JP3075617B2 - 半導体集積回路装置 - Google Patents

半導体集積回路装置

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体集積回路装置に
関し、特に、面実装型LSIパッケージの薄型化に適用
して有効な技術に関する。
【0002】
【従来の技術】ノート型パソコンなどの薄型電子機器の
普及に伴い、メモリカードやICカードに搭載するLS
Iパッケージの薄型化が進められている。
【0003】従来、メモリカード用TSOP(Thin Smal
l Outline Package)や、ICカード用TQFP(Thin Qu
ad Flat Package)として、厚さ1〜1.2mm程度の薄型パ
ッケージが実現されているが、さらに最近では、TAB
をトランスファ・モールドした厚さ0.5mm程度の超薄型
パッケージが実現されている。
【0004】TABをトランスファ・モールドした上記
超薄型パッケージは、厚さ50μmのポリイミドフィル
ムに接着した厚さ35μmのCu箔をリードに用い、チ
ップの厚さを0.2mm程度とすることで超薄型化を実現し
ている。なお、この超薄型パッケージについては、日経
BP社、1991年2月1日発行「日経マイクロデバイ
ス2月号」P65〜P66に記載がある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】パッケージ厚が1〜1.
2mm程度のTSOP、TQFPは、従来のSOP、QF
Pに比べてパッケージを構成する樹脂の体積が少ないこ
とから、樹脂とチップとを合わせたパッケージ全体の平
均熱膨張係数がSOP、QFPの15〜20×10-6
℃程度から7〜8×10-6/℃程度まで低下する。
【0006】これに対し、プリント配線基板の熱膨張係
数は、ガラス布含浸エポキシ樹脂(ガラエポ)の場合、
15×10-6/℃程度であるため、TSOPやTQFP
をガラエポ製のプリント配線基板に実装して熱サイクル
試験を行うと、プリント配線基板とパッケージとの熱膨
張係数差に起因してリードの半田接続部に応力が加わ
り、接続信頼性が低下するという問題がある。
【0007】一方、TABをトランスファ・モールドし
た超薄型パッケージは、リードがCu箔で構成されてい
るためその強度が低く、半田再生実装ができないなど、
実装に難しさがある。また、TAB方式を採用している
ことから、パッケージを実装する前にエージングや選別
を行うことができないので、製造コストが高くなるとい
う問題がある。
【0008】そこで、本発明の目的は、実装信頼性の高
い超薄型パッケージを提供することにある。
【0009】本発明の他の目的は、基板実装が容易な超
薄型パッケージを提供することにある。
【0010】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。なお、特開平4−23460号公報およ
び特開平5−1449961号公報には、リードのアウ
ターリード部の途中を上方に折り曲げたパッケージが記
載されているが、これらの公報には、上記パッケージを
積層して実装する構成については記載がない。また、特
開昭62−16552号公報および特開平4−2846
61号公報には、積層された複数のパッケージのうちの
一部が、そのアウターリード部の途中を上方に折り曲げ
た状態で積層されている記載があるが、アウターリード
部の途中を上方に折り曲げたパッケージを複数個積層す
る構成については記載されていない。
【0011】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
次のとおりである。
【0012】本発明の半導体集積回路装置は、半導体チ
ップを封止した第1のパッケージのパッケージ本体側面
から突出したリードのアウターリード部が、前記半導体
チップの主面と平行な方向に延在する第1の部分と、前
記第1の部分から上方に折れ曲がる第2の部分と、前記
第2の部分から前記第1の部分と平行な方向に延在する
第3の部分と、前記第3の部分から下方に折れ曲がる第
4の部分と、前記第4の部分から前記パッケージ本体に
向けて折れ曲がる第5の部分とを有しており、前記第1
のパッケージのアウターリード部と同一形状のアウター
リード部を有する第2のパッケージのアウターリード部
が前記第1のパッケージのアウターリード部に接合さ
