JP3060589B2 - 高温耐熱強度部材 - Google Patents

高温耐熱強度部材

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は高温耐熱強度部材に係
り、特に、耐熱性、耐酸化性、耐水素劣化性に著しく優
れた高温耐熱強度部材に関する。
【0002】
【従来の技術】炭素繊維/炭素複合材料(以下「CCコ
ンポジット」と称す。)は、極めて優れた耐熱性を有す
る反面、耐酸化性が全くなく、また、水素劣化性もある
ことから、その利用分野が限定されるという欠点があ
る。例えば、ロケットエンジンのノズルのような高温酸
化雰囲気にさらされる用途には不適である。また、炉心
管や熱処理用、焼結用セッタでは、不活性雰囲気中、特
に水素による炭素劣化の問題がある。更に、CCコンポ
ジットは、ガスや液の浸透性があるため、この点からも
用途が限定される。
【0003】このため、CCコンポジットの熱酸化性等
を向上させる目的で、従来、各種の表面処理方法が提案
されている。例えば、次の〜の方法がある。 S
i蒸気又は溶融Siの含浸による表面の珪化。即ち、表
面にSiCを形成する。 表面にCVD法によりSi
Cコーティングを施す。 上記の処理後、クラックを
シールするために各種の溶融ガラス(例えば、硼珪酸ガ
ラス)を含浸する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、CCコ
ンポジットとSiCとでは熱膨張係数が大きく異なるこ
とから、前記、のように、表面にSiC層を形成し
たものでは、熱膨張差に起因するクラックが生じ、CC
コンポジットを十分に保護し得ない。の処理を施すこ
とによりクラックをシールすることができるが、クラッ
クを根本的に解決することはできない。
【0005】本発明は上記従来の問題点を解決し、基材
表面に、クラック発生の少ないSiC又はSi34
を形成し、その耐酸化性及び耐水素劣化性を改善した高
温耐熱強度部材を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】請求項1の高温耐熱強度
部材は、炭素繊維/SiC複合材料(以下「C/SiC
複合材料」と称す。)よりなる基材の表面に被覆層が形
成されてなる高温耐熱強度部材であって、該被覆層は、
セラミック及び耐熱金属よりなる群から選ばれる少なく
とも1種の粉末及び/又は短繊維を含み、該粉末及び/
又は短繊維同志の間隙に気相蒸着法によりSiC又はS
34 を含浸してなる表側層と、SiC又はSi34
の長繊維及び/又は短繊維を含み、該繊維同志の間隙
に気相蒸着法によりSiC又はSi34 を含浸してな
り、該表側層と基材との間に介在する中間層と、を備え
てなり、該被覆層は、その表面側が緻密質であり基材側
が多孔質であることを特徴とするものである。
【0007】請求項2の高温耐熱強度部材は、請求項1
の高温耐熱強度部材において、表側層を構成する粉末及
び/又は短繊維が酸化によりB23 を生じさせるボロ
ン含有物質よりなることを特徴とする。
【0008】以下に本発明を図面を参照して詳細に説明
する。第1図は本発明の高温耐熱強度部材の一実施例を
示す模式的な断面図である。
【0009】本発明において、基材となるC/SiC複
合材料1は、例えば、炭素繊維割合が35〜60体積
%、マトリックスであるSiCの割合が25〜40体積
%、空孔率が10〜30体積%のものが好ましい。
【0010】このようなC/SiC複合材料は、例え
ば、次のようにして製造することができる。 炭素繊
維を少量の樹脂を用いて成形した後無機化して得られる
多孔質体(プレフォーム)の空孔内へ、CVD法等によ
りSiCを蒸着させる。 焼結法。 SiC繊維用
原料樹脂(ポリカルボシラン等)を用いて成形した後無
機化する操作を繰り返す。場合によって、更に空孔内に
CVD法等によりSiCを蒸着させる。
【0011】このようなC/SiC複合材料1の表面に
形成される被覆層2は、SiC又はSi34 の長繊維
及び/又は短繊維を含み、該繊維同志の間隙に気相蒸着
法によりSiC又はSi34 が含浸された中間層3
と、該中間層3上に形成された、セラミック及び耐熱金
属よりなる群から選ばれる少なくとも1種の粉末及び/
