグフレーム５０１を予め接着固定したウェハーテープ５０２とからなる。そして、上記ジグフレーム５０１の通し孔５０３の縁で囲繞する領域におけるウェハーテープ５０２上には、工作物６が固定される。

【０００６】このように構成したウェハーブレーカは、上記滑動座１がダイシング作業台２を連動して横向きに移動する。そして、この滑動座１及びダイシング作業台２が所定位置に移動したことを上記視覚認識器３が検出すると、カットブレード４がダイシング作業台２上の工作物６に対して直線カット動作を行う。一方向のカットが終わると、ダイシング作業台２が９０度回転し、直交方向のカットを行い、所謂マトリクス方式のダイシングを実行する。

【０００７】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、上記ウェハーブレーカで半導体製品をダイシングすると経済的に不利である。即ち、ダイシング作業台２が円形状をなしているため、中央領域だけにしか工作物６を載置できない。その結果、図４に示すように、例えば、サイズが５０ｍｍ×２００ｍｍの長方形状をなす２つの工作物６を載置すると、工作物６の外周縁からダイシング作業台２の周縁までの間に、使用していない無駄な４つの弓形領域が形成される。また、これら弓形領域内のウェハーテープ５０２も十分に利用されず、生産性を有効に向上させることができないうえ、ウェハーテープ５０２の無駄も多い。

【０００８】そこで、本考案では、ダイシング作業台の各部位にわたって工作物を載置するのに利用でき、その工作物をダイシング作業台全てで定位し、作業効率を向上させると共に、ウェハーテープを充分に利用し、経済性が高くすることを課題とするものである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】

上記課題を解決するため、本考案のダイサは、複数の定位装置を有するダイシング作業台と、内部に通し孔を有するジグフレームとウェハーテープとを固着し上記ジグフレームが囲繞する領域のウェハーテープの上面に工作物を接着定位するウェハーフレームとを備え、該ウェハーフレームをダイシング作業台の上部に移動させ、上記ジグフレームの底面が上記定位装置の定位作用を受けることにより、上記ウェハーフレームがダイシング作業台上に定着して工作物を定位させるダイサにおいて、上記ダイシング作業台を略矩形状に形成し、上記ジグフレームを上記ダイシング作業台より大きい矩形状に形成すると共に、上記通し孔を、長さ及び幅が共に上記ダイシング作業台の長さ及び幅より若干大きい略矩形状に形成した構成としている。

【００１０】上記のように構成した本考案のダイサは、ジグフレームに設けた通し孔の形状をダイシング作業台の形状に略対応させ、上記ジグフレームが定位装置の定位作用により定位すれば、全ての工作物をダイシング作業台に安定した状態に定位できる。また、ダイシング作業台と工作物が共に矩形状をなしているため、ダイシング作業台の殆ど全て領域に工作物を配置できる。そのため、ウェハーテープを充分に利用することができる。即ち、ダイシング作業台の長さ及び幅が、従来のダイシング作業台の直径に等しい場合でも、工作物のサイズが等しい条件の下では、比較的多数の工作物を定位させることができる。

【００１１】

【考案の実施の形態】

以下、本考案を実施の形態に基づいて具体的に説明する。本考案の実施形態であるダイサは、図３に示す従来のウェハーブレーカのダイシング作業台及びジグフレームを改良したものである。

【００１２】図１及び図２に示すように、上記ダイシング作業台１０は、略矩形の４隅を円形状に面取りした形状をなす。このダイシング作業台１０の上端面には、網状に連通する複数の排気溝１１が設けられている。また、ダイシング作業台１０における４辺の略中間部位には、定位装置３０を装着するための固定板１２が、それぞれ外向きに突出するように設けられている。本実施形態では、上記定位装置３０として真空吸着ノズルが適用される。

【００１３】上記ウェハーフレーム２０は、ジグフレーム２１と、該ジグフレーム２１の底面に配設したウェハーテープ２２とからなる。上記ジグフレーム２１は、内部に矩形状の通し孔２１１を設けた中空の略矩形状をなし、その４隅にはそれぞれ直線状の面取りを施した形状をなす。上記通し孔２１１の長さ及び幅は、図２に示すように、上記ダイシング作業台１０の長さ及び幅よりも若干大きくされている。そして、ウェハーフレーム２０がダイシング作業台１０の上面に移動すると、ジグフレーム２１の底面が定位装置３０の吸引作用を受け、該ウェハーフレーム２０がダイシング作業台１０上に定着するように構成される。上記ウェハーテープ２２には、上記ジグフレーム２１の通し孔２１１の縁で囲繞された領域の上面に、工作物２３を接着定位するものである。