れ、積層された状態で前記アウターリードの第5の部分
が実装基板に接続されて、前記第1のパッケージと第2
のパッケージが実装基板に実装されている。
【0013】
【作用】上記した手段によれば、第1のパッケージのア
ウターリード部の第3の部分に第2のパッケージのアウ
ターリード部の第5の部分を重ね合わすことにより、容
易に多段実装が可能となる。
【0014】上記した手段によれば、アウターリード部
の途中を上方に折り曲げたことにより、アウターリード
長が実効的に長くなる。これにより、LSIパッケージ
をプリント配線基板に実装して熱サイクル試験を行う
際、プリント配線基板とパッケージとの熱膨張係数差に
起因してリードの半田接続部に応力が加わった場合で
も、長いアウターリード部がこの応力を緩和、吸収する
ように作用するので、半田接続部の接続信頼性が向上す
る。
【0015】
【実施例1】図1は、本発明の一実施例である面実装型
LSIパッケージを示す断面図である。
【0016】本実施例1の面実装型LSIパッケージ
は、TSOP1であり、トランスファ・モールドにより
成型されたパッケージ本体2には、DRAMなどのメモ
リLSIを形成したシリコン単結晶からなる半導体チッ
プ3が封止されている。パッケージ本体2は、例えばエ
ポキシ系樹脂からなる。また、半導体チップ3の厚さ
は、0.2mm〜0.28mm程度である。
【0017】上記パッケージ本体2の側面には、TSO
P1の外部端子を構成する複数本のリード4が外方に延
在している。このリード4は、パッケージ本体2に封止
されたタブ(ダイパッド部)5と共に、42アロイのよ
うなFe系金属からなる厚さ75μm〜125μm程度
のリードフレームで構成されている。
【0018】上記リード4のインナーリード部と半導体
チップ3の電極パッド6とは、Auなどの導電材からな
るワイヤ7を介して電気的に接続されている。このワイ
ヤ7は、電極パッド6からの高さが100μm程度とな
るような低ループワイヤボンティング法によってリード
4、電極パッド6間に架設されている。
【0019】上記リード4のアウターリード部は、その
先端(下端部)が面実装可能に折り曲げられ、かつ途中
が上方に折り曲げられている。従って、このアウターリ
ード部は、通常のTSOPに比べてその長さが実効的に
長くなっている。なお、アウターリード部の表面には、
半田メッキが施されている。
【0020】本実施例のTSOP1は、一例としてパッ
ケージ本体2の上面からアウターリード部の下端部まで
の寸法(C)が0.5mmまたはそれ以下(好ましくは0.4
〜0.5mm)、パッケージ本体2の上面からアウターリー
ド部の上端部までの寸法(B)が0mm以上(好ましくは
0〜0.3mm)、パッケージ本体2の下面からアウターリ
ード部の下端部までの寸法(A)が0mm以上(好ましく
は0〜0.1mm)となるように設計されている。
【0021】図2は、本実施例1のTSOP1をプリン
ト配線基板8に面実装した状態を示している。TSOP
1のリード4とプリント配線基板8のフットプリント
(パッド)9との半田接続は、周知の半田リフロー法に
より行うことができる。
【0022】また、本実施例1のTSOP1は、アウタ
ーリード部の上方に折り曲げた部分の一部を水平方向に
延在しているので、この部分に別のTSOP1のリード
4の下端部を重ね合わすことにより、容易に多段実装が
可能となる。
【0023】この場合、図3に示すように、アウターリ
ード部の下端部の幅(W1)を上方に折り曲げた部分の幅
(W2)よりも狭くすることにより、リード4の重ね合わ
せを一層容易に行うことができる。
【0024】なお、図2では、プリント配線基板8の片
面にTSOP1を多段実装した場合を示したが、プリン
ト配線基板8の両面にTSOP1を多段実装できること
は勿論である。
【0025】このように、本実施例1のTSOP1によ
れば、下記のような効果を得ることができる。
【0026】(1) リード4をFe系の金属からなるリー
ドフレームで構成したことにより、パッケージ本体2の
厚さを0.5mm程度の超薄型にした場合でも、プリント配
線基板8に実装する際のリードの変形を防止することが
でき、また、半田再生実装も可能となるので、TAB方
式を用いたものよりも基板実装が容易な超薄型パッケー
ジを提供することができる。
【0027】(2) リード4をリードフレームで構成した