又は短繊維を含み、該粉末及び/又は短繊維同志の間隙
に気相蒸着法によりSiC又はSi34 を含浸した表
側層4とを有するものである。
【0012】本発明において、表側層4と中間層3の粉
末と繊維とは次の〜の組み合せが可能である。
表側層が粉末のみからなる場合。この場合、中間層とし
ては、短繊維のみ;長繊維のみ;及び、短繊維と長繊
維;のいずれをも採用できる。
【0013】 表側層が短繊維のみからなる場合。こ
の場合、中間層としては、長繊維のみ;短繊維と長繊
維;及び、短繊維のみ(ただし、表側層の短繊維とは材
質、径及び長さの少なくとも一特性が相違する。);の
いずれをも採用できる。
【0014】 表側層が短繊維と粉末からなる場合。
この場合、中間層としては、短繊維のみ;長繊維のみ;
及び、短繊維と長繊維;のいずれをも採用できる。
【0015】本発明において、中間層3を構成するSi
C又はSi34 の長繊維としては平均繊維径5〜30
μmのものが好ましい。また、中間層3の短繊維として
は平均繊維径0.2〜30μm、平均繊維長さ20〜2
00μmのものが好ましい。
【0016】このような中間層3は、薄過ぎると十分な
クラック防止効果が得られず、厚過ぎるとコスト高とな
って経済的ではない。従って、中間層3の厚さは0.0
5〜1.0mm程度とするのが好ましい。なお、この中
間層3は、繊維含有率が(SiC又はSi34 含浸前
の割合)2〜70体積%であることが好ましい。この繊
維含有率が2体積%未満であると、十分なクラック防止
効果が得られず、70体積%を超えると、基材表面まで
SiC又はSi34 が蒸着含浸できず、中間層3と基
材との結合が不十分になり、被覆層が剥離・脱落しやす
くなる。
【0017】このような中間層は、例えば、次の又は
の方法により形成することができる。 短繊維又は
長繊維からなる布(マット、平織、綾織等)を、C/S
iC複合材料の表面に樹脂で接着した後、無機化する。
短繊維又は長繊維を混入した樹脂をC/SiC複合
材料の表面に塗布し、プレス、ヘラ等により所定の厚さ
に成形した後、無機化する。
【0018】また、本発明において、表側層4を構成す
るセラミック及び耐熱金属としては、黒鉛、炭素、Si
C、B4 C、AlN、TiB2、MoSi2 、TaN、
WC、W2 C等のセラミック、及びW、Mo等の耐熱金
属よりなる群から選ばれる1種又は2種以上の粉末及び
/又は短繊維が挙げられる。なお、粉末の場合、その平
均粒径は0.2〜100μm程度とするのが好ましい。
また、短繊維の場合、その平均繊維径は0.2〜30μ
m、平均繊維長さは20〜200μmであることが好ま
しい。
【0019】本発明においては、特に、表側層4を構成
する粉末及び/又は短繊維が酸化によりB23 を生じ
させるボロン(B)含有物質よりなることが好ましい。
即ち、かかるB含有物質よりなる表側層であれば、万が
一クラックが発生した場合でも、含有されるBが酸素に
より酸化されてB23 となり(2B+2/3O2 →B
23 )、このB23 が周囲物質と反応することによ
り生成した硼珪酸ガラスがクラックをシールする。この
ため、C/SiC複合材料の耐酸化性、耐水素劣化性は
より確実に向上する。このようなことから、表側層を構
成する物質はBを含有することが好ましいが、Bの含有
割合が過度に高いと耐熱性が低下する。従って、本発明
においては、表側層のB含有率(SiC又はSi34
含浸前の割合)は1〜30重量%であることが好まし
い。なお、このようなBを含む物質としては、ボロン、
ボロンカーバイド(B4 C)、ボロンナイトライド(B
N)等が挙げられる。
【0020】本発明において、表側層の粉末及び/又は
短繊維の集積層は、その空孔率が低過ぎると十分なSi
C又はSi34 の含浸がなされない。従って、この粉
末及び/又は短繊維の集積層の空孔率(SiC又はSi
34 含浸前の割合)は50〜99%であることが好ま
しい。また、表側層の厚さは薄過ぎると十分なクラック
防止効果及び防食効果が得られず、厚過ぎると基材表面
までSiC又はSi34 が蒸着含浸できず、中間層3
と基材との結合が不十分になり、被覆層が剥離・脱落し
やすくなり、また、コスト高である。従って、表側層の
粉末及び/又は短繊維の集積層の厚さは0.02〜0.