【００１４】上記工作物２３をウェハーテープ２２に定着させたウェハーフレーム２０をダイシング作業台１０の上部に移動させると、ウェハーテープ２２の引張作用により、該ウェハーテープ２２と工作物２３を安定した状態で、ダイシング作業台１０上端面に固着できる。この際、上記ジグフレーム２１の上端面は、ダイシング作業台１０の上端面よりも若干低い状態に位置するようにし、上記工作物２３を完全にジグフレーム２１の上端面より突出させる。

【００１５】この状態では、図２に示すように、ジグフレーム２１に設けた通し孔２１１の形状がダイシング作業台１０の形状と略対応しているため、ジグフレーム２１が定位装置３０の吸引作用により定位すれば、全て工作物２３をダイシング作業台１０に安定した状態で定位できる。また、ダイシング作業台１０と工作物２３が共に矩形状をなしているため、ダイシング作業台１０の殆ど全て領域に工作物２３を定着するのに利用できる。

【００１６】そして、従来と同様に、カットブレードにより工作物２３に対してマトリックス方式のダイシング操作を行うと、全シートの工作物２３を多数のブロックユニットにダイシングできる。しかも、上記のように、工作物２３を完全にジグフレーム２１の上端面より突出させているため、カットブレードでダイシングを行っている際に、ジグフレーム２１を傷付けることはない。

【００１７】なお、本考案のダイサは、ＣＰＵ、ＲＡＭ、ＤＲＡＭなどの半導体製品を製造する際の加工のみに適用するものではなく、多角ダイシングが必要な工作物であれば、全て前記構成のものを適用できる。具体的には、例えば、ＬＥＤ（砒化カリウム）、セラミック、ガラス板、宝石、シリコンウェハーなどに適用できる。

【００１８】

【考案の効果】

以上の説明から明らかなように、本考案のダイサは、ダイシング作業台とジグフレームの通し孔を互いに対応する矩形状に設けているため、全体シート方式の矩形状工作物の配列を無駄なく行うことができる。そして、ダイシング作業台の長さ及び幅が、従来のダイシング作業台の直径に等しい場合でも、工作物のサイズが等しい条件の下では、本考案のダイシング作業台は４シートの工作物を定位させることができる。このように、構成部品の形状が簡単であるだけでなく、製造組立ても容易なうえ、ダイシング効率及び生産性を向上できて、経済的な収益を大幅に向上できるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施形態であるダイサのダイシング
作業台及びジグフレームを示す分解斜視図である。

【図２】図１の組付状態を示す平面図である。

【図３】従来、代用していたウェハーブレーカの側面
図である。

【図４】図３のウェハーブレーカのウェハーフレーム
をダイシング作業台に定位させた状態を示す平面図であ
る。

【符号の説明】

１０：ダイシング作業台１１：排気溝１２：固定板２０：ウェハーフレーム２１：ジグフレーム２１１：通し孔２２：ウェハーテープ２３：工作物３０：定位装置

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者陳淑紋台湾台中市西屯区台中工業区17路２−１号優力特科技股▲分▼有限公司内 (72)考案者盛威群台湾台中市西屯区台中工業区17路２−１号優力特科技股▲分▼有限公司内 (72)考案者陳春成台湾台中市西屯区台中工業区17路２−１号優力特科技股▲分▼有限公司内

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】複数の定位装置を有するダイシング作業
台と、内部に通し孔を有するジグフレームとウェハーテ
ープとを固着し上記ジグフレームが囲繞する領域のウェ
ハーテープの上面に工作物を接着定位するウェハーフレ
ームとを備え、該ウェハーフレームをダイシング作業台
の上部に移動させ、上記ジグフレームの底面が上記定位
装置の定位作用を受けることにより、上記ウェハーフレ
ームがダイシング作業台上に定着して工作物を定位させ
るダイサにおいて、上記ダイシング作業台を略矩形状に形成し、上記ジグフレームを上記ダイシング作業台より大きい矩
形状に形成すると共に、上記通し孔を、長さ及び幅が共
に上記ダイシング作業台の長さ及び幅より若干大きい略
矩形状に形成したことを特徴とするダイサ。