ことにより、パッケージ本体2をプリント配線基板8に
実装する前に半導体チップ3のエージングや選別を行う
ことができるので、TAB方式を用いたものよりも安価
な超薄型パッケージを提供することができる。
【0028】(3) リード4のアウターリード部の途中を
上方に折り曲げ、アウターリード長を長くしたことによ
り、TSOP1をプリント配線基板8に実装して熱サイ
クル試験を行う際、プリント配線基板8とパッケージ本
体2との熱膨張係数差に起因してリード4とプリント配
線基板8のフットプリント9との接続部に応力が加わっ
た場合でも、長いアウターリード部がこの応力を緩和、
吸収するので、半田接続部の接続信頼性が高い超薄型パ
ッケージを提供することができる。
【0029】(4) リード4のアウターリード部の途中を
上方に折り曲げ、その一部を水平方向に延在したことに
より、TSOP1を容易に多段実装することができるの
で、実装密度の高い超薄型パッケージを提供することが
できる。
【0030】なお、上述したTSOP1は、前記図1、
図2に示すように、リード4のアウターリード部の先端
をパッケージ本体2側にL字状に折り曲げてあるが、ア
ウターリード部の先端の形状は、例えば図4に示すよう
なJ字状など、面実装が可能な形状であれば、任意の形
状に折り曲げてよい。
【0031】また、図5に示すように、リード4のイン
ナーリード部と半導体チップ3の電極パッド6との間に
ワイヤ7をボンティングする際、逆方向ワイヤボンディ
ング方式、すなわちインナーリード部側を第1ボンディ
ングとし、電極パッド6側を第2ボンディングとするワ
イヤボンディング方式を用いることにより、ワイヤ7の
ループ高さをさらに低くすることができるので、パッケ
ージ本体2の厚さをさらに薄くすることができる。
【0032】
【実施例2】図6は、本発明の他の実施例である面実装
型LSIパッケージを示す断面図である。
【0033】本実施例2のTSOP1は、42アロイの
ようなFe系金属からなる厚さ75μm〜125μm程
度のリードフレームで構成されたリード4のインナーリ
ード部と半導体チップ3の図示しない電極パッドとが、
Auなどのバンプ10を介して電気的に接続されてい
る。
【0034】上記バンプ10は、周知の蒸着法あるいは
ボールボンディング法などを用いて半導体チップ3の電
極パッド上に形成されている。リード4のインナーリー
ド部の先端は、ハーフエッチング法などを用いて他の部
分よりも薄く加工され、その表面には、Auなどのメッ
キが施されている。バンプ10とリード4のインナーリ
ード部とは、周知の熱圧着法で一括接続されている。
【0035】リード4のアウターリード部は、前記実施
例1と同様、その先端(下端部)が面実装可能に折り曲
げられ、かつ途中が上方に折り曲げられている。なお、
アウターリード部の表面には、半田メッキが施されてい
る。
【0036】本実施例2のTSOP1は、実施例1のワ
イヤボンディング法に代えて、リード4のインナーリー
ド部と半導体チップ3の電極パッドとをバンプ10を介
して一括接続する方法を採用しているため、パッケージ
本体2の厚さをさらに薄くすることができる。
【0037】以上、本発明者によってなされた発明を前
記実施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実
施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない
範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【0038】前記実施例では、リードをFe系の金属で
構成したが、それと同等の曲げ強度を有する他の金属で
構成してもよい。
【0039】前記実施例では、TSOPに適用した場合
について説明したが、TSOJ(Thin Small Outline J-
lead package) やTQFP(Thin Quad Flat Package)な
ど、他の面実装型LSIパッケージにも適用することが
できる。
【0040】
【発明の効果】本願によって開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下の通りである。
【0041】(1) 本発明によれば、基板実装が容易な超
薄型LSIパッケージを提供することができる。