5mm程度が好ましい。
【0021】このような被覆層を形成するには、例え
ば、C/SiC複合材料の表面へフェノール樹脂等の接
着剤をスプレーガン又はハケにて付着した後、中間層を
形成する短繊維及び/又は長繊維を載せ、さらに同様に
接着剤を付着した後、表側層を形成する粉末及び/又は
短繊維をふりかけ、ハケ又はヘラで余分の粉末又は短繊
維を除去し、次いで、接着剤を硬化させ、更に無機化す
る(以下、この方法を「接着法」と称す。)。
【0022】本発明の高温耐熱強度部材では、このよう
な粉末や繊維よりなる層に、CVD法又はCVI等の気
相蒸着法によりSiC又はSi34 を、被覆層表面側
が緻密質、基材側が多孔質となるように、含浸、蒸着さ
せる。ここで、CVI法又はCVD法の好適なSiCの
蒸着条件の一例を下記表1に示す。
【0023】
【表1】
【0024】粉末や繊維よりなる層の表面側から、この
ような条件にてSiC又はSi34 を蒸着することに
より、自ずと、表面側に多量のSiC又はSi34
蒸着されて緻密質となり、基材側に少量のSiC又はS
34 が蒸着されて多孔質となる。この結果、SiC
又はSi34 含有率がその厚さ方向で表面側ほど高く
なるように変化する被覆層2が得られる。
【0025】被覆層2のうち表側層4の表面部分のSi
C又はSi34 含浸率が小さ過ぎると、SiC又はS
34による耐酸化性等の改善効果が十分に得られな
いので、少なくとも表面部分は気孔がないように緻密に
する。表側層4に万が一クラックが発生した場合、表側
層4のSiC又はSi34 含浸率が小さ過ぎると、S
iC又はSi34 による耐酸化性等の改善効果が十分
に得られない。従って、表側層4においては、SiC又
はSi34 は、体積%で1〜50%となるように含浸
させるのが好ましい。
【0026】本発明において、被覆層2は、更に、表面
にSiC又はSi34 の気相蒸着膜6が形成されたも
のであっても良い。このような気相蒸着膜6を形成する
ことにより、耐酸化性、耐水素劣化性はより一層向上す
る。
【0027】このような本発明の高温耐熱強度部材は、
次のような用途等に極めて有用である。高温部材 ロケットエンジンのノズル等の高温部材 炉心管 熱処理用、焼結用セッタ(被処理物を置く台) ガスタービン、ジェットエンジンの燃焼器内筒、遷
移筒、静翼等の高温部材 熱電対保護管 バーナノズル耐食部材 弗化水素、王水等の容器 高温の弗化水素、王水、塩化水素等の蒸気用の炉心
管、容器耐摩耗部材 粉体噴射ノズル
【0028】
【作用】本発明の高温耐熱強度部材は、C/SiC複合
材料の表面に、SiC又はSi34 の長繊維又は短繊
維を含むSiC又はSi34 よりなる多孔質の中間層
を介して、セラミック及び耐熱金属よりなる群から選ば
れる少なくとも1種の粉末及び/又は短繊維とSiC又
はSi34 よりなり、少なくとも表面が緻密な表側層
で被覆されている。
【0029】C/SiC複合材料表面の中間層は、基材
のC/SiC複合材料に対して応力緩和層、割れ進展防
止層として作用し、また、SiC又はSi34 濃度が
傾斜し、空孔率が厚さ方向に徐々に変化する被覆層も、
基材のC/SiC複合材料に対して応力緩和層として作
用するため、C/SiC複合材料とSiC又はSi34
との熱膨張係数の差に起因する被覆層のクラック発生
は防止される。このため、C/SiC複合材料は、Si
C又はSi34 が含浸された被覆層により、確実に保
持され、良好な耐酸化性、耐水素劣化性、気密性、水密
性が得られる。
【0030】なお、C/SiC複合材料は、CCコンポ
ジットに比べて表面被覆層とのなじみが良く、クラック
が発生し難く、本発明に有効である。
【0031】特に、表側層を構成する物質がBを含む場
合には、万が一被覆層にクラックが入った場合において
も、Bのガラス化による目詰め作用で、基材の劣化は防
止される。
【0032】
【実施例】以下に実施例を挙げて本発明をより具体的に
説明する。 実施例1,比較例1 炭素繊維含有率:40体積%、マトリックスSiC(C
VI法SiC)含有率:40体積%、空孔率:20体積
%のC/SiC複合材料の表面に、SiCウィスカを混
入した樹脂を塗布し、プレスにより所定厚さに成形した
後、無機化することにより、厚さ0.3mm、SiCウ
ィスカ体積含有率20%の短繊維層を形成した。次い
で、接着法にて、平均粒径2μmのAlN粉末を用い
て、厚さ0.15mm、空孔率60体積%の粉末層を形