【0042】(2) 本発明によれば、TAB方式を用いた
ものよりも安価な超薄型LSIパッケージを提供するこ
とができる。
【0043】(3) 本発明によれば、半田接続部の接続信
頼性が高い超薄型LSIパッケージを提供することがで
きる。特に、本発明では、アウターリードの第5の部分
で実装基板に実装されることになるので、パッケージ本
体の側面からアウターリードの実装部(第5の部分)ま
でのリードの長さを長くすることができ、その結果、実
装後の熱サイクル試験等でパッケージと実装基板との熱
膨張係数差に起因してリードの実装部に応力が加わった
ような場合でも、長いアウターリード部がこの応力を吸
収、緩和することが可能となり、実装部の接続信頼性を
確保することができる。
【0044】(4) 本発明によれば、多段実装が可能な超
薄型LSIパッケージを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例である面実装型LSIパッケ
ージを示す断面図である。
【図2】この面実装型LSIパッケージをプリント配線
基板に多段実装した状態を示す図である。
【図3】この面実装型LSIパッケージのアウターリー
ド形状を示す図である。
【図4】本発明の他の実施例である面実装型LSIパッ
ケージを示す断面図である。
【図5】本発明の他の実施例である面実装型LSIパッ
ケージを示す断面図である。
【図6】本発明の他の実施例である面実装型LSIパッ
ケージを示す断面図である。
【符号の説明】
1 TSOP 2 パッケージ本体 3 半導体チップ 4 リード 5 タブ(ダイパッド部) 6 電極パッド 7 ワイヤ 8 プリント配線基板 9 フットプリント(パッド) 10 バンプ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01L 23/50 H01L 23/52

Claims (11)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 半導体チップを封止した第1のパッケー
    ジのパッケージ本体側面から突出したリードのアウター
    リード部が、前記半導体チップの主面と平行な方向に延
    在する第1の部分と、前記第1の部分から上方に折れ曲
    がる第2の部分と、前記第2の部分から前記第1の部分
    と平行な方向に延在する第3の部分と、前記第3の部分
    から下方に折れ曲がる第4の部分と、前記第4の部分か
    ら前記パッケージ本体に向けて折れ曲がる第5の部分と
    を有しており、前記第1のパッケージのアウターリード
    部と同一形状のアウターリード部を有する第2のパッケ
    ージのアウターリード部が前記第1のパッケージのアウ
    ターリード部に接合され、積層された状態で前記アウタ
    ーリードの前記第5の部分が実装基板に接続されて、前
    記第1のパッケージと第2のパッケージが前記実装基板
    に実装されていることを特徴とする半導体集積回路装
    置。
  2. 【請求項2】 前記第1のパッケージおよび前記第2の
    パッケージのそれぞれのパッケージ本体がトランスファ
    ・モールドにより成形された樹脂封止体からなり、前記
    第1のパッケージのパッケージ本体の下面は、前記実装
    基板の実装面から離間しており、前記第1のパッケージ
    の上部に積層された前記第2のパッケージのパッケージ
    本体の下面は、前記第1のパッケージのパッケージ本体
    の上面から離間していることを特徴とする請求項1記載
    の半導体集積回路装置。
  3. 【請求項3】 前記第1のパッケージと前記第2のパッ
    ケージとの接合面における前記第1のパッケージのアウ
    ターリード部の幅は、前記第2のパッケージの前記接合
    面におけるアウターリード部の幅よりも狭いことを特徴
    とする請求項1記載の半導体集積回路装置。
  4. 【請求項4】 半導体チップの回路形成面に形成された
    電極パッドとリードのインナーリード部とがバンプを介
    して電気的に接続され、前記半導体チップを封止したパ
    ッケージ本体側面から突出した前記リードのアウターリ
    ード部が、前記半導体チップの主面と平行な方向に延在
    する第1の部分と、前記第1の部分から上方に折れ曲が