成した。次いで、この短繊維層及び粉末層に前記表1の
CVI法の条件にて、SiCを含浸させた。SiCの含
浸率は、粉末層及び短繊維層に対して30体積%とし、
更に、表面に厚さ50μmのSiC蒸着膜を形成した。
【0033】得られた高温耐熱強度部材を大気中で13
00℃に100時間加熱したときのC/SiC複合材料
の重量減少率を調べたところ、重量減少率は0.0%で
あった。
【0034】また、この高温耐熱強度部材について、下
記方法にて表面被覆層の緻密性を調べたところ、緻密性
は極めて良好であることが確認された。試験方法 第2図に示す如く、N2 導入管21と圧力計22及
び排気バルブ27とを備えるSUS円筒20の一端のS
USフランジ23にSUS蓋24をボルトとナット25
を用いて取り付けて密封し、他端に被覆層26Aが形成
された試料26を挿入して蓋着する。試料26は、エポ
キシ系接着剤でSUS円筒20に接着した後室温、常圧
で乾燥し、更に室温、1Torrで24時間乾燥する。
2 導入管21よりSUS円筒20内に0.1kg
f/cm2 のN2 を封入する。 圧力変化を調べる。
圧力低下の有無から、緻密性を評価する。即ち、圧
力低下がある場合は、緻密性に若干問題があり、圧力低
下がない場合には、緻密性良好と評価できる。一方、中
間層(短繊維層)及び表側層(粉末層)を形成せず、C
/SiC複合材料に直接50μm厚さのCVD−SiC
コーティング膜を形成したもの(比較例1)について、
前記と同様に加熱試験を行なったところ、C/SiC複
合材料中の炭素繊維はほぼ完全に燃焼した。
【0035】実施例2 実施例1において、粉末層として、SiC粉末(平均粒
径2μm)及びB4 C粉末(平均粒径2μm)の混合粉
末を用いて、接着法にて、厚さ0.15mm、空孔率7
0体積%、B元素含有率20重量%の粉末層を形成した
こと以外は同様にして高温耐熱強度部材を得た。
【0036】得られた高温耐熱強度部材(板材)に曲げ
荷重を負荷して被覆層の一部にクラックを発生させた
後、実施例1と同条件にて加熱して重量変化を調べたと
ころ、重量減少率は0.0%であった。なお、B4 C粉
末を用いないで同一厚さ、同一空孔率の粉末層を形成し
たこと以外は同様にして行なった場合の重量減少率は8
%であり、B4 C粉末によりより一層の耐酸化性の改善
が図れることが確認された。また、実施例1と同様にし
て表面被覆層の緻密性を調べたところ、緻密性は極めて
良好であることが確認された。
【0037】
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明の高温耐熱強
度部材によれば、耐熱性、耐酸化性、耐水素劣化性及び
ガス、液不透性が大幅に改善された高温耐熱強度部材が
提供される。特に、請求項2の高温耐熱強度部材であれ
ば、より優れた効果が奏される。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1図は本発明の高温耐熱強度部材の一実施例
を示す模式的な断面図である。
【図2】第2図は実施例1で用いた試験装置を示す概略
断面図である。
【符号の説明】
1 C/SiC複合材料 2 被覆層 3 中間層 4 表側層

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 炭素繊維/SiC複合材料よりなる基材
    の表面に被覆層が形成されてなる高温耐熱強度部材であ
    って、該被覆層は、セラミック及び耐熱金属よりなる群
    から選ばれる少なくとも1種の粉末及び/又は短繊維を
    含み、該粉末及び/又は短繊維同志の間隙に気相蒸着法
    によりSiC又はSi34 を含浸してなる表側層と、
    SiC又はSi34 の長繊維及び/又は短繊維を含
    み、該繊維同志の間隙に気相蒸着法によりSiC又はS
    34 を含浸してなり、該表側層と基材との間に介在
    する中間層と、を備えてなり、該被覆層は、その表面側
    が緻密質であり基材側が多孔質であることを特徴とする
    高温耐熱強度部材。
  2. 【請求項2】 表側層を構成する粉末及び/又は短繊維
    が酸化によりB23 を生じさせるボロン含有物質より
    なることを特徴とする請求項1に記載の高温耐熱強度部
    材。
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