    る第2の部分と、前記第2の部分から前記第1の部分と
    平行な方向に延在する第3の部分と、前記第3の部分か
    ら下方に折れ曲がる第4の部分と、前記第4の部分から
    前記パッケージ本体に向けて折れ曲がり実装基板に接続
    される第5の部分とを有しており、前記アウターリード
    部の前記第5の部分は、前記パッケージ本体下面が位置
    する高さまで達していることを特徴とする半導体集積回
    路装置。
  5. 【請求項5】 前記パッケージ本体下面まで達している
    前記アウターリード部の下端部は、前記パッケージ本体
    下面よりも下方まで延在していることを特徴とする請求
    項4記載の半導体集積回路装置。
  6. 【請求項6】 半導体チップとリードとを樹脂封止した
    パッケージにおいて、前記リードのインナーリード部の
    先端は、前記半導体チップの側面のほぼ中央の高さに位
    置し、前記半導体チップを封止したパッケージ本体側面
    から突出した前記リードのアウターリード部が、前記半
    導体チップの主面と平行な方向に延在する第1の部分
    と、前記第1の部分から上方に折れ曲がる第2の部分
    と、前記第2の部分から前記第1の部分と平行な方向に
    延在する第3の部分と、前記第3の部分から下方に折れ
    曲がる第4の部分と、前記第4の部分から前記パッケー
    ジ本体に向けて折れ曲がり実装基板に接続される第5の
    部分とを有しており、前記アウターリード部の前記第5
    の部分は、前記パッケージ本体下面が位置する高さまで
    達していることを特徴とする半導体集積回路装置。
  7. 【請求項7】 アウターリード部およびインナーリード
    部のそれぞれの形状が前記パッケージのそれと同一であ
    る1個または複数個の他のパッケージが、前記パッケー
    ジの上部に積層された状態で前記アウターリードの前記
    第5の部分が実装基板に接続されることにより、前記積
    層されたパッケージが実装基板に実装されることを特徴
    とする請求項6記載の半導体集積回路装置。
  8. 【請求項8】 前記半導体チップの回路形成面に形成さ
    れた電極パッドと前記リードのインナーリード部とがワ
    イヤを介して電気的に接続されていることを特徴とする
    請求項6記載の半導体集積回路装置。
  9. 【請求項9】 前記ワイヤは、前記インナーリード部側
    が第1ボンディング、前記電極パッド側が第2ボンディ
    ングとなる逆方向ワイヤボンディング方式によってボン
    ディングされていることを特徴とする請求項8記載の半
    導体集積回路装置。
  10. 【請求項10】 半導体チップを封止したパッケージの
    パッケージ本体側面から突出したリードのアウターリー
    ド部が、前記パッケージ本体の上面と平行な方向に延在
    する第1の部分と、前記第1の部分から上方に折れ曲が
    る第2の部分と、前記第2の部分から前記パッケージ本
    体の上面とほぼ同じ高さで、かつ平行な方向に延在する
    第3の部分と、前記第3の部分から下方に折れ曲がる第
    4の部分と、前記第4の部分から前記パッケージ本体に
    向けて折れ曲がり実装基板に接続される第5の部分とを
    有していることを特徴とする半導体集積回路装置。
  11. 【請求項11】 半導体チップを封止した第1のパッケ
    ージのパッケージ本体側面から突出したリードのアウタ
    ーリード部が、前記半導体チップの主面と平行な方向に
    延在する第1の部分と、前記第1の部分から上方に折れ
    曲がる第2の部分と、前記第2の部分から前記第1の部
    分と平行な方向に延在する第3の部分と、前記第3の部
    分から下方に折れ曲がる第4の部分と、前記第4の部分
    から前記パッケージ本体に向けて折れ曲がり実装基板に
    接続される第5の部分とを有しており、アウターリード
    部の形状が前記第1のパッケージのそれと同一である第
    2のパッケージが、前記第1のパッケージに積層されて
    いることを特徴とする半導体集積回路装置。